JPS5854520B2 - Printed board manufacturing method - Google Patents

Printed board manufacturing method

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JPS5854520B2
JPS5854520B2 JP53086807A JP8680778A JPS5854520B2 JP S5854520 B2 JPS5854520 B2 JP S5854520B2 JP 53086807 A JP53086807 A JP 53086807A JP 8680778 A JP8680778 A JP 8680778A JP S5854520 B2 JPS5854520 B2 JP S5854520B2
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JP
Japan
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resist
pattern
layer
forming
ground
Prior art date
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JP53086807A
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Japanese (ja)
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JPS5513936A (en
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孝義 井村
綾子 宮原
清隆 宮川
清 高木
啓治 黒沢
久三 三ツ井
光男 山下
憲二 山本
晴男 川俣
勇吉 竹田
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Publication of JPS5854520B2 publication Critical patent/JPS5854520B2/en
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  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はプリント板に関し、特に信号パターン間のクロ
ストークを減少させるように改良した多層プリント板に
関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to printed boards, and more particularly to multilayer printed boards improved to reduce crosstalk between signal patterns.

近年、トランジスタ、ICその他の電子部品の小型化に
伴ないプリント板の配線が高密度化し信号パターン同志
が近接して配置されている。
In recent years, with the miniaturization of transistors, ICs, and other electronic components, the wiring density of printed circuit boards has become higher and signal patterns are arranged closer to each other.

このため近接して平行に配設された信号パターン間にお
いて、一方の信号パターンの電気信号が隣の信号パター
ンに混入して信号を防害したりあるいはノイズを発生す
る等、いわゆるクロストーク現象が起る。
Therefore, between signal patterns arranged in parallel in close proximity, the so-called crosstalk phenomenon occurs, such as when the electrical signal of one signal pattern mixes with the adjacent signal pattern, preventing the signal from harming the signal or generating noise. Ru.

このようなりロストークを防止するために配線ハターン
形成平面上において各信号パターン間にアースパターン
を配設し各信号パターン同志を隔離したプリント板は既
に本出願人により提案されている。
In order to prevent such losstalk, the present applicant has already proposed a printed board in which a ground pattern is provided between each signal pattern on the wiring pattern forming plane to isolate each signal pattern from each other.

しかしながらこのようなプリント板においても完全なり
ロストーク消滅はできず、またプリント板を多層化した
場合の各層の信号パターン同志間でのクロストークを完
全に解消することはできない。
However, even in such a printed board, crosstalk cannot be completely eliminated, and when a printed board is multilayered, crosstalk between signal patterns on each layer cannot be completely eliminated.

本発明は上記の点に鑑みなされたものであって、アース
パターンおよび信号パターンを有するプリント板におい
て、信号パターンの断面周囲近傍の一部又は全部を絶縁
層を介してアースパターンで囲み、以ってクロストーク
の発生を減少させたプリント板の製造方法を提供するこ
とである。
The present invention has been made in view of the above points, and includes a printed board having a ground pattern and a signal pattern, in which part or all of the vicinity of the cross section of the signal pattern is surrounded by the ground pattern via an insulating layer. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a printed circuit board in which the occurrence of crosstalk is reduced.

以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は本発明に係るプリント板の第1実施例の俗製造
過程における断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a first embodiment of a printed board according to the present invention in a general manufacturing process.

まず絶縁性の基板10両面にアース用銅膜2を形成する
(A図)。
First, a grounding copper film 2 is formed on both sides of an insulating substrate 10 (Figure A).

これは市販の両面銅張板を用いてもよい。以下この基板
1の両面に同一の製造過程でプリント板が形成されるた
め基板1の上側についてのみ説明する。
A commercially available double-sided copper clad board may be used for this purpose. Since printed boards are formed on both sides of the substrate 1 in the same manufacturing process, only the upper side of the substrate 1 will be described below.

銅膜2の上側にアースパターン形成用溝孔4を残して感
光性非媒樹脂、即ち無電解メッキ可能レジスト3を塗布
する(B図)。
A photosensitive non-medium resin, that is, a resist 3 capable of electroless plating is coated on the upper side of the copper film 2, leaving grooves 4 for forming an earth pattern (Figure B).

この場合通常のレジスト塗布作業工程に従って、まず全
体にレジストを塗布し続いてパターンフィルムで覆い感
光、焼付け、現像により上記溝孔4を形成する。
In this case, according to the usual resist coating work process, resist is first applied to the entire surface, and then the groove hole 4 is formed by covering with a pattern film, exposing it to light, baking it, and developing it.

次に上記溝孔4に電解メッキにより銅のアースパターン
2/を上記レジスト3の厚さまで成長させる(0図)。
Next, a copper ground pattern 2/ is grown in the groove hole 4 by electrolytic plating to the thickness of the resist 3 (FIG. 0).

次にこの上に感光性非触媒樹脂、即ち無電解メツキネ能
レジスト5を塗布し両アースパターン21 の上にアー
スパターン形成用溝孔6を設け、またこの2つの溝孔6
,6の中間に信号パターン形成用溝孔6′ を設ける(
D図)。
Next, a photosensitive non-catalytic resin, that is, an electroless adhesive resist 5 is applied thereon, and a ground pattern forming groove 6 is provided on both ground patterns 21.
, 6 is provided with a signal pattern forming groove 6' (
Figure D).

