JPS5855751A - 超音波顕微鏡の走査装置 - Google Patents
超音波顕微鏡の走査装置Info
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- JPS5855751A JPS5855751A JP56152934A JP15293481A JPS5855751A JP S5855751 A JPS5855751 A JP S5855751A JP 56152934 A JP56152934 A JP 56152934A JP 15293481 A JP15293481 A JP 15293481A JP S5855751 A JPS5855751 A JP S5855751A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、超音波顕微鏡の走査装置、特に高速走査方向
をＸ方向とし低速走査方向ｔ−Ｙ方向とする二次元光査
装置におけるＸ方向の高速走査のためのＸ方向駆動装置
に関するものである。
をＸ方向とし低速走査方向ｔ−Ｙ方向とする二次元光査
装置におけるＸ方向の高速走査のためのＸ方向駆動装置
に関するものである。
従来の超音波顕微鏡における集束超音波送受波素子と試
料との相対的な移動による二次元走査装置としては、た
とえば第７図に斜視外観を示したような構成のものがあ
る。
料との相対的な移動による二次元走査装置としては、た
とえば第７図に斜視外観を示したような構成のものがあ
る。
同図において、ｌが集束超音波送受波素子である音響レ
ンズで、超音波と電気信号との変換を行なう圧電トラン
スデユーサは、その試料コへの対向端の反対側端面に設
けられている。そしてその音響レンズｌＦｉ、基台３に
設けた保持具ダによって固定保持されている。
ンズで、超音波と電気信号との変換を行なう圧電トラン
スデユーサは、その試料コへの対向端の反対側端面に設
けられている。そしてその音響レンズｌＦｉ、基台３に
設けた保持具ダによって固定保持されている。
一方、ｊが試料、、２′ｆｒｌ！櫃する試料保持枠でお
り、この試料保持枠ＳＵ、ラウドスピーカ乙の振動部に
一端を固着した駆動軸７によって矢印ｌで示したＸ方向
に振動するようになっている。またＹ方向の低速走査は
、ラウドスピーカ６が取り付けられている可動ステージ
’ｌ’ｔｓ直流モータ１０によりブーＩＪ ／／および
回転−直線運動変換機構１２を介して、前ｋｉＸ方向に
直交する矢印１３で示したＹ方向に駆動させることによ
り、ラウドスピーカ、＜′ｆｒＹ方向に移動させて行な
っている。
り、この試料保持枠ＳＵ、ラウドスピーカ乙の振動部に
一端を固着した駆動軸７によって矢印ｌで示したＸ方向
に振動するようになっている。またＹ方向の低速走査は
、ラウドスピーカ６が取り付けられている可動ステージ
’ｌ’ｔｓ直流モータ１０によりブーＩＪ ／／および
回転−直線運動変換機構１２を介して、前ｋｉＸ方向に
直交する矢印１３で示したＹ方向に駆動させることによ
り、ラウドスピーカ、＜′ｆｒＹ方向に移動させて行な
っている。
すなわち、上記の従来装置においては、音響レンズ／ｉ
固定し、試料保持枠ｊによってその音響レンズｌの焦点
面上に保持した試料ｉｆ二次元に移動させ、もって音響
レンズｌから投射される超音波ビームが試料λを二次元
走査するようにしたものであり、そのＸ方向の走査は、
ラウドスピーカ乙によって試料保持枠ｊを高速往復運動
させることにより行い、またＹ方向の走査は、直流モー
タ１０によって試料保持枠ｊとともにラウドスピーカを
低速移動させることにより行なっている。なお、同図に
おいて、１７１は水のカプラー、ｌｓは固定ステージ、
ｌ≦は架台および１７は音響レンズに設け゛られた圧電
トランスデユーサの入出力信号用同軸ケーブルである。
固定し、試料保持枠ｊによってその音響レンズｌの焦点
面上に保持した試料ｉｆ二次元に移動させ、もって音響
