JPS5842830B2 - 複数の液体小滴流を生成する装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は液体小滴生成、特にインク・ジェット印刷装置
等の印刷装置に使用する複数の一様な液体フィラメント
と小滴の生成に関するものである。

一様な液体フィラメントと同期した小滴との生成は、例
えばＬｙｏｎの米国特許第３，７３９，３９３号に発表
されたタイプの複数インク・ジェット印刷装置では特に
便利であるが、本発明はこの装置の現在のドロップ刺激
部分について全く異なった方向からアプローチしたもの
である。

一般にこの様な装置に於いては加圧された液体供給容器
から水を主成分とするインク等の導電性のある記録用液
体を受は入れるオリフィスが１列あるいはそれ以上ある
。

そしてオリフィスから一様な距離で一様な大きさの小滴
を発生させるために刺激された液体を複数の平行な噴流
あるいはフィラメントの列として放出する。

小滴が形成される時、荷電電極に荷電電圧を印加して小
滴を選択的に荷電する。

この荷電電極はフィラメントがド田ンプに分解する位置
にフィラメントに近接して設置される。

このように荷電された小滴は電場により偏向されて適当
な位置に設置された捕獲器に入る。

荷電されないドロップは、偏向せずに電場を通過し、比
較的高速度で小滴の進路を横切るようにして送られる印
刷用紙の上に付着する。

印刷情報は荷電を通して小滴に伝達する。

可能な限り高い解像度で印刷するために、荷電制御電圧
は小滴が生成されるのと同一の周波数で荷電電極に印加
されるべきである。

これで各付着ドロップを他の全てのドロップの解像セル
と異なる１解像セルに決定せしめる。

さらに、各荷電電極が関係スるフィラメントでのドロッ
プ生成と同位相で活性化されなければ、印刷情報をドロ
ップに正確に伝達できない。

そうしなければ不完全な荷電ドロップとなり、このドロ
ップは捕獲器を逸れて印刷用紙のとっぴな位置に付着す
る。

従って、全ての噴流のドロップが関係するデータ伝達荷
電パルスと同期して生成されなければ、上記タイプの噴
出ドロップ印刷機はその最大能力で動作できない。

これがまた全てのフィラメントについてのドロップ生成
タイミングの測定、あるいはドロップ生成のタイミング
又は位相を予め決めた方法でのドロップ生成の制御の何
れかを意味している。

簡単さという観点からこの理想的な解決は全てのフィラ
メントに共通した振幅でかつ正確な同期状態でドロップ
刺激擾乱を加えることである。

その時、もし噴出口が全て同一の直径、速度、及び流動
学的特性を有しているならば、全てのフィラメントは同
一の長さを有し、かつドロップを同期して生成するであ
ろう。

この同期したドロップ生成は所望のデータ位相ロックを
極めて容易にする。

何故ならば１つの噴出口のタイミング測定は即ち全ての
噴出口のタイミング測定だからである。

最高の印刷質の達成に加え最大印刷幅の達成も重要であ
る。

後者を達成するためには、全ての配列噴出口のエネルギ
変動が最小であることが必須である。

このエネルギの一様性はその配列内のフィラメント長の
一様性として反映される。

過度なエネルギ変動（フィラメント長変動）は追従した
小滴の生成あるいは噴出の非線形動作の伺れかの原因と
なるであろう。

この両者は共に印刷に於ては好ましくない状態である。

前記したＬｙｏｎ等の特許に於ては、ドロップ生成は進
行波技術により成される。

この方法では最大印刷幅及び印刷の質に限界がある。

Ｌ ｙｏｎ等によって示唆されるように、連続した進行
波はオリフィス板の縦方向に沿って伝わり、進行波が達
すると噴出口が刺激される。

しかし、波の伝播にはエネルギ減衰が共なう。

従って噴出フィラメントを配列に沿って一様に長くする
原因となる。

やがてはフィラメント長変動は過剰になり、そして使用
可能な最大印刷幅に達する。

このシステムでは、この異なる噴出口は同時にドロップ
を生成しないが、それらの位相関係が分かつている。

このシステムは理論的にはより良い解像度で動作可能で
あり、この解像度は噴出口と噴出口との間の既知のドロ
ップ生成位相シフトのマツチング量により、スイッチン
グ制御信号の位相シフト用の位相シフト回路が用意され
た各データ・チャンネルで与えられる。

