JPS5858425A - 焦電型赤外線検出装置 - Google Patents
焦電型赤外線検出装置Info
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- JPS5858425A JPS5858425A JP56157873A JP15787381A JPS5858425A JP S5858425 A JPS5858425 A JP S5858425A JP 56157873 A JP56157873 A JP 56157873A JP 15787381 A JP15787381 A JP 15787381A JP S5858425 A JPS5858425 A JP S5858425A
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- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 7
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 abstract 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 abstract 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/34—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using capacitors, e.g. pyroelectric capacitors
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は防犯用、防火用に供される焦電型赤外線検出装
置に関する。
置に関する。
焦電型赤外線検出素子を増幅回路等と共に−りのパッケ
ージに収納して人体等の検出を行わせるようにしたセン
サが公知であるが、このセンサは火炎も検出するので、
センサ出力からは人体、火炎の区別ができない。このた
めに防犯用に人体を検出するものと、防火用に火炎を検
出するものとの2つを用いることが行われ′ている。即
ち第4図は火炎(■)Ikひ人体(@)夫々の赤外線ス
ペクトルを示しているが、これら夫々を識別検知できる
ようにしたセンナを各1個用いるのである。このため赤
外線検出素子自体及び回路系のために広いスペースを要
する難点がある。そしてこれらのセンサは雰囲気温度変
化、雰囲気圧力変化によっても出力電気信号が変化し、
このような雑音出力によって誤報を発することがあると
いう問題点もあった。
ージに収納して人体等の検出を行わせるようにしたセン
サが公知であるが、このセンサは火炎も検出するので、
センサ出力からは人体、火炎の区別ができない。このた
めに防犯用に人体を検出するものと、防火用に火炎を検
出するものとの2つを用いることが行われ′ている。即
ち第4図は火炎(■)Ikひ人体(@)夫々の赤外線ス
ペクトルを示しているが、これら夫々を識別検知できる
ようにしたセンナを各1個用いるのである。このため赤
外線検出素子自体及び回路系のために広いスペースを要
する難点がある。そしてこれらのセンサは雰囲気温度変
化、雰囲気圧力変化によっても出力電気信号が変化し、
このような雑音出力によって誤報を発することがあると
いう問題点もあった。
本発明は所かる事情に鑑みてなされたものであって、防
犯用及び火災検知用の素子を1つのパッケージに組込ん
で小型化し、しかも上述の如き雑−音出力を相殺して誤
報発生を防止できるようにした焦電型赤外線検出装置の
提供を1釣とする。以下本発明をその実施例を示す図面
に基き具体−的に説明する。
犯用及び火災検知用の素子を1つのパッケージに組込ん
で小型化し、しかも上述の如き雑−音出力を相殺して誤
報発生を防止できるようにした焦電型赤外線検出装置の
提供を1釣とする。以下本発明をその実施例を示す図面
に基き具体−的に説明する。
第1図は本発明に係る焦電型赤外線検出装置の模式的構
造図であり、31け赤外線検出素子10及び20を取付
けるための金属製のステムであって、素子10.20H
金属キヤツプ32にてハーメチックシールされた空間内
に在る。金属キャップ32の上面部(ステム31と対向
する815分)には過大の窓32aが開設さhており、
この窓32aは赤外線透過性素材よりなる窓板33にて
封じられている。この窓32aに監視対象空間から金属
キャップ32内部へ赤外線を入射させるためのものであ
り、この装置を部屋の天井に取付ける場合は窓32g側
