JPS5845874A - カツプ形研削砥石の給水装置 - Google Patents
カツプ形研削砥石の給水装置Info
- Publication number
- JPS5845874A JPS5845874A JP14226181A JP14226181A JPS5845874A JP S5845874 A JPS5845874 A JP S5845874A JP 14226181 A JP14226181 A JP 14226181A JP 14226181 A JP14226181 A JP 14226181A JP S5845874 A JPS5845874 A JP S5845874A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grindstone
- grinding wheel
- drive shaft
- impeller
- grinding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D7/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
- B24D7/10—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor with cooling provisions
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はカップ形研削砥石の給水装置に関するものであ
る。
る。
従来第１図に示す如く砥石１がディスク形状をし、その
外周砥石面１ａにて加工品２を研削する場合には、砥石
面１ａの加工品２に接触している部分ａよりも加工品２
に接触していがい部分すの方が大きいので、加工品２を
研削しているさいに砥石面に付着した研削粉等を加工品
２に接触しないときに除去することは比較的容易である
。これに対して、第２図に示す如く砥石３の断面が［形
状をし、その外周先端砥石面３ａで加工品を研削するい
わゆるカップ形研削砥石においては、第３図に示す如く
砥石面３ａの加工品２に接触している部分が加工品２に
接触していない部分よりはるかに大きいので、研削時に
砥石面３＆に付着した研削粉等を加工品２に接触してい
ないときに除去することは容易ではない。
外周砥石面１ａにて加工品２を研削する場合には、砥石
面１ａの加工品２に接触している部分ａよりも加工品２
に接触していがい部分すの方が大きいので、加工品２を
研削しているさいに砥石面に付着した研削粉等を加工品
２に接触しないときに除去することは比較的容易である
。これに対して、第２図に示す如く砥石３の断面が［形
状をし、その外周先端砥石面３ａで加工品を研削するい
わゆるカップ形研削砥石においては、第３図に示す如く
砥石面３ａの加工品２に接触している部分が加工品２に
接触していない部分よりはるかに大きいので、研削時に
砥石面３＆に付着した研削粉等を加工品２に接触してい
ないときに除去することは容易ではない。
そこで従来研削面から研削粉等の除去についてはつぎの
対策が実施されている。
対策が実施されている。
（１）砥石をセグメント方式にして、研削液を砥石面に
容易に供給しうるようにする。
容易に供給しうるようにする。
（２）研削液に潤滑性のある添加剤を入れる。
（８） 研削液を多量に供給する。
（４） 砥石面に固体潤滑剤を含浸する。
然るにたとえばシリコンウェハをカップ形砥石で研削す
る場合にはシリコンウェハが硬質であるため、ダイヤモ
ンド砥石に限定され、かつシリコンウェハの化学処理へ
の影響をなくするため、研削液が純水に限定され、しか
も添加剤の混入が許されないため、研削時に発生する砥
石の目詰り防止が大きな問題になってくる。
る場合にはシリコンウェハが硬質であるため、ダイヤモ
ンド砥石に限定され、かつシリコンウェハの化学処理へ
の影響をなくするため、研削液が純水に限定され、しか
も添加剤の混入が許されないため、研削時に発生する砥
石の目詰り防止が大きな問題になってくる。
そこで、現状では切味を失なった時点で目立て用砥石面
に押付けてドレッシングするかまたは第２図に示す如く
、駆動軸４の下端部に締着されたカップ形砥石３の下端
面に固定され、上記駆動軸４の中心部に形成された給水
穴５に接続する噴出穴６ａを外周面に形成するノズルを
設け、上記給水穴５よりの高圧水を噴出穴６より砥石面
３ａと加工品との間の研削部に向って噴出させるものが
実施されている。
に押付けてドレッシングするかまたは第２図に示す如く
、駆動軸４の下端部に締着されたカップ形砥石３の下端
面に固定され、上記駆動軸４の中心部に形成された給水
穴５に接続する噴出穴６ａを外周面に形成するノズルを
設け、上記給水穴５よりの高圧水を噴出穴６より砥石面
３ａと加工品との間の研削部に向って噴出させるものが
実施されている。
然るに上記前者の場合には、昨今のように無人化が強調
される現状においては大きなへい害になっている。また
後者の場合には高圧水の噴射エネルギを必要とするため
高圧ポンプが必要となり、製造原価が高くなる問題があ
る。
される現状においては大きなへい害になっている。また
後者の場合には高圧水の噴射エネルギを必要とするため
