JPS586260B2 - Ｘ線螢光増倍管およびその製造方法 - Google Patents
Ｘ線螢光増倍管およびその製造方法Info
- Publication number
- JPS586260B2 JPS586260B2 JP51102690A JP10269076A JPS586260B2 JP S586260 B2 JPS586260 B2 JP S586260B2 JP 51102690 A JP51102690 A JP 51102690A JP 10269076 A JP10269076 A JP 10269076A JP S586260 B2 JPS586260 B2 JP S586260B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- phosphor layer
- multiplier tube
- ray fluorescence
- phosphor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Conversion Of X-Rays Into Visible Images (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はＸ線螢光増倍管特に入力スクリーンの改良に関
する。
する。
Ｘ線螢光増倍管は、第１図に示すように概ねガラスより
成る外囲器２と前記ガラス外囲器２内に配設された入力
スクリーン３、出力スクリーン４、収束電極５、および
加速電極６等より成る。
成る外囲器２と前記ガラス外囲器２内に配設された入力
スクリーン３、出力スクリーン４、収束電極５、および
加速電極６等より成る。
入力スクリーン３は、通常、第３図に示すようにＸ線を
透過し易い基板９上にＸ線７が入射した時可視光を発す
る螢光体層１０を形成し、その上に光を透過し易く、且
つ化学的に安定な物質から成る保護膜１１および前記保
護膜上に更に光電面１２が形成されたものである。
透過し易い基板９上にＸ線７が入射した時可視光を発す
る螢光体層１０を形成し、その上に光を透過し易く、且
つ化学的に安定な物質から成る保護膜１１および前記保
護膜上に更に光電面１２が形成されたものである。
この様なＸ線螢光増倍管は次の様に動作し、使用される
。
。
すなわちＸ線７が被写体８に照射され、前記被写体８の
Ｘ線吸収能により二次元的に体現されたＸ線がＸ線螢光
増倍管１のガラス外囲器の前面を透過し、入力スクリー
ン３に入る。
Ｘ線吸収能により二次元的に体現されたＸ線がＸ線螢光
増倍管１のガラス外囲器の前面を透過し、入力スクリー
ン３に入る。
ここで基板９を透過したＸ線は螢光体層１０内で可視光
を発する。
を発する。
この可視光は更に保護膜１１を透過し、光電面１２より
光電子１３を放出する。
光電子１３を放出する。
光電子１３は収束電極５によって収束されながら、加速
電極６により２５〜３０ＫＶに加速されて出力スクリー
ン４上に像を結ぶ。
電極６により２５〜３０ＫＶに加速されて出力スクリー
ン４上に像を結ぶ。
出力スクリーン４に突入しで来た光電子１３は前記出力
スクリーン４内で可視光を発する。
スクリーン４内で可視光を発する。
而してＸ線像は可視像に変換される。
この時入力スクリーン３の螢光体層１０で発した光像よ
りは明るい光像が出力スクリーン４で得られる。
りは明るい光像が出力スクリーン４で得られる。
この様なＸ線螢光増倍管に於ける特性として解像度が問
題となる。
題となる。
解像度が劣化する大きな原因は螢光体層内で発光した光
が色々な方向１４に分散する事や螢光体層内で発光した
光の一部が前記螢光体層を支持する基板によって反射さ
れる際基板面に対し垂直方向のみに反射されずに矢印１
５で示すように横方向に分散する事である。
が色々な方向１４に分散する事や螢光体層内で発光した
光の一部が前記螢光体層を支持する基板によって反射さ
れる際基板面に対し垂直方向のみに反射されずに矢印１
５で示すように横方向に分散する事である。
本発明はこの様な状況に鑑みなされたものである。
本発明は従来のものとは全く異なる構造の螢光面を与え
、その解像度特性も従来のものに較べ大巾な向上をもた
