JPS58501736A - 単段遠隔中心コンプライアンス装置 - Google Patents
単段遠隔中心コンプライアンス装置Info
- Publication number
- JPS58501736A JPS58501736A JP57503460A JP50346082A JPS58501736A JP S58501736 A JPS58501736 A JP S58501736A JP 57503460 A JP57503460 A JP 57503460A JP 50346082 A JP50346082 A JP 50346082A JP S58501736 A JPS58501736 A JP S58501736A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rcc
- compliance
- elements
- focal point
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
- B23P19/00—Machines for simply fitting together or separating metal parts or objects, or metal and non-metal parts, whether or not involving some deformation; Tools or devices therefor so far as not provided for in other classes
- B23P19/10—Aligning parts to be fitted together
- B23P19/102—Aligning parts to be fitted together using remote centre compliance devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J17/00—Joints
- B25J17/02—Wrist joints
- B25J17/0208—Compliance devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/24—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B5/25—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Springs (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
単段遠隔中心コンプライアンス装置
発明の分野
本発明は、1段だけのコンプライアンス要素で完全な並進及び回転コンプライア
ンスを有する簡単な遠隔中心コンプライアンス(RCC)装置に関する。
発明の背景
従来の遠隔中心コンプライアンス(RCC)装置は可動または可変形要素の2つ
の段または部分を用℃・て、それぞれ独立した並進及び回転コンプライアンス動
作の必要な組合せを作る。米国特許第4,098,001号におけるRCC装置
は2つの段、即ち、中心からの半径に沿って設置されて回転コンプライアンスを
作る要素ケ備える1つの段と、相互に平行に設置されて並進コンプライアンスを
作る要素を備える第2の段とを有する。米国特許第4,155,169号は、2
つの段、即ち、中心からの半径に沿って設置される1セツトの可変形要素を備え
る1つの段と、この第1段に対し全体的に横方向に設置される1セツトの可変形
要素を備える第2段とを有するRCC装置を開示している。それらセットは(・
すれもRCC装置の回転と並進の両方のコンプライアンスを作る。別の同様なR
CC装置では、平行と円錐状の両様に設置される剪断パッドである要素を有する
2つの段が備えられる。いずれの場合もRCC装置は2つの段の他に、2つの焦
点、即ち要素が設置される半径の収束点に位置する1つの焦点と、近接点あるい
は場合によって無限遠点に位置する第2の焦点と乞有する。2段より少ない段数
のRCC装置ケ作る多くの試みがなされてきたが、未知の、または予想できない
性能の環状要素を使用するという提案が精々の所である。
自動組立体のための感知送りの代りのコンプライアンスの使用、サミニル H,
ドレイク、科学論博士、M、I、T、、1977年9月、第164頁−第167
頁参照。
そこで本発明の1つの目的は、改良された、簡単な遠隔中心コンプライアンス(
RCC)装誼乞提供することである。
本発明の他の目的は、1つの段だけで完全な回転及び並進コンプライアンスを備
える改良されたI(CC装置を提供することである。
