JPS585502B2 - Ｘ線管 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はＸ線管に関する。

例えば分析用Ｘ線管は、一般に第１図及び第２図に示す
構造をなしている。

図において、符号１１は円柱状の陽極ターゲット、１２
はその傾斜したターゲツト面、１３は真空外囲器、１４
はベリリウム（Ｂｅ）のような軽金属製のＸ線放射窓、
１５は放射窓をとりつけるフランジ、１６は水冷ノズル
、１７は冷却水の通路を夫々あられす。

ところで、分析用Ｘ線管はその使用目的からＸ線放射窓
としてベリリウムのような原子番号の小さい金属で形成
されるが、近来、元素励起効率を増すためにＸ線発生タ
ーゲツト面と、分析用試料との間隔を狭くし、またＸ線
量の減衰を抑えるためＸ線放射窓の薄肉化が要求されて
きている。

このためこれらの要求によってＸ線放射窓はターゲット
からの輻射熱、伝導熱、及びターゲツト面から発生する
二次電子やフィラメントからの迷走電子などの散乱電子
の衝突などによって高温になってしまいやすい。

このことはまた印加する入力の制限の要因となる。

とくに従来はＸ線放射窓が傾斜したターゲツト面の真正
面に相対向して配置されているため、第３図に示すよう
なターゲツト面からの二次電子放射量の指向性（符号Ａ
）（ターゲットの中心軸に対する垂直平面における特性
。

以下同じ）をもつので放射窓への二次電子の衝突量が多
い。

本発明は以上のような要望に鑑み、また従来構造の諸欠
点を改善しうる構造のＸ線管を提供するものである。

以下図面を参照してその実施例を説明する。

本発明のＸ線管はターゲツト面とＸ線放射窓との位置関
係以外の構造が第１図に示すものと同様なので、その説
明は省略し第４図によって要部の説明を行う。

即ち本発明においては、傾斜したターゲツト面１２に対
して垂直な中心面（線）Ｏ−Ｏ′に対し、所定の角度θ
だけ円周方向にずれた位置にＸ線放射窓１４の中心を配
置しである。

なお電子ビームｅを放出するコイル状フィラメント１８
の長手方向Ｂ−Ｂ′は傾斜ターゲツト面の垂直中心面（
線）Ｏ−Ｏ′に一致した方向をなして配置されている。

角度θは好ましくは３０°〜８５°の範囲である。

角度θが３０°の場合はＸ線強度はθが０°の場合とほ
とんど変らず、二次電子の射突量はθが０°の場合の約
８０％程度に減少する。

またθが８５°の場合はＸ線強度が同様に約７５％、二
次電子射突量は約１０％に減少することが確かめられる
。

以上のような本発明のＸ線管は、Ｘ線放射窓が傾斜した
ターゲツト面に対して垂直な中心面（線）に対し、所定
の角度０円周方向にずらして配設されているため、ター
ゲツト面からの二次電子のＸ線放射窓への射突量が大幅
に減少される。

一方Ｘ線量（強度）は、第５図に示す指向性Ｃ（ターゲ
ットの中心軸に対する垂直面における特性）となるので
、最大値からほんのわずか少ない（弱い）程度であり、
これは放射窓の温度上昇をあまり起さずに入力を増すこ
とができる点で総合的に有利である。

事実、角度θを例えば７５度にすれば、Ｘ線強度は最大
値の約９０％以上に保つことができる。

一方、二次電子射突量はわずか２０％程度にすぎない。

こうして放射窓はあまり温度上昇しないので、安定に動
作する。

また放射窓をターゲツト面に可及的に近接しうるし、さ
らに極く薄い肉厚に形成しうるので、分析用Ｘ線管とし
てとくにすぐれたものを製作できるものである。

以上説明したようにこの発明によれば、実用的価値大な
るＸ線管を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は一般の分析用Ｘ線管の構造を示す要部縦断面図
、第２図は第１図のものの構造を図式的に示す図、第３
図はその二次電子放出特性を示す図、第４図は本発明の
実施例を図式的に示す図、第５図はＸ線放射特性を示す
図である。 １１・・・・・・ターゲット、１２・・・・・・ターゲ
ツト面、１４・・・・・Ｘ線放射窓、Ｏ−Ｏ′・・・・
・・垂直中心面（線）θ・・・・・・角度。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 傾斜したターゲツト面をもつ陽極ターゲットと、上
   記ターゲットのターゲツト面から発するＸ線を放射する
   ためのＸ線放射窓とを具備するＸ線管において、上記Ｘ
   線放射窓はその中心が上記傾斜ターゲツト面の垂直中心
   面から円周方向に角度θが、３０〜８５度の範囲内でず
   れた位置にとりつけられてなることを特徴とするＸ線管
   。