次に上記溝孔6および67 K無電解メッキにより無電
解メツキネ能レジスト5の厚さまで銅を成長させる。
Next, copper is grown to the thickness of the electroless metal resist 5 by electroless plating in the grooves 6 and 67.

このとき信号パターン形成用溝孔6′の底部は無電解メ
ッキ可能レジスト3であるためメッキ形成は可能である
At this time, since the bottom of the signal pattern forming slot 6' is the resist 3 which can be plated electrolessly, plating is possible.

このようにしてE図に示すように信号パターン2/lお
よび銅膜2に導通するアースパターン2/が形成される
In this way, a ground pattern 2/ that is electrically connected to the signal pattern 2/l and the copper film 2 is formed as shown in Figure E.

次KB図に示した工程と同様にしてアースパターン2′
の位置ニ溝孔7を残して無電解メッキ可能レジスト3を
塗布する(F図)。
The ground pattern 2' is similar to the process shown in the next KB diagram.
Electroless plating resist 3 is applied leaving groove holes 7 at the positions (FIG. F).

続いて電解メッキにより溝孔7にアースパターン2′ヲ
形成する(G図)。
Subsequently, a ground pattern 2' is formed in the groove hole 7 by electrolytic plating (Figure G).

続いて無電解メッキにより表面上全体に銅膜2″′を形
成する(H図)。
Subsequently, a copper film 2'' is formed on the entire surface by electroless plating (Figure H).

なお、この場合、メッキ作業時間を短縮するため、無電
解メッキにより樹脂上に薄く銅膜が形成された後電解メ
ッキにより銅をメッキ成長させてもよい。
In this case, in order to shorten the plating work time, a thin copper film may be formed on the resin by electroless plating, and then copper may be plated and grown by electrolytic plating.

このことは以下の各実施例において樹脂上に無電解メッ
キを施す場合にも同様である。
This also applies to the case where electroless plating is performed on the resin in each of the following examples.

以上のようにして信号パターン2//の断面周囲を絶縁
材料(この場合は無電解メッキ可能レジスト3、および
無電解メツキネ能レジスト5)を介してアースパターン
2′およびこれに導通するアース用銅膜2,2///V
Cより完全に囲うことができる。
As described above, the periphery of the cross section of the signal pattern 2// is connected to the grounding pattern 2' through the insulating material (in this case, the electroless plating resist 3 and the electroless plating resist 5) and the grounding copper conductive to it. Membrane 2,2///V
It can be surrounded more completely than C.

以上のような工程の繰返しにより製造した多層プリント
板を用いれば各信号パターン間のクロストークは防止さ
れプリント板を用いた装置の信頼性が増加する。
By using a multilayer printed board manufactured by repeating the above steps, crosstalk between signal patterns can be prevented and the reliability of a device using the printed board can be increased.

第2図は本発明に係るプリント板の別の実施例の谷製造
過程の断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of another embodiment of the printed board according to the present invention, showing the valley manufacturing process.

まず基板1上に通常の方法に従って信号パターン15を
形威しこの上に未硬化樹脂16を塗布する(A図)。
First, a signal pattern 15 is formed on the substrate 1 according to a conventional method, and an uncured resin 16 is applied thereon (FIG. A).

次にアルミニウム膜9および銅薄膜8からなるUTC(
Ultra Th1n Copper ) 17の銅薄
膜8を基板1側に向はゴム等の弾性材18を介して上か
ら押圧する(B図)。
Next, the UTC (
The thin copper film 8 of Ultra Thin Copper) 17 is pressed from above toward the substrate 1 through an elastic material 18 such as rubber (Figure B).

このとき真空ラミネート法を用いて圧着部の空気成分を
除去することが望ましい。
At this time, it is desirable to use a vacuum lamination method to remove air components from the crimped portion.

従ってUTC17は信号パターン15の形状に沿って湾
曲して基板1に樹脂16を介して接合される(0図)。
Therefore, the UTC 17 is curved along the shape of the signal pattern 15 and is bonded to the substrate 1 via the resin 16 (FIG. 0).

続いてUTC17のアルミニウム膜9を取り除き、信号
パターン15の上部の必要部分レジスト19を塗布する
(D図)。
Subsequently, the aluminum film 9 of the UTC 17 is removed, and a resist 19 is applied to the necessary portions above the signal pattern 15 (FIG. D).

次にエツチングにより銅薄膜8の不要部を除去する(E
図)。
Next, unnecessary parts of the copper thin film 8 are removed by etching (E
figure).

以上のようにして信号パターン15の断面周囲の一部を
銅薄膜8によるアースパターンで囲うことができる。
As described above, a part of the periphery of the cross section of the signal pattern 15 can be surrounded by the ground pattern made of the copper thin film 8.

第3図は本発明の別の実施例の各工程のプリント板断面
図である。
FIG. 3 is a sectional view of a printed circuit board at each step in another embodiment of the present invention.

基板1の片面に信号パターン21/およびその両側にア
ースパターン2′を形成し、さらにこの基板10反対面
(下側)に上側の両アースパターンの間隔を覆う幅のア
ースパターン2″′を形成する(A図)。
A signal pattern 21/and a ground pattern 2' are formed on one side of the board 1, and a ground pattern 2''' is formed on the opposite side (lower side) of the board 10 with a width that covers the gap between the two upper ground patterns. (Figure A).

