JPS5866300A - 多ビ−ムイオン線形加速器 - Google Patents
多ビ−ムイオン線形加速器Info
- Publication number
- JPS5866300A JPS5866300A JP16523881A JP16523881A JPS5866300A JP S5866300 A JPS5866300 A JP S5866300A JP 16523881 A JP16523881 A JP 16523881A JP 16523881 A JP16523881 A JP 16523881A JP S5866300 A JPS5866300 A JP S5866300A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- accelerator
- type
- ions
- ion beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はクツｙイオン等の重イオンから稀ガスイオン等
の軽イオンまで任意のイオンをその運動エネルギーを制
御して加速できるレツヘル濯イオン！Ｉ形加速器に係る
ものであり、特Ｋｌ！数のイオンビームを加速できるレ
ツヘル型イオン線形加速−に係るものである。
の軽イオンまで任意のイオンをその運動エネルギーを制
御して加速できるレツヘル濯イオン！Ｉ形加速器に係る
ものであり、特Ｋｌ！数のイオンビームを加速できるレ
ツヘル型イオン線形加速−に係るものである。
レツヘル型イオンｌＩＮ加速器においては第１図に示す
ように１外筒１内でレツヘル線２．３にステム２１．２
２．２３．３１等により取付けた中空円筒金属電極４−
８（トリアドチューブと呼ぶ）を直線状に配置しこれら
の電極に高周波電圧を印加して電極間の電場でイオンを
加速する。中空円筒内の電場のない部分をイオンが飛行
する間に高周波位相が変化し、次の電極間間隙にイオン
が入る時電場は加速方向となっているようにイオンの飛
行速度との関係でドリフトチューブの長さを定める・隣
接した電極が反対の電位となるので、イオンが次の加速
ギャツｆｌｌｃ進むまでに高周波の位相が’ｘ：＜１ｒ
ｏｏ）変る必要がある。そこでこの型式のものをπモー
ド、あるいはウィドロー型と呼ぶ０ 第２図はレツヘル線を同軸ケーブルＣに替えたてモード
イオン線形加速器を示す。又、両端を閉じた円形断面導
波管を使用するイオンＳ形加速器も知られている。第３
図にその断面略図を示す。
ように１外筒１内でレツヘル線２．３にステム２１．２
２．２３．３１等により取付けた中空円筒金属電極４−
８（トリアドチューブと呼ぶ）を直線状に配置しこれら
の電極に高周波電圧を印加して電極間の電場でイオンを
加速する。中空円筒内の電場のない部分をイオンが飛行
する間に高周波位相が変化し、次の電極間間隙にイオン
が入る時電場は加速方向となっているようにイオンの飛
行速度との関係でドリフトチューブの長さを定める・隣
接した電極が反対の電位となるので、イオンが次の加速
ギャツｆｌｌｃ進むまでに高周波の位相が’ｘ：＜１ｒ
ｏｏ）変る必要がある。そこでこの型式のものをπモー
ド、あるいはウィドロー型と呼ぶ０ 第２図はレツヘル線を同軸ケーブルＣに替えたてモード
イオン線形加速器を示す。又、両端を閉じた円形断面導
波管を使用するイオンＳ形加速器も知られている。第３
図にその断面略図を示す。
両端を閉じた導波管ｌからステム１１−１４を介してド
リフトチューブ４−７が懸垂している。ドリフトチュー
ブ間ギャッグの電場の向きは各瞬間に同一である。イオ
ンが加速されるＫはイオンが次のギヤラグに到達するま
でに高周波の位相がλＥ変らねばならず、そしてイオン
が次第に高速となるのでイオンの進行方向に向って次第
に長くなるドリフトチューブを配置しなければならない
。
リフトチューブ４−７が懸垂している。ドリフトチュー
ブ間ギャッグの電場の向きは各瞬間に同一である。イオ
ンが加速されるＫはイオンが次のギヤラグに到達するま
でに高周波の位相がλＥ変らねばならず、そしてイオン
が次第に高速となるのでイオンの進行方向に向って次第
に長くなるドリフトチューブを配置しなければならない
。
この型式のものを、２７ｒモードあるいはアルパレズ型
と呼ぶ。
と呼ぶ。
以上の二種類がイオンＳ形加速器として知られてきたが
、特にレツヘル型Ｓ形加速器は比較的低エネルギーのイ
オンの加速装置として高周波電力の消費が少ない利点を
有している。
、特にレツヘル型Ｓ形加速器は比較的低エネルギーのイ
オンの加速装置として高周波電力の消費が少ない利点を
有している。
ところで近年複数のイオンビームを加速することに対す
る要請が高まっている。例えば、異なるイオンが金属材
料に同時に照射された場合と時間を置いて照射された場
合とでは金属材料の損傷が興なる。この場合ＩＦＩＯ異
なるイオンビームを金属材料に同時に照射し６て金属材
料の損傷を考察しなければならない。又、複数のイオン
ビームを適当なビーム偏向装置を利用して加え合わせ強
度の大きな単一のイオンビームを得ることもできる。
る要請が高まっている。例えば、異なるイオンが金属材
料に同時に照射された場合と時間を置いて照射された場
合とでは金属材料の損傷が興なる。この場合ＩＦＩＯ異
