JPS5844010B2 - ガス分離カスケ−ド - Google Patents
ガス分離カスケ−ドInfo
- Publication number
- JPS5844010B2 JPS5844010B2 JP1604179A JP1604179A JPS5844010B2 JP S5844010 B2 JPS5844010 B2 JP S5844010B2 JP 1604179 A JP1604179 A JP 1604179A JP 1604179 A JP1604179 A JP 1604179A JP S5844010 B2 JPS5844010 B2 JP S5844010B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas separation
- header
- stage
- separation cascade
- cascade
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、被分離ガスを重ガスと軽ガスとに分離するガ
ス分離カスケードに係わり、特に良好な排気性能を有す
るガス分離カスケードに関する。
ス分離カスケードに係わり、特に良好な排気性能を有す
るガス分離カスケードに関する。
一般的にガス分離カスケードは、同分臨カスケードを構
成するガス分離要素を一旦排気して真空にした後に作動
させる。
成するガス分離要素を一旦排気して真空にした後に作動
させる。
本発明の目的は上記点に鑑みてなされたもので、真空排
気機能向上を計ったガス分離カスケードを得ることにあ
る。
気機能向上を計ったガス分離カスケードを得ることにあ
る。
その手段として、ガス分離カスケードのプロセスヘッダ
配管自身に排気機能を持たせたものである。
配管自身に排気機能を持たせたものである。
以下図面を参照して本発明の一実施例を説明する。
図は本発明を実施した時のガス分離カスケードのプロセ
スヘッダ配管部の一例でありガス分離カスケードの段Ｎ
ｆ ｎｌ Ｉ ｎ２ ｖ ｎ３・・・で示す。
スヘッダ配管部の一例でありガス分離カスケードの段Ｎ
ｆ ｎｌ Ｉ ｎ２ ｖ ｎ３・・・で示す。
段Ｎのうち例えばｎｌ 段に着目するとプロダクトヘッ
ダＰ１ フィードヘッダＦおよびウェストヘッダＷの
３本のプロセスヘッダより構成され、これらのヘッダに
段を構成するガス分離要素が接続（図示せず）される。
ダＰ１ フィードヘッダＦおよびウェストヘッダＷの
３本のプロセスヘッダより構成され、これらのヘッダに
段を構成するガス分離要素が接続（図示せず）される。
この時、段と段の接続に当っては第１図に示す如＜（ｎ
−ｉ）段のプロセスヘッダＰとｎ段のフィードヘッダＦ
と（ｎ、−ｉ ）段のウェストヘッダＷとを接続してガ
ス分離カスケードは構成される。
−ｉ）段のプロセスヘッダＰとｎ段のフィードヘッダＦ
と（ｎ、−ｉ ）段のウェストヘッダＷとを接続してガ
ス分離カスケードは構成される。
ガス分離カスケードの段には端末が２カ所現われ一方は
第１図に示す如＜ｎ１段のプロダクトヘッダＰよりガス
分離カスケードの製品流Ｘｐを得る。
第１図に示す如＜ｎ１段のプロダクトヘッダＰよりガス
分離カスケードの製品流Ｘｐを得る。
他方の段端のウェストヘッダＷ（図示せず）よりガス分
離カスケードの廃品流Ｘｗを得る。
離カスケードの廃品流Ｘｗを得る。
かくしてガス分離カスケードの途中段である段ｎ段のフ
ィードヘッダに供給された被分離ガスは分臨されて自段
のプロダクトヘッダに流れ、この流れが次段（ｎ＋１）
段のフィードヘッダに供給され、最終的に製品流Ｘｐと
なる。
ィードヘッダに供給された被分離ガスは分臨されて自段
のプロダクトヘッダに流れ、この流れが次段（ｎ＋１）
段のフィードヘッダに供給され、最終的に製品流Ｘｐと
なる。
同じくｎ段のフィードヘッダに供給された被分離ガスは
分離されて自段のウェストヘッダに流れ、この流れが次
段（ｎ−１）段のフィードヘッダに供給され、最終的に
廃品流Ｘｗとなる。
分離されて自段のウェストヘッダに流れ、この流れが次
段（ｎ−１）段のフィードヘッダに供給され、最終的に
廃品流Ｘｗとなる。
このように構成されたガス分離ガスケートは作動させる
前に真空に排気されねばならない。
前に真空に排気されねばならない。
ある段ｎのプロセスヘッダＰ１ （ｎ＋１）段のフィー
ドヘッダＦ、（ｎ＋２）段０ウェストヘッダＷを一区切
りとして、これら（Ｐ＋Ｆ＋Ｗ）７）３段が直列に接続
されて構成される。
ドヘッダＦ、（ｎ＋２）段０ウェストヘッダＷを一区切
りとして、これら（Ｐ＋Ｆ＋Ｗ）７）３段が直列に接続
されて構成される。
次の３段の（Ｐ＋Ｆ＋Ｗ）とは接続されない。
この接続されない部分に弁を設置するとガス分離カスケ
ード全体が一つのラインで接続されることとなる。
ード全体が一つのラインで接続されることとなる。
従ってこのラインの外部にもう一個の弁を設置すれば真
空に排気することと生産してＸｐ、Ｘｗｆ得ることとが
区別される。
空に排気することと生産してＸｐ、Ｘｗｆ得ることとが
区別される。