本発明の更に他の目的は、6個またはそれ以上の個別な可変形要素を用いろ改良
されたRCC装置を提供することである。
本発明は、完全な回転及び庫進コンノライアンスを有する単段遠隔中心コンプラ
イアンス装置を実際に構成することができるということから成立する。
本発明は、完全な並進及び回転コンク0ライアンスを有する1段遠隔中心コンプ
ライアンス装置を特徴とする。この装置には第1と第2の離間した単一体部拐が
備えられ、その一方の部材は支持装置と結合され、そして他方の部椙(゛よ操作
部)材と結合される。該単−の段は、ト(′C装置の軸上・の周りに相互に離間
し且つ1つの焦点からの円錐半径に沿って設@される少なくとも3つの個別な要
素を含み、これら要素によって上記2つの単一体部町か連結される。それら要素
は軸方向の圧縮と横方向の変形が可能であり、これによって、T(CC装置の外
部にあり且つ該焦点から離間したコンプライアンスの遠隔中心周りの回転と並進
の両方のコンプライアンスが作0れろ。好適な実施例においてそれら要素は相互
に同等のものとされ、そして王朝(−装置の軸心周りに等間隔で設置vfε)ね
よう。典型的にはそれら要素は剪断に対してよりも圧縮(・二対してより堅固て
友)る。
コンプライアンスの遠隔中心は該要素の軸ノL・の焦点とRCC装置との間に設
置される。
好適な実施例の開示
その他の目的、特徴、及び長所が、以下に行う好適な実施例の説明と添付の図面
とから明らかになろう。
第1図は、本発明(fこよる1段遠隔中心コンプライアンス装置の第2図の1−
1線に沿った断面図、第2図は、第1図の2−2線に沿った断面平面図、第6図
は、本発明による1段遠隔中七・コンプライアンス装置の変化形構造の第1図と
同様な図面である。
本発明は、1つの段しか無くても完全な並進及O・回転コンク0ライアンスを4
11−る咋段遠隔中)し・コンプライアンス(王+cc )装置によって成立す
る。、この装置は、相互に離(■1シ且”’T”)Jは、支持装置に結合され、
他方は操作部材に結合されろ第1と第2の単一体部材を備える。その操作部材は
工具、あろ犯・は把持またはトンキング装置とすることができ、そして支持装置
はドツキングされろ運搬手段ある℃・はロボット組立機械とすることかてきよう
。また操作部材は、四部のある部材と係合″′fるためその凹部に嵌込まれる突
起を有する部材とすることができあるいはまた操作部材の力に凹部な設け、その
操作部相と係合され7)部相に突起部分を設けるようにしてもよい。
単一の段に、RCC装置の軸心周りで゛相互に離r=]した少(とも6つの個別
な要素を備える6、これら個別の要素は焦点からの円錐半径に沿って設−置され
、そして上記2つの単一体部材を連結する。
対称的な操作を行う1つの実施例にお℃・て、それら要素は相互に同等のものに
され、そしてRCC装置の軸)し・周りに等間隔で配置される。しかし、例えば
RCCの軸ノし・が水平に置かれ、そして相当な重量を相持して操作する如き非
勾称的な操作がめろ才する場合には、垂れ下りを防ぐためRCCの下側をより堅
固にするような非対称的な構造が必要になろう。要素は軸方向の圧縮と横方向の
変形が可能な任意な要素とすることができる。好適にはそれら要素は、堅固な材
料とより堅固でない材料、例えば金属の層とエラストマの層とを交互に積層した
剪断パッド、あるいはまた、全て同じ方向または違う方向につる巻き状に巻かれ
る圧縮コイルばねで構成される。要素は普通、構造体からの有効距離、コンプラ
イアンスの遠隔中心を延ばすために、剪断に対してより圧縮に対して堅固にされ
る。RCC装置の遠隔中ノし・は、焦点とRCC装置との間に置かれる。
コンプライアンス特性を高め、また形状に変化をもたせるために、それぞれが完
全な並進及び回転コンプライアンスを有するそのような単段遠隔中心コンプライ
アンス装置を、従来のRCC装置にあるように、幾つか組合せて積重ねるような
構造にすることもできよう。
第1図に示されるように、本発明によろ単段の遠隔中心コンプライアンス(RC
C)装置10は支持装置12土に装架され、そして操作部材14を担持する。R
CC装置10は、これの軸心20に沿って相互に離間した上側の単一体環状部相
16と下側の単一体環状部材18とを有する。これら部材16と18は環状の金
属フ0レートとTることができ、そしてそれぞれろ傷F〕凹部22と24を備え
る。図面にはそれら四部のそれぞれ2個だけが示される。これら凹部はそれぞれ
装架ねじ26と28を受け、そしてこれらねじは単段29の6つの個別な要素3
0.32.34(第2図参照)に螺着する。第1図と第2図では6つの個別な要
素30.32.34しか示されないが、その要素の個数は本発明の不可欠な条件
ではなく、もつと多くの個数を使用することもできる。それら6つの要素30.
