JPS585495A - 液封真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、羽根車を偏心して囲むケーシングを有し、
このケーシングの両端面が羽根車軸のための軸受シール
ドにより閉鎖され、その内置くとも１つの軸受シールド
はガス状媒体吸込、吐出するための分離された吸込口と
吐出口とを有し、この吸込口と吐出口とがそれぞれ前記
の軸受シールドとケーシングとの関に配置された平らな
ボートプレートの吸込ボート及び吐出ボートを介し【作
動液リングにより周囲を液封された羽根車の羽根空間Ｋ
ｌｌ続され、さら忙前記の軸受シールドの吸込口と吐出
口との関に作動液供給管に接続された作動液流路が設け
られ、この作ｌｌｌ液流路は前記ボートプレートの羽根
車軸貫通穴の下部において羽根車ボスの前に設けられた
ボートプレート面上の作動液導溝と通じ、そして作動液
が隙間を封止しながら作動液リングに流入するように構
成されたガス状媒体用液封真空ポンプｋかかわる・液封
真空ポンプの種々の運転条件及び運転方式において、従
来は全く除去で雲ないか部分的にしか軽減できない一連
の欠点が生じている・そこで。

作動液な循環使用して這−している真空ポンプに細いて
は、その作動液１１３１１ｍ路に４１１別の加圧ポンプ
を付設するか、又はこのポンプに代、てケーシングの中
の吸込側に回転する作動液リングに浸したすくい管がね
じ込まれる・後者の場合においては作動液リングに浸し
たすくい管の付近のケーシング部分に侵食が生じること
があり、その侵食により真空ポンプの寿命又は作１ＩＩ
Ｋ悪影響を及ばず。

さらに約６（ｌｎｂｍｒ以下の吸込圧によるあらゆる運
転方式において真空ポンプの効苓を低下させる空隙損失
が生じ、このｇ！空隙損失羽根車の軸方向の遊びを減ら
してもごく僅かしか低減できない。

なぜならば軸方向の遊びが小さ過ぎると運転安全性が低
下するからである・ ボートグレートに作動液吸込用のボート（環流液ポート
）を有する液環流形の真９ポンプにおいては、このボー
トの付近のポードブレージと羽根車ノ部分にかなりの侵
食とキャビテーション又ハそのいずれかが生じ、この被
害はこれらの部品忙高価な材料（二、ケルゲーム鋼）ｔ
−使５ことＫよってのみ場減できる。

比較的高い吸込圧のｌ１ｆｉにおいて運転時にガス状媒
体の１ｉｌＩに場合によっては液体も−ＮＫ送る馴記の
種類の液封真空ポンプにおいては、液体を一諸に送る際
Ｋｆｆｒ！動力が増加しかつ羽根車の運転特性が低下す
る。この低下は羽根車の軸受の摩耗の増加を惹起するこ
とがある。−力増加を低減し正常な運転特性を維持する
ために真空ポンプの手前の吸込管路の中に４１別の＃Ｉ
ｔ分離器が設けられ、たまたま−ＭＫ送られて乗る液体
を真空ポンプの手前でガス状媒体から分離する−この手
段はガスだけを送る場合には効率の低下を来す・この発
明は、特別の場合に必要な高価でかつ故障しゃすい補１
６装置を用いないｔ運転特性な徽善すること、並びＫ１
１ｌｌ運転と吸込側に発生した筐体の同時輸送又はその
いずれかの際に侵＊を訪ぐことを目的とする。

作動液の一部によりボートプレートと羽根車とに生じる
侵食を防止し、また輸送するガスの比較的低い吸込圧の
範囲においてｇ！空隙損失低減して効率の向上を計るＩ
ＩＩＫ上妃翼部分への流入条件を凌善するというこの発
明の目的−は％ＪｌｌＩＩＦポンプ又はすくい管なしの
循環運転において、前記ボートプレートが前記羽根車に
向いたその面上にこ七羽根車のＩ］ｌＦｆ方向に関して
前記吸込ボートの後側でかつ前記軸貫通穴の下に少くと
も１つの液流大溝を有し、この液流大溝が前記作動液導
溝と接続されかつ前記羽根車ボスの範囲を経て前記羽根
空間の範囲まで延びていることと、この真空ポンプの下
部に液タンクが、又は前記の軸受シールドの吐出口の後
に気液分離器が設ゆられている場合にはこの気液分離器
が、直＊＊記ポーＦグレートの作勤液流路への作動液供
給管と接続されていることとｋより達成される。