レンズｌから投射される超音波ビームが試料λを二次元
走査するようにしたものであり、そのＸ方向の走査は、
ラウドスピーカ乙によって試料保持枠ｊを高速往復運動
させることにより行い、またＹ方向の走査は、直流モー
タ１０によって試料保持枠ｊとともにラウドスピーカを
低速移動させることにより行なっている。なお、同図に
おいて、１７１は水のカプラー、ｌｓは固定ステージ、
ｌ≦は架台および１７は音響レンズに設け゛られた圧電
トランスデユーサの入出力信号用同軸ケーブルである。
上述の如き従来装置の欠点は、観察すべき試料の大きさ
と重量が、試料保持枠ｊの大きさ、駆動軸ｔの２ウドス
ピーカ≦への取付強度およびラウドスピーカｔＫよる駆
動軸のＸ軸方向の駆動幅によって制限されることであり
、また試料も高速の往復運動で変形あるいは振動をおこ
さないものに限定されることである。
と重量が、試料保持枠ｊの大きさ、駆動軸ｔの２ウドス
ピーカ≦への取付強度およびラウドスピーカｔＫよる駆
動軸のＸ軸方向の駆動幅によって制限されることであり
、また試料も高速の往復運動で変形あるいは振動をおこ
さないものに限定されることである。
それらの制限を除くため、第２図に概念的な構成図で示
した走査方法がある。その方法は、集束超音波送受波素
子／ｌ ｔ−前述の従来装置におけるラウドスピーカ乙
と同一機構をもつＸ方向駆動装置ｌ！により、駆動軸Ｘ
を介してＸ方向に高速往復運動させるとともに％Ｙ方向
への移動は、試料２／ヲ保持する試料保持台２２を、図
示を省略した直流モータによって駆動されるリード・ス
クリュー勢により低速運動させて、二次元走査ケするよ
うにした方法である。
した走査方法がある。その方法は、集束超音波送受波素
子／ｌ ｔ−前述の従来装置におけるラウドスピーカ乙
と同一機構をもつＸ方向駆動装置ｌ！により、駆動軸Ｘ
を介してＸ方向に高速往復運動させるとともに％Ｙ方向
への移動は、試料２／ヲ保持する試料保持台２２を、図
示を省略した直流モータによって駆動されるリード・ス
クリュー勢により低速運動させて、二次元走査ケするよ
うにした方法である。
しかし、この方法ではＸ方向駆動装置ｌｔ内のラウドス
ピーカの振動部に取り付けた駆動軸〃の先端に、集束超
音波送受波素子ｎを固定した構成となっているので、そ
の構造上あるいは走ｆ＃装置としての大きさ等から、前
記駆動軸〃の長さに制限がある。それがため、Ｘ方向の
大きさがその駆動軸〃の長さを超えるような、・広い面
積をもつ試料では、Ｘ方向駆動装置／９が邪魔になり、
その駆動軸〃の先端に固定した集束超音波送受波素子が
とどく範囲の周辺部しか観察し得ない難点がある。
ピーカの振動部に取り付けた駆動軸〃の先端に、集束超
音波送受波素子ｎを固定した構成となっているので、そ
の構造上あるいは走ｆ＃装置としての大きさ等から、前
記駆動軸〃の長さに制限がある。それがため、Ｘ方向の
大きさがその駆動軸〃の長さを超えるような、・広い面
積をもつ試料では、Ｘ方向駆動装置／９が邪魔になり、
その駆動軸〃の先端に固定した集束超音波送受波素子が
とどく範囲の周辺部しか観察し得ない難点がある。
！た、第１図に示した従来装置および＋ｊｇ−図に概略
的構成を示した装置の何れも、Ｘ方向駆動装置としてラ
ウドスピーカを用いている関係上、Ｘ軸駆動の振幅を大
きくとることが困難であるばかりでなく、形状が大きく
、重量も貞くなり、こｒＬが超音波顕微鏡の小形、軽量
化を阻害する大きな要因となっている。
的構成を示した装置の何れも、Ｘ方向駆動装置としてラ
ウドスピーカを用いている関係上、Ｘ軸駆動の振幅を大
きくとることが困難であるばかりでなく、形状が大きく
、重量も貞くなり、こｒＬが超音波顕微鏡の小形、軽量
化を阻害する大きな要因となっている。
本発明の目的は、上述の如き従来装置における欠点・；
を解決し、小形、軽量化可能なＸ軸方向の高速走査のた
めの走査装置を提供しようとするものである。
を解決し、小形、軽量化可能なＸ軸方向の高速走査のた