32.34、はRCC装置10の単一の段29を構成する。それら要素は軸方向
の圧縮と横方向の変形が可能であり、そしてこれらが組合わさってRCC装置の
機能にとって基本的な要件である完全な回転及び甚進コ/プライアンスを作る。
要素3Q、32.34は、エラストマ層と金属層、あるいはその他のより堅固な
材料とより堅固でない材料とを交互に組合せて構成される周知の構造の剪断パッ
ドである。各要素30.32.34は、第1図に示されるように、焦点42に収
束する円錐状に設置の半径36.38.40に沿って配置される。その焦点は、
それら6個の要素で構成される段の唯一のの決定的な焦点または中心である。コ
ンプライアンスの遠隔中心44はその焦点42とRCc装置10との間で操作部
材14のちょうど先端の所に位置する。
変化形として、それら個別な要素は、第6図に示されるようにコイルばね30a
、32a及び34a(図示されず)で構成することができる。それらコイルばね
は、ばね30aと32.0場合のように相互に反対のつる巻き方向で巻かれるこ
ともあり、また同じっるつる巻き方向で巻かれることもある。ばね30a、32
a、34aは軸方向の圧縮と横方向の変形が可能であり、そして典型的には、円
錐設置半径に沿った軸方向においてより堅固であり、そして七オlら半径に対し
横方向の剪断に対してより大ぎいコンプライアンスをイーj4る。、七こて、物
理的構造体1021からの有効距離、遠隔中ノし)44a!’;1突出される。
その他の実施例が当該技術者にとって明らかであろうし、また請求の範囲に記述
される。
へ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 完全な並進及び回転コンプライアンスを有する1段遠隔中心コンプライアン ス(RCC)装置において、第1と第2の離間した単一体部材を備え、該段が、 該RCC装置の軸lj、・周りで離間し且つ1つの焦点からの円錐半径に沿って 設置さ才1て両該部材を連結1−る少なくとも6つの個別な要素を含み、これら 要素はそハぞれ軸方向の圧縮と横方向の変形が可能であり、これによって、該R CC装置の外部にあり且つ該焦点から離間したコンプライアンスの遠隔中心・周 りの回転及び並進の両方のコンプライアンスが作られる如きRCC装置。 2 請求の範囲第1項のRCC装置において、該要素が相互に同等なものである 、RCC装置。 6、請求の範囲第1項のRCC装置にお(・て、該要素が該RCC装置の軸心周 りに等間隔で離間する、RCC装置。 4 詩jくの範囲第1項のRCC装置において、該要素か圧縮コイルばねである 、T(CC装置。 5、請求の範囲第1項のRCC装置において、該要素が、堅固な材料の層とより 堅固でないエジストマ層とを交互に積層して構成される剪断パッドである、RC C装置。 6、請求の範囲第1項のRCC装置にお℃・て、該要素が、剪断に対してより圧 縮に対してより堅固である、RCC装置。 7、 請求の範囲第1項の1(CC装置において、Sシコンブライアンスの遠隔 中心が該焦点と17r(CC装置との間に設置さする、RCC装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/312,513 US4414750A (en) | 1981-10-19 | 1981-10-19 | Single stage remote center compliance device |
US312513FREGB | 1981-10-19 | ||
PCT/US1982/001479 WO1983001504A1 (en) | 1981-10-19 | 1982-10-15 | Single stage remote center compliance device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58501736A true JPS58501736A (ja) | 1983-10-13 |
JPS633241B2 JPS633241B2 (ja) | 1988-01-22 |
Family
ID=23211795
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57503460A Granted JPS58501736A (ja) | 1981-10-19 | 1982-10-15 | 単段遠隔中心コンプライアンス装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4414750A (ja) |
EP (1) | EP0091487B1 (ja) |
JP (1) | JPS58501736A (ja) |
CA (1) | CA1181259A (ja) |
DE (1) | DE3280051D1 (ja) |
WO (1) | WO1983001504A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020102621A (ja) * | 2018-12-20 | 2020-07-02 | エテル・ソシエテ・アノニム | ガントリ型の位置決め装置 |
Families Citing this family (48)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3378279D1 (en) * | 1982-03-05 | 1988-11-24 | Sony Magnescale Inc | Apparatus for determining the location of the surface of a solid object |
US4537557A (en) * | 1982-04-23 | 1985-08-27 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Remote center compliance gripper system |
FR2564363A1 (fr) * | 1984-05-17 | 1985-11-22 | Sormel Sa | Organe d'extremite pour robot d'assemblage destine a l'insertion automatique de pieces dans des trous |
EP0198134B1 (en) * | 1985-04-17 | 1989-06-28 | International Business Machines Corporation | Remote centre compliance system |
US4627169A (en) * | 1986-01-27 | 1986-12-09 | Westinghouse Electric Corp. | Remote center compliance device |
DE3614365A1 (de) * | 1986-04-28 | 1987-10-29 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Vorrichtung zum ablegen eines vorimpraegnierten faserbandes |