が例えば下側になる。窓板33としてtio、8〜15
μmの波長の赤外線を効率よく透過させる厚さ数百μm
の3i、Ge板が適当である。
造図であり、31け赤外線検出素子10及び20を取付
けるための金属製のステムであって、素子10.20H
金属キヤツプ32にてハーメチックシールされた空間内
に在る。金属キャップ32の上面部(ステム31と対向
する815分)には過大の窓32aが開設さhており、
この窓32aは赤外線透過性素材よりなる窓板33にて
封じられている。この窓32aに監視対象空間から金属
キャップ32内部へ赤外線を入射させるためのものであ
り、この装置を部屋の天井に取付ける場合は窓32g側
が例えば下側になる。窓板33としてtio、8〜15
μmの波長の赤外線を効率よく透過させる厚さ数百μm
の3i、Ge板が適当である。
赤外線検出素子10及び20Fi、L i Ta Os
(タンタル酸リチウム)等の焦電体薄板41の一側半
分の領域411及び他側半分の領域412夫々の表面に
適長離隔させて各別の電極層12.22を、また裏面に
画素子共通の電、極層42をいずれもNi−Cr蒸着の
方法にて500〜1000への厚さに形成してなるもの
であって、裏面電極層421にステム31の上面に固着
した例えば銅製(絶縁材料でもよい)の支持台34にエ
ポキシ樹脂等の絶縁層35を介して固定しである。
(タンタル酸リチウム)等の焦電体薄板41の一側半
分の領域411及び他側半分の領域412夫々の表面に
適長離隔させて各別の電極層12.22を、また裏面に
画素子共通の電、極層42をいずれもNi−Cr蒸着の
方法にて500〜1000への厚さに形成してなるもの
であって、裏面電極層421にステム31の上面に固着
した例えば銅製(絶縁材料でもよい)の支持台34にエ
ポキシ樹脂等の絶縁層35を介して固定しである。
窓板33における、赤外線検出素子1’ 0 、20夫
々の上方のfR域、即ち表面電極層12.22と対向す
る[には、PbTe 、 Zn S等を多層蒸着してな
る光学フィルタ13,23が表面電極層12゜22を覆
うようにして設けられている。これらの光学フィルタ1
3.23#:を透過波長を異にしており、光学フィルタ
13i1人体検知用として5μm以上の波長の赤剰線を
選択的に透過させ、それよりも短い波長の赤外線を実質
的にカットするローカット(バイパス)フィルタ、光学
フィルタ23は火災検知用として0.8〜7μmの範囲
の波長の赤外線を選択的に透過させ、この範囲外の波長
の赤外線を実質的にカットするノ(ンドノイスフイルり
である。両光学フィルタ’l 3 、23の面積及び位
1w1a赤外線検出素子16,2oの夫々が光学フィル
タ13.23夫々を透過した赤外線を選択的に捉え、窓
板33のみを透過した赤外線等を可及的に捉えないよう
に定められるっ 画素子10.20の表面電極層12.22Fi金線等を
用いてなるリード線14.24夫々の一噛に接続されて
いる。ステム31上には接合型のFET (電界効果ト
ランジスタ)36が設けられており前記リード線14の
他端はこのFET36のゲートに接続されている。″ま
たリード線24の他端はステム31に接続されている1
、FET36のドレイン、ソースはステム31と絶縁し
たリード線37゜38に連なっており、もう一本のリー
ド線39けステム31と同電位としである。これらのリ
ード線は外部回路との接続のためのものである。
々の上方のfR域、即ち表面電極層12.22と対向す
る[には、PbTe 、 Zn S等を多層蒸着してな
る光学フィルタ13,23が表面電極層12゜22を覆
うようにして設けられている。これらの光学フィルタ1
3.23#:を透過波長を異にしており、光学フィルタ
13i1人体検知用として5μm以上の波長の赤剰線を
選択的に透過させ、それよりも短い波長の赤外線を実質
的にカットするローカット(バイパス)フィルタ、光学
フィルタ23は火災検知用として0.8〜7μmの範囲
の波長の赤外線を選択的に透過させ、この範囲外の波長
の赤外線を実質的にカットするノ(ンドノイスフイルり
である。両光学フィルタ’l 3 、23の面積及び位
1w1a赤外線検出素子16,2oの夫々が光学フィル
タ13.23夫々を透過した赤外線を選択的に捉え、窓
板33のみを透過した赤外線等を可及的に捉えないよう
に定められるっ 画素子10.20の表面電極層12.22Fi金線等を
用いてなるリード線14.24夫々の一噛に接続されて
いる。ステム31上には接合型のFET (電界効果ト
ランジスタ)36が設けられており前記リード線14の