更に詳細に本発明の一実施例を第１図に基づき説明する
。
。
ガス分離カスケードを構成する３勤。のプロダクトヘッ
ダＰ１ｎ６のフィードヘッダＦ１ｎ、のウェストヘッダ
Ｗが接続され、次のｎ４ｖｒ１３ｙｎ２の３段とはｎ３
のウェストヘッダＷとｎ４ のプロダクトヘッダＰが弁
ｖ３を介して接続される。
ダＰ１ｎ６のフィードヘッダＦ１ｎ、のウェストヘッダ
Ｗが接続され、次のｎ４ｖｒ１３ｙｎ２の３段とはｎ３
のウェストヘッダＷとｎ４ のプロダクトヘッダＰが弁
ｖ３を介して接続される。
３段毎に他の部分においても同じく弁■２．ｖ４・・・
を介して接続される。
を介して接続される。
段端においては、例えば製品流Ｘｐを取り出す必要があ
り真空排気Ｃ側に排気するか否かを決める外部弁■１
が設置される。
り真空排気Ｃ側に排気するか否かを決める外部弁■１
が設置される。
このように構成されているガス分離カスケードは系内を
真空排気するとき弁■１．■２．■３・・・を開にして
真空排気Ｃ側に排気することによって、これら弁を介し
て接続されているライン全体が排気され、従ってこのラ
インに接続されているガス分離要素も真空排気されるこ
ととなる。
真空排気するとき弁■１．■２．■３・・・を開にして
真空排気Ｃ側に排気することによって、これら弁を介し
て接続されているライン全体が排気され、従ってこのラ
インに接続されているガス分離要素も真空排気されるこ
ととなる。
一方製品を生産するための運転時は弁■１．■２．■３
・・・を閉にすれば通常のガス分離カスケードの構成と
なるので、運転に止障はない。
・・・を閉にすれば通常のガス分離カスケードの構成と
なるので、運転に止障はない。
なお本発明は上に述べた例に限定されるものではなく、
次のような変形が実施できる。
次のような変形が実施できる。
すなわち段を構成するラインが複数本あれば、図におい
てはプロセスヘッダが３ラインとなる例を図示している
、ガス分離カスケード全体としても複数めラインで構成
されるので１個のラインのみを排気用ラインに利用する
のみならず、他のラインも同様に排気用ラインとして利
用できる。
てはプロセスヘッダが３ラインとなる例を図示している
、ガス分離カスケード全体としても複数めラインで構成
されるので１個のラインのみを排気用ラインに利用する
のみならず、他のラインも同様に排気用ラインとして利
用できる。
またガス分離カスケード全体を１つのラインで連通でき
るように構成したが、このような連通部分はガス分離カ
スケードの段の一部分であってもよい。
るように構成したが、このような連通部分はガス分離カ
スケードの段の一部分であってもよい。
このときはこの部分のみの排気用ヘッダとプロカスヘッ
ダの兼用となる。
ダの兼用となる。
しかして本発明のガス分離カスケードのように真空排気
のために特別のラインを設けることなく、プロセスヘッ
ダ自身が排気ラインとして利用できるので、真空排気用
ラインが不要で経済的であり、設置スペースが不要であ
ること、またガス分離要素を直接ヘッダ配管にて排気す
るので排気機能の性能向上を計ることができる。
のために特別のラインを設けることなく、プロセスヘッ
ダ自身が排気ラインとして利用できるので、真空排気用
ラインが不要で経済的であり、設置スペースが不要であ
ること、またガス分離要素を直接ヘッダ配管にて排気す
るので排気機能の性能向上を計ることができる。
図は本発明のガス分離カスケードの一実施例を示す説明
図である。 Ｎ （ｎｌ ｔ ｎ２ ｔ ｎ３ ”’ ） ：ガス分
離カスケードの役名、Ｐ、Ｆ、Ｗ：それぞれの段のプロ
ダクトヘッダ、フィードヘッダ、ウェストヘッダ、■１
゜■２．■３・・・：排気弁、Ｘｐ：ガス分離カスケー
ドの製品流、Ｃ：真空排気。
図である。 Ｎ （ｎｌ ｔ ｎ２ ｔ ｎ３ ”’ ） ：ガス分
離カスケードの役名、Ｐ、Ｆ、Ｗ：それぞれの段のプロ
ダクトヘッダ、フィードヘッダ、ウェストヘッダ、■１
゜■２．■３・・・：排気弁、Ｘｐ：ガス分離カスケー
ドの製品流、Ｃ：真空排気。
Claims (1)
- １（ｎ−１）段のプロダクトヘッダと０段０フイードヘ
ツダと（ｎ １）段のウェストヘッダの如く相異なる
夫々のヘッダを配管接続して複数の配管単位とし、この
複数の配管単位を弁を介して直列に連通して連通ライン
とした後、この連通ラインに真空排気装置を接続したガ
ス分離カスケード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1604179A JPS5844010B2 (ja) | 1979-02-16 | 1979-02-16 | ガス分離カスケ−ド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1604179A JPS5844010B2 (ja) | 1979-02-16 | 1979-02-16 | ガス分離カスケ−ド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55109437A JPS55109437A (en) | 1980-08-22 |
