JPS5834586A - 水冷冷却加熱電極 - Google Patents
水冷冷却加熱電極Info
- Publication number
- JPS5834586A JPS5834586A JP13270281A JP13270281A JPS5834586A JP S5834586 A JPS5834586 A JP S5834586A JP 13270281 A JP13270281 A JP 13270281A JP 13270281 A JP13270281 A JP 13270281A JP S5834586 A JPS5834586 A JP S5834586A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- water
- cooling
- cooled
- heating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Resistance Heating (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体結晶製造装置等Ｏ高温加熱用ヒータの水
冷冷却加熱電極に関する。
冷冷却加熱電極に関する。
従来加熱ヒータの加熱電極は、それ自体に大電流（５０
０Ａ）を流すため発生するジ轟−ル熱ＪＤ、カーボンヒ
ータと電極間での接触抵抗Ｒによって発生するジ為−ル
熱ＪＲ１高温ヒータから熱伝導Ｃで電極に伝わるジ為−
ル熱Ｊ１の総和、ｒ ＝ ＪＤ＋ＪＲ＋Ｊ。
０Ａ）を流すため発生するジ轟−ル熱ＪＤ、カーボンヒ
ータと電極間での接触抵抗Ｒによって発生するジ為−ル
熱ＪＲ１高温ヒータから熱伝導Ｃで電極に伝わるジ為−
ル熱Ｊ１の総和、ｒ ＝ ＪＤ＋ＪＲ＋Ｊ。
Ｋ対して水冷冷却水の温度がＴ’０（１５℃）上昇する
こととして、冷却水の流量りを總ジーール熱Ｊを４倍と
して設計するのが通例である◎上記内容にあわせて設計
した例を第１図に示す。 譲１図において、それを実際
に使用して見ると４倍の余裕を見ているにもかかわらず
、電極上部のみが加熱されたり、加熱されたことによ）
電極表面に酸化膜が作成され接触抵抗が増加したシ、ま
たヒータと電極の放電というような異常状態が発生する
・とれらの発生原因は第２図において示すように電極上
部で水流のよどみがあるためと思われる〇本実＠Ｏ目的
は高温加熱用の水冷冷却電極として十分の機能を示す水
冷冷却の電極構造を提供することにある。
こととして、冷却水の流量りを總ジーール熱Ｊを４倍と
して設計するのが通例である◎上記内容にあわせて設計
した例を第１図に示す。 譲１図において、それを実際
に使用して見ると４倍の余裕を見ているにもかかわらず
、電極上部のみが加熱されたり、加熱されたことによ）
電極表面に酸化膜が作成され接触抵抗が増加したシ、ま
たヒータと電極の放電というような異常状態が発生する
・とれらの発生原因は第２図において示すように電極上
部で水流のよどみがあるためと思われる〇本実＠Ｏ目的
は高温加熱用の水冷冷却電極として十分の機能を示す水
冷冷却の電極構造を提供することにある。
すなわち本発明は第１図に示す水冷冷却電極において事
故の原因が電極上面端部における水流のよどみにある点
に対して解決案を作成する事で水冷冷却電極とし十分な
機能をはだす点に層目している。
故の原因が電極上面端部における水流のよどみにある点
に対して解決案を作成する事で水冷冷却電極とし十分な
機能をはだす点に層目している。
以上の観点から、本発明では電極筒内部上面と冷却水流
入ノズルの上端部の距離を１ｕ〜３鵡に限定する事で電
極上面の加熱を防ぎ使用上問題のない、水冷冷却電極を
作成した。
入ノズルの上端部の距離を１ｕ〜３鵡に限定する事で電
極上面の加熱を防ぎ使用上問題のない、水冷冷却電極を
作成した。
以下この発明の一実施例を図面を参照して説明する。第
３図（ａ） （ｂ）は本発明の方法を適用し九高温加熱
用水冷冷却電極の模式図である。第３図（→（呻におい
て材料は鋼を使用し、１はカーボンヒータ。
３図（ａ） （ｂ）は本発明の方法を適用し九高温加熱
用水冷冷却電極の模式図である。第３図（→（呻におい
て材料は鋼を使用し、１はカーボンヒータ。
２は電極、３は水冷を行なう冷却ノズル、４は排水口、
５は入水口である。第３図の熱設計は次のようになって
いる。電極に流す最大電流を５００ （Ａ）として計算
すると電極自身の抵抗がｌ×１００、カーボンヒータと
電極の接触抵抗が９．５ Ｘ １０ Ωとなる九め抵
抗によるジ為−ル熱ＪＤ＋ＪＲは２５Ｗとなる。次にカ
ーボンヒータから熱電導によるジ為−ル熱Ｊ、を５００
Ｗとｆ４と’）−−に熱ＪＯ＠和は約５００Ｗとなる。
５は入水口である。第３図の熱設計は次のようになって
いる。電極に流す最大電流を５００ （Ａ）として計算
すると電極自身の抵抗がｌ×１００、カーボンヒータと
電極の接触抵抗が９．５ Ｘ １０ Ωとなる九め抵