めの走査装置を提供しようとするものである。
すなわち、本発明の超音波顕微鏡の走査装置は、Ｘ方向
を高速走査方向、それに直交するＹ方向を低速走査方向
とする超音波顕微鏡の走査装置において、集束超音波送
受波素子を保持するホルダ？、前記Ｘ、Ｙ両方向に直交
する２方向にのみ変位可能に保持した保持体によって、
Ｘｚ平面内でほぼ円弧状に往復運動が可能であると共に
前記保持体とは反対側へ超音波を放射するように支持す
る１ｍ１ｌｌ成ｔｌ集束超音波送受波素子保持機構と、
前記ホルダを高速走査信号によって前記Ｘ方向に往復駆
動するように構成した第１の駆動手段と、そのホルダの
Ｘ方向への移動に伴なう前記２方向への移動量を検出し
うるように配置し九移動蓋検出手段と、その移動量検出
手段からの検出信号に応じて前記保持体を前記２方向に
変位させる第２の駆動手段とからなり、その第２の駆動
手段により前記ホルダのＸ方向への移動に伴なう２方向
の移動を補正するように構成したことを特徴とするもの
である。
を高速走査方向、それに直交するＹ方向を低速走査方向
とする超音波顕微鏡の走査装置において、集束超音波送
受波素子を保持するホルダ？、前記Ｘ、Ｙ両方向に直交
する２方向にのみ変位可能に保持した保持体によって、
Ｘｚ平面内でほぼ円弧状に往復運動が可能であると共に
前記保持体とは反対側へ超音波を放射するように支持す
る１ｍ１ｌｌ成ｔｌ集束超音波送受波素子保持機構と、
前記ホルダを高速走査信号によって前記Ｘ方向に往復駆
動するように構成した第１の駆動手段と、そのホルダの
Ｘ方向への移動に伴なう前記２方向への移動量を検出し
うるように配置し九移動蓋検出手段と、その移動量検出
手段からの検出信号に応じて前記保持体を前記２方向に
変位させる第２の駆動手段とからなり、その第２の駆動
手段により前記ホルダのＸ方向への移動に伴なう２方向
の移動を補正するように構成したことを特徴とするもの
である。
以下図面全参照して本発明を説明する。
第３図ムは、本発明の一実施例の構成の一例について、
２方向移動量検出手段を省略して示した斜視図であり、
同図Ｂはそのａ−ａ’線から眺めた側面図である。
２方向移動量検出手段を省略して示した斜視図であり、
同図Ｂはそのａ−ａ’線から眺めた側面図である。
これら両図において、２３ニ焦束超音波送受波素子で、
２４ｔはその集束超音波送受波素子ＪＪを超音波投射方
向が下方となるよう保持するボルダである。
２４ｔはその集束超音波送受波素子ＪＪを超音波投射方
向が下方となるよう保持するボルダである。
Ｂは、たとえば、一対の板ばねス、ム′によって、２方
向にのみ変位可能なように保持した保持体であり、前記
のホルダ２ダけ、その保持体３に一端が支承された一対
の弾性部材、たとえば板ばね〃。
向にのみ変位可能なように保持した保持体であり、前記
のホルダ２ダけ、その保持体３に一端が支承された一対
の弾性部材、たとえば板ばね〃。
ｌ′によって保持体Ｂの下方にＸ方向への振動が可能な
ように支持されている。なお、前記保持体２Ｊ’６保持
する一対の板ばね２６．Ｍ’の他端は、容器等に固定し
である。従って、その保持体ＢＶｉ、その板げねフ、フ
′ の弾性の一方向性によって２方向にのみ変位が許
容され、またボルダ２グも同僚に板ばねｎ 、 ２７’
の保持体Ｂへの固着部を支点にしてＸｚ平面内でＸ方向
への振動のみが許容さｎることとなる。
ように支持されている。なお、前記保持体２Ｊ’６保持
する一対の板ばね２６．Ｍ’の他端は、容器等に固定し
である。従って、その保持体ＢＶｉ、その板げねフ、フ
′ の弾性の一方向性によって２方向にのみ変位が許
容され、またボルダ２グも同僚に板ばねｎ 、 ２７’
の保持体Ｂへの固着部を支点にしてＸｚ平面内でＸ方向
への振動のみが許容さｎることとなる。
以上のように構成した集束超音波送受波素子保持機構の
前記ホルダ２＃を、コイル３に供給される高速走査信号
により励磁される電磁石鉄心〃の磁極〃、ｘ′関に介挿
するとともに１ホルダ３の振動可能方向両側面には、磁