高圧ポンプが必要となり、製造原価が高くなる問題があ
る。
本発明は上記従来の欠点を除去し、砥石面の目詰り防止
、無人化の容易化、を可能とするカップ形砥石の給水装
置を提供することにある。
、無人化の容易化、を可能とするカップ形砥石の給水装
置を提供することにある。
本発明は上記の目的を達成するため、カップ形砥石を保
持する駆動軸の下端部砥石内に固定され、給入側を上記
駆動軸に形成された給水穴に接続し、排出側を砥石面の
近傍位置から該面に向って開口する羽根車を設け、駆動
軸の回転による遠心力を利用して砥石の研削部に研削液
を噴出させるようにしたものである。
持する駆動軸の下端部砥石内に固定され、給入側を上記
駆動軸に形成された給水穴に接続し、排出側を砥石面の
近傍位置から該面に向って開口する羽根車を設け、駆動
軸の回転による遠心力を利用して砥石の研削部に研削液
を噴出させるようにしたものである。
以下本発明の実施例を示す図面につき説明する。第４図
は本発明の一実施例を示す断面図、第５図は第４図のＡ
−Ａ矢視展開図にして、同図に示す如く軸心部に給水穴
７を形成する駆動軸８を設け、この駆動軸８の下端部に
ボルト９着された羽根軍功を設けている。この羽根軍功
は上記砥石３の中央部下面に接触し中心部に上記給水穴
７に接続する穴１２を形成する平板部１３と、この平板
部１３の外周に固定され、咽久状の外周先端部が上記砥
石面３ａ附近まで達し、かつその延長方向が砥石面３ａ
と加工品との間の研削部に向かうように形成された斜板
部１４と、上記平板部１３の下面外周部および斜板部１
４の下面に放射状に複数個固定し、相隣れる２個の間に
案内溝１５を形成する案内板１６とから構成されている
。
は本発明の一実施例を示す断面図、第５図は第４図のＡ
−Ａ矢視展開図にして、同図に示す如く軸心部に給水穴
７を形成する駆動軸８を設け、この駆動軸８の下端部に
ボルト９着された羽根軍功を設けている。この羽根軍功
は上記砥石３の中央部下面に接触し中心部に上記給水穴
７に接続する穴１２を形成する平板部１３と、この平板
部１３の外周に固定され、咽久状の外周先端部が上記砥
石面３ａ附近まで達し、かつその延長方向が砥石面３ａ
と加工品との間の研削部に向かうように形成された斜板
部１４と、上記平板部１３の下面外周部および斜板部１
４の下面に放射状に複数個固定し、相隣れる２個の間に
案内溝１５を形成する案内板１６とから構成されている
。
上記の構成であるから、駆動軸８の回転に伴なって砥石
３および羽根軍功が回転すると、給水穴７より穴１２を
通って羽根車、、内に供給す：ｈた研削液は遠心力によ
って加速されつつ案内溝１５を通り砥石３の砥石面３ａ
と加工品との間の研削部に噴出して砥石面３ａを先滌す
る。
３および羽根軍功が回転すると、給水穴７より穴１２を
通って羽根車、、内に供給す：ｈた研削液は遠心力によ
って加速されつつ案内溝１５を通り砥石３の砥石面３ａ
と加工品との間の研削部に噴出して砥石面３ａを先滌す
る。
第６図は本発明の他の一実施例を示す断面図、第７図は
第６図のＢ−Ｂ矢視展開図である。同図に示す如く、軸
心部に給水穴７を形成する駆動軸８を設け、この駆動軸
８の下端部にボルト９にて締着され内部に先端部が末広
がりをした′／Ｉｇ１ ＠吸状の９舅１７を形成し、その下端外周部に砥石面１
８１ｋを形成する砥石１８を設け、この砥石１８の空％
１７内に収容され上記駆動軸１８にボ・ルト１９にて締
着された羽根車観を設けている。この羽根車観は上記駆
動軸１８の下端面および上記砥石１８の空１１７によっ
て形成された斜壁面１８ｂと間隙を有する如く対向する
側板２１と、この側板２１および斜壁面１８ｂ間に放射
状に複数個配置し、相隣ｎる２個の間に案内溝２２を形
成する案内板２３とから構成されている。
第６図のＢ−Ｂ矢視展開図である。同図に示す如く、軸
心部に給水穴７を形成する駆動軸８を設け、この駆動軸
８の下端部にボルト９にて締着され内部に先端部が末広
がりをした′／Ｉｇ１ ＠吸状の９舅１７を形成し、その下端外周部に砥石面１
８１ｋを形成する砥石１８を設け、この砥石１８の空％
１７内に収容され上記駆動軸１８にボ・ルト１９にて締
着された羽根車観を設けている。この羽根車観は上記駆
動軸１８の下端面および上記砥石１８の空１１７によっ
て形成された斜壁面１８ｂと間隙を有する如く対向する
側板２１と、この側板２１および斜壁面１８ｂ間に放射
状に複数個配置し、相隣ｎる２個の間に案内溝２２を形
成する案内板２３とから構成されている。
上記の構成であるから、駆動軸８が回転すると、駆動軸
８に形成された給水穴７よシの研削液を遠心力により加
速しつつ案内板２１間通って砥石１８の砥石面１８ａと
、加工面との間の研削部に向って噴出して、砥石面１８
ａを洗滌する。
８に形成された給水穴７よシの研削液を遠心力により加
速しつつ案内板２１間通って砥石１８の砥石面１８ａと
、加工面との間の研削部に向って噴出して、砥石面１８
ａを洗滌する。
したがって本発明においては、高圧ポンプを設置するこ
となく、簡単な構成の羽根車を砥石内に設置するのみで
、駆動軸の回転による遠心力を利用して、駆動軸からの
研削液を加速して砥石の砥石面と加工面との間に噴出し
て、砥石面を洗滌することができ、こｎによって砥石面
の研削粉等による目詰シを防止することができる０