US5068975A (en) * | 1986-12-15 | 1991-12-03 | Gte Valenite | Precision parallel mechanical float |
US4803786A (en) * | 1986-12-15 | 1989-02-14 | Gte Valeron Corporation | Precision parallel mechanical float |
US4897930A (en) * | 1986-12-15 | 1990-02-06 | Gte Valenite Corporation | Precision parallel mechanical float |
US5113593A (en) * | 1986-12-15 | 1992-05-19 | Gte Valenite Corporation | Precision parallel mechanical float |
DE3710381A1 (de) * | 1987-03-28 | 1988-10-13 | Fein C & E | Haltevorrichtung zur beweglichen lagerung einer aufnahme, insbesondere einer werkzeugaufnahme fuer industrieroboter |
US4848757A (en) * | 1988-01-25 | 1989-07-18 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Remote center compliance device with fully or partially coil-bound springs |
JPH01141644U (ja) * | 1988-03-17 | 1989-09-28 | ||
US4919586A (en) * | 1988-05-25 | 1990-04-24 | Grasp, Inc. | Mechanical closed loop robotic arm end effector positioning system |
US4945979A (en) * | 1988-06-23 | 1990-08-07 | Westinghouse Electric Corp. | Robotic arm for delivering a tube plugging tool |
FR2639573A1 (fr) * | 1988-11-30 | 1990-06-01 | Snecma | Support souple dispose entre un porte-outil et un bras mobile de robot |
US4995148A (en) * | 1990-03-30 | 1991-02-26 | Imta | Robotically controlled multi-task end effector |
DE69532144D1 (de) | 1994-04-28 | 2003-12-18 | Jimmie Jay Dallman | Schlegelmäher für Buschmäher |
US6334960B1 (en) | 1999-03-11 | 2002-01-01 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Step and flash imprint lithography |
US6873087B1 (en) | 1999-10-29 | 2005-03-29 | Board Of Regents, The University Of Texas System | High precision orientation alignment and gap control stages for imprint lithography processes |
US6408531B1 (en) | 2000-01-20 | 2002-06-25 | Mechsys, L.L.C. | Method and apparatus for assembling rigid parts |
KR100374783B1 (ko) * | 2000-03-03 | 2003-03-04 | 학교법인 포항공과대학교 | 순응 중심 가변형 원격 순응 중심 장치 |
US6921615B2 (en) | 2000-07-16 | 2005-07-26 | Board Of Regents, The University Of Texas System | High-resolution overlay alignment methods for imprint lithography |
WO2002006902A2 (en) | 2000-07-17 | 2002-01-24 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Method and system of automatic fluid dispensing for imprint lithography processes |
US6954275B2 (en) | 2000-08-01 | 2005-10-11 | Boards Of Regents, The University Of Texas System | Methods for high-precision gap and orientation sensing between a transparent template and substrate for imprint lithography |
US8016277B2 (en) | 2000-08-21 | 2011-09-13 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Flexure based macro motion translation stage |
KR101031528B1 (ko) | 2000-10-12 | 2011-04-27 | 더 보드 오브 리전츠 오브 더 유니버시티 오브 텍사스 시스템 | 실온 저압 마이크로- 및 나노- 임프린트 리소그래피용템플릿 |
US6964793B2 (en) | 2002-05-16 | 2005-11-15 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Method for fabricating nanoscale patterns in light curable compositions using an electric field |
KR100470347B1 (ko) * | 2001-07-16 | 2005-02-07 | 주상완 | 압입용 탄성중심기기 |
US7077992B2 (en) | 2002-07-11 | 2006-07-18 | Molecular Imprints, Inc. | Step and repeat imprint lithography processes |