これは電子工学を駆使する必要があり、かつ実際上オリ
フィス板の境界が一様でないことにより生ずるオリフィ
ス板波長の変動（この理由で位相誤差が生ずる）の予測
が不可能なため達成困難である。

たとえそのような同期が達成されたとしても、進行波刺
激がゆがんだ小滴マトリックスを生成する事実により、
最高の品質の印刷はまだ得られず、かつ水平でない１列
の小滴は同時に印刷しない。

小滴のこの列に沿って線形時間遅れが存在する。

オリフィス板の長軸に沿った屈曲波の１波長毎に、１周
期の時間差が観測される。

過去の技術では位相シフトの臨界を最小にするために単
一ドツト印刷する複数の小滴を使用した。

ところが、これは印刷速度及び印刷の質を犠牲にする。

また印刷速度が減少するとき、なぜ印刷の質が向上する
かの理由を説明する。

容器内の液体を振動させることとオリフィス板を堅く維
持することとにより進行波刺激の両者の限界を克服する
試みが成された。

これは液体を通してオリフィスに連結された１個あるい
は複数個の変換器の使用を含むので、一様なフィラメン
ト及び同期したドロップの生成が印刷液体それ自体内の
振動の発生により生じる。

この従来技術の装置はこれらの意図する結果を得るため
には効果がなかった。

その理由は主にこれらの装置が生成された主振動波に対
する反射波等による干渉を予防することができなかった
からである。

これはドロップ生成の一様性をかなり減少させ、このよ
うなシステムを実用的でないものにする。

本発明は、一様にかつ同期して刺激される噴出口配列の
長さ内に制限されない平面波刺激装置を設けることによ
り、従来技術の装置に伴なう上記の困難及び欠点を克服
する。

これはピストン部材を設けることにより果され、このピ
ストンが容器を形成するマニホルドと振動的に実質上分
離されるように、オリフィス配列の上のマニホルドにこ
のピストン部材は支持される。

このピストンは複数の電気−音響変換器で駆動され、こ
れらの変換器はピストンの上面に縦長手方向に一定の間
隔でもって固定されて容器の液体と接触しない。

ピストンは複数の変換器アッセンブリで支えられ、また
これらの変換器アッセンブリは変換器からマニホルドへ
直接に振動が伝わるのを最小にするような方法でマニホ
ルドに固定される。

さもないと振動の伝達が容器の液体の刺激に対して干渉
の原因となる。

この装置全体はあらゆるこの干渉波刺激を最小にするた
めに設計される。

そうしないとオリフィス板だけでなく容器を形成するマ
ニホルドから変換器とピストン部材が振動的に分離され
ないときこの干渉波刺激が発生する。

本発明に使用する好適な形式の変換器である圧電気変換
器の場合、一対の変換器あるいは一対の同一の形の変換
器が各変換器アッセンブリに使用され、１つの変換器の
上に他の１つの変換器を重ねて据え付は板に取り付けら
れる。

この据え付は板は２つの変換器の間に挾まれて、変換器
の電極としても働くのが好ましい。

よく知られているように変換器は極性を有している。

従って変換器アッセンブリでは、据え付は板の両側の面
と接触する変換器の対向面が等しいポテンシャルを有し
、かつ各変換器の外側の面もまた隣接面と反対の等しい
ポテンシャルを有するように個々の変換器は設置される
。