となく、簡単な構成の羽根車を砥石内に設置するのみで
、駆動軸の回転による遠心力を利用して、駆動軸からの
研削液を加速して砥石の砥石面と加工面との間に噴出し
て、砥石面を洗滌することができ、こｎによって砥石面
の研削粉等による目詰シを防止することができる０
第１図は従来のディスク形砥石による研削を示す斜視図
、第２図は従来のカップ形砥石を示す断面図、第３図は
従来のカップ形砥石による研削を示す斜視図、第４図は
本発明の一実施例を示すカップ形砥石の断面図第５図は
第４図のＡ−Ａ矢視展開図、第６図は本発明の他の一実
施例を示すカップ形砥石の断面図、第７図は第６図のＢ
−Ｂ矢視展開図である。 ３・・・カップ形砥石、８・・・給水穴、９・・・駆動
軸１０・・・穴、１１・・・平板部、１２・・・斜板部
、１３・・・案内溝、１４・・・案内板、１５・・・塞
止板、１６・・・羽根車１８・・・砥石、２０・・・側
板、２１・・・案内板、呼・・・羽根車。 代理人 弁理士 薄 １）利、、幸・−４パ」゛
・ 八 １’：ｌ’ ”’ ノ゛、こ□ めＩ 図 １久 察２図 ネ３図 ネ４ｔ２１ 不５図 第７図 疎６聞
、第２図は従来のカップ形砥石を示す断面図、第３図は
従来のカップ形砥石による研削を示す斜視図、第４図は
本発明の一実施例を示すカップ形砥石の断面図第５図は
第４図のＡ−Ａ矢視展開図、第６図は本発明の他の一実
施例を示すカップ形砥石の断面図、第７図は第６図のＢ
−Ｂ矢視展開図である。 ３・・・カップ形砥石、８・・・給水穴、９・・・駆動
軸１０・・・穴、１１・・・平板部、１２・・・斜板部
、１３・・・案内溝、１４・・・案内板、１５・・・塞
止板、１６・・・羽根車１８・・・砥石、２０・・・側
板、２１・・・案内板、呼・・・羽根車。 代理人 弁理士 薄 １）利、、幸・−４パ」゛
・ 八 １’：ｌ’ ”’ ノ゛、こ□ めＩ 図 １久 察２図 ネ３図 ネ４ｔ２１ 不５図 第７図 疎６聞
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１） カップ形研削砥石を保持する駆動軸の下端部
、上記砥石内に固定され、上記駆動軸に形成された給水
穴よシ研削液を砥石の回転による遠心力を利用して加速
しつつ砥石の砥石面と加工品との間の研削部に向って噴
出させる羽根車を設けたことを特徴とするカップ形研削
砥石の給水装置。 達し、その延長方向が砥石面と加工品との間の研削部に
向っている斜板部と、上記平板部の下面外周部および斜
板部の下面に固定され、円周方向に複数個配置して相隣
れる２個の間に案内溝を形成する案内板とからなる羽根
車を設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
のカップ形研削砥石の給水装置。 （３）砥石内部に先端部が末広がりをした嘲久状の空洞
を形成し、との空洞によって形成される砥石の斜壁面お
よび駆動軸の下端面と間隙を有する如く対向する側板と
、この側板および上記斜壁面間に円周方向に複数個配置
し相隣れる２個の間に案内溝を形成した案内板とからま
る羽根車を設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載のカップ形研削砥石の給水装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14226181A JPS5845874A (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | カツプ形研削砥石の給水装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14226181A JPS5845874A (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | カツプ形研削砥石の給水装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5845874A true JPS5845874A (ja) | 1983-03-17 |
Family
ID=15311215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14226181A Pending JPS5845874A (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | カツプ形研削砥石の給水装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5845874A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6239177A (ja) * | 1985-08-09 | 1987-02-20 | Toshiba Mach Co Ltd | 研削液供給装置 |
| JPS62141460U (ja) * | 1986-02-27 | 1987-09-07 | ||
| JPH0623674A (ja) * | 1992-04-23 | 1994-02-01 | Noritake Co Ltd | カップ状砥石 |