US6932934B2 (en) * | 2002-07-11 | 2005-08-23 | Molecular Imprints, Inc. | Formation of discontinuous films during an imprint lithography process |
US6916584B2 (en) | 2002-08-01 | 2005-07-12 | Molecular Imprints, Inc. | Alignment methods for imprint lithography |
US7071088B2 (en) | 2002-08-23 | 2006-07-04 | Molecular Imprints, Inc. | Method for fabricating bulbous-shaped vias |
US8349241B2 (en) | 2002-10-04 | 2013-01-08 | Molecular Imprints, Inc. | Method to arrange features on a substrate to replicate features having minimal dimensional variability |
DE10348887A1 (de) * | 2002-10-23 | 2004-05-13 | Carl Zeiss | Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät |
US6929762B2 (en) | 2002-11-13 | 2005-08-16 | Molecular Imprints, Inc. | Method of reducing pattern distortions during imprint lithography processes |
US6871558B2 (en) | 2002-12-12 | 2005-03-29 | Molecular Imprints, Inc. | Method for determining characteristics of substrate employing fluid geometries |
US7452574B2 (en) | 2003-02-27 | 2008-11-18 | Molecular Imprints, Inc. | Method to reduce adhesion between a polymerizable layer and a substrate employing a fluorine-containing layer |
US7122079B2 (en) | 2004-02-27 | 2006-10-17 | Molecular Imprints, Inc. | Composition for an etching mask comprising a silicon-containing material |
US7157036B2 (en) | 2003-06-17 | 2007-01-02 | Molecular Imprints, Inc | Method to reduce adhesion between a conformable region and a pattern of a mold |
US7136150B2 (en) | 2003-09-25 | 2006-11-14 | Molecular Imprints, Inc. | Imprint lithography template having opaque alignment marks |
US8076386B2 (en) | 2004-02-23 | 2011-12-13 | Molecular Imprints, Inc. | Materials for imprint lithography |
US7906180B2 (en) * | 2004-02-27 | 2011-03-15 | Molecular Imprints, Inc. | Composition for an etching mask comprising a silicon-containing material |
ATE506141T1 (de) * | 2006-06-16 | 2011-05-15 | Sang-Wan Joo | Fernzentralenkonforme vorrichtung mit messsensor |
US7421799B2 (en) * | 2006-06-22 | 2008-09-09 | Sang-Wan Joo | Remote center compliance device with one elastic body |
TWI404612B (zh) * | 2010-11-12 | 2013-08-11 | Ind Tech Res Inst | 順應性位置補正裝置 |
KR101440952B1 (ko) * | 2013-06-28 | 2014-09-17 | 주식회사 싸이텍 | 자동 조심형 압입 유니트 |
CN107511649B (zh) * | 2016-06-15 | 2019-04-05 | 上海交通大学 | 气动型可调远中心柔顺装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4098001A (en) * | 1976-10-13 | 1978-07-04 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Remote center compliance system |
US4155169A (en) * | 1978-03-16 | 1979-05-22 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Compliant assembly system device |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB553793A (en) * | 1941-11-29 | 1943-06-07 | Metalastik Ltd | Improvements relating to resilient mountings for instruments and machines |
US3367609A (en) * | 1966-07-01 | 1968-02-06 | Gen Electric | Hermetic compressor unit and spring support means thereof |
US4202107A (en) * | 1978-10-23 | 1980-05-13 | Watson Paul C | Remote axis admittance system |
US4283153A (en) * | 1978-12-21 | 1981-08-11 | Cincinnati Milacron Inc. | Compliant apparatus with remote smeared centers |
