JPS5856375A - 酸化物圧電材料 - Google Patents
酸化物圧電材料Info
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- JPS5856375A JPS5856375A JP56153751A JP15375181A JPS5856375A JP S5856375 A JPS5856375 A JP S5856375A JP 56153751 A JP56153751 A JP 56153751A JP 15375181 A JP15375181 A JP 15375181A JP S5856375 A JPS5856375 A JP S5856375A
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- 239000002305 electric material Substances 0.000 title abstract 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 29
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 14
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 14
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 14
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 7
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 abstract description 2
- 229910020698 PbZrO3 Inorganic materials 0.000 abstract 3
- ZKATWMILCYLAPD-UHFFFAOYSA-N niobium pentoxide Chemical compound O=[Nb](=O)O[Nb](=O)=O ZKATWMILCYLAPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 229910003781 PbTiO3 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 241000252100 Conger Species 0.000 description 1
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910020684 PbZr Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000011549 displacement method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 238000004663 powder metallurgy Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
- H10N30/8548—Lead-based oxides
- H10N30/8554—Lead-zirconium titanate [PZT] based
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はPb (YH8b34 ) O,−PbTi0
.− PbZr(J。
.− PbZr(J。
で構成される三成分固溶体、およびその一部をBa、S
r、Oi の少なくとも1種で10 mol 係以下を
置換した酸化物圧電材料にかかり、特に結合係数が大き
く、音響インピーダンスが低く医療超音波プローブ用の
圧電振動子材料として適する酸化物圧電材料である。
r、Oi の少なくとも1種で10 mol 係以下を
置換した酸化物圧電材料にかかり、特に結合係数が大き
く、音響インピーダンスが低く医療超音波プローブ用の
圧電振動子材料として適する酸化物圧電材料である。
周知の様に現在圧電振動子を用いた医瞭超音波プローブ
が広く実用化されている。これらの振動子に用いる圧電
材料としてはPbTi01− PbZr0.系材料(P
ZT )やPbTi01PbZr01−Pb(Oo3*
W3. ) 0.系材料(三成分材料)等が用いられて
いるが、これらを超音波診断装置用のプローブ材料とし
て使用する場合には特性的に問題となる点がいくつか認
められる。
が広く実用化されている。これらの振動子に用いる圧電
材料としてはPbTi01− PbZr0.系材料(P
ZT )やPbTi01PbZr01−Pb(Oo3*
W3. ) 0.系材料(三成分材料)等が用いられて
いるが、これらを超音波診断装置用のプローブ材料とし
て使用する場合には特性的に問題となる点がいくつか認
められる。
すなわち、医療超音波プローブはM1図に示した様に厚
み方向の面lこ電極(4)を設けた圧電振動子(1)を
バッキング材(2)上に貼り、さらに超音波が放射され
る面には、被検査物(たとえば人体)との音響インピー
ダンスの整合をはかるための整合層(3)を設けた構造
となっている。
み方向の面lこ電極(4)を設けた圧電振動子(1)を
バッキング材(2)上に貼り、さらに超音波が放射され
る面には、被検査物(たとえば人体)との音響インピー
ダンスの整合をはかるための整合層(3)を設けた構造
となっている。
最も効率よく圧電振動子のエネルギーを被検査物である
人体に伝えるには Zx−fムー1璽 Zx: 整合層インピーダンス Zo: 圧電材料インピーダンス ZT: 被検査物インピーダンス を満足する必要がある。
人体に伝えるには Zx−fムー1璽 Zx: 整合層インピーダンス Zo: 圧電材料インピーダンス ZT: 被検査物インピーダンス を満足する必要がある。
この整合層に用いられる材質としてはプラスチックや各
種樹脂、又はこれらに無機物等を混合したものがあるが
、いずれの整合層材料を用いてもその音響インピーダン
スは25〜6 (x t−o’ ky/m”5ec)程
度である。
種樹脂、又はこれらに無機物等を混合したものがあるが
、いずれの整合層材料を用いてもその音響インピーダン
スは25〜6 (x t−o’ ky/m”5ec)程
度である。
被測定物が人体の場合には音響インピーダンスが約1.