らすものである。
、その解像度特性も従来のものに較べ大巾な向上をもた
らすものである。
本発明による入力スクリーンは基板の螢光体層が形成さ
れる側の表面が光を吸収する様に黒化処理され、且つそ
の表面には微細な亀裂が無数に入っておりこれらの亀裂
がそのまま螢光体層にも引継がれた構造をする。
れる側の表面が光を吸収する様に黒化処理され、且つそ
の表面には微細な亀裂が無数に入っておりこれらの亀裂
がそのまま螢光体層にも引継がれた構造をする。
即ち基板の表面は黒化処理されているだけでなく、０．
０５〜１５ミクロンの巾の亀裂により互いに隔絶された
タイル状板が敷きつめられた構造を有し、その上に形成
された螢光体層もまた前記亀裂をそのまま引継いで互い
に隔絶された柱状塊より成る。
０５〜１５ミクロンの巾の亀裂により互いに隔絶された
タイル状板が敷きつめられた構造を有し、その上に形成
された螢光体層もまた前記亀裂をそのまま引継いで互い
に隔絶された柱状塊より成る。
その結果、螢光体層内で発した光のうち基板側へ向った
ものは殆んど黒化された基板で吸収され、且つ基板と反
対側へ向って発した光はその大部分が螢光体の柱状塊の
界面により全反射されて横方向に分散する事なく基板面
に対して垂直な方向に光が取り出される。
ものは殆んど黒化された基板で吸収され、且つ基板と反
対側へ向って発した光はその大部分が螢光体の柱状塊の
界面により全反射されて横方向に分散する事なく基板面
に対して垂直な方向に光が取り出される。
特に基板表面の亀裂が螢光体層にそのまま引継がれてい
る為、螢光体層を形成している柱状塊は互に独立してお
り、光の横方向への分散は非常に少ない。
る為、螢光体層を形成している柱状塊は互に独立してお
り、光の横方向への分散は非常に少ない。
次に本発明の一実施例を第３図および第４図を参照しで
詳しく述べる。
詳しく述べる。
本発明による螢光面の断面は第３図の様になっている。
また本発明による基板の斜視図は第４図の様になってい
る。
る。
即ちアルミニウム基板３１の螢光体層を形成しようとす
る側の表面は光吸収材より成り、螢光体の柱状塊との付
着力を増強すると共に、且つ約２〜１８０ミクロンの大
きさのタイル状板が０．０５〜１５ミクロンの巾の亀裂
によって互いに隔てられた構造を有しており、更に前記
構造を有する基板上にアルカリハライド螢光体３３が堆
積されている。
る側の表面は光吸収材より成り、螢光体の柱状塊との付
着力を増強すると共に、且つ約２〜１８０ミクロンの大
きさのタイル状板が０．０５〜１５ミクロンの巾の亀裂
によって互いに隔てられた構造を有しており、更に前記
構造を有する基板上にアルカリハライド螢光体３３が堆
積されている。
アルミニウム基板の表面は前述の如く微細な亀裂３４が
入った構造を有しており、亀裂によって囲まれた部分を
タイル状板３２と呼ぶ。
入った構造を有しており、亀裂によって囲まれた部分を
タイル状板３２と呼ぶ。
この様な表面構造を有する基板を作成するには次の様に
行なう。
行なう。
先ず厚さ約０．５１ｌｍのアルミニウム基板を用意し，
後に螢光体層を形成しようとする面を陽極酸化法により
酸化させる。
後に螢光体層を形成しようとする面を陽極酸化法により
酸化させる。
陽極酸化は例えば３％シュウ酸溶液中で約２時間、ＩＡ
／ｃｍ’の通電を行なう。
／ｃｍ’の通電を行なう。
陽極酸化を終えた基板を水洗いの後沸騰した水の中で約
１時間煮沸する。
１時間煮沸する。
陽極酸化直後は多孔質の酸化アルミニウム層が形成され
でいるが、水中での煮沸により結晶水を持つで膨潤し密
な結晶となる。
でいるが、水中での煮沸により結晶水を持つで膨潤し密
な結晶となる。
これを封孔処理と呼ぶ。さて、前記結晶水を含んだ酸化
アルミニウムは約３００℃以上の熱処理を行なうと結晶
水が解離蒸発し、酸化アルミニウム層は再び収縮する。
アルミニウムは約３００℃以上の熱処理を行なうと結晶
水が解離蒸発し、酸化アルミニウム層は再び収縮する。
この時互いに亀裂３４によって隔絶されたタイル状板３
２を敷きつめた構造が形成される。
２を敷きつめた構造が形成される。
ここで酸化アルミニウム層の厚さは数ミクロン以上が好
ましく、あまり薄いとタイル状板３２が大きくなり過ぎ