US4337579A (en) * | 1980-04-16 | 1982-07-06 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Deformable remote center compliance device |
US4276697A (en) * | 1980-04-21 | 1981-07-07 | Astek Engineering, Inc. | Compliance element for remote center compliance unit |
US4355469A (en) * | 1980-11-28 | 1982-10-26 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Folded remote center compliance device |
US4440031A (en) * | 1981-07-31 | 1984-04-03 | The Charles Stark Draper Laboratory | Force detecting system for remote center compliance device |
-
1981
- 1981-10-19 US US06/312,513 patent/US4414750A/en not_active Expired - Lifetime
-
1982
- 1982-10-15 WO PCT/US1982/001479 patent/WO1983001504A1/en active IP Right Grant
- 1982-10-15 EP EP82903543A patent/EP0091487B1/en not_active Expired
- 1982-10-15 JP JP57503460A patent/JPS58501736A/ja active Granted
- 1982-10-15 DE DE8282903543T patent/DE3280051D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1982-10-19 CA CA000413699A patent/CA1181259A/en not_active Expired
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4098001A (en) * | 1976-10-13 | 1978-07-04 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Remote center compliance system |
US4155169A (en) * | 1978-03-16 | 1979-05-22 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Compliant assembly system device |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020102621A (ja) * | 2018-12-20 | 2020-07-02 | エテル・ソシエテ・アノニム | ガントリ型の位置決め装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0091487B1 (en) | 1989-12-06 |
US4414750A (en) | 1983-11-15 |
EP0091487A4 (en) | 1986-04-02 |
DE3280051D1 (de) | 1990-01-11 |
CA1181259A (en) | 1985-01-22 |
WO1983001504A1 (en) | 1983-04-28 |
EP0091487A1 (en) | 1983-10-19 |
JPS633241B2 (ja) | 1988-01-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS58501736A (ja) | 単段遠隔中心コンプライアンス装置 | |
US3879025A (en) | Flat element spring | |
US4355469A (en) | Folded remote center compliance device | |
US8637961B2 (en) | MEMS actuator device | |
RU2179363C2 (ru) | Пьезоэлектрический привод или двигатель, способ приведения его в действие и способ его изготовления | |
CN112292528A (zh) | 形状记忆合金致动装置 | |
US20120119612A1 (en) | Motion controlled actuator | |
EP2860422B1 (en) | Brake device | |
US11454287B2 (en) | Torsional vibration, clutch disk and clutch | |
US20120111703A1 (en) | Low-g mems acceleration switch | |
US20190152765A1 (en) | Mems actuator structures resistant to shock | |
US20190157989A1 (en) | Multi-directional actuator | |
JPH03505140A (ja) | 調節自在スクリーンを有する携帯型情報処理装置 | |
CN108768206A (zh) | 一种双向大推力压电直线作动器及其驱动方法 | |
JPS60118072A (ja) | 回転微動機構 | |
EP0392345B1 (en) | Mechanism for supporting toilet bowl covering members | |
US20160181890A1 (en) | Motor brake device | |
US5517074A (en) | Piezoelectric actuator device | |
KR102152157B1 (ko) | 레이어 재밍 구동장치 | |
US3261598A (en) | Spring mechanism | |
DE112007001099T5 (de) | Schwingungsaktuator | |
US3315103A (en) | Digital torque motor | |
JPH049474Y2 (ja) | ||
US7695389B2 (en) | Conductive polymer drive for actuating eccentric members of a motor | |
US20220158398A1 (en) | Contact Ring for Highly Dynamic Applications |