この各パターン形成工程は両面銅張板のプリントエツチ
ング等により行なう。
Each of these pattern forming steps is performed by print etching or the like on a double-sided copper clad board.

次に基板1の下側のアースパターン2″′と同様の形状
のアースパターン2″′を形成した別の基板11を未硬
化樹脂16を塗布した基板1と圧着接合する(B図)。
Next, another substrate 11 on which an earth pattern 2'' having the same shape as the earth pattern 2'' on the lower side of the substrate 1 is formed is pressure bonded to the substrate 1 coated with an uncured resin 16 (Figure B).

この別の基板1′上のアースパターン2″′は片面銅張
板のプリントエツチング等によつ形成する。
The ground pattern 2'' on this other substrate 1' is formed by print etching or the like on a single-sided copper clad plate.

このようにして0図に示すように信号パターン2″の断
面周囲を谷アースパターン2′、2″′ により囲うこ
とができる。
In this way, as shown in FIG. 0, the periphery of the cross section of the signal pattern 2'' can be surrounded by the valley ground patterns 2', 2'''.

なお未硬化樹脂16として誘電率の低い樹脂(例えばポ
リブタジェン、フッ化樹脂、ポリエチレA等)を適当に
選択して用いれば伝送速度を速くすることができる。
Note that if a resin with a low dielectric constant (for example, polybutadiene, fluorinated resin, polyethylene A, etc.) is appropriately selected and used as the uncured resin 16, the transmission speed can be increased.

このことは本明細書中に開示した各実施例についても同
様である。
This also applies to each of the embodiments disclosed in this specification.

第4図は本発明の別の実施例のプリント板の各製造過程
を示す断面図である。
FIG. 4 is a sectional view showing each manufacturing process of a printed board according to another embodiment of the present invention.

まずUTC17上に信号パターン21を形成し、これを
溝20を形成した基板1にプリプレグ12を介して積層
する(A図)。
First, a signal pattern 21 is formed on the UTC 17, and this is laminated via the prepreg 12 on the substrate 1 in which the groove 20 is formed (Figure A).

次に溝20内に埋設された信号パターン21を残してU
TC17を除去する(B図)。
Next, leaving the signal pattern 21 buried in the groove 20,
Remove TC17 (Figure B).

次にこの信号パターン21の上面を絶縁性樹脂22(例
えばレジスト)で覆い表面に厚さ1〜2μ程度の無を解
メッキ23を施す(0図)。
Next, the upper surface of this signal pattern 21 is covered with an insulating resin 22 (for example, resist), and a plating layer 23 having a thickness of about 1 to 2 .mu.m is applied to the surface (FIG. 0).

次にアースパターン形成部以外にレジスト24を塗布す
る(D図)。
Next, a resist 24 is applied to areas other than the ground pattern forming area (Figure D).

続いて電解メッキによりアースパターン25を形成し、
レジスト剥離後レジスト下部の銅膜をエツチングにより
除去する(E図)。
Subsequently, a ground pattern 25 is formed by electrolytic plating,
After removing the resist, the copper film under the resist is removed by etching (Figure E).

このようにして信号パターン21の断面周囲の一部を絶
縁性樹脂22を介してアースパターン25で囲うことが
できる。
In this way, a part of the periphery of the cross section of the signal pattern 21 can be surrounded by the ground pattern 25 via the insulating resin 22.

第5図は本発明の別の実施例のプリント板の各製造過程
を示す断面図である。
FIG. 5 is a sectional view showing each manufacturing process of a printed board according to another embodiment of the present invention.

銅薄膜8およびアルミニウム膜9からなるUTC17の
銅薄膜8側にレジスト31を塗布し、非塗布部にメッキ
成長によりアースパターン29を形成する(A図)。
A resist 31 is applied to the copper thin film 8 side of the UTC 17 consisting of the copper thin film 8 and the aluminum film 9, and a ground pattern 29 is formed on the non-coated portion by plating growth (Figure A).

レジスト31を塗布した状態のUTC17をプリプレグ
12を介して信号パターン30を形成した基板1上に積
層する。
The UTC 17 coated with the resist 31 is laminated on the substrate 1 on which the signal pattern 30 is formed via the prepreg 12 .

UTC17と基板1とを圧着接合後UTCのアルミニウ
ム膜9を除去する(0図)。
After the UTC 17 and the substrate 1 are bonded together by pressure bonding, the aluminum film 9 of the UTC is removed (FIG. 0).

以上のようにして信号パターン30の断面周囲の一部を
銅薄膜8およびアースパターン29からなるアース層に
より囲うことができる。
As described above, a part of the periphery of the cross section of the signal pattern 30 can be surrounded by the ground layer made of the copper thin film 8 and the ground pattern 29.

この場合、信号パターン30周囲の絶縁層にはレジスト
が残留しているため誘電率は低下する。
In this case, resist remains in the insulating layer around the signal pattern 30, so the dielectric constant decreases.

第6図は本発明の別の実施例のプリント板の各製造過程
を示す断面図である。
FIG. 6 is a sectional view showing each manufacturing process of a printed board according to another embodiment of the present invention.