このように設置された２つの同一の形の圧電気変換器の
使用には３つの利点がある。

第１に、上記した等しいポテンシャル面の設置はこれら
の変換器を接地させるので、変換器あるいはマニホルド
に触れても感電しない。

第２に、この装置のさらに重要な機能に関係し、これら
の変換器は据え付は板に等しくかつ反対の力を加える。

要するにこの据え付は板を通してマニホルドへの振動伝
達の可能性を最小にする変換器の節の位置に据え付は板
は固定される。

さらに浮遊振動を最小にするために、据え付は板は弾力
性部材の間に挾まれ、この弾力性部材はまた電気絶縁物
であり、マ÷ホルトを高電圧から分離する。

第３に、変換器の効率は変換器対により２倍となる。

上に述べたように、ピストン部材はマニホルドの中で次
のようなものにより弾力的に囲まれている。

例えば円形リングをピストン部材の全周囲の側面部分の
まわりに張り、そしてピストン部材とマニホルドの間を
密閉して容器から液体が漏れるのを防ぐ。

ピストン部材は実際には横断面が大体長方形の比較的堅
い板金から成ってもよい。

しかしこの好適な形状は、横断面が等脚台形の下部を有
するものであり、これが容器の中をオリフィス板のオリ
フィスに隣接する位置まで伸びたエネルギ集中器を形成
する。

ピストン部材内で屈曲波が縦長手方向に発生するのを最
小にしてそれによりピストン部材を真に堅くたわまない
ようにするために、最大動作周波ｌ、 数でのピストン部材内の屈曲波の百波長よりも実質的に
短かいピストン部材の上面に沿って、変換器は一定の間
隔があけられる。

さらにこのような振動波の発生を防ぐために、横に水平
に一定の間隔を有する複数の垂直な切れ目をピストン部
材を貫いて随意につくってもよい。

これら隣接する切れ目は、互いに反対側即ち上部及び下
部からピストン部材の中央部過ぎの位置まで伸びている
。

従ってピストン部材を貫く水平面は切れ目の少くともい
くつかにより妨害される。

これらの切れ目はピストン部材内の振動波伝播の障壁と
して働き、かつピストン部材の干渉波の縦の移動を隣接
切れ目間の距離に制限する。

この切れ目間の距離は動作周波数でのピストン部材内の
可能な屈曲波の上波長よりも実質的に短かい方がよく、
本質的な振動波の干渉振幅の増大を防止する。

変換器の縦及び横の寸法は、同様に最大動作周波数での
変換器アッセンブリ内の屈曲波の百波長よりも実質的に
短かく制限した方がよい。

これは同様に変換器内の本質的な干渉波の増大を防ぐ。

オリフィス板の横の寸法は最大動作周波数でのオリフィ
ス板内の屈曲波の上波長よりも実質的に短かい方がよく
、それによりオリフィス板の可能な屈曲波は弾性導波の
カットオフの性質によりなくなる。

実行不可能な狭い板が必要となる高周波刺激の場合、こ
の変更としてこの板の全境界に沿って良好な振動ダンピ
ングを有する幅の広い板を使用する。

このような堅いオリフィス板では、ピストンの底面から
オリフィス板の上面までの距離は広帯域（動作周波数範
囲）刺激にとってあまり重大でなくなり、流体力学の考
察により決定される。

狭帯域刺激について、この距離を動作周板数での液体振
動波の上波長の奇数倍に等しくすると好都合であり、オ
リフィス板は振動振幅が零の部平面に実質的に存在する
。

本発明を図示実施例に従って以下に説明する。

第１図に示す印刷ヘッド・アッセンブリの基本的構成部
品は複数の変換器アッセンブリ１０、ピストン部材１２
、弾力性円形リング１４、変換器ホルダー１６、中間密
閉円形リング２０が設けられたマニホルド・ブロック１
８、及びオリフィス板２２を含む。