5 (X 10@に97m” see )であるため上
記の式より、圧電セラミック振動子の音響インピーダン
スを4.2〜24 (X 10@匈/m” see )
とする事が望ましい。しかしながら、従来のP汀や三成
分系材料では音響インピーダンスが約30〜4゜(XI
O’権/m” sec )であり音響インピーダンスの
より小さな圧電材料が超音波診断装置用の振動子材料と
して望まれていた。又、電気エネルギーと機械エネルギ
ーの変換効率を表す電気機械結合・係数がなるべく大き
な値を持つことが必要条件であることはいうまでもない
。
5 (X 10@に97m” see )であるため上
記の式より、圧電セラミック振動子の音響インピーダン
スを4.2〜24 (X 10@匈/m” see )
とする事が望ましい。しかしながら、従来のP汀や三成
分系材料では音響インピーダンスが約30〜4゜(XI
O’権/m” sec )であり音響インピーダンスの
より小さな圧電材料が超音波診断装置用の振動子材料と
して望まれていた。又、電気エネルギーと機械エネルギ
ーの変換効率を表す電気機械結合・係数がなるべく大き
な値を持つことが必要条件であることはいうまでもない
。
なお、音響インピーダンスが約20(X10@確/m”
sec )と小さいメタニオブ酸鉛系材料も報告され
ているが、これらは電気機械結合係数K。(Kt )が
501以下とPZTや三成分系に比較して大幅に小さい
という欠点を有していた。
sec )と小さいメタニオブ酸鉛系材料も報告され
ているが、これらは電気機械結合係数K。(Kt )が
501以下とPZTや三成分系に比較して大幅に小さい
という欠点を有していた。
本発明は上記の欠点を改良したもので、電気機械結合係
数Kssが65嚢以上と大きく、音響インピーダンスが
24〜28 (X 10’ kg/m” sec )と
低く、特に医療超音波プローブに適する圧電材料を提供
することを目的とするものである。
数Kssが65嚢以上と大きく、音響インピーダンスが
24〜28 (X 10’ kg/m” sec )と
低く、特に医療超音波プローブに適する圧電材料を提供
することを目的とするものである。
本発明ハモ/1/ ffi成テPbTi0.35.0〜
55.0%と、PbZr0.35〜64%と、Pb (
Y34SbH) 0. 1.0〜10%とからなる酸化
物圧′−材料であり、さらに九の一部をHa、Sr、C
a の少なくとも一種で10モモル優下置換する事に
より、機械的強度及び焼結性が改善され薄板加工が容易
で、かつ低音響インピーダンス、^電気機械結合係数(
鳩、)の鈑化物圧4材料が得られるというものである。
55.0%と、PbZr0.35〜64%と、Pb (
Y34SbH) 0. 1.0〜10%とからなる酸化
物圧′−材料であり、さらに九の一部をHa、Sr、C
a の少なくとも一種で10モモル優下置換する事に
より、機械的強度及び焼結性が改善され薄板加工が容易
で、かつ低音響インピーダンス、^電気機械結合係数(
鳩、)の鈑化物圧4材料が得られるというものである。
なお本発明において三成分となるPbTiOs PbT
iOs−Pb(Y34 SbH) 0.三元系組成比を
PbTi0.35.0〜55.0モル優、PbZr01
35〜64モル優、Pb(Y348b31)Us t
、o〜10モルチモルれぞれ限定したのは次の理由によ
る。
iOs−Pb(Y34 SbH) 0.三元系組成比を
PbTi0.35.0〜55.0モル優、PbZr01
35〜64モル優、Pb(Y348b31)Us t
、o〜10モルチモルれぞれ限定したのは次の理由によ
る。
即ちPbTi01は35モル係未満でもまた55モル優
を越えても所望の゛−気機械結合係数Kms 654以
上が得られず又、音響インピーダンスも28(X 10
” Iql/m” sec )以上となるためである。
を越えても所望の゛−気機械結合係数Kms 654以
上が得られず又、音響インピーダンスも28(X 10
” Iql/m” sec )以上となるためである。
又、Pb(Y3i 8b3. ) 0sO) モiし%
を1〜loモル優と限定したのは10モル優を越えると
焼結性が低下し、充分な電気機械結合係数に、、を有す
るm器が得られず、又、1モル優未満では音響インピー
ダンスが28 (X 10’ All/m″sec )
を越え音響インピーダンスを下げる効果が乏しくなるた
めである。
を1〜loモル優と限定したのは10モル優を越えると
焼結性が低下し、充分な電気機械結合係数に、、を有す
るm器が得られず、又、1モル優未満では音響インピー
ダンスが28 (X 10’ All/m″sec )
を越え音響インピーダンスを下げる効果が乏しくなるた
めである。
又、Ba、Oa、Sr の少なくとも1種の1侯童を1