他端はこのFET36のゲートに接続されている。″ま
たリード線24の他端はステム31に接続されている1
、FET36のドレイン、ソースはステム31と絶縁し
たリード線37゜38に連なっており、もう一本のリー
ド線39けステム31と同電位としである。これらのリ
ード線は外部回路との接続のためのものである。
第2図は本発明装置の踵気回路図であり、上述のステム
31.リード線39を接地レベルとし、FET36のド
レイン又はリード線37VcFi正の電位′vDDを与
え、そのソース又はリード線38から出力V を得るよ
うにしている。FET36のゲut −ト及びソースと接地レベルのステム31又はリード線
3’9ト17)闇には、1cP〜1o11Ωノオータの
ゲート抵抗43及びIOKΩ程度のソース抵抗44を夫
々接続して自己バイアスをかけである。
31.リード線39を接地レベルとし、FET36のド
レイン又はリード線37VcFi正の電位′vDDを与
え、そのソース又はリード線38から出力V を得るよ
うにしている。FET36のゲut −ト及びソースと接地レベルのステム31又はリード線
3’9ト17)闇には、1cP〜1o11Ωノオータの
ゲート抵抗43及びIOKΩ程度のソース抵抗44を夫
々接続して自己バイアスをかけである。
なおゲート抵抗43Fiキヤツプ32内にFET36と
共に配してあり、ソース抵抗44け外付は抵抗としてい
る。本発明装置では画素子10,20が焦電体薄板41
を共用しており、また裏面電極層42を共通にしている
ので画素子は分極方向が逆になるように直列接続されて
いることになる。
共に配してあり、ソース抵抗44け外付は抵抗としてい
る。本発明装置では画素子10,20が焦電体薄板41
を共用しており、また裏面電極層42を共通にしている
ので画素子は分極方向が逆になるように直列接続されて
いることになる。
斯かる構成の本発明装置の動作は次のとおりである。即
ち窓板33を介して人体が放出する赤外線(第4図に示
すように5μm以上)が装置内に入ると、この赤外線の
殆んどはフィルタ13のみを透過し、素手1oの表面電
極層12側に負電荷が生じ、出力Voutは常態時のレ
ベルiわ低下することになる。また火災が発生して例え
ば炎からの赤外線(第4図に示すように2μm程度・を
ビークとし0.8〜7μm程度に分布)が窓板33を介
して装置内に入ると、この赤外線の殆んどはフィルタ2
3のみを透過し、素子2oの表面電極層22側に負電荷
が生じ、その結果出方Voutは常態時のレベルより上
昇することになる。このようなレベル変化を利用して遠
隔報知或は警報器の動作を行わせ得ることは勿論である
。
ち窓板33を介して人体が放出する赤外線(第4図に示
すように5μm以上)が装置内に入ると、この赤外線の
殆んどはフィルタ13のみを透過し、素手1oの表面電
極層12側に負電荷が生じ、出力Voutは常態時のレ
ベルiわ低下することになる。また火災が発生して例え
ば炎からの赤外線(第4図に示すように2μm程度・を
ビークとし0.8〜7μm程度に分布)が窓板33を介
して装置内に入ると、この赤外線の殆んどはフィルタ2
3のみを透過し、素子2oの表面電極層22側に負電荷
が生じ、その結果出方Voutは常態時のレベルより上
昇することになる。このようなレベル変化を利用して遠
隔報知或は警報器の動作を行わせ得ることは勿論である
。
而して暖房等による雰囲気温度の変柁があった場合にけ
焦電体薄板41の両領域411,412Fi共にその影
響を受けて焦電効果を示すが、本発明装置では両者の分
極方向を逆にして夫々を含む素子を直列接続してあり、
しかも両者は等面積としであるので、この直列回路内で
その帯電効果が相殺され、FET出力の変化は殆んどな
い。また焦電体は公知のように圧電効果も示すので、こ
の装置を取付けた密閉性に優れた部屋の扉を急激に閉め
たような場合には画素子10.20に圧電効果が現れる
が、これも分極方向が逆であるので上記同様に相殺され
その影響がない。なお画素子の受光面積は厳密に等しい
必要はなく[g1路動作に悪影11を及ぼさない範囲の
受光面積の差art許容できる。
焦電体薄板41の両領域411,412Fi共にその影
響を受けて焦電効果を示すが、本発明装置では両者の分
極方向を逆にして夫々を含む素子を直列接続してあり、
しかも両者は等面積としであるので、この直列回路内で
その帯電効果が相殺され、FET出力の変化は殆んどな
い。また焦電体は公知のように圧電効果も示すので、こ
の装置を取付けた密閉性に優れた部屋の扉を急激に閉め
たような場合には画素子10.20に圧電効果が現れる
