JPS5847314A - ２重モ−ド圧電振動子 - Google Patents
２重モ−ド圧電振動子Info
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/56—Monolithic crystal filters
-
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- H03H9/0528—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices consisting of clips
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、２重ｔ−ｒ圧電振動子の励振電極における接
続構造に関する。
続構造に関する。
第１図は従来の２重ｖ−Ｆ圧電振動子を示し、同ｖＡ（
ａ）及び（ｂ）はそれぞれ表面図及び裏面図である。こ
の２重ｖ−Ｆ圧電振動子は、水晶ＡＴカット板もしくは
ＢＴカット又は圧電ｔラミック板などの圧電板１の両生
面上に厚みすべり、厚みねじれ又は厚み縦などの厚み振
動すべき２対の励・振電極’（２、３） 、（４、５）
を配慮して、２対の励振電極による対称ｔ−ｒと斜対称
ｖ−Ｆの振動の結合を利用したものである。表面上の励
振ｉｔ極２．４はそれぞれ分離されてｔ−ｒ結合する音
響場内にあって、引出電極６．７により起電板１の周辺
まで引出されて、入力端子又は出力端子のいずれかに接
続され、裏面上の励振電極３，５は引出電極８により圧
電板１の周辺まで引出されると共に、共通接続されて共
通１端子に接続される６２対の励振電極−（２，３）、
（４，５）の中間に位置する中間−電極対（９，１０）
は、前述したｔ−ｒ−合する音響場内にあって、励振電
極対間結合係数Ｋを微調整して所望なフィルタ特性、例
えば中心周波数、通過帯域幅を得るものであるが、必ず
しも対を構成せず、一方の中間電極９又は１０としてそ
の重量を調整してもよい。
ａ）及び（ｂ）はそれぞれ表面図及び裏面図である。こ
の２重ｖ−Ｆ圧電振動子は、水晶ＡＴカット板もしくは
ＢＴカット又は圧電ｔラミック板などの圧電板１の両生
面上に厚みすべり、厚みねじれ又は厚み縦などの厚み振
動すべき２対の励・振電極’（２、３） 、（４、５）
を配慮して、２対の励振電極による対称ｔ−ｒと斜対称
ｖ−Ｆの振動の結合を利用したものである。表面上の励
振ｉｔ極２．４はそれぞれ分離されてｔ−ｒ結合する音
響場内にあって、引出電極６．７により起電板１の周辺
まで引出されて、入力端子又は出力端子のいずれかに接
続され、裏面上の励振電極３，５は引出電極８により圧
電板１の周辺まで引出されると共に、共通接続されて共
通１端子に接続される６２対の励振電極−（２，３）、
（４，５）の中間に位置する中間−電極対（９，１０）
は、前述したｔ−ｒ−合する音響場内にあって、励振電
極対間結合係数Ｋを微調整して所望なフィルタ特性、例
えば中心周波数、通過帯域幅を得るものであるが、必ず
しも対を構成せず、一方の中間電極９又は１０としてそ
の重量を調整してもよい。
そし正、この２重℃−ｒ圧電振動子は、一般に２素子以
上使用シ、例えば第２図に示すように２素子の縦続接続
回路のようにして所望なフィルタを構成する。ここで、
１１は入力端子、１２は出力端子、１３及び１４は共通
端子（接地端子）並びにＣは容量結合用コシチン寸であ
る、なお、２素子の２重ｔ−ｒ圧＠振動子は、１番目の
ものに第１図に示した符号を、２番目のものに前記符号
に「°」印を付している。
上使用シ、例えば第２図に示すように２素子の縦続接続
回路のようにして所望なフィルタを構成する。ここで、
１１は入力端子、１２は出力端子、１３及び１４は共通
端子（接地端子）並びにＣは容量結合用コシチン寸であ
る、なお、２素子の２重ｔ−ｒ圧＠振動子は、１番目の
ものに第１図に示した符号を、２番目のものに前記符号
に「°」印を付している。
この縦続接続回路による２素子の電気接続については、
１番目の素子の励振電極４と２番目の素子の励振電極２