抗によるジ為−ル熱ＪＤ＋ＪＲは２５Ｗとなる。次にカ
ーボンヒータから熱電導によるジ為−ル熱Ｊ、を５００
Ｗとｆ４と’）−−に熱ＪＯ＠和は約５００Ｗとなる。
上記に示したジ為−ル熱Ｊを４ＸＪである２ＫＷとし、
冷却水温度が巧℃上昇すると仮定すると流量は２１ ／
ｍｉｎ必要となる。第３図において問題となる電極筒
内部上面と冷却ノズル上面の距離ｄをパラメータとして
冷却水の上昇温度を調べた結果を第４図に示す＠第４図
において距離ｄはＩｍ＠〜３ｍが電極に対する冷却効果
が最大である事がわかる。実際にｄ＝２１１１１として
４８Ｈの連続加熱を行なっ九が特に問題がなかった。上
記で使用し九構成は電ＩＩ！Ｉ身の構成が複雑になる事
もなく構成部品の少変更で冷却効果を２倍以上に上げた
点で大きな意義がある。
冷却水温度が巧℃上昇すると仮定すると流量は２１ ／
ｍｉｎ必要となる。第３図において問題となる電極筒
内部上面と冷却ノズル上面の距離ｄをパラメータとして
冷却水の上昇温度を調べた結果を第４図に示す＠第４図
において距離ｄはＩｍ＠〜３ｍが電極に対する冷却効果
が最大である事がわかる。実際にｄ＝２１１１１として
４８Ｈの連続加熱を行なっ九が特に問題がなかった。上
記で使用し九構成は電ＩＩ！Ｉ身の構成が複雑になる事
もなく構成部品の少変更で冷却効果を２倍以上に上げた
点で大きな意義がある。
第１１１は従来の加熱電極の模式図、第２図は従来構成
で問題となっ九冷却水のよどみを示す図、第３図（→（
呻は本発明を適用し九高温加熱用水冷冷却電極の模式図
、第４ｇは第３図においてパラメータｄを変化させ九場
合の冷却水温度上昇を示す図である。 ｌ・・・カーボンヒータ、 ２・・・電極。 ３・・・冷却ノズル、 ４・・・冷却水排出口、５・
・・冷却水入水口。 代理人 弁理士 側近 電値（ほか１名）第１図 第２図 第３図 ５（４）
で問題となっ九冷却水のよどみを示す図、第３図（→（
呻は本発明を適用し九高温加熱用水冷冷却電極の模式図
、第４ｇは第３図においてパラメータｄを変化させ九場
合の冷却水温度上昇を示す図である。 ｌ・・・カーボンヒータ、 ２・・・電極。 ３・・・冷却ノズル、 ４・・・冷却水排出口、５・
・・冷却水入水口。 代理人 弁理士 側近 電値（ほか１名）第１図 第２図 第３図 ５（４）
Claims (1)
- 加熱用カーボンヒータとカーボンヒータに電力を供給す
る・円筒電極と円筒電極内部に電極を水冷するノズルと
によって構成される電極において、円筒電極内部上面と
電極内部の水冷ノズル上端の距離を１〜３ｍ１１１とす
る事を特徴とする水冷冷却加熱電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13270281A JPS5834586A (ja) | 1981-08-26 | 1981-08-26 | 水冷冷却加熱電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13270281A JPS5834586A (ja) | 1981-08-26 | 1981-08-26 | 水冷冷却加熱電極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5834586A true JPS5834586A (ja) | 1983-03-01 |
Family
ID=15087552
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13270281A Pending JPS5834586A (ja) | 1981-08-26 | 1981-08-26 | 水冷冷却加熱電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5834586A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09504047A (ja) * | 1993-10-21 | 1997-04-22 | イー・アイ・デユポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | テトラヒドロフラン及びポリカルボン酸からのポリ（エーテル−エステル）の製造 |
-
1981
- 1981-08-26 JP JP13270281A patent/JPS5834586A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09504047A (ja) * | 1993-10-21 | 1997-04-22 | イー・アイ・デユポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | テトラヒドロフラン及びポリカルボン酸からのポリ（エーテル−エステル）の製造 |
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