吸込圧が比較的高い場合のポンプ運転において作動液を
−ＮＦｋ送る場合に１吸込管路に前置分離器を設けるこ
となく運転特性を改善して動力を低減し、また作−液を
一諸に送らない場合には効率を改善するというこの発明
の目的は、餉記ポートプレートが吐出ポートの上方にそ
の輪郭ＫＩＩ＊してこの吐出ポートとは分離された少く
とも１つの作動液リング用負荷軽減ポートを追加して備
えていることｋより達成される。

この発明にもとづ伊改良された液封真空ポンプ用ポート
プレートの１実施例を、つぎに！１ｌｌｉｌｋもとづ會
詳＃ｌＫ説明する・ 第１ｇは吸込口と吐出口とを備えた軸受シールド側から
見たポートプレートの平面図、第２図は羽根車側から見
たポートグレートの平面図である。

ここで考慮の対象５となつている液封真空ポンプに細い
ては、ボスの周１１ＫＩｉ１棟を配置した図示されてい
ない羽根車が同様Ｋｌｌ示されていないケージツクの中
に偏心して配量されている。羽根車軸はケーシングを例
えば両側から覆っている平らな２つのポートプレート１
０軸貫通穴４を貫通しており、これらポートプレートは
羽根車軸のための図示されていない２つの軸受シールド
によって外側を覆われており、これら軸受シールドは今
説明している複流形ポンプの場合には輸送すぺ會謀体に
対する分離された吸込口と吐出口とをそれぞれ有してい
る。この吸込口と吐出口とはポートブレー）１の吸込ポ
ート２及び吐出ポート３を経て一ケーシンダの内部で羽
根車と共に１転している作動液リングにより周囲を閉鎖
された羽根９間Ｋｍｌ続されている・各軸受シールドに
は吸込口と吐出口との関にそれぞれ作動液流路５が設け
られ、この作動液流路はポンプの外にある作動液供給管
に接続されまたポートプレート１の作動液導溝６にも接
続されている。

作動液導溝６はポートプレートのＩＡ画面上軸貫通穴４
を取１むリング状溝として影成され、この導溝の外周に
は！Ａ画面上設けられた液流大溝７が開口している。液
流大溝７は隙間を封止する作動液を回転する作動液リン
グの方向に作動液リングの中に渦流を生じることなく送
り込む。この場合、液流大溝７は羽根車の回転方向に関
して吸込ポート２の後でかつ軸貫通穴４の下向に吸込ポ
ート２と吐出ポート３との間にある中心線に平行にフラ
イス加工溝として設けられている。場合によっては複数
のｇ流入溝を設けることもできろ・多くの場合液封真空
ポンプの各軸受シールドの吐出口は１つの気液分離器に
結合され、この気液分離器は図示されていない配管を介
して作動液流路５に！Ｉ続されており、既知の例のよう
に作動液循環帰路には接続されていない・ これに反して気液分離器が設けられていない場合には、
ポンプの下部の液タンクが作動液流路ＳＫ接続される。

かかる液封真をポンプを用いれば約Ｓｏｍｂｅｒ以下の
低い吸込圧の場合に侵食を生じやすいすくい管や特別の
加圧ポンプを用いない循環運転において、空隙損失の低
減と改善された効率のもとに比較的大傘い吸込容積流量
を輸送することができ。

その場合外部の作動液１路が簡単となる。さらに、さも
ないとボートグレートのｌｌＩ＃ｌｌ液ボートの４’ｔ
ｆｌｋ生じる侵食は１作動液吸込管路がなくしたがうて
環流液ポートがないために１全く発生しえない。