本発明は上記の主な構成部品を含む印刷ヘッド・アッセ
ンブリにのみ関係するので、印刷装置の残りの部分の詳
細についてここでは論議しない。

この残りの部分の説明としてＭａｔｈｉｓの米国特許第
３，７０１，９９８号を参照してもよい。

各変換器アッセンブリ１０は上部裏打ち板２４、厚いセ
ラミック変換器の方が好ましい１対の圧電気変換器２６
と２８、電気絶縁体としても働く弾力性据え付は部材３
２の間に挾まれかつ変換器２６と２８の電極としての機
能も有する変換器アッセンブリ据え付けあるいは取り付
は板３０とから構成される。

この変換器アッセンブリ１０は、そこを貫いてピストン
部材内に伸びたポルト３４で変換器アッセンブリをピス
トン部材１２に据え付けることにより共に固定される。

変換器２６と２８及び上部裏打ち部材２４は第２図に示
すように実質的に同一の外延を有し、かつ平行に縦長手
方向に配列される。

この幅Ｗはピストン部材１２の幅と実質的に同一の幅で
ある。

幅Ｗとピストン部材１２の縦長手方向に測った長さＬは
、前記したように両方とも最大動作周波数での変換器ア
ッセンブリの屈曲波の７波長よりも実質的に短かい方が
好ましく、それによってピストン部材を伝播する主振動
波に対し影響を与えでしまうかなりの振幅の定在波に起
因する干渉が最小となる。

ここでの用語「屈曲波」は、変換器配列の長さに沿った
縦方向にその部材を曲げようとする振動波を意味する。

しかしこの７波長は、以下に引用する他の間隔だけでな
く変換器アッセンブリの寸法の実質的なガイド・ライン
を意図したものであるけれども、これらの寸法の絶対的
な限界ではなく、反射波による干渉を減少させるための
単なるガイド・ラインを与える。

これらの寸法は装置の効率及びフィラメントとドロップ
虫取の能力に相当な影響を有する。

しかし実用的な面からはこのガイド・ラインは満足なも
のである。

変換器２６と２８は同一の極性が向かい合わせになるよ
うに相対的に設置される。

言いかえれば、例えば極性が正の面は据え付は板３０の
両面に配置され、一方極性が負の面は各々上部裏打ち部
材２４とピストン部材１２の上面に取り付けられる。

この配列の仕方では変換器は接地できるので、動作中に
変換器に触れるようなことがあっても、感電を防ぐよう
な安全性を増す特徴を与える。

据え付は板３０から上部マニホルド１６へ振動が伝わる
のを実質的に防ぐのに十分な弾力性が得られる限り、弾
力性据え付は部材３２は所望の物質なら何でもよく、か
つ最小限の厚さのみ必要であり、そしてまた良好な絶縁
体としても働く。

これは振動波がマニホルドを通して伝わり、そしてオリ
フィスでのドロップ増殖に影響を与えるのを防ぐ。

複数の上部裏打ち板２４は液体への力伝達を高めるため
にピストン部材よりもむしろ音響インピーダンスが概し
て高い物質であるべきである。

ピストン部材１２は両端が半円筒である大体長方形の上
部を有するが、この厳密な形は本質ではなく、例えば上
部表面が希望するならば完全な長方形でもよい。

ピストン部材１２の下部は長手方向と直交する方向の横
断面が等脚台形であり、半円筒形の両端部は第１図に示
すように円錐形の頭を切った形状にするため内側に湾曲
している。

これはオリフィス板２２のオリ、フイスに刺激波を集中
させるためのエネルギ集中器として働く。

ピストン部材１２は液体のインピーダンスに比較的近い
音響インピーダンスの比較的小さい物質で作られるのが
好ましく、これらの境界面で衝突する反射波は最小とな
る。

ピストン部材１２の下部はもちるん他の形状でもよく、
例えばピストン部材の全横断面は方形でもかまわない。

このピストン部材１２は弾力性円形リング１４で弾力的
に囲まれていて、以下に述べる方法での変換器２６と２
８の励起に起因するピストン部材１２の垂直の動きを可
能にする。