る。
ましく、あまり薄いとタイル状板３２が大きくなり過ぎ
る。
この様に亀裂構造の入った陽極酸化皮膜を有するアルミ
ニウム基板に金属アルミニウムを真空蒸着する。
ニウム基板に金属アルミニウムを真空蒸着する。
陽極酸化皮膜は無数の細孔を厚さ方向に有する構造をし
ており，これに金属が蒸着されると黒化する。
ており，これに金属が蒸着されると黒化する。
次に前述の様な処理をした基板３１の表面上に例えばア
ルカリハライド螢光体を蒸着すると亀裂部には螢光体層
は堆積しない。
ルカリハライド螢光体を蒸着すると亀裂部には螢光体層
は堆積しない。
その結果酸化アルミニウムの微細なタイル状板の表面の
輪郭を維持しながら螢光体の柱状塊３３が成長する。
輪郭を維持しながら螢光体の柱状塊３３が成長する。
即ち亀裂によって互いに隔てられた酸化アルミニウムの
微細な無数のタイル状板３２と螢光体の柱状塊３−３と
が一体となった微細な柱状ブロック３５から成る螢光体
面が形成される。
微細な無数のタイル状板３２と螢光体の柱状塊３−３と
が一体となった微細な柱状ブロック３５から成る螢光体
面が形成される。
Ｘ線螢光増倍管では前記の様な処理をした基板上に螢光
体層を形成した後、保護膜３６を形成し更にその上に光
電而３７を形成したものを入力スクリーンとして封入す
る。
体層を形成した後、保護膜３６を形成し更にその上に光
電而３７を形成したものを入力スクリーンとして封入す
る。
さて上に述べた本発明による入力スクリーンは基板表面
が黒化されているだけでなく、酸化アルミニウムの微細
なタイル状板３２と螢光体の柱状塊３３とが一体となっ
た微細な柱状ブロック３５がアルミニウム基板上に互い
に微細な間隔を保ちながら敷きつめられた構造を有して
いる。
が黒化されているだけでなく、酸化アルミニウムの微細
なタイル状板３２と螢光体の柱状塊３３とが一体となっ
た微細な柱状ブロック３５がアルミニウム基板上に互い
に微細な間隔を保ちながら敷きつめられた構造を有して
いる。
各々の微細な柱状ブロック３５はアルミニウム基板３１
上でつながってはいるものの螢光体の柱状塊３３は各柱
状ブロック毎に完全に分離されている。
上でつながってはいるものの螢光体の柱状塊３３は各柱
状ブロック毎に完全に分離されている。
これ等の事は解像度特注の向上に決定的な役割を果たす
。
。
即ちこの様な構造を有する入力スクリーンに於いてはそ
の螢光体内で発光した光のうち光電面側へ向った光４２
は螢光体の柱状塊の側壁で全反射されて大部分が横方向
に分散しないで最初に発光した点４１が存在する柱状ブ
ロック上の光電而に到達する。
の螢光体内で発光した光のうち光電面側へ向った光４２
は螢光体の柱状塊の側壁で全反射されて大部分が横方向
に分散しないで最初に発光した点４１が存在する柱状ブ
ロック上の光電而に到達する。
また基板側へ向った光４４は基板で殆んど吸収される為
に反射の時に基板の凹凸等により光が横方向へ分散する
事がない。
に反射の時に基板の凹凸等により光が横方向へ分散する
事がない。
さらに前記黒化層は螢光体の柱状塊と接してその付着力
を増強せしめる効果も併せて有している。
を増強せしめる効果も併せて有している。
以上の様な理由により解像度は第１表に示す様に従来の
２８ｌｐ／ｃｍに対し、本発明によるＸ線螢光増倍管で
は５５ｌｐ／αに改善された。
２８ｌｐ／ｃｍに対し、本発明によるＸ線螢光増倍管で
は５５ｌｐ／αに改善された。
第１図はＸ線螢光増倍管の動作を説明する概略図、第２
図は従来の入力スクリーンの拡大図、第３図および第４
図はそれぞれ本発明の実施例の要部を示す断面図および
斜視図である。 １：Ｘ線螢光増倍管、１３：入力スクリーン、３２：タ
イル状板、３３：螢光体の柱状塊、３４：黒化亀裂層。
図は従来の入力スクリーンの拡大図、第３図および第４
図はそれぞれ本発明の実施例の要部を示す断面図および
斜視図である。 １：Ｘ線螢光増倍管、１３：入力スクリーン、３２：タ
イル状板、３３：螢光体の柱状塊、３４：黒化亀裂層。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ Ｘ線を電子に変換する入力スクリーンを備えたＸ線