約１８０ｍｂａｒ以上の比較的高い吸込圧の範囲で作動
する真空ポンプにおいてはポードブレージ１に付加的な
負荷薯滅ポー）８を設けることｋより。

液を−ＮＦＫ送らない場合には効率の改善が、また液を
−ＮＦＫ送る場合には運転特性の改善と所ＷＩＩ力の低
減とが達成できる。

負荷軽減ポート８は吐出ポート３の上方にそれと分離し
かつその輪郭Ｋｌｌ近して吐出ポートの上方の円孔とし
て設けられ、液を一諸に送る場合には回転する作１１ン
ダにより覆われる・

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明にもとづき改良された液鉗真！ポング用
ポートグレートの１実施例を示し％第１図は吸込口と吐
出口とを備えた軸受シールド側から見たポートプレート
の千ｗｗ、ｓｇｚｓは羽根車備から見たポートグレート
の平藺園である・図ｗにおいて、１はボーシブレート、
２は吸込ポーＦ、３は吐出ボート、４は軸貫過大％５は
作動液流路、６は作動液導溝、７は液流大溝、８は負荷
帳滅ポート、である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）羽根車を偏ｊＣＪシて圃むケーシングを有し、との
   ケーシングの両端面が羽根車軸のための軸受シールドに
   より閉鎖され、その内置くとも１つの軸受シールドはガ
   ス状媒体を吸入、吐出するための分離された吸込口と吐
   出口とを有し、この吸込口と吐出口とがそれぞれ前記の
   軸受シールドとケーシングとの間に配置された平らなポ
   ートプレートの吸込ポート及び吐出ポートを介して作動
   液リンダにより周囲を液封された羽根車の羽根！２ＭＫ
   ＊続され、さもＫｍ記の軸受シールドの吸込口と吐出口
   との陶Ｋｆ’１ｉＩＩ液供給管に接続された作動液流路
   が設けられ、この作動液流路は前記ポートプレー）の羽
   根車軸貫過大の下部において羽根車゛′ボスの前Ｋｉｔ
   ！けられたポートプレート面上の作動液導溝と通じ、そ
   して作動液が隙間を封止しながら作ｌＩｌ液リングに＃
   １人するように構成されたガス状媒体用液鉗真空ポンプ
   において、前記ポーシブレートが前記羽根車に向いたそ
   の面上にこの羽根車の回転方向く関して前記教込ポート
   の後側でかつ曽記軸賞過穴の下に少（とも１つの液流大
   溝を有し。 この液流大溝が前記作動液導溝と接続されかつ前記羽根
   車ボスの範囲を経て前記羽ＩＮ！間の範＠まで鴬びてい
   ることと、この真空ポンプの下部の液タンクが、又は前
   記の軸受シールドの吐出口の後ＫＩＬｌ［分離器が設げ
   られている場合にはこの気液分離器が、直ＩＩ帥記ボー
   トプレートの作動液流路への作動液供給管と接続されて
   いることとを特徴とする液封真空ポンプ・ ２、特許請求の範囲第１項に記載のポンプＫｍいて、た
   だ１つの前記液流大溝が吸込ポートと吐出ボードとの間
   にある前記ポートプレートの中心纏に平行して配置され
   かつフライス加工溝として構成されていること１−＊徽
   とするＩＩＩ剤真空ポング・３）特許請求の範Ｉ！１１
   １１項叉はｌＩ雪項Ｋｆｆｉ截のポンプにおいて１選択
   的Ｖｃｌ１体を一請に送り出す用途に対して、前記ポー
   トプレートが吐出ポートの上方にその輪郭に隣１１して
   この吐出ポートと線分離された少くとも１つの作動液リ
   ング用負荷軽減ボートを追加して備えていることを特徴
   とする液封真空ポンプ。 ４）特許請求の範囲兜３項に記載のポンプにおいて、前
   記負荷軽減ボートが吐出ボート端部の上方に円孔として
   設けられていることを特徴とする液封真空ポンプ・