石３／ 、 ３／ ’を前記電磁石鉄心Ｉの磁極〃、ｊ
／′に対し同極が対向するように固着することＫよって
、そのホルダ２ヂを可動部として直接電磁駆動する第１
（Ｄ駆動手段を構成しており、これによりホルダ２グに
保持された集束超音波送受波素子は、そのホルダ２ダに
固着した磁石１／ 、 Ｊ／ ’と、コイルＩＶｃｆｌ
ｌれる高速走査電流により極性が変化する磁極ＪＯ，Ｘ
）’との吸反撥力により、Ｘ走査方向の走査周期で高速
往復運動することとなる。
前記ホルダ２＃を、コイル３に供給される高速走査信号
により励磁される電磁石鉄心〃の磁極〃、ｘ′関に介挿
するとともに１ホルダ３の振動可能方向両側面には、磁
石３／ 、 ３／ ’を前記電磁石鉄心Ｉの磁極〃、ｊ
／′に対し同極が対向するように固着することＫよって
、そのホルダ２ヂを可動部として直接電磁駆動する第１
（Ｄ駆動手段を構成しており、これによりホルダ２グに
保持された集束超音波送受波素子は、そのホルダ２ダに
固着した磁石１／ 、 Ｊ／ ’と、コイルＩＶｃｆｌ
ｌれる高速走査電流により極性が変化する磁極ＪＯ，Ｘ
）’との吸反撥力により、Ｘ走査方向の走査周期で高速
往復運動することとなる。
一方、前記ホルダ２ダのＸ方向への振動に伴なう２方向
への移動を補正でするための第２の駆動手段は、一端を
前記保持体Ｂの上方に固定し九可動コイル３２と、セン
シーポール３３ヲその可動コイルＪＪＫ挿通するように
配置したセンタポール形磁石３ダとからなり１．そのセ
ンタポール形磁石３チノ磁束と前記可動コイル３２の電
流によって生ずる動電力により、前記保持体２方向に移
動きせるよう桝成しである。
への移動を補正でするための第２の駆動手段は、一端を
前記保持体Ｂの上方に固定し九可動コイル３２と、セン
シーポール３３ヲその可動コイルＪＪＫ挿通するように
配置したセンタポール形磁石３ダとからなり１．そのセ
ンタポール形磁石３チノ磁束と前記可動コイル３２の電
流によって生ずる動電力により、前記保持体２方向に移
動きせるよう桝成しである。
すなわち、超音波送受波素子２？ヲホルダ２４１に保持
して前記第１の駆動手段によりＸ方向へ振動させただけ
では超音波の焦束点（焦点）＃′ｉ円弧を描き、直線運
動をしないので、その焦束点のＸ方向への振動に伴なう
２方向の移動を補正する必要があり、前記第２の駆動手
段によってこれを補正するようにしている。
して前記第１の駆動手段によりＸ方向へ振動させただけ
では超音波の焦束点（焦点）＃′ｉ円弧を描き、直線運
動をしないので、その焦束点のＸ方向への振動に伴なう
２方向の移動を補正する必要があり、前記第２の駆動手
段によってこれを補正するようにしている。
第４図は、その移動を説明するだめの説明図であって、
同図ムに板ばねＥ 、 ２７’が傾いていない場合を、
同図Ｂに板ばね２７１２７’が角度θだけ傾いた場合を
それぞれ示す。
同図ムに板ばねＥ 、 ２７’が傾いていない場合を、
同図Ｂに板ばね２７１２７’が角度θだけ傾いた場合を
それぞれ示す。
同図ムのように板ばねｚｙ、２７’が傾いていないとき
のホルダ２ダに保持された集束超音波送受波素子刀の焦
点Ｆａの２方向の位ｗ ＺＦａとし、また前記第１の駆
動手段によってホルダ２０がＸ方向に振動して、同図Ｂ
に示したように板ばねｐａ２７’が２方向に対し角度０
だけ傾いた状態における焦束超音波送受波素子ｎの焦点
ｙｂの２方向の位置をｚｙｂとすれば、ｚＦａ Ｆｉｚ
Ｆｂに比べて、図示のように距離ｄだけ２方向に移動す
る。その距離ｄｔ板ばね１．１′の長さ！とその傾きθ
で表わすと、（１＝（１−００８０）！ ・・−・
・（１）となる。また、板ばねｌ、２７が角度θだけ傾
いたときの集束超音波送受波素子ｎの焦点ＦｂのＸ方向
への移動量をＸとすれば、それに伴なう焦点Ｆｂのとな
る。
のホルダ２ダに保持された集束超音波送受波素子刀の焦
点Ｆａの２方向の位ｗ ＺＦａとし、また前記第１の駆
動手段によってホルダ２０がＸ方向に振動して、同図Ｂ