0モモル優下としたのは10モル係を越えると焼結性が
低下し、電気機械結合係数に33が65係以下となるた
めである。又、機械的強度が低下し500μm以下の薄
板加工が困緬となるためであるO このような本発明の酸化物圧電材料は一般的には粉末冶
金的方法によって容易に製造することができる。例えば
PbO,8b!01 、’11”10H* Zrへm
% OBおよよびMeO(但しMe = Ba、Sr
、Oaのうち少なくとも1種)などの原料酸化物を所定
の割合に正確に秤取し、これらをボールミルなどによっ
てよく混合する。伺この除用いる原料は加熱によって酸
化物に転する化合物例えば水酸化物、炭酸塩、蓚酸塩な
どであってもよい。
0モモル優下としたのは10モル係を越えると焼結性が
低下し、電気機械結合係数に33が65係以下となるた
めである。又、機械的強度が低下し500μm以下の薄
板加工が困緬となるためであるO このような本発明の酸化物圧電材料は一般的には粉末冶
金的方法によって容易に製造することができる。例えば
PbO,8b!01 、’11”10H* Zrへm
% OBおよよびMeO(但しMe = Ba、Sr
、Oaのうち少なくとも1種)などの原料酸化物を所定
の割合に正確に秤取し、これらをボールミルなどによっ
てよく混合する。伺この除用いる原料は加熱によって酸
化物に転する化合物例えば水酸化物、炭酸塩、蓚酸塩な
どであってもよい。
次いで前記混合物を例えば600〜900℃程度の温度
で予備焼成し、さらにボールミルなどによって粉砕して
調製粉末とする。しかる後この調製粉末に水或いはポリ
ビニルアルコールなどの粘結剤を暉加配合し、0.5〜
Z toV−程度の圧力で加圧成形してから1000〜
1200°C程度の温度で焼成する。この焼成において
一つの組成分たるPbOの一部が蒸発揮散する恐れがあ
るので焼成は閉炉内で行ない、また最高温度での保持は
一般に0.5〜8時間程厩で充分である。かくして得た
酸化物成形焼結体に周知の手段例えばその成形焼結体の
両面に1対の電極を設け、その′−極に直流電流20〜
30KVAを40〜80℃程度の温度のシリコーンオイ
ル中で1時間程度印加することによって分極しつる。
で予備焼成し、さらにボールミルなどによって粉砕して
調製粉末とする。しかる後この調製粉末に水或いはポリ
ビニルアルコールなどの粘結剤を暉加配合し、0.5〜
Z toV−程度の圧力で加圧成形してから1000〜
1200°C程度の温度で焼成する。この焼成において
一つの組成分たるPbOの一部が蒸発揮散する恐れがあ
るので焼成は閉炉内で行ない、また最高温度での保持は
一般に0.5〜8時間程厩で充分である。かくして得た
酸化物成形焼結体に周知の手段例えばその成形焼結体の
両面に1対の電極を設け、その′−極に直流電流20〜
30KVAを40〜80℃程度の温度のシリコーンオイ
ル中で1時間程度印加することによって分極しつる。
以上のようにして分極を行った後にi o o ”oで
24時間エージングを行い、さらに常温で24時間放置
した。圧′−性を評価するために棒の縦振動における結
合係数に3.を測定した。試料の大きさは5φX 12
.5朋の円柱状である。この測定は■REの標準回路の
方法に従った。また、誘′11″4εL/8゜はキャパ
シタンスブリッジを用いてI KHzの周波数で測定し
た。
24時間エージングを行い、さらに常温で24時間放置
した。圧′−性を評価するために棒の縦振動における結
合係数に3.を測定した。試料の大きさは5φX 12
.5朋の円柱状である。この測定は■REの標準回路の
方法に従った。また、誘′11″4εL/8゜はキャパ
シタンスブリッジを用いてI KHzの周波数で測定し
た。
音響インピーダンスに、試料の密度と音速を乗じたもの
であるので−この測定法は、試料の密度は水中置換法で
、音速は直径25.■、厚さ55litの試料を使い、
音速測定装置(マチック社製モデル6000)を使用し
、5141zにて測定した、その結果を第1表に示す。
であるので−この測定法は、試料の密度は水中置換法で
、音速は直径25.■、厚さ55litの試料を使い、
音速測定装置(マチック社製モデル6000)を使用し
、5141zにて測定した、その結果を第1表に示す。
上人手作、イ4゜
次に上記試料中の実IIffA例25〜32について組
成変化壷こ対する音響インピーダンスを調べ、その結果
を第2図中曲線aとして示す。又比較例としてPbTi
O3−PbZr0. に0.501%のNb、 0.
を加えた酸化物圧4材料の音響インピーダンスを曲線す
として示す。
成変化壷こ対する音響インピーダンスを調べ、その結果
を第2図中曲線aとして示す。又比較例としてPbTi
O3−PbZr0. に0.501%のNb、 0.
