JPS5826796B2 - 複数個のヒ−タ素子を備えた電気的フイルム状ヒ−タ - Google Patents
複数個のヒ−タ素子を備えた電気的フイルム状ヒ−タInfo
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- JPS5826796B2 JPS5826796B2 JP6443278A JP6443278A JPS5826796B2 JP S5826796 B2 JPS5826796 B2 JP S5826796B2 JP 6443278