゛とが接続され、入力端子１１と共通端子１４との間に
所定の共振周波数（本例：１０゜７ＫＨｚ）の信号を印
加し、出力端子１２と共通端子１４との開で出力信号を
検出する。この出力信号の通過帯域特性については、通
常仕様では減衰量−３ｄＢにおいて所定の通過帯域幅以
上（本例：中心周波数１０．７ Ｍ Ｈｚに対して±３
．７５ ｋ Ｈｚ以上）とれることがフィルタ・の要求
項目に掲げられ、かつ、その通過帯域幅においてリップ
ルが０．５ ｄＢ又はｌｄＢ以下の要求項目も同時に満
足しなければならない。
１番目の素子の励振電極４と２番目の素子の励振電極２
゛とが接続され、入力端子１１と共通端子１４との間に
所定の共振周波数（本例：１０゜７ＫＨｚ）の信号を印
加し、出力端子１２と共通端子１４との開で出力信号を
検出する。この出力信号の通過帯域特性については、通
常仕様では減衰量−３ｄＢにおいて所定の通過帯域幅以
上（本例：中心周波数１０．７ Ｍ Ｈｚに対して±３
．７５ ｋ Ｈｚ以上）とれることがフィルタ・の要求
項目に掲げられ、かつ、その通過帯域幅においてリップ
ルが０．５ ｄＢ又はｌｄＢ以下の要求項目も同時に満
足しなければならない。
゛しかるに１同−設計の下でも、通過帯域幅の要求に応
えられても、リップル特性については同一のものが得に
りく、バラツ＋が生じ１、中にはこの要求に応えられな
いものがしばしば現われる。これは、振動子の電極と金
属ケースなどによる浮遊容量の影響と思われるが、その
−例を示せば、第２図の通過帯域特性図中、破線で示し
た曲線１５のようにリップルとして１ｄＢを越えるもの
が現われるＯ 本発明の目的は、上述したリップル番とついてそのバラ
ツキをなくシ、かつ、リップル量を０．５ ｄＢ以下に
した２重ｖ−Ｆ圧電振動子を提供することである。
えられても、リップル特性については同一のものが得に
りく、バラツ＋が生じ１、中にはこの要求に応えられな
いものがしばしば現われる。これは、振動子の電極と金
属ケースなどによる浮遊容量の影響と思われるが、その
−例を示せば、第２図の通過帯域特性図中、破線で示し
た曲線１５のようにリップルとして１ｄＢを越えるもの
が現われるＯ 本発明の目的は、上述したリップル番とついてそのバラ
ツキをなくシ、かつ、リップル量を０．５ ｄＢ以下に
した２重ｖ−Ｆ圧電振動子を提供することである。
以下、本発明を実施例の図示をもって詳細に説明する。
第４図は、本発明の一実施例である２重ｔ−＋”水晶振
動子を示し、同図（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ表面図及
び裏面図である。水晶板１６はｘ −ｚ’結晶軸平面に
平行に切断された既知のＡＴカッ［円板であり、その厚
さは約Ｑ、ｌ ｍ ｍであり、中心周波数ｆ、 ＝ １
０．７ Ｍ Ｈ２に適合されている。表面上の励振電極
１７と裏面上の励振電極１８は水晶板１６を介して互に
対向する位置にあって、１対の励振電極を構成し、同様
に表面上の励振電極１９と裏面上の励振電極２０も１対
の励振電極を構成している。
動子を示し、同図（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ表面図及
び裏面図である。水晶板１６はｘ −ｚ’結晶軸平面に
平行に切断された既知のＡＴカッ［円板であり、その厚
さは約Ｑ、ｌ ｍ ｍであり、中心周波数ｆ、 ＝ １
０．７ Ｍ Ｈ２に適合されている。表面上の励振電極
１７と裏面上の励振電極１８は水晶板１６を介して互に
対向する位置にあって、１対の励振電極を構成し、同様
に表面上の励振電極１９と裏面上の励振電極２０も１対
の励振電極を構成している。
表面上の励振電極１７と裏面上の励振電極２０ば互に斜
対称の位置関係にあって、それぞれ引出型＆ ２１ 、
２２と後述する金属支持板３５を通じて共通端子側に電
気接続され、残りの励振電極、すなわち、表面上の励振
電極１９と裏面上の励振電極１８も斜対称の位置関係に
あって、それぞれ引出電極２３ 、２４と後述する金属