螢光増倍管に於いて、前記入力スクリーンは、表面が亀
裂構造を有し、且つ黒化処理を施された基板と、その基
板上に前記亀裂構造をそのまま引継いだ構造を有する様
に形成された螢光体層と、更にその上に形成された光電
面とより成る事を特徴とするＸ線螢光増倍管。 ２ 表面に陽極酸化処理法により酸化皮膜を形成し、次
いで封孔処理、熱処理を施し，前記酸化皮膜に亀裂構造
を持たせ、更にその上に金属を蒸着する事により黒化し
たアルミニウム基板と、その上に形成された螢光体層と
光電面とより成る入力スクリーンを有するＸ線螢光増倍
管の形成方も
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51102690A JPS586260B2 (ja) | 1976-08-30 | 1976-08-30 | Ｘ線螢光増倍管およびその製造方法 |
| US05/794,025 US4184077A (en) | 1976-05-11 | 1977-05-05 | Input screen of an image intensifier |
| GB19047/77A GB1547011A (en) | 1976-05-11 | 1977-05-06 | Input screen of an image intensifier |
| FR7714411A FR2351494A1 (fr) | 1976-05-11 | 1977-05-11 | Ecran d'entree pour un intensificateur d'image |
| DE2721280A DE2721280C2 (de) | 1976-05-11 | 1977-05-11 | Verfahren zur Herstellung eines Eingangbildschirms eines Bildverstärkers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51102690A JPS586260B2 (ja) | 1976-08-30 | 1976-08-30 | Ｘ線螢光増倍管およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5328371A JPS5328371A (en) | 1978-03-16 |
| JPS586260B2 true JPS586260B2 (ja) | 1983-02-03 |
Family
ID=14334234
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51102690A Expired JPS586260B2 (ja) | 1976-05-11 | 1976-08-30 | Ｘ線螢光増倍管およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS586260B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2623659B1 (fr) * | 1987-11-24 | 1990-03-09 | Labo Electronique Physique | Tube intensificateur d'images a rayons x |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4884567A (ja) * | 1972-01-21 | 1973-11-09 |
-
1976
- 1976-08-30 JP JP51102690A patent/JPS586260B2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4884567A (ja) * | 1972-01-21 | 1973-11-09 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5328371A (en) | 1978-03-16 |
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