この場合は、第5図の実施例と異なる点はUTC17に
アースパターン29を形成後レジストを剥離することで
ありさらにUTC17および信号パターン30を形成し
た基板1とを低誘電率の粉体レジン32を用いて接合す
ることである。
In this case, the difference from the embodiment shown in FIG. 5 is that the resist is peeled off after forming the ground pattern 29 on the UTC 17, and the substrate 1 on which the UTC 17 and the signal pattern 30 are formed is bonded to a powder resin 32 with a low dielectric constant. It is to join using.

第7図は本発明の別の実施例のプリント板の谷製造過程
を示す断面図である。
FIG. 7 is a sectional view showing the process of manufacturing the valleys of a printed board according to another embodiment of the present invention.

まず絶縁性を有し、光又はその他の処理で溶解性または
非溶解性をもつ基板iKレーザ加工等により溝20を形
成する(A図)。
First, a groove 20 is formed on a substrate which has insulating properties and is soluble or non-dissolvable by light or other treatment by iK laser processing or the like (see Fig. A).

次にこの基板10表面に無電解メッキおよび電解メッキ
を施し銅膜2を形成する(B図)次にこの銅膜2を形成
した溝20内に樹脂33を埋め込みその表面全体に無電
解メッキにより銅膜34を形成する(C図)。
Next, electroless plating and electrolytic plating are applied to the surface of this substrate 10 to form a copper film 2 (Figure B). Next, resin 33 is embedded in the groove 20 in which this copper film 2 is formed, and the entire surface is electroless plated. A copper film 34 is formed (Figure C).

この銅膜34上にパターンに従ってレジスト35を塗布
する(D図)。
A resist 35 is applied on this copper film 34 in accordance with a pattern (Figure D).

続いて電解メッキにより溝20内の樹脂33の上部には
信号パターン36/ を、谷溝20の中間部にはアース
パターン36となるべき銅パターン層を形成しレジスト
を除去する(E図)。
Subsequently, a signal pattern 36/ is formed on the upper part of the resin 33 in the groove 20 by electrolytic plating, and a copper pattern layer which is to become the ground pattern 36 is formed in the middle part of the valley groove 20, and the resist is removed (FIG. E).

次にエツチングにより表面全体から無電解メッキによる
銅膜34の厚さ分の銅を除去する(F図)。
Next, copper by the thickness of the copper film 34 formed by electroless plating is removed from the entire surface by etching (FIG. F).

次に表面全体にレジスト37を塗布する(G図)。Next, a resist 37 is applied to the entire surface (Figure G).

次にパターンフィルム(図示しない)を用いて露光、焼
付け、現像してアースパターン36上のレジスト37を
除去し、信号パターン36′はレジスト37内に埋め込
んだままにしておく(H図)。
Next, the resist 37 on the ground pattern 36 is removed by exposing, printing and developing using a pattern film (not shown), leaving the signal pattern 36' buried in the resist 37 (Figure H).

続いて電解メッキによりアースパターン36上に銅を成
長させレジスト3フ0表面位置に達した後さらに無電解
メッキにより表面全体に谷アースパターン36同志を導
通させる銅膜39を形成する(1図)。
Subsequently, copper is grown on the ground pattern 36 by electrolytic plating, and after reaching the resist 3 f0 surface position, a copper film 39 is formed on the entire surface by electroless plating to make the valley ground patterns 36 conductive (Figure 1). .

次に銅膜39の不要部をエツチングにより除去する(5
図)。
Next, unnecessary parts of the copper film 39 are removed by etching (5
figure).

以上のようにして信号パターン36′ の断面周囲を銅
膜2,39およびアースパターン36により完全に囲う
ことができる。
In this manner, the cross section of the signal pattern 36' can be completely surrounded by the copper films 2, 39 and the ground pattern 36.

第8図は本発明の別の実施例のプリント板の谷製造過程
を示す断面図である。
FIG. 8 is a sectional view showing the process of manufacturing the valleys of a printed board according to another embodiment of the present invention.

第1基板1の両面ニ信号パターン40を形成する。Two signal patterns 40 are formed on both sides of the first substrate 1.

第2基板1/および第3基板1″の片板に上記信号パタ
ーン40より幅の広いアースパターン41を各々形成す
る。
A ground pattern 41 wider than the signal pattern 40 is formed on each of the second and third substrates 1/1''.

これらの第11第2、第3基板を各々対応する信号パタ
ーン40およびアースパターン41がプリプレグ12を
介して対面するように配置し上下方向から矢印のような
力を加えて積層する(A図)。
These eleventh second and third substrates are arranged so that the corresponding signal patterns 40 and ground patterns 41 face each other with the prepreg 12 in between, and are laminated by applying force as shown by the arrow from above and below (Figure A). .

従って第2基板1′および第3基板1/′は信号パター
ン40の形状に従って湾曲して第1基板1上に積層され
る(B図)。
Therefore, the second substrate 1' and the third substrate 1/' are stacked on the first substrate 1 while being curved according to the shape of the signal pattern 40 (FIG. B).

このようにして信号パターン40の断面周囲の一部を残
してアースパターン41により囲うことができる。
In this way, a portion of the cross-sectional periphery of the signal pattern 40 can be left and surrounded by the ground pattern 41.