が、これも分極方向が逆であるので上記同様に相殺され
その影響がない。なお画素子の受光面積は厳密に等しい
必要はなく[g1路動作に悪影11を及ぼさない範囲の
受光面積の差art許容できる。
また、上述の実施例では2つの赤外線検出素子10.2
0の焦電体薄板41及び裏面電極層42を両者に共通の
ものとしたがこれらを別個に構成してもよいことは勿論
であり、重要なことにキャンプ31内の画素子の分極方
向が逆になるように直列接続されている点である。第3
図は焦電体薄板及び裏面電極層を別体きしたものであり
、表面電極層12,22、焦電体薄板11.21及び裏
面電極421,422夫々からなる2つの赤外線検出素
子1’0’ 、 20’を絶縁性の支持台34′上に形
成した導通層45上に銀ペースト等の導電性接着剤を用
いて接着して裏面電極層421,422同士を接続した
ものである。そしてこの実施例でF12種類の・光学フ
ィルタ13’、 23’を各素子10’、 20’の表
面電極層12.22上に直接付着形成しである。
0の焦電体薄板41及び裏面電極層42を両者に共通の
ものとしたがこれらを別個に構成してもよいことは勿論
であり、重要なことにキャンプ31内の画素子の分極方
向が逆になるように直列接続されている点である。第3
図は焦電体薄板及び裏面電極層を別体きしたものであり
、表面電極層12,22、焦電体薄板11.21及び裏
面電極421,422夫々からなる2つの赤外線検出素
子1’0’ 、 20’を絶縁性の支持台34′上に形
成した導通層45上に銀ペースト等の導電性接着剤を用
いて接着して裏面電極層421,422同士を接続した
ものである。そしてこの実施例でF12種類の・光学フ
ィルタ13’、 23’を各素子10’、 20’の表
面電極層12.22上に直接付着形成しである。
その他1111図の実施例のものと同様のものには同符
号を付して説明を省略する。このように光学フィルタを
素子に直接付着形成することは第1図の如く焦電体薄板
41及び裏面電極層42を画素子に共用する構成におい
ても勿論可能である。
号を付して説明を省略する。このように光学フィルタを
素子に直接付着形成することは第1図の如く焦電体薄板
41及び裏面電極層42を画素子に共用する構成におい
ても勿論可能である。
以上のように本発明に係る焦電型赤外線検出装置は、被
検体からの赤外線を入射させる窓を有する一つのパッケ
ージ内に、焦電体を用いた2つの赤外線検出素子を収め
てあり、各赤外線検出素子はその分極方向が逆になるよ
うに直列的に接続さねでおり、一方の赤外線検出素子に
は5μm以上の波長の赤外線が、また他方の赤外線検出
素子には0.8〜7μmの範囲の波長の赤外線が、夫々
選択的に受光されるように光学フィルタを配してなるも
のであるから、雰囲気温度、圧力の変化による雑音出力
がなく、誤報知、警報器誤動作が解消される。そして従
来は人体検知用と、火災検知用とが別個に形成されてい
たために取付スペースに多くを要したのに対し、本発明
装置は両者を一つのパッケージ内に収納しであるので小
型化され取付スペースが節減さね、それだけ取付場所の
制約が少くなる。そして第1図に示すように構成する場
合は焦電体薄板、裏面電極層を画素子に共用でき製造が
容易であるなど本発明は優れた効果を奏する。
検体からの赤外線を入射させる窓を有する一つのパッケ
ージ内に、焦電体を用いた2つの赤外線検出素子を収め
てあり、各赤外線検出素子はその分極方向が逆になるよ
うに直列的に接続さねでおり、一方の赤外線検出素子に
は5μm以上の波長の赤外線が、また他方の赤外線検出
素子には0.8〜7μmの範囲の波長の赤外線が、夫々
選択的に受光されるように光学フィルタを配してなるも
のであるから、雰囲気温度、圧力の変化による雑音出力
がなく、誤報知、警報器誤動作が解消される。そして従
来は人体検知用と、火災検知用とが別個に形成されてい
たために取付スペースに多くを要したのに対し、本発明
装置は両者を一つのパッケージ内に収納しであるので小
型化され取付スペースが節減さね、それだけ取付場所の
制約が少くなる。そして第1図に示すように構成する場
合は焦電体薄板、裏面電極層を画素子に共用でき製造が
容易であるなど本発明は優れた効果を奏する。
図面は本発明の実施例を示すものであって第1図はその
模式的構造図、第2図はその電気回路図、!IP+3図
は本発明の他の実施例を示す模式的構造図、第4図は火
炎及び人体夫々の赤外線スペクトルて′ある。 10.20・・・赤外線検出素子 41・・・焦電体薄
板12.22・・・表面電極層 13.23・・・光学