円形リング１４はピストン部材１２の外周の側面部分と
隣接する変換器ホルダー１６の側壁部分との間を密閉し
、マニホルドから液体が漏れるのを防ぐ。

また円形リング１４は、弾力性据え付は部材３２が据え
付は板３０から干渉波が伝わるのを防止するのと大体同
じように、ピストン部材から変換器ホルダー１６に干渉
波が伝わるのを防ぐ働きもある。

また変換器ホルダー１６とマニホルド・ブロック１８は
ボルト締めあるいは粘着等の何らかの望ましい手段によ
り互いに固定される。

そして液体密閉円形リング２０は変換器ホルダーとマニ
ホルド・ブロックの表面間から容器の印刷溶液が漏れる
のを防止する。

広帯域刺激の場合、ピストン部材の底面からオリフィス
板の上面までの距離は刺激の観点からは重大ではなく、
流体力学が許す程度に小さくできる。

狭帯域刺激ではこの距離は動作周波数での液体圧給液の
７波長の奇数倍にすべきである。

こうすれば振動振幅が実質的に零になる節平面にオリフ
イス板が存在することを事実上保証する。

オリフィス板２２は比較的堅い構造を有し、進行波刺激
によりオリフィス板自身が振動するのと異なって、本オ
リフィス板は振動しない傾向にある。

オリフィス板２２は支持フレーム（図示せず）でマニホ
ルド・ブロック１８の底面へ粘着、はんだづけ、あるい
はボルト締めにより固定され、オリフィス板２２をしっ
かりと動かないように維持する。

このオリフィス板はピストン部材１２の下部の下に対称
にオリフィス板の縦に沿って配列されたオリフィス３６
を有する。

オリフィス板２２を容器の中で動かないように維持する
ことを助けるために、オリフィス板２２の上面を横切る
マニホルド・フロック１８の内部壁３８と４０は最大動
作周波数でのオリフィス板の屈曲波の７波長よりも短か
く分離された方が好ましい。

またオリフィス板内の干渉波の伝播を最小限にすること
についても同様である。

第４図で、隣接する変換器アッセンブリ間の間隔りもま
た最大動作周波数でのピストン部材１２の屈曲波の百波
長よりも短かくすべきであり、干渉波の伝播を減少させ
る。

また、ピストン部材１２は複数の横断するスリット４２
を有し、このスリットはピストン部材１２を貫く垂直面
でピストン部材１２を全体に長手方向と直交する方向に
横切って伸びている。

隣接するスリットは互いに上部及び下部の反対側の面か
らピストン部材１２を貫き、ピストン部材の高さの÷以
上まで切られているので、ピストン部材を貫く水平面は
複数のスリット４２の少なくともいくつかで切られる。

これらのスリットはピストン部材内の横波の伝播を最小
にするのに相当の助けとなり、さもなければこの伝播は
ピストンに沿ったエネルギ一様性及びこれによる噴出口
配列に沿ったエネルギ一様性を妨げる。

スリット４２は可能な限り薄くすべきであり、ピストン
部材の堅固さに影響を与えるほどスリットをピストン部
材の高さの半分を越えて伸ばすべきではない。

その理由はピストン部材が曲がらない物体として実質的
に動作するように意図したものであるからである。

変換器配列の全ての変換器アッセンブリ１０は導線４４
と４６で共通の信号発生装置４７に接続されるので、複
数の変換器は実質的に同一の周波数で励起される。

動作について、変換器は全て所望の周一波数で励起され
、複数のオリフィス３６から一様な連続するドロップを
発生する。

各変換器アッセンブリは両方の圧電気クリスタル２６と
２８に加えられた電気インパルスにより励起される。

このクリスタル２６と２８は据え付は部材３０に対して
等しい力を加え、この部材３０は、上部裏打ち部材２４
とピストン部材１２を互いに反対方向に移動させる。

従って、据え付は板３０は２個の変換器の間の節点に実
質上設置され、そこでは据え付は板に最小の励起が生じ
る。

さらにこれは据え付は板から変換器ホルダー１６へ干渉
波が伝わるのを実質的に減少させる。

ビストノ部材１２は、変換器２６と２８の合成動作によ
り上下するので、印刷溶液に作用してオリフィス板に平
行な平面波を作り、オリフィス板に向かって溶液中を伝
播する。