| JPS5844010B2 true JPS5844010B2 (ja) | 1983-09-30 |
Family
ID=11905483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1604179A Expired JPS5844010B2 (ja) | 1979-02-16 | 1979-02-16 | ガス分離カスケ−ド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5844010B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62210911A (ja) * | 1986-03-11 | 1987-09-17 | 株式会社 新宮商行 | 刈払機 |
| JPS62181122U (ja) * | 1986-05-10 | 1987-11-17 | ||
| JPH0432911Y2 (ja) * | 1990-01-19 | 1992-08-07 |
-
1979
- 1979-02-16 JP JP1604179A patent/JPS5844010B2/ja not_active Expired
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62210911A (ja) * | 1986-03-11 | 1987-09-17 | 株式会社 新宮商行 | 刈払機 |
| JPS62181122U (ja) * | 1986-05-10 | 1987-11-17 | ||
| JPH0432911Y2 (ja) * | 1990-01-19 | 1992-08-07 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55109437A (en) | 1980-08-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2096722A1 (en) | Method and apparatus for enhancing gas turbo machinery flow | |
| CN110199122A (zh) | 真空泵送布置 | |
| JPS5844010B2 (ja) | ガス分離カスケ−ド | |
| TW431064B (en) | Balun | |
| ATE214150T1 (de) | Stabilisierte hochvakuumtrocknungsanlage für industriehäute und dergleichen | |
| CA2226799A1 (en) | Two-stage liquid ring pumps | |
| JP2006046087A (ja) | 造水コンバインドサイクル発電プラントおよびその運転方法 | |
| JPS58180223A (ja) | ガス分離装置 | |
| JP2001132864A (ja) | 排気切替ユニット | |
| US5567193A (en) | Arrangement for vacuum-tight sealing of electron tubes | |
| CN210885420U (zh) | 一种多通道型组合切换模块装置 | |
| JPH0729626Y2 (ja) | 減圧気相処理装置 | |
| KR970044417A (ko) | 익조스트 매니폴드 결합구조 | |
| JPH04180567A (ja) | 半導体製造装置の材料ガス供給システム | |
| US11257476B2 (en) | Signal processing apparatus and signal processing method | |
| JPS6154225A (ja) | ガス分離カスケ−ド | |
| JPS5915610A (ja) | 蒸気タ−ビン | |
| JPS58120000A (ja) | 回転機械のダイヤフラム | |
| JPS56108518A (en) | Gas separation cascade | |
| JP2574816Y2 (ja) | 排ガス除害装置 | |
| KR100227830B1 (ko) | 반도체 공정챔버용 진공시스템 및 이를 이용한가스공급방법 | |
| US20160215635A1 (en) | Steam turbine and a method for retrofitting a multi-stage partial arc of admission steam turbine | |
| US4284231A (en) | Device for ducting gas in a centrifuge block | |
| CN117395099A (zh) | 一种可扩展的IO-Link级联系统及方法 | |
| JPS59222215A (ja) | 分離装置配置方式 |