第9図は本発明の別の実施例のプリント板の各製造過程
を示す断面図である。
FIG. 9 is a sectional view showing each manufacturing process of a printed board according to another embodiment of the present invention.

まず銅板42の上面にVシスト43を塗布する(A図)
First, apply V cyst 43 to the top surface of the copper plate 42 (Figure A)
.

次にこの上面をパターンフィルム44で覆い(B図)、
露光、焼付け、現像によりレジスト不要部を除去する(
C図)。
Next, cover this upper surface with a pattern film 44 (Figure B),
Remove unnecessary resist areas by exposure, baking, and development (
Figure C).

次にエツチングにより銅板42に4つの溝45を形成す
る(D図)。
Next, four grooves 45 are formed in the copper plate 42 by etching (Figure D).

次にこの溝45内に樹脂46を埋め込む(E図)。Next, a resin 46 is filled into this groove 45 (Fig. E).

続いて銅板42の下面に対しても同様の過程に従って上
面の溝45と連通ずる溝45′ を形成し同様にして
樹脂46を埋め込む(F図)。
Subsequently, a groove 45' communicating with the groove 45 on the upper surface is formed on the lower surface of the copper plate 42 according to the same process, and a resin 46 is filled in the same manner (FIG. F).

次にこの銅板420両面にVシスト43を塗布しパター
ンフィルム44で覆い(G図)、露光、焼付け、現像後
中央の2つの樹脂部46間の銅板表面をレジスト43で
覆ったまま残りのレジストを除去する(H図)。
Next, V cyst 43 is applied to both sides of this copper plate 420, covered with a pattern film 44 (Figure G), and after exposure, baking, and development, the remaining resist remains while the surface of the copper plate between the two central resin parts 46 is covered with resist 43. (Figure H).

続いて無電解メッキおよび電解メッキにより上下両表口
全体に銅膜47を形成する(1図)。
Subsequently, a copper film 47 is formed over the entire upper and lower surfaces by electroless plating and electrolytic plating (FIG. 1).

次にこの銅膜47上にレジスト43を塗布しパターンフ
ィルム44で覆い(5図)、露光、焼付け、現像により
不要部のレジストを除去する(K図)。
Next, a resist 43 is applied onto this copper film 47 and covered with a pattern film 44 (Figure 5), and unnecessary portions of the resist are removed by exposure, baking, and development (Figure K).

続いてエツチングによりアースパターン47′を形成す
る(L図)。
Subsequently, a ground pattern 47' is formed by etching (Figure L).

このようにして中央の2つの樹脂部46間の銅板を信号
パターン42”としその側対側の銅板部をアースパター
ン42’ とすれば信号パターンはアースパターンに
より絶縁層を介して完全に囲まれることになる。
In this way, if the copper plate between the two resin parts 46 in the center is used as a signal pattern 42'' and the copper plate part on the opposite side is used as a ground pattern 42', the signal pattern is completely surrounded by the ground pattern via the insulating layer. It turns out.

この場合、H図に示した状態、即ち銅板42に4本の樹
脂部を形成し中央2つの樹脂部間の銅板を覆うレジスト
43を塗布した状態の後の工程は第10図に示すような
方法を用いてもよい。
In this case, the process after the state shown in Figure H, that is, the state in which four resin parts are formed on the copper plate 42 and the resist 43 is applied to cover the copper plate between the two central resin parts, is as shown in Figure 10. A method may also be used.

即ち、両表面に無電解メッキにより銅膜41″を形成す
る( I’図)。
That is, a copper film 41'' is formed on both surfaces by electroless plating (Figure I').

次にレジスト43を全面に塗布しパターンフィルム44
/で覆い(J′ 図)アースパターン形成部のレジスト
を除去する(K/ 図)。
Next, a resist 43 is applied to the entire surface and a pattern film 44 is applied.
Cover with / (J' figure) and remove the resist on the ground pattern forming part (K/ figure).

次に、電解メッキによりアースパターン47′ を形
成する(L/図)。
Next, a ground pattern 47' is formed by electrolytic plating (Figure L).

続いてエツチングにより上記17図の工程で行った無電
解メッキによる銅膜47″を除去する(L図)。
Subsequently, the copper film 47'' formed by the electroless plating performed in the process shown in FIG. 17 above is removed by etching (FIG. L).

このようにして第9図(L図)と同じよウニ信号パター
ンをアースパターンで完全に囲うことができる。
In this way, the sea urchin signal pattern can be completely surrounded by the ground pattern as in FIG. 9 (L).

第11図は本発明の別の実施例のプリント板の各製造過
程を示す断面図である。
FIG. 11 is a sectional view showing each manufacturing process of a printed board according to another embodiment of the present invention.

銅板53上にパターンに従ってレジスト54を塗布しエ
ツチングにより溝55を形成する(A図)。
A resist 54 is applied according to a pattern on the copper plate 53, and grooves 55 are formed by etching (FIG. A).

レジスト除去抜溝55内に誘電率の低い未硬化の樹脂5
6、例えばポリブタジェンを充填する(B図)。
An uncured resin 5 with a low dielectric constant is placed in the resist removal groove 55.
6. Fill with polybutadiene, for example (Figure B).