これに対応する擾乱はオリフィス２６からの噴流の流出
及び擾乱の成長をもたらし、レーリ（Ｒａｙｌｅｉｇｈ
）規準に従がってこの噴流は一様なドロップに分解する
。

ピストン部材１２の縦に沿った変換器を全て同時にかつ
等しい振幅で励起することは重要である。

この達成には、変換器配列励起の好適な方法は、たとえ
共振励起がより効果的かつ達成可能であっても、共振か
らずれて動作させることである。

この理由は実際に変換器の共振周波数が複合変換器の種
々の物理的パラメータの変動により少し異なる傾向にあ
るためである。

しかし、変換器の振幅と位相は両方とも周波数に依存す
る。

正確に同一ではないが同程度の共振周波数を有する変換
器が、与えられた周波数例えば変換器の１つの共振周波
数で同時に駆動される場合、残りの変換器は共振周波数
で駆動された変換器と相違する時間に相違する振幅をピ
ストン部材１２に与えるだろう。

その相違の程度は共振帯域の幅に依存し、この帯域幅が
狭いほどその相違は大きくなる。

しかるに、変換器が共振しないで動作するとき、振幅と
位相は比較的に周波数と関係なくなり、従ってピストン
部材１２の上面に沿ってより以上の一様な振幅と位相の
分配は、夫々の変換器を夫々の共振周波数より以上のあ
るいは以下の周波数で駆動することにより得られる。

このような周波数では振幅及び位相においてより大きな
一様性が与えられ、そして変換器をこれらの共振周波数
からずれて駆動するため振動振幅は相当減少されるが、
これはより高い電圧を供給することにより補償される。