を加えた酸化物圧4材料の音響インピーダンスを曲線す
として示す。
この結果本発明に係る酸化物圧−材料は従来に比べ音響
インピーダンスが小さい事は明らかである。なお第2図
の縦軸中入領域は従来材の音響インピーダンスを、B領
域は本発明の音響インピーダンスを、C領域は前述の各
種侵合j−の音書インピーダンスを、又DIJk域は人
体の1t41インピーダンスをそれぞれ示す。
インピーダンスが小さい事は明らかである。なお第2図
の縦軸中入領域は従来材の音響インピーダンスを、B領
域は本発明の音響インピーダンスを、C領域は前述の各
種侵合j−の音書インピーダンスを、又DIJk域は人
体の1t41インピーダンスをそれぞれ示す。
さらに結合係数の変化を第2図と同様に第3図に示す(
曲線a・・・本発明、b・・・・比較例)以上の如く本
発明に係る酸化物圧電材料は音響インピーダンスが低い
にもかかわらず65%以上の高い電気機械結合係数を有
し、躊に超音波プローブ用材料として工業的に価値の大
きなものと言える。
曲線a・・・本発明、b・・・・比較例)以上の如く本
発明に係る酸化物圧電材料は音響インピーダンスが低い
にもかかわらず65%以上の高い電気機械結合係数を有
し、躊に超音波プローブ用材料として工業的に価値の大
きなものと言える。
第1図は超音波プローブの概略図、第2図は組成と音響
インピーダンスの関係曲線図、第3図は組成と電気機械
結合係数の関係曲線図。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑(他1名)第1図
インピーダンスの関係曲線図、第3図は組成と電気機械
結合係数の関係曲線図。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑(他1名)第1図
Claims (1)
- 1)モル組成でPbT((% 35.0〜55.011
とPbZr0s35〜64嗟とPb(Y%5b34)
Os 1.0〜10優からなる事を特徴とした酸化物圧
電材料2、特許請求の範囲第1項においてpbの一部を
Ba、Sr、Oa の少なくとも1種で10モルチ以
下置換したことを特徴とする酸化物圧電材料
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56153751A JPS5941314B2 (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 酸化物圧電材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56153751A JPS5941314B2 (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 酸化物圧電材料 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5856375A true JPS5856375A (ja) | 1983-04-04 |
JPS5941314B2 JPS5941314B2 (ja) | 1984-10-05 |
Family
ID=15569315
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56153751A Expired JPS5941314B2 (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 酸化物圧電材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5941314B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2555984A1 (fr) * | 1983-12-06 | 1985-06-07 | Nippon Denso Co | Materiaux pour ceramiques piezoelectriques |
JPS60258230A (ja) * | 1984-06-04 | 1985-12-20 | Matsushita Electric Works Ltd | ポリイミド樹脂成形品の製法 |
JPS6241262A (ja) * | 1985-08-15 | 1987-02-23 | Matsushita Electric Works Ltd | 付加型イミド樹脂プレポリマ−組成物 |
JPS62143931A (ja) * | 1985-12-19 | 1987-06-27 | Matsushita Electric Works Ltd | 付加型イミド樹脂プレポリマ− |
JPS62270624A (ja) * | 1985-12-19 | 1987-11-25 | Matsushita Electric Works Ltd | 付加型イミド樹脂組成物 |
JPS63130637A (ja) * | 1986-11-21 | 1988-06-02 | Shin Kobe Electric Mach Co Ltd | ポリイミド成形材料の製造法 |
US5295487A (en) * | 1992-02-12 | 1994-03-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic probe |
-
1981
- 1981-09-30 JP JP56153751A patent/JPS5941314B2/ja not_active Expired
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH045049B2 (ja) * | 1984-06-04 | 1992-01-30 | ||
JPS6241262A (ja) * | 1985-08-15 | 1987-02-23 | Matsushita Electric Works Ltd | 付加型イミド樹脂プレポリマ−組成物 |
JPH0359106B2 (ja) * | 1985-08-15 | 1991-09-09 | Matsushita Electric Works Ltd | |
JPS62143931A (ja) * | 1985-12-19 | 1987-06-27 | Matsushita Electric Works Ltd | 付加型イミド樹脂プレポリマ− |
JPS62270624A (ja) * | 1985-12-19 | 1987-11-25 | Matsushita Electric Works Ltd | 付加型イミド樹脂組成物 |
JPS63130637A (ja) * | 1986-11-21 | 1988-06-02 | Shin Kobe Electric Mach Co Ltd | ポリイミド成形材料の製造法 |
US5295487A (en) * | 1992-02-12 | 1994-03-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic probe |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPS5941314B2 (ja) | 1984-10-05 |
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