| JP2007313639A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Saint-Gobain Abrasives Inc | 研削工具、研削方法及び研削システム |
| CN102380822A (zh) * | 2010-09-01 | 2012-03-21 | 沈阳理工大学 | 一种金刚石膜的超高速复合抛光盘 |
| CN103934760A (zh) * | 2014-04-09 | 2014-07-23 | 南京三超金刚石工具有限公司 | 一种金刚石工具及其制造方法 |
| JP2015139859A (ja) * | 2014-01-30 | 2015-08-03 | 株式会社ニートレックス本社 | 研削液供給具および研削ホイール |
-
1981
- 1981-09-11 JP JP14226181A patent/JPS5845874A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6239177A (ja) * | 1985-08-09 | 1987-02-20 | Toshiba Mach Co Ltd | 研削液供給装置 |
| JPS62141460U (ja) * | 1986-02-27 | 1987-09-07 | ||
| JPH0623674A (ja) * | 1992-04-23 | 1994-02-01 | Noritake Co Ltd | カップ状砥石 |
| JP2007313639A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Saint-Gobain Abrasives Inc | 研削工具、研削方法及び研削システム |
| CN102380822A (zh) * | 2010-09-01 | 2012-03-21 | 沈阳理工大学 | 一种金刚石膜的超高速复合抛光盘 |
| JP2015139859A (ja) * | 2014-01-30 | 2015-08-03 | 株式会社ニートレックス本社 | 研削液供給具および研削ホイール |
| CN103934760A (zh) * | 2014-04-09 | 2014-07-23 | 南京三超金刚石工具有限公司 | 一种金刚石工具及其制造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2867063A (en) | Multiple grinding wheel | |
| US2899781A (en) | williams | |
| US3568377A (en) | Device for cooling and cleaning of grinding wheels | |
| US3334451A (en) | Grinding apparatus | |
| JPS5845874A (ja) | カツプ形研削砥石の給水装置 | |
| JP2017144517A (ja) | 研削装置 | |
| US20190134782A1 (en) | Grinding wheel | |
| JP3122341B2 (ja) | カップ状砥石 | |
| US3244162A (en) | Grinding wheel dressing means and process | |
| JP2004167617A (ja) | カップホイ−ル型砥石を備えた研削ヘッド構造 | |
| JPH10118940A (ja) | 研削砥石及び研削液供給方法 | |
| US5140780A (en) | Method and apparatus for cleaning and cooling a machine tool and workpiece | |
| JPS62152674A (ja) | 研削砥石の目詰り防止装置 | |
| US3436868A (en) | Rounding and polishing apparatus for crystalline carbon bodies | |
| US6273795B1 (en) | Method and apparatus of dressing a grinding wheel | |
| US3673739A (en) | Arrangement for internal form grinding portions of spherical surfaces | |
| JP3328142B2 (ja) | ダイヤモンド切断砥石 | |
| JP2000084858A (ja) | 貫通孔付きカップ型回転砥石 | |
| JP3225481U (ja) | 研削盤 | |
| JP2001191251A (ja) | 研削加工におけるスクラッチ傷の防止方法、およびそれに使用する研削加工装置 | |
| JP2001071270A (ja) | 軟質材研削用回転砥石 | |
| CN217288613U (zh) | 一种研磨装置 | |
| KR102668410B1 (ko) | 다이아몬드 공구 | |
| JPS61265264A (ja) | 遊離砥粒加工工具 | |
| JPS60167769A (ja) | 研削用砥石のク−ラント方法 |