に示したように板ばねｐａ２７’が２方向に対し角度０
だけ傾いた状態における焦束超音波送受波素子ｎの焦点
ｙｂの２方向の位置をｚｙｂとすれば、ｚＦａ Ｆｉｚ
Ｆｂに比べて、図示のように距離ｄだけ２方向に移動す
る。その距離ｄｔ板ばね１．１′の長さ！とその傾きθ
で表わすと、（１＝（１−００８０）！ ・・−・
・（１）となる。また、板ばねｌ、２７が角度θだけ傾
いたときの集束超音波送受波素子ｎの焦点ＦｂのＸ方向
への移動量をＸとすれば、それに伴なう焦点Ｆｂのとな
る。
超音波顕微鏡において、試料を集束超音波送受波素子ｎ
により走査するに際しては、集束超音波送受波素子ｎの
′焦点Ｆａの２方向への移動は、解像度低下の原因とも
なるので、この移動を皆無にすることが望ましい。そこ
で本発明においては、集束超音波送受波素子刀を含むホ
ルダＳ１そのホルダ２＃金上方から支持する板ばね１，
１′その板ばねｎ、ＪＩ’ｆその他端部で下方に保持す
る。保持体Ｂおよびその保持体を２方向にのみ変位可能
に保持する板ばねム、ム′よりなる集束超音波送受波素
子保持機構の全体を、その保持体Ｂに可動コイル３２を
固定して動電力によ妙駆動するように構成した前述の第
一の駆動手段によ抄、集束超音波送受波素子Ｂｏｘ方向
への移動よって生ずる２方向の移動量ｄが補正されるよ
うに、その移動ｌｄに応じ２方向に上下させる構成とな
っている。
により走査するに際しては、集束超音波送受波素子ｎの
′焦点Ｆａの２方向への移動は、解像度低下の原因とも
なるので、この移動を皆無にすることが望ましい。そこ
で本発明においては、集束超音波送受波素子刀を含むホ
ルダＳ１そのホルダ２＃金上方から支持する板ばね１，
１′その板ばねｎ、ＪＩ’ｆその他端部で下方に保持す
る。保持体Ｂおよびその保持体を２方向にのみ変位可能
に保持する板ばねム、ム′よりなる集束超音波送受波素
子保持機構の全体を、その保持体Ｂに可動コイル３２を
固定して動電力によ妙駆動するように構成した前述の第
一の駆動手段によ抄、集束超音波送受波素子Ｂｏｘ方向
への移動よって生ずる２方向の移動量ｄが補正されるよ
うに、その移動ｌｄに応じ２方向に上下させる構成とな
っている。
そのために、本発明は、前記ホルダ２グの２方向への移
動量を検出するための検出手段、たとえば周知のギャッ
プセンサを具えている。
動量を検出するための検出手段、たとえば周知のギャッ
プセンサを具えている。
第３図は、そのギャップセンサの配置例を示したもので
、集束超音波送受波素子を保持するホルダ評の側面に設
けた突起３ｊにはＸ方向変位検出用ギャップセ／す３６
を、またそのホルダ評の上面に＃ｉｚ方向方向変位検出
用ギャップセンサ上れぞれ設けてあ秒、任意の方法で図
示しない容器に固だしたそれぞれの基準板３１ 、 ｊ
９との距ｌｉｌ！を基準にして、その距離の変化に対応
した検出信号が各ギャップセンサ３６およびｎから得ら
れるように配置しである。
、集束超音波送受波素子を保持するホルダ評の側面に設
けた突起３ｊにはＸ方向変位検出用ギャップセ／す３６
を、またそのホルダ評の上面に＃ｉｚ方向方向変位検出
用ギャップセンサ上れぞれ設けてあ秒、任意の方法で図
示しない容器に固だしたそれぞれの基準板３１ 、 ｊ
９との距ｌｉｌ！を基準にして、その距離の変化に対応
した検出信号が各ギャップセンサ３６およびｎから得ら
れるように配置しである。
すなわち、Ｘ方向変位検出用ギャップセ／す３乙によっ
て検出されたホルダ２ダのＸ方向の移動量Ｘに対応して
、前記式（ｇ）で表わされる２方向の移動量ｄを補正す
るように、保持体２５を距離ｄだけおし下げる電流を、
可動コイル３λに流すとともに、２方内変位検出用ギャ
ップセ／すｎからの出力力！、′ホルダ２＃のＸ方向へ
の振動とは無関係に常に一定となるように前記可動コイ
ルＪ２Ｖｃ流す電流を制御すれば、集束超音波送受波素
子ｎのＸ方向への走査は、２方向の移動量が補正されて
直線運動となる。