支持板３４ 、３３を通じて入力端子又は出力端子のい
ずれか一方に電気接続されている。中間電極対（２５，
２６）は前述した励振電極対間結合係数にの微調整用の
もので、本例では対を構成しているが、いずれか一方で
もよいし、場合によってけこれを設置しなくてもよい。
対称の位置関係にあって、それぞれ引出型＆ ２１ 、
２２と後述する金属支持板３５を通じて共通端子側に電
気接続され、残りの励振電極、すなわち、表面上の励振
電極１９と裏面上の励振電極１８も斜対称の位置関係に
あって、それぞれ引出電極２３ 、２４と後述する金属
支持板３４ 、３３を通じて入力端子又は出力端子のい
ずれか一方に電気接続されている。中間電極対（２５，
２６）は前述した励振電極対間結合係数にの微調整用の
もので、本例では対を構成しているが、いずれか一方で
もよいし、場合によってけこれを設置しなくてもよい。
以上の各種電極は、真空蒸着により金、銀、アルミニウ
ムなどの金属膜として水晶板１６の両生面上に付着され
る、 第５図は、本例の２重ｉ−ｔ’水晶振動子の組立を示す
斜視図である。基台２７ｂと金属ケース２７ａは既知の
ＨＣ−４３／ ＩＪ ５イブ気密容器であり、両者のフ
ラシジ部を抵抗溶接することにより気密を得る。この基
台２７ｂには３本の外部端子２８ 、２９、３０が取付
けられ、外部端子２８．□□□は、カラスなどを埋設し
た絶縁物３１ 、３２を貫通固定して内側に突出し、こ
の突出部に黄銅、洋白などの金属支持板３３ 、３４を
スポット溶接などで接合している。また外部端子２９は
基台２７ｂの本体であるコバール、鉄ニツケル合金など
金属にスポット溶接などにより接合され、基台２７ｂの
上面中央付近にＬ型の金属支持板３５も同様に接合さ−
れてＸＩ）る。これらの金属支持板３３ 、３４ 、３
５には、水晶板１６の厚さが挿入可能なスリ・シトが形
成されており、それらのスリットに水晶板１６を挿入設
置する。そして、引出電極乙、２２と金属支持板３５、
引出電極２３と金属支持板３４、引出電極２４と金属支
持板３３にそれぞれ導電性接着剤を塗布して導電接続す
る。
ムなどの金属膜として水晶板１６の両生面上に付着され
る、 第５図は、本例の２重ｉ−ｔ’水晶振動子の組立を示す
斜視図である。基台２７ｂと金属ケース２７ａは既知の
ＨＣ−４３／ ＩＪ ５イブ気密容器であり、両者のフ
ラシジ部を抵抗溶接することにより気密を得る。この基
台２７ｂには３本の外部端子２８ 、２９、３０が取付
けられ、外部端子２８．□□□は、カラスなどを埋設し
た絶縁物３１ 、３２を貫通固定して内側に突出し、こ
の突出部に黄銅、洋白などの金属支持板３３ 、３４を
スポット溶接などで接合している。また外部端子２９は
基台２７ｂの本体であるコバール、鉄ニツケル合金など
金属にスポット溶接などにより接合され、基台２７ｂの
上面中央付近にＬ型の金属支持板３５も同様に接合さ−
れてＸＩ）る。これらの金属支持板３３ 、３４ 、３
５には、水晶板１６の厚さが挿入可能なスリ・シトが形
成されており、それらのスリットに水晶板１６を挿入設
置する。そして、引出電極乙、２２と金属支持板３５、
引出電極２３と金属支持板３４、引出電極２４と金属支
持板３３にそれぞれ導電性接着剤を塗布して導電接続す
る。
このように構成された振動子は、その外部端子２８ 、
３０を入力端子又は出力端子のいずれか一方として（本
例では外部端子２８を入力端子、′３０を出力端子とし
ている〕、外部端子２９を共通端子として使用される。
３０を入力端子又は出力端子のいずれか一方として（本
例では外部端子２８を入力端子、′３０を出力端子とし
ている〕、外部端子２９を共通端子として使用される。
そして、この振動子を２個用意して、２素子縦続接続に
よるフィルタ回路（′！第６図で示される。なお、同図
において、１番目の素子は第４図及び第５図に示した符
号を、２番目の素子は前記符号にｒ’Ｊ印を付している
。
よるフィルタ回路（′！第６図で示される。なお、同図
において、１番目の素子は第４図及び第５図に示した符
号を、２番目の素子は前記符号にｒ’Ｊ印を付している
。