なるイオンビームを金属材料に同時に照射し６て金属材
料の損傷を考察しなければならない。又、複数のイオン
ビームを適当なビーム偏向装置を利用して加え合わせ強
度の大きな単一のイオンビームを得ることもできる。
しかし複数の加速装置を同期運転させるにはそのための
制御装置も必要であり、又その調整も困難である。単一
の加速装置で複数のイオンビームを加速することがもと
より望ましいのであるが、従来のイオンビーム加速装置
の構造からは直ちに実現することはできなかった。
” 本発明の目的は、複数のイオンビームを加速することが
できるレツヘルＩＩ形イオン線形加速器の構造を提供す
ることである。
制御装置も必要であり、又その調整も困難である。単一
の加速装置で複数のイオンビームを加速することがもと
より望ましいのであるが、従来のイオンビーム加速装置
の構造からは直ちに実現することはできなかった。
” 本発明の目的は、複数のイオンビームを加速することが
できるレツヘルＩＩ形イオン線形加速器の構造を提供す
ることである。
この目的は本発＃ＩＫ従って一対の平行導体の各々に植
設された第１のドリフトチューブとこれらのドリフトチ
ューブ間に配置されそして外筒に植設された第２のドリ
フトチューブとを借え、−線上に交互に配置された第７
と第２のドリフトチューブが７つのイオンビーム加速チ
ャンネルを形成するようＫしたイオンビーム加速装置に
より達成される。
設された第１のドリフトチューブとこれらのドリフトチ
ューブ間に配置されそして外筒に植設された第２のドリ
フトチューブとを借え、−線上に交互に配置された第７
と第２のドリフトチューブが７つのイオンビーム加速チ
ャンネルを形成するようＫしたイオンビーム加速装置に
より達成される。
本発明の実施例を第グないし７図を参照して以下Ｋａ＃
ｉする。
ｉする。
鄭≠、！、６図を参照する。第弘図は第１の実施例の縦
断面図であり、第ｊ―は第≠図のｖ −ｖ’線に沿う縦
断面′図である。第６図はｔＩＩ、Ｊ″図のＷ−■′線
に沿う横断面図である。この実施例は外筒１内をのびる
一対の平行導体２．３、各平行導体に植設され一砿上に
交互に配列されているｗＩＩ数の第１のトリアドチュー
ブ４．５．６．７−・・・、 ４／、５′、６′、７’
−−−・−、外ｆｌＩ Ｉ Ｋ植設さしｌ／ １２）
ｌ’ リフトチューブ間にこれと整列して配置されたＩ
ｌ！数の第２のドリフトチューブ１０，１０’及びこれ
らの第２のドリフトチューブ内に配置されたイオンビー
ム・集束手段Ｍを備え、更に平行導体２．３を外筒ｌの
内面に支持するステム９に沿って可動短絡板Ｓを設けて
いる。重い集束用電磁石Ｍと冷却手段は機械的に竪画な
外筒１に固定したトリ７トチエープ１０．１０／に配置
している。
断面図であり、第ｊ―は第≠図のｖ −ｖ’線に沿う縦
断面′図である。第６図はｔＩＩ、Ｊ″図のＷ−■′線
に沿う横断面図である。この実施例は外筒１内をのびる
一対の平行導体２．３、各平行導体に植設され一砿上に
交互に配列されているｗＩＩ数の第１のトリアドチュー
ブ４．５．６．７−・・・、 ４／、５′、６′、７’
−−−・−、外ｆｌＩ Ｉ Ｋ植設さしｌ／ １２）
ｌ’ リフトチューブ間にこれと整列して配置されたＩ
ｌ！数の第２のドリフトチューブ１０，１０’及びこれ
らの第２のドリフトチューブ内に配置されたイオンビー
ム・集束手段Ｍを備え、更に平行導体２．３を外筒ｌの
内面に支持するステム９に沿って可動短絡板Ｓを設けて
いる。重い集束用電磁石Ｍと冷却手段は機械的に竪画な
外筒１に固定したトリ７トチエープ１０．１０／に配置
している。
一方の平行導体２に属する交互の第１と第２のドリフト
チューブ（４，１ｏ１５．１ｏ１６．１０、？）が第１
のイオンビームチャンネルを形成し、そして他方の平行
導体３に属する交互の嬉／と第一のトリ７トテエーツ（
４′、１０’、５′、１０’、６′、１０’、７′）が
１１．２のイオンビームチャンネルを形成している。こ
のような構成とした本発明のレツヘル型イオン加速器の
動作に際しての電位分布ｔｔａｌｌＳｊ図のトリアドチ
ューブに記号十、−１０で示し、隣接チ為−ツ間の電場
の向きを矢印で示す。各トリ７トチエープの左右のギヤ
ラグの電゛場の向きは反対であり、そのためイオンがト
リアドチューブを通過する間にレッヘル＠２．３１２）
ｉ１１周波電流の位相はｒ変化しなければならない（π
モード）。
チューブ（４，１ｏ１５．１ｏ１６．１０、？）が第１
のイオンビームチャンネルを形成し、そして他方の平行
導体３に属する交互の嬉／と第一のトリ７トテエーツ（
４′、１０’、５′、１０’、６′、１０’、７′）が
１１．２のイオンビームチャンネルを形成している。こ
のような構成とした本発明のレツヘル型イオン加速器の
動作に際しての電位分布ｔｔａｌｌＳｊ図のトリアドチ
ューブに記号十、−１０で示し、隣接チ為−ツ間の電場
の向きを矢印で示す。各トリ７トチエープの左右のギヤ
ラグの電゛場の向きは反対であり、そのためイオンがト
リアドチューブを通過する間にレッヘル＠２．３１２）
ｉ１１周波電流の位相はｒ変化しなければならない（π
モード）。
レツヘル共振器の作動特性として一対の平行導体の高周
波信号位相は／１００異なっているので、ビーム・ヤル