このように形成した銅板53を信号パターン58を形成
した基板5Tと熱圧着により一体化する(C図)。
The copper plate 53 thus formed is integrated with the substrate 5T on which the signal pattern 58 is formed by thermocompression bonding (Figure C).

続いて必要部分にレジスト59を塗布しくD図)、エツ
チングにより不要部分の銅を除去する(E図鬼このよう
にして信号パターン58の断面周囲の約半分を樹脂56
を介してアースパターンとしての銅板53で囲うことが
できる。
Next, apply a resist 59 to the necessary areas (Figure D), and remove unnecessary copper by etching (Figure E) In this way, about half of the cross-sectional periphery of the signal pattern 58 is coated with the resin 56.
It can be surrounded by a copper plate 53 as a ground pattern via the ground pattern.

第12図は本発明の別の実施例のプリント板の各製造過
程を示す断面図である。
FIG. 12 is a sectional view showing each manufacturing process of a printed board according to another embodiment of the present invention.

基板1上に信号パターン48およびアースランド49を
形成する(A図)。
A signal pattern 48 and an earth land 49 are formed on the substrate 1 (Figure A).

これは両面銅張積層板を用いて形成してもよい。This may be formed using a double-sided copper-clad laminate.

レジスト50により各信号パターン48を覆う(B図)
Covering each signal pattern 48 with resist 50 (Figure B)
.

次に厚付は無電解メッキにより表面全体に銅膜52な形
成し必要部にレジスト51を塗布する(0図)。
Next, for thickening, a copper film 52 is formed on the entire surface by electroless plating, and a resist 51 is applied to necessary parts (FIG. 0).

エツチングにより不要な銅膜を除去しレジストを剥離す
る(D図)。
The unnecessary copper film is removed by etching and the resist is peeled off (Figure D).

以上のようにして信号パターン48の断面周囲の約半分
を絶縁層であるレジスト50を介してアースパターンで
ある銅膜52で囲うことができる。
In this way, approximately half of the cross-sectional periphery of the signal pattern 48 can be surrounded by the copper film 52, which is the ground pattern, via the resist 50, which is the insulating layer.

第13図は本発明の別の実施例のプリント板の谷製造過
程を示す断面図である。
FIG. 13 is a sectional view showing the process of manufacturing the valleys of a printed board according to another embodiment of the present invention.

銅張積層板の基板1上に信号パターン61およびアース
ランド60を形成する。
A signal pattern 61 and a ground land 60 are formed on a substrate 1 made of a copper-clad laminate.

次に信号パターン61を誘電率が低い絶縁性の樹脂62
により覆5(B図)。
Next, the signal pattern 61 is made of an insulating resin 62 with a low dielectric constant.
5 (Figure B).

次にアースパターンとする部分にスクリーン印刷ニより
導電性樹脂63をコーティングする(0図)。
Next, a conductive resin 63 is coated on the part to be the ground pattern by screen printing (Figure 0).

以上のようにして信号パターン61の断面周囲をアース
パターンで部分的に囲うことができる。
As described above, the cross section of the signal pattern 61 can be partially surrounded by the ground pattern.

第14図は本発明の別の実施例のプリント板の各製造過
程を示す断面図である。
FIG. 14 is a sectional view showing each manufacturing process of a printed board according to another embodiment of the present invention.

銅張積層板の基板1上に信号パターン64およびアース
ランド65を形成する(A図)。
A signal pattern 64 and a ground land 65 are formed on the copper-clad laminate board 1 (Figure A).

信号パターン64上には無電解メッキ可能レジスト66
を塗布し、アースランド65上には無電解メツキネ能レ
ジスト67を塗布する(B図)。
On the signal pattern 64 is a resist 66 that can be plated electrolessly.
An electroless metal resist 67 is applied on the earth land 65 (Figure B).

無電解銅メッキによりlO〜20μの厚さのアースパタ
ーン68を形成する(0図)。
A ground pattern 68 having a thickness of 10 to 20 μm is formed by electroless copper plating (Figure 0).

アースランド65上の無電解メツキネ能レジストを除去
する(D図)。
The electroless metal resist on the ground land 65 is removed (Figure D).

この後、アースランド65にはスルーホール等を形成す
る。
Thereafter, through holes and the like are formed in the earth land 65.

以上のようにして信号パターン64の断面周囲の一部を
アースパターン68により絶縁性のレジスト66を介し
て囲うことができる。
As described above, a part of the periphery of the cross section of the signal pattern 64 can be surrounded by the ground pattern 68 via the insulating resist 66.

第15図は本発明の別の実施例のプリント板の製造方法
の谷過程を示すプリント板断面図である。
FIG. 15 is a sectional view of a printed board showing a valley process in a method for manufacturing a printed board according to another embodiment of the present invention.

まず信号パターンに対応した位置に沿ってレーザ加工又
は樹脂エツチングあるいは他の機械的方法により基板1
に溝20を形成する(A図)。
First, the substrate 1 is etched by laser processing, resin etching, or other mechanical methods along the positions corresponding to the signal pattern.
A groove 20 is formed in (Figure A).

次に無電解メッキにより上記溝20の内表面を含む基板
10表面にアース層としての銅膜2を形成する(B図)
Next, a copper film 2 as a ground layer is formed on the surface of the substrate 10 including the inner surface of the groove 20 by electroless plating (Figure B).
.