て検出されたホルダ２ダのＸ方向の移動量Ｘに対応して
、前記式（ｇ）で表わされる２方向の移動量ｄを補正す
るように、保持体２５を距離ｄだけおし下げる電流を、
可動コイル３λに流すとともに、２方内変位検出用ギャ
ップセ／すｎからの出力力！、′ホルダ２＃のＸ方向へ
の振動とは無関係に常に一定となるように前記可動コイ
ルＪ２Ｖｃ流す電流を制御すれば、集束超音波送受波素
子ｎのＸ方向への走査は、２方向の移動量が補正されて
直線運動となる。
なお、前記Ｘ方向および２方向の各ギャップセンサ３６
．１としては、たとえば、渦電流効果を利用して物体の
相対的なギャップに比例し走出力を得るようにし九周知
の非接触変位計を構成するセンナを用いればよい。
．１としては、たとえば、渦電流効果を利用して物体の
相対的なギャップに比例し走出力を得るようにし九周知
の非接触変位計を構成するセンナを用いればよい。
すなわち、この実施例においては、集束超音波送受波素
子ｎのＸ方向への運動に伴なう２方向への移動量を検出
するため検出手段としては、周知の渦電流効果による非
接触変位計を用い、その非接触変位計のギャップセンサ
３１ホルダ２ダに設けた突起ＪｊＫ固定し、ギャップセ
ンサ３６に供給塔れた高周波信号による当該ギャップセ
ンサ３ｔの磁束変化により、そのギャップセンサ３６と
位置固定の基準板３１間の距離に応じて当誼基準板３ｚ
に誘起される渦電流の大きさに応じたギャップセ／す３
６のインダクタンスの変化によシ変調される前記高周波
信号の変調信号を検波することによって、ｓｉｔ記ホル
ダ２参の移動量を検出するように構成して６ｔ）、この
ような原理に基づく非接触変位計は、広く一般に用いら
れているので、その回路構成については図示を省略しで
ある。
子ｎのＸ方向への運動に伴なう２方向への移動量を検出
するため検出手段としては、周知の渦電流効果による非
接触変位計を用い、その非接触変位計のギャップセンサ
３１ホルダ２ダに設けた突起ＪｊＫ固定し、ギャップセ
ンサ３６に供給塔れた高周波信号による当該ギャップセ
ンサ３ｔの磁束変化により、そのギャップセンサ３６と
位置固定の基準板３１間の距離に応じて当誼基準板３ｚ
に誘起される渦電流の大きさに応じたギャップセ／す３
６のインダクタンスの変化によシ変調される前記高周波
信号の変調信号を検波することによって、ｓｉｔ記ホル
ダ２参の移動量を検出するように構成して６ｔ）、この
ような原理に基づく非接触変位計は、広く一般に用いら
れているので、その回路構成については図示を省略しで
ある。
また、本発明の高速走査装置をＸ方向の走査装置に用い
て、二次元走査装置を構成する場合の低速走査、すなわ
ちＹ方向の走査に、従来のものと同様に試料台、もしく
は試料台會固足して本発明装置全体を直流モータにより
Ｙ方向に駆動−すればよい。
て、二次元走査装置を構成する場合の低速走査、すなわ
ちＹ方向の走査に、従来のものと同様に試料台、もしく
は試料台會固足して本発明装置全体を直流モータにより
Ｙ方向に駆動−すればよい。
以上の実施例で明らかなように本発明によれば、集束超
音波送受波素子を上方から支持して、この超音波送受波
素子をＸ方向に高速振動させるように構成しえものであ
るから、従来の走査装置におけるが如！超音波送受波素
子を駆動するための駆動軸が省略できるので、面積の広
い試料でろっても、観察部分が制限されることがないの
みならず、高速の往復運動で変形あるいは振動を生ずる
ために従来の走査装置では観察不能であった大面積の試
料の観察も可能となる等の効果がある。しかもＸ方向の
走査駆動手段にラウドスピーカを用いていないので、従
来のものに比べ走査装置全体を小形化し得て、超音波顕
微値に同時観察用として設けられる光学顕微鏡への取り
付けも容易となる等の利点もある。
音波送受波素子を上方から支持して、この超音波送受波
素子をＸ方向に高速振動させるように構成しえものであ
るから、従来の走査装置におけるが如！超音波送受波素
