JPS5842268B2 - ジヨウチヤクソウチ

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【発明の詳細な説明】本発明は膜厚監視用モニターを被蒸着面に蒸着される膜
の厚さを均一にするために蒸発源と被蒸着面との間に配
置されたマスク部材又は該マスク部材の近傍に設置した
蒸着装置に関するものである。

被蒸着面に蒸着される蒸着膜の厚さを均一にするために
蒸発源と被蒸着面との間に所定の形状のマスク部材が配
置された蒸着装置は既によく知られている。

又、被蒸着面に蒸着されるべき膜厚を蒸着中監視するた
めのモニターを有する蒸着装置は既に知られている。

第１図は蒸着源と被蒸着面との間に、被蒸着面に蒸着さ
れる膜の厚さを均一にするためにマスクを設けた蒸着装
置の従来の一実施例を示す図である。

第１図において、１は真空室である。この室は排気口２
及び透明窓３を有している。

４は被蒸着面を有する被蒸着体５を支持する回転支持体
であり、蒸着の間、被蒸着体の各部分が同一の条件で蒸
着される様に被蒸着体５を回転させる。

６は膜厚監視用モニター７は蒸着源である。

８はモニター６に監視用ビームを投光する投光部材、９
はモニター６からの光を受ける受光部材である。

蒸着操作中、この受光部材で受けるモニター６からの反
射光の強度変化を監視することによって膜厚変化を監視
する。

１０は蒸着源７と被蒸着面との間に配置されたマスク部
材で、このマスクは均一膜厚を得るために被蒸着面、蒸
着源及びこれらの配置によって定まる形状をもつ。

被蒸着体５の被蒸着面に蒸着される膜厚を均一にする為
のマスク板の効果を発揮させる為には、被蒸着面がモニ
ター６によって遮蔽されない様に、第１図に示す如く、
モニター６を被蒸着体５の側方に設置しなげればならな
い。

しかしながらモニター６を被蒸着体５の周辺部に配置す
ることは、被蒸着体５の回転中心より大きく離れている
為、被蒸着面に蒸着される膜厚とモニター上に蒸着され
る膜厚が蒸発分布が安定しない場合、対応が付かない恐
れが生じる。

本発明の目的は、蒸着源と被蒸着面の間にマスク部材を
配して被蒸着面に蒸着される膜厚を均一にする蒸着装置
において、被蒸着面に蒸着される膜厚を正確に測定でき
る蒸着装置を提供することにある。

本発明に係る蒸着装置においては、マスク部材の一部に
透孔を設げ、該透孔を充分に覆うだけの大きさを有する
モニターを、マスク部材と被蒸着面の間の空間に、前記
マスク部材に近接して配することにより上記目的を達成
せんとするものである。

即ち、本発明では、モニターに、膜厚監視の役割と同時
にマスクの役割を持たせることにより、上記目的を達成
する。

以下、図面を用いて本発明を先べろ。

第２図及び第３図は各々、本発明の蒸着装置の一実施例
を示す図である。

第２図、第３図において、第１図と同一の番号を付した
部材は、同一の部材を示すものであるので、ここでは説
明を省く。

蒸着源７と被蒸着体５の間に配されたマスク板１１はそ
の一部に孔１２を有しており、該透孔１２を覆う様にモ
ニター６がマスク板１１に固設されている。

従って蒸着源７からの蒸発粒子の一部は透孔１２を通過
してモニター６土に付着される。

このモニター６を前記監視機構９，１０で監視すること
により、被蒸着体５上の膜厚を制御する。

第２図はマスク板１１が蒸着源７の直接上に配置されて
いる場合を示すもので、モニター６が設けられる透孔１
２は、被蒸着面の回転中心部に設けられている。

又第３図に示す装置は、マスク板１１が蒸着源７の直接
上に配置されていない場合を示すものであるが、モニタ
ー６が設けられる透孔１２の位置は、マスク板へ進行す
る蒸気の進路中で、かつ被蒸着面の回転中心部に配する
ことが望ましい。

本発明の装置に基づいて実験を行なった結果被蒸着面の
回転中心の膜厚をｔ。

、その周辺の膜厚をｔとするならば膜厚比１／１ｏは蒸
着後の全面において１．０士０．０２であり、はぼ均一
な膜厚が得られ各ロット間の膜厚のバラツキも１％位で
あった。

又、本発明の装置でモニターは光学的なものとして説明
したが水晶発振器等の電気的なものであってもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の蒸着装置を示す図、第２図及び第３図は
各々、本発明に係る蒸着装置の一実施例を示す。図中、１は真空室、２は排気口、３は透明窓、４は回転
ドーム、５は被蒸着体、６はモニター１は蒸発源、１１
はマスク、１２は透孔である。

【特許請求の範囲】