スＢ とビームノタルスＢ とはｍｌｃ［１２ 周波信号位相／ど０度に相当する時間々隔を置いて出力
される。この出力ビームを一対の電極から成る電界形偏
向子Ｃ１Ｃに通し標的Ｔへ向ける。
波信号位相は／１００異なっているので、ビーム・ヤル
スＢ とビームノタルスＢ とはｍｌｃ［１２ 周波信号位相／ど０度に相当する時間々隔を置いて出力
される。この出力ビームを一対の電極から成る電界形偏
向子Ｃ１Ｃに通し標的Ｔへ向ける。
２
１７図に本発明の第２の実施例の横断面を示す。
この実施例はグピームイオン線形加速器であり、同シレ
ツヘル線の導体に属する一つのチャンネルの出力ビーム
は同相であるが、他方のレッヘル線の導体に属する一つ
のチャンネルの出力ビームに対してはｌｆＯ度位相が異
なる。 ４
ツヘル線の導体に属する一つのチャンネルの出力ビーム
は同相であるが、他方のレッヘル線の導体に属する一つ
のチャンネルの出力ビームに対してはｌｆＯ度位相が異
なる。 ４
第１図は従来のレツヘル形ｒモードイオン１１形加速器
、第一図は従来９回転形Ｔモードイオン線形加速器、第
３図は従来のアルパレ型、２にモードイオン線形加速器
を示す◇第グ図は本発明の第１の実施例のレツヘル形イ
オン線形加速器の縦断面、１１図はｔｌ、μ図の線ｖ
−ｖ’に沿う縦断面図、１ｌＥｊ図はＩｓ≠図の線Ｖｌ
−Ｖｌ’に沿う横断面図である。第７図は第２の実施
例の横断面図である。 図中：１・・・・・外筒、２．３・・・・・レツヘル線
、４ 、４’Ｓ５．５’、 ６．６’、７＼７′・・・
・・第１のドリフトチューブ、１０．１０′・・・・・
第２のトリ７トテユープ、Ｍ・・・・・集束手段、９．
１１．１２．１３．２１．２２．３１．３２・・・・俸
ステ人、Ｓ・・・・・可動短絡板。 第６図 第７図 １ 昭和 年 月 日 ３、補正をする者 事件との関係 出願人 一名称（６７９）理化学研究所 ４、代理人 ５、補正命令の日付 自 発 ６゜ ｌ 特許請求の範囲を別紙のとおシ訂正する。 ユ 明細書中次の個所の誤記を特徴する特許請求の範囲 五箇内をのびる一対の平行導体、各平行導体にそれぞれ
植設され一線上に薫列されている少なくとも７組の第１
のトリ７トチユープ及びこれらの第１のドリフトチュー
ブ間にどれと整列して配置され、そして前記の外筒に植
設されている第２のドリフトチューブを備えたことを特
命とする多ビームイオン線形加速器。
、第一図は従来９回転形Ｔモードイオン線形加速器、第
３図は従来のアルパレ型、２にモードイオン線形加速器
を示す◇第グ図は本発明の第１の実施例のレツヘル形イ
オン線形加速器の縦断面、１１図はｔｌ、μ図の線ｖ
−ｖ’に沿う縦断面図、１ｌＥｊ図はＩｓ≠図の線Ｖｌ
−Ｖｌ’に沿う横断面図である。第７図は第２の実施
例の横断面図である。 図中：１・・・・・外筒、２．３・・・・・レツヘル線
、４ 、４’Ｓ５．５’、 ６．６’、７＼７′・・・
・・第１のドリフトチューブ、１０．１０′・・・・・
第２のトリ７トテユープ、Ｍ・・・・・集束手段、９．
１１．１２．１３．２１．２２．３１．３２・・・・俸
ステ人、Ｓ・・・・・可動短絡板。 第６図 第７図 １ 昭和 年 月 日 ３、補正をする者 事件との関係 出願人 一名称（６７９）理化学研究所 ４、代理人 ５、補正命令の日付 自 発 ６゜ ｌ 特許請求の範囲を別紙のとおシ訂正する。 ユ 明細書中次の個所の誤記を特徴する特許請求の範囲 五箇内をのびる一対の平行導体、各平行導体にそれぞれ
植設され一線上に薫列されている少なくとも７組の第１
のトリ７トチユープ及びこれらの第１のドリフトチュー
ブ間にどれと整列して配置され、そして前記の外筒に植
設されている第２のドリフトチューブを備えたことを特
命とする多ビームイオン線形加速器。
Claims (1)
- 多筒内をのびる一対の平行導体、各平行導体にそれぞれ
植設され一線上に配列されている少なくとも７組の第１
−のドリフトチューブ及びヒレラの第７のドリフトチュ
ーブ間にこれと整列して配置され、そして前記の外筒に
植設されている第コのドリフトチューブを備えたことを
特徴とする多ビームイオン線形加速器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16523881A JPS5866300A (ja) | 1981-10-15 | 1981-10-15 | 多ビ−ムイオン線形加速器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16523881A JPS5866300A (ja) | 1981-10-15 | 1981-10-15 | 多ビ−ムイオン線形加速器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5866300A true JPS5866300A (ja) | 1983-04-20 |
| JPH023280B2 JPH023280B2 (ja) | 1990-01-23 |
Family