子を駆動するための駆動軸が省略できるので、面積の広
い試料でろっても、観察部分が制限されることがないの
みならず、高速の往復運動で変形あるいは振動を生ずる
ために従来の走査装置では観察不能であった大面積の試
料の観察も可能となる等の効果がある。しかもＸ方向の
走査駆動手段にラウドスピーカを用いていないので、従
来のものに比べ走査装置全体を小形化し得て、超音波顕
微値に同時観察用として設けられる光学顕微鏡への取り
付けも容易となる等の利点もある。
本発明は上述した実施例にのみ限定されるものではなく
、種々の変形が可能である。たとえば上述した実施例で
はＸ方向駆動手段として電磁駆動手段を用いたが、他の
任意の高速駆動手段を用いることができる。さらに上述
した例では２方向駆動手段をＸ方向の移動に伴なう２方
向のずれの補正にのみ用いるようにし九が、この２方向
駆動手段を利用してたとえば自動焦点を行なわせること
もできる。
、種々の変形が可能である。たとえば上述した実施例で
はＸ方向駆動手段として電磁駆動手段を用いたが、他の
任意の高速駆動手段を用いることができる。さらに上述
した例では２方向駆動手段をＸ方向の移動に伴なう２方
向のずれの補正にのみ用いるようにし九が、この２方向
駆動手段を利用してたとえば自動焦点を行なわせること
もできる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の二次元走査装置の構成例を示す外観斜視
図、第２図は従来の他の二次元走査装置の構成例の概略
を示す斜視図、第３図Ａは本発明装置の実施例の一例を
、Ｘ方向および２方向質位検出用ギャップセンサを省略
して斜視的に示した構成図、第３図Ｂは同図Ａのａ −
ａ’−より眺めた側面図、第グ図は第３図示の実施例に
おける集束超音波送受波素子の２方向への移動の説明図
、第５図はＸ方向およびＹ方向変位検出用ギャップセン
サの配置例を示すホルダ部分の斜視外観図である。 Ｂ・・・集束超音波送受波素子、２４ｔ・・・ホルダ、
Ｂ・・・保持体、” ＃’ｔ ’ ＋ ｎ ＊ ２７
’・・・板ばね、ｄ・・・コイル、ｎ・・・電磁石鉄
心、３０．３θ′・・・磁極、３１．３１′・・・磁石
、３２・・・可動コイル、３３・−・センターボール、
３！Ｉ・・・センタボール型磁石、３Ｓ・・・突起、３
６・・・Ｘ方向変位検出用ギャップセンサ、ｒ・・・２
方向質位検出用ギヤプセンサ、３１ 、３９・・・基準
板。 特許出願人 オリンパス光学工業株式会社第２図 第３図 Ａ 第３図 ３ 第４図 第５図 手続補正書 昭和５７年２ 月 １５日 ４件の表示 昭和５６年 特 許 願第１５２９８４号明の名称 超音波顕微鏡の走査装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （０８７） オリンパス光学工業株式会社１、明細書
第４頁第５行中の「軸８」を「軸７」に訂正する。 ２、図面の第４図の符号１’ｌｊｉ’Ｊを別紙訂正図に
朱書したとおり「２７′」に訂正する。 第４ ト；Ｉ
図、第２図は従来の他の二次元走査装置の構成例の概略
を示す斜視図、第３図Ａは本発明装置の実施例の一例を
、Ｘ方向および２方向質位検出用ギャップセンサを省略
して斜視的に示した構成図、第３図Ｂは同図Ａのａ −
ａ’−より眺めた側面図、第グ図は第３図示の実施例に
おける集束超音波送受波素子の２方向への移動の説明図
、第５図はＸ方向およびＹ方向変位検出用ギャップセン
サの配置例を示すホルダ部分の斜視外観図である。 Ｂ・・・集束超音波送受波素子、２４ｔ・・・ホルダ、
Ｂ・・・保持体、” ＃’ｔ ’ ＋ ｎ ＊ ２７
’・・・板ばね、ｄ・・・コイル、ｎ・・・電磁石鉄
心、３０．３θ′・・・磁極、３１．３１′・・・磁石
、３２・・・可動コイル、３３・−・センターボール、
３！Ｉ・・・センタボール型磁石、３Ｓ・・・突起、３
６・・・Ｘ方向変位検出用ギャップセンサ、ｒ・・・２
方向質位検出用ギヤプセンサ、３１ 、３９・・・基準