このフィルタ回路は、前述した第２図の従来回路と対比
されるものであり、１番目の素子の水晶板１６上の励振
電極において、表面上の励振電極１７とこれに斜対称位
置関係にある裏面上の励振電極２０とが共通端子３８
、３９に、裏面上の残りの励振電極１８が入力端子３６
に、表向上の残りの励振型同様に、励振電極１７°と２
０°が共通端子３８ 、３９に、励振電極１８°が入力
端子として前述した１番目の素子の励振電極１９に、励
振電極１９°が出力端子３７にそれぞれ接続される。
されるものであり、１番目の素子の水晶板１６上の励振
電極において、表面上の励振電極１７とこれに斜対称位
置関係にある裏面上の励振電極２０とが共通端子３８
、３９に、裏面上の残りの励振電極１８が入力端子３６
に、表向上の残りの励振型同様に、励振電極１７°と２
０°が共通端子３８ 、３９に、励振電極１８°が入力
端子として前述した１番目の素子の励振電極１９に、励
振電極１９°が出力端子３７にそれぞれ接続される。
そこで、前述と同様に中心周波数ｆ。＝ １０．７ Ｍ
Ｈｚの入力信号における通過帯域特性を測定したところ
、試料数１００個にわたってほぼ同一の特性が得也れ、
その特性は第３図の実線で示した曲線４０のように現わ
れ、減衰！−３（１’Ｂにて通過帯域幅が±３．７５
ｋ ）ｉｚ以上とれると共に、その通過帯域幅内でのリ
ッフルがほとんど完無に近い程、消去されていることが
判明した。
Ｈｚの入力信号における通過帯域特性を測定したところ
、試料数１００個にわたってほぼ同一の特性が得也れ、
その特性は第３図の実線で示した曲線４０のように現わ
れ、減衰！−３（１’Ｂにて通過帯域幅が±３．７５
ｋ ）ｉｚ以上とれると共に、その通過帯域幅内でのリ
ッフルがほとんど完無に近い程、消去されていることが
判明した。
以上の実施例では、水晶板１６を介して互に斜対称位置
関係にある励振電極１７と２０との接続が金を配置して
電気接続してもよく、また〜励振電極１８ 、１９の引
出電極２３ 、２４の延在方向が基台２７ｂの上面と平
行（水晶板１６の結晶軸では２°軸方向）であったが、
こｔも任意の方向に引出してもよい。
関係にある励振電極１７と２０との接続が金を配置して
電気接続してもよく、また〜励振電極１８ 、１９の引
出電極２３ 、２４の延在方向が基台２７ｂの上面と平
行（水晶板１６の結晶軸では２°軸方向）であったが、
こｔも任意の方向に引出してもよい。
実施例の水晶板１６の形状は円形であったが、角形状板
など任意の形状の板でよく、結晶自体についてもＡＴカ
ット以外のカット、例えばＢＴ力・シト。
など任意の形状の板でよく、結晶自体についてもＡＴカ
ット以外のカット、例えばＢＴ力・シト。
ＦＣカットなどの水晶板はもとより、５シグル酸リチウ
ム、二λフ酸リチウム、圧電ｔラミックなどの圧電板で
あってもよい。
ム、二λフ酸リチウム、圧電ｔラミックなどの圧電板で
あってもよい。
以上のとおり、本発明によれば、通過帯域特性のバラツ
キを解消すると共に、そのリヅプルの発生を防止するこ
とができることから、その価値は実用上多大である。
キを解消すると共に、そのリヅプルの発生を防止するこ
とができることから、その価値は実用上多大である。
第１図は従来の２重ｖ−Ｆ圧電振動子を示し、同図（ａ
）及び（ｂ）は表面図及び裏面図である。第２図は従来
の２素子縦続接醇によるフィル５（ｉｉｉ路図である。 第３図は通過帯域特性図である。第４図は本発明の一実
施例である２重ｉ−Ｆ水晶振動子を示し、同図（ａ）及
び（ｂ）は表面図及び裏面図である。第５図は第４図に
示した振動子の組立を示す斜視図−ｒ：ある、第６図は
本発明の２素子縦続接続によるフィルタ回路図である。 １６ 、 、 、水晶板、１７．１８ 、’１９ 、２
０．、 、励振電極、３６．・・入力端子、３７・・・
出力端子、３８ 、３９・・・共通端子 第Ｚ図
）及び（ｂ）は表面図及び裏面図である。第２図は従来
の２素子縦続接醇によるフィル５（ｉｉｉ路図である。 第３図は通過帯域特性図である。第４図は本発明の一実
施例である２重ｉ−Ｆ水晶振動子を示し、同図（ａ）及