次にUTCIIの銅薄膜8上に形成した信号パターン8
/が基板1の溝20と対面するようにUTCIIと基板
1とを配置し両者をプリプレグ(接着シート)12を介
して圧着させる(0図)。
Next, the signal pattern 8 formed on the UTCII copper thin film 8
The UTCII and the substrate 1 are arranged so that / faces the groove 20 of the substrate 1, and the two are pressed together via the prepreg (adhesive sheet) 12 (Figure 0).

次にUTCl 1のアルミニウム膜9をはがしさらに銅
薄膜8をエツチングにより除去し信号パターン8′ の
みを基板1の溝内に残し、続いて樹脂13を介して表面
にアース用銅膜14を形成する(D図)。
Next, the aluminum film 9 of the UTCl 1 is peeled off, and the copper thin film 8 is removed by etching, leaving only the signal pattern 8' in the groove of the substrate 1. Subsequently, a grounding copper film 14 is formed on the surface via the resin 13. (Figure D).

以上のようにして信号パターン8/の断面周囲を一部残
しアースパターンにより囲むことができる。
As described above, the periphery of the cross section of the signal pattern 8/ can be surrounded by the ground pattern, leaving only a portion.

第16図は本発明の別の実施例のプリント板の谷製造過
程を示す断面図である。
FIG. 16 is a sectional view showing the process of manufacturing the valleys of a printed board according to another embodiment of the present invention.

絶縁性基板10表面に銅膜2を形成する(A図)。A copper film 2 is formed on the surface of an insulating substrate 10 (Figure A).

信号パターン対応部周辺を残してレジスト26を塗布す
る(B図)。
A resist 26 is applied leaving the area around the area corresponding to the signal pattern (Figure B).

エツチングによりレジスト非塗布部の銅膜を除去し、さ
らにレジスト26を除去する(C閣。
The copper film in the non-resist coated area is removed by etching, and the resist 26 is further removed (C).

次に樹脂エツチングにより基板1に溝2γを形成する(
D図)。
Next, grooves 2γ are formed in the substrate 1 by resin etching (
Figure D).

次に無電解メッキおよび電解メッキにまり銅膜28を形
成する(E図)。
Next, a copper film 28 is formed by electroless plating and electrolytic plating (Fig. E).

続いて溝27周辺にレジスト26を塗布する。Subsequently, a resist 26 is applied around the groove 27.

次にエツチングにまり銅膜28の不要部を除去しアース
パターン28′ を形成する。
Next, unnecessary portions of the copper film 28 are removed by etching to form a ground pattern 28'.

次にUTCl7上に形成した信号パターン21を溝2γ
に対面させて配置しUTCl7と基板1とをプリプレグ
12を介して積層する(H図)。
Next, the signal pattern 21 formed on the UTCl7 is placed in the groove 2γ.
The UTCl 7 and the substrate 1 are stacked with the prepreg 12 interposed therebetween (Figure H).

UTC17と基板1とを熱圧着接合後、信号パターン2
1のみをアースパターン28′の内側に残してUTCを
除去する(■図)。
After thermocompression bonding of UTC17 and substrate 1, signal pattern 2
UTC is removed leaving only 1 inside the ground pattern 28' (Figure ■).

以上のようにして信号パターン21(7)Fr面周囲の
一部をアースパターン28′ により囲うことができる
As described above, a part of the periphery of the signal pattern 21 (7) Fr surface can be surrounded by the ground pattern 28'.

以上説明したように本発明に係るプリント板においては
信号パターンの断面周囲の全部または一部を囲うように
アースパターンを形成するため各信号パターン間でのク
ロストーク現像は大きく減少し、信号伝達の信頼性が大
きく増加する。
As explained above, in the printed board according to the present invention, the ground pattern is formed so as to surround all or part of the cross section of the signal pattern, so crosstalk development between each signal pattern is greatly reduced, and signal transmission is improved. Reliability is greatly increased.