板。 特許出願人 オリンパス光学工業株式会社第２図 第３図 Ａ 第３図 ３ 第４図 第５図 手続補正書 昭和５７年２ 月 １５日 ４件の表示 昭和５６年 特 許 願第１５２９８４号明の名称 超音波顕微鏡の走査装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （０８７） オリンパス光学工業株式会社１、明細書
第４頁第５行中の「軸８」を「軸７」に訂正する。 ２、図面の第４図の符号１’ｌｊｉ’Ｊを別紙訂正図に
朱書したとおり「２７′」に訂正する。 第４ ト；Ｉ
Claims (1)
- １、 Ｘ方向を高速走査方向、それに直交するＹ方向
を低速走査方向とする超音波顕微鏡の走査装置において
、集束超音波送受波素子を保持するホルダを、前記Ｘ、
Ｙ方向に直交する２方向にのみ変位可能に保持した保持
体によって、ｘｚ平面内でほぼ円弧状に往復運動が可能
であると共に前記保持体とは反対側へ超音波を投射する
ように支持する集束超音波送受波素子保持機構と、前記
ホルダを高速走査信号によって前記Ｘｚ平面内で往復駆
動するように構成した第１の駆動手段と、そのホルダの
Ｘ方向への移動に伴なう前記２方向への移動量を検出し
つるように配置した移動量検出手段と、その移動量検出
手段からの演出信号に広じて前記保持体を前記２方向に
変位させる第２の駆動手段とからなり、その第一の駆動
手段により前記ホルダのＸ方向への移動に伴なう２方向
の移動を補正するように構成したことｔｌ−特徴とする
超音波顕微鏡の走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56152934A JPS5855751A (ja) | 1981-09-29 | 1981-09-29 | 超音波顕微鏡の走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56152934A JPS5855751A (ja) | 1981-09-29 | 1981-09-29 | 超音波顕微鏡の走査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5855751A true JPS5855751A (ja) | 1983-04-02 |
| JPS6324260B2 JPS6324260B2 (ja) | 1988-05-19 |
Family
ID=15551333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56152934A Granted JPS5855751A (ja) | 1981-09-29 | 1981-09-29 | 超音波顕微鏡の走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5855751A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63274369A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-11 | Tokin Corp | Ｄｃ／ｄｃコンバ−タ |
-
1981
- 1981-09-29 JP JP56152934A patent/JPS5855751A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63274369A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-11 | Tokin Corp | Ｄｃ／ｄｃコンバ−タ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6324260B2 (ja) | 1988-05-19 |
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