び（ｂ）は表面図及び裏面図である。第５図は第４図に
示した振動子の組立を示す斜視図−ｒ：ある、第６図は
本発明の２素子縦続接続によるフィルタ回路図である。 １６ 、 、 、水晶板、１７．１８ 、’１９ 、２
０．、 、励振電極、３６．・・入力端子、３７・・・
出力端子、３８ 、３９・・・共通端子 第Ｚ図
Claims (1)
- （１） 圧電板を介して互に対向する該圧電板の両生
面上に２対の励振電極を配置してなる２重ｔ−ｒ圧電振
動子において、該圧電板の一方の主面上の１個の励振電
極と該圧μ板を介して互に斜対称を電気導通して共通端
子側に接続し、残りの２個の励振電極を入力端子側又は
出力端子側のいずれか一方にそれぞれ接続していること
を特徴とする２重ｔニーＦｆＥ電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14688881A JPS5847314A (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | ２重モ−ド圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14688881A JPS5847314A (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | ２重モ−ド圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5847314A true JPS5847314A (ja) | 1983-03-19 |
Family
ID=15417841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14688881A Pending JPS5847314A (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | ２重モ−ド圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5847314A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63165290A (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-08 | 内田油圧舶用機械株式会社 | 伸縮式クレ−ン先端部の流体駆動装置に対する配管 |
| JPH04319809A (ja) * | 1991-04-18 | 1992-11-10 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
| JP2002280873A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-09-27 | Kazuyuki Ouchi | 圧電素子 |
-
1981
- 1981-09-16 JP JP14688881A patent/JPS5847314A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63165290A (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-08 | 内田油圧舶用機械株式会社 | 伸縮式クレ−ン先端部の流体駆動装置に対する配管 |
| JPH04319809A (ja) * | 1991-04-18 | 1992-11-10 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
| JP2002280873A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-09-27 | Kazuyuki Ouchi | 圧電素子 |
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