また各図面に基いて説明した本発明に係るプリント板の
各製造方法を繰り返すことにより、あるいは製造したプ
リント板を複数段に積層することにより多層化し、多層
プリント板として用いればクロストーク現象の解消効果
はさらに犬きく発揮される。
In addition, by repeating each manufacturing method of the printed board according to the present invention explained based on each drawing, or by stacking the manufactured printed board in multiple stages to make it multilayered and used as a multilayer printed board, the crosstalk phenomenon can be eliminated. The effect is even more pronounced.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図ないし第16図は本発明に係るプリント板の各別
の製造方法の各過程を順番に示したプリント板断面図で
ある。 1 、 1’、 1”、 57・・・・・・基板、2
’、25,28’29,36,41,42’、47’、
68・・・・・アースパターン、2”、8’、i5,2
1,30,36’。 40.42”、48,58,61,64・・・・・・信
号パターン、2.2”’、28,34,39,47゜4
7”’、52・・・・・・銅膜、3.66・・・・・・
無電解メッキ可能レジスト、4,6・・・・・・アース
パターン形成用溝孔、5,67・・・・・・無電解メツ
キネ能レジスト、6/・・・・・・信号パターン形成用
溝孔、7・・・・・・溝孔、10.19,24,26,
31,35,37゜43.50,5L 54,59・
・・・・・レジスト、11.17・・・・・・UTC,
12・・・・・・プリプレグ、13.16,22,33
,46,56,62・・・・・・樹脂、63・・・・・
・導電性樹脂。
FIGS. 1 to 16 are printed board cross-sectional views sequentially illustrating each step of each method for manufacturing a printed board according to the present invention. 1, 1', 1'', 57...Substrate, 2
', 25, 28' 29, 36, 41, 42', 47',
68...Earth pattern, 2", 8', i5, 2
1, 30, 36'. 40.42", 48, 58, 61, 64... Signal pattern, 2.2"', 28, 34, 39, 47°4
7”', 52...Copper film, 3.66...
Resist capable of electroless plating, 4, 6... Groove for forming ground pattern, 5, 67... Resist capable of electroless plating, 6/... Groove for forming signal pattern Hole, 7... Slot, 10.19, 24, 26,
31,35,37゜43.50,5L 54,59・
...Register, 11.17...UTC,
12...Prepreg, 13.16,22,33
, 46, 56, 62... Resin, 63...
・Conductive resin.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1(a)基板上にアース金属からなる第1層を形成する
工程: (b) 上記第1層上にレジストを塗布し、このレジ
ストに少くとも2本のアースパターン形成用溝孔を設け
る工程; (c) 上記レジストの溝孔に上記第1層と導通する
アースパターン金属をこのレジスト表面位置までメッキ
成長させて第2層を形成する工程;(d) 上記第2
層上にレジストを塗布し、このレジストニ上記第2層の
両アースパターンに連続するアースパターン形成用溝孔
を設け、さらにこれらの両溝孔の中間部に信号パターン
形成用溝孔を設ける工程; (e) 上記レジストの各溝孔に各パターン金属をこ
のレジスト表面位置までメッキ成長させて第3層を形成
する工程: (f) 上記第3層上にレジストを塗布し、上記第3
層のアースパターンに対応する位置にのみこれに連続す
るアースパターン形成用溝孔を設ける工程; Q 上記第3層上に塗布したレジストの溝孔にアースパ
ターン金属をこのレジスト表面位置までメッキ成長させ
て第4層を形成する工程:(h) 上記第4層の各ア
ースパターンを相互に導通させるためのアース金属から
なる第5層を形成する工程:からなるプリント板の製造
方法。 2(a)金属表面層を有する薄板上にレジストを用いて
該金属表面層と導通するアースパターンメッキを成長さ
せる工程: (b) 上記薄板と別の基板上に信号パターンを形成
する工程; (C)上記アースパターンを形成した薄板のレジストを
除去する工程; (d) 上記レジスト除去後の薄板を絶縁材料を介し
て上記基板上に積層する工程;からなるプリント板の製
造方法。 3(a)銅板の片面に少くとも2本の溝を形成する工程
; (b) 上記溝内に絶縁樹脂を充填する工程;(c)
上記銅板の反対面に上記溝に対応して対応する溝同
志が連通ずるような溝を形成する工程;(d) 上記
反対面に形成した溝内に絶縁樹脂を充填する工程; (e) 上記銅板両表面の両溝間の銅露出向をレジス
トで覆い、両溝間の銅板周囲を絶縁材料により囲う工程
; (f) 上記レジスト塗布後の銅板両面上に上記両溝
の外側の銅板と導通するアース金属層を形成する工程;
からなるプリント板の製造方法。
[Claims] 1 (a) Step of forming a first layer made of earth metal on a substrate: (b) Applying a resist on the first layer, and forming at least two earth patterns on this resist. (c) forming a second layer by plating and growing an earth pattern metal conductive to the first layer in the groove of the resist up to the surface position of the resist; (d) forming a second layer;
a step of applying a resist on the layer, providing ground pattern forming grooves continuous to both ground patterns of the second layer in the resist, and further providing a signal pattern forming groove in an intermediate portion between these two grooves; (e) forming a third layer by plating and growing each pattern metal in each groove of the resist up to the surface position of the resist; (f) applying a resist on the third layer;
Step of providing a continuous ground pattern forming groove only at a position corresponding to the ground pattern of the layer; Q: Plating and growing the ground pattern metal in the groove of the resist coated on the third layer up to the resist surface position. A method for producing a printed board, comprising: (h) forming a fifth layer made of a ground metal for making each of the ground patterns of the fourth layer conductive with each other. 2(a) A step of growing an earth pattern plating conductive to the metal surface layer using a resist on a thin plate having a metal surface layer; (b) A step of forming a signal pattern on a substrate different from the thin plate; ( C) removing the resist from the thin plate on which the earth pattern has been formed; (d) laminating the thin plate from which the resist has been removed on the substrate via an insulating material; 3(a) Forming at least two grooves on one side of the copper plate; (b) Filling the grooves with insulating resin; (c)
Step of forming a groove on the opposite side of the copper plate so that the corresponding grooves communicate with each other; (d) Filling the groove formed on the opposite side with an insulating resin; (e) Step of filling the groove formed on the opposite side with an insulating resin; A step of covering the exposed copper between both grooves on both surfaces of the copper plate with a resist, and surrounding the copper plate between the grooves with an insulating material; (f) After applying the resist, both sides of the copper plate are electrically connected to the copper plate outside the grooves. forming a ground metal layer;
A method for manufacturing a printed board consisting of:
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