フィルタ特許出願人 三洋電機株式会社 代理人 弁理士 岡 野 登 犬尊 1 図 3#3 回 シ皮 長 (μm) 菩 4 図
模式的構造図、第2図はその電気回路図、!IP+3図
は本発明の他の実施例を示す模式的構造図、第4図は火
炎及び人体夫々の赤外線スペクトルて′ある。 10.20・・・赤外線検出素子 41・・・焦電体薄
板12.22・・・表面電極層 13.23・・・光学
フィルタ特許出願人 三洋電機株式会社 代理人 弁理士 岡 野 登 犬尊 1 図 3#3 回 シ皮 長 (μm) 菩 4 図
Claims (1)
- 1、被検体からの赤外線を入射させる窓を有する一つの
パッケージ内に、焦電体を用いた2つの赤外線検出素子
を収めてあり、各赤外線検出素子はその分極方向が逆に
なるように直列的に接続されており、一方の赤外線検出
素子に#′i5μm以上の波長の赤外線が、また他方の
赤外線検出素子にFio、s〜7μmの範囲の波長の赤
外線が、夫々選択的に受光されるように光学フィルタを
配してなることを特徴とする焦電型赤外線検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56157873A JPS5858425A (ja) | 1981-10-02 | 1981-10-02 | 焦電型赤外線検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56157873A JPS5858425A (ja) | 1981-10-02 | 1981-10-02 | 焦電型赤外線検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5858425A true JPS5858425A (ja) | 1983-04-07 |
Family
ID=15659267
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56157873A Pending JPS5858425A (ja) | 1981-10-02 | 1981-10-02 | 焦電型赤外線検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5858425A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5497003A (en) * | 1995-02-15 | 1996-03-05 | Servo Corporation Of America | Pyroelectric detector array with optical filter elements |
US5834776A (en) * | 1995-06-07 | 1998-11-10 | Texas Instruments Incorporated | Microbolometer cell structure |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5621023A (en) * | 1979-07-27 | 1981-02-27 | Siemens Ag | Pyroelectric detector |
-
1981
- 1981-10-02 JP JP56157873A patent/JPS5858425A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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JPS5621023A (en) * | 1979-07-27 | 1981-02-27 | Siemens Ag | Pyroelectric detector |
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US5497003A (en) * | 1995-02-15 | 1996-03-05 | Servo Corporation Of America | Pyroelectric detector array with optical filter elements |
US5834776A (en) * | 1995-06-07 | 1998-11-10 | Texas Instruments Incorporated | Microbolometer cell structure |
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