しかし、力の一様で同期した供給について得られるこの
利点はこのような消費の増大に十分値するものである。

本発明によれば、ピストン部材により広い幅にわたって
均一な刺激擾乱を発生することができ、これによって良
好な印刷質にて印刷幅をより長くすることが可能となる
。

本発明の好適実施例について前述したが、他の変形型も
可能である。

そのような変形型は当業者には明らかであり、本発明の
範囲内である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に従って製作したインク・ジェット印
刷装置用の印刷ヘッド、アッセンブリの好適実施例の引
き伸ばした斜視図である。 第２図は、第１図の実施例の変換器アッセンブリとピス
トン部材の一部の斜視図である。 第３図は、第１図の実施例を組み立てた印刷ヘッドの横
断面図である。 及び第４図は、ピストン部材とこの上に据え付けた変換
器アッセンブリの側面図である。 符号説明、１０：変換器アッセンブリ、１２：ピストン
部材、１４：弾力性円形リング、１６：変換器ホルダー
、１８：マニホルド・ブロック、２０：中間密閉円形リ
ング、２２ニオリフイス板、２４：上部裏打ち部材、２
６．２８：変換器、３０：据え付は板、３２：弾力性据
え付は部材、３４：ボルト、３６：オリフィス、３Ｂ
、 ４０ ：内部壁、４２ニスリツト、４４，４６：導
線、４７：信号発生装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 複数の液体小滴流を生成する装置であって、イ）圧
   力の加えられた液体を含む細長い容器手段、口）前記容
   器手段の底部の形成し、この底部に細長いパターンで配
   列された複数のオリフィスを有し、該オリフィスを通し
   て前記液体が前記容器手段から一連の連続的な流れで押
   し出されるオリフィス板手段、 ノ）前記容器手段の上方に該容器手段から振動的に分離
   して配置され、前記液体と接触している底面を有する細
   長いピストン手段、 二）前記底面と対向する前記ピストン手段の上面に係合
   しかつ前記容器手段の外側に配置され、前記ピストン手
   段の垂直な並進運動を起こして連続的な一連の平面波を
   発生させかつ前記オリフィスから流出する前記液体に実
   質的に一様な圧力擾乱を引き起こさせる、分離している
   が近接した複数の電気−音響変換器手段、 ホ）前記複数の変換器手段と前記ピストン手段を前記容
   器手段の上に弾力的に支える支持手段、及び へ）前記複数の電気−音響変換器手段を同時に反復して
   作動して連続した前記擾乱を起こさせる手段。 から成ろ装置。 ２ 前記ピストン手段がピストン支持手段により支えら
   れた細長い部材であって、該ピストン支持手段が前記ピ
   ストン手段の周縁部のまわりに絶え間なく配置されかつ
   前記容器手段と前記ピストン手段との間を密閉するよう
   に係合する液体密閉弾力性ガスケット部材から成る特許
   請求の範囲第１項記載の装置。 ３ 各前記変換器手段が、その最大動作周波数で１、 前記変換器手段の屈曲波の約７波長よりも短かい前記ピ
   ストン部材の長手方向に沿った長さを有する圧電気変換
   器手段を少なくとも１つ含む特許請求の範囲第２項記載
   の装置。 ４ 各前記圧電気変換器手段が、 イ）上部及び下部の圧電気部材が同一の外延を有し、前
   記上部部材が前記下部部材の上方に配置されていること
   、 口）前記上部及び下部部材の間に挾まれ、前記上部及び
   下部部材の対向側で前記容器手段に固定された据え付は
   板、 →前記上部部材によって支持された裏打ち部材、二）前
   記裏打ち部材、前記上部及び下部部材、及び前記据え付
   は板を互いに固定し、かつ前記ピストン手段の上面に前
   記下部部材を係合して前記上面に固定された手段、 から成る特許請求の範囲第３項記載の装置。 ５ 前記ピストン手段がその中に設けられた長手方向を
   横断する横方向の複数の垂直なスリットを有していて、
   隣接スリットは上面及び下面から交互に前記ピストン手
   段を貫いてその厚さの少なくとも半分まで伸びており、
   前記ピストン手段の水平面が前記スリットの少なくとも
   いくつかにより切断され、隣接する前記スリット間の間
   隔が前記ピストン手段のその最大動作周波数での屈曲波
   の約７波長より短かい特許請求の範囲第４項記載の装置
   。 ６ 前記ピストン手段が、横断面がほぼ方形の上部と、
   前記オリフィス板手段に向かって内側に次第に細くなっ
   た側面部分を具備する長手方向を横断する方向の横断面
   がほぼ等脚台形の形状をした下部とを有する特許請求の
   範囲第５項記載の装置。 ７ 複数の前記変換器手段が前記ピストン手段の前記上
   面に沿って配置され、各前記変換器手段が前記ピストン
   手段を貫く垂直な長手方向の平面に関して対称であり、
   かつ複数の前記変換器手段の間隔が前記ピストン手段の
   その最大動作周波数での屈曲波の約７波長より短かい特
   許請求の範囲第６項記載の装置。 ８ 前記ピストン手段の底から前記オリフィス板の上面
   までの距離が、実質的に前記装置の動作周１、 波数での液体振動波の７波長の奇数倍である特許請求の
   範囲第７項記載の装置。 ９ 前記オリフィス板手段に隣接する前記容器手段の内
   部側壁が、その長手方向を横切る方向に前記装置の最大
   動作周波数での前記オリフィス板子役向の屈曲波の約７
   波長より短かい間隔を有する特許請求の範囲第８項記載
   の装置。