ID=15808483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16523881A Granted JPS5866300A (ja) | 1981-10-15 | 1981-10-15 | 多ビ−ムイオン線形加速器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5866300A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5416097A (en) * | 1977-05-05 | 1979-02-06 | Commissariat Energie Atomique | Heavy ion accelerator |
-
1981
- 1981-10-15 JP JP16523881A patent/JPS5866300A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5416097A (en) * | 1977-05-05 | 1979-02-06 | Commissariat Energie Atomique | Heavy ion accelerator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH023280B2 (ja) | 1990-01-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0208894B1 (de) | Flugzeit-Massenspektrometer mit einem Ionenreflektor | |
| DE3050343C2 (de) | Einrichtung zur Elektronenbestrahlung von Objekten | |
| DE961356C (de) | Verzoegerungsleitung fuer Flachstrahl-Elektronenroehren mit ineinandergreifenden Gliedern | |
| US2859378A (en) | Electrode system for cathode ray tubes | |
| SE431271B (sv) | Katodstraleror med ej rotationssymmetriska elektronlinser | |
| US3100260A (en) | Electron lens for reduction of spherical aberration | |
| DE2529505C2 (de) | Elektronenstrahlröhre | |
| EP0097304B1 (de) | Flache Elektronenstrahlröhre mit einer Gasentladung als Elektronenquelle | |
| US4866279A (en) | Device for the reflection of a low-energy ion beam | |
| US3171056A (en) | Flat display tube utilizing unique collimator | |
| JPS6441147A (en) | Cathode ray tube with in-line electron gun | |
| JPS5866300A (ja) | 多ビ−ムイオン線形加速器 | |
| DE3212705C2 (ja) | ||
| DE2018943B2 (de) | Kathodenstrahlroehre | |
| DE3105310A1 (de) | Kathodenstrahlroehre | |
| DE1541005B2 (de) | Elektronenentladungsvorrichtung | |
| US4560905A (en) | Electrostatic quadrupole focused particle accelerating assembly with laminar flow beam | |
| DE2128255B2 (de) | Elektronenstrahlgenerator | |
| EP0031524B1 (de) | Gasentladungsanzeigevorrichtung mit nachbeschleunigungsraumseitiger Abstützung der Steuerscheibe | |
| DE729003C (de) | Einrichtung zur Erzeugung mehrerer Elektronenstrahlen in einer Kathodenstrahlroehre | |
| DE1084390B (de) | Ionenquelle mit einem Hochfrequenzfeld | |
| EP0209398B1 (en) | A charged particle apparatus | |
| EP0238669B1 (en) | Electron linear accelerator | |
| DE102020133974B3 (de) | Energieanalysator für elektrisch geladene Teilchen | |
| EP0157445A1 (de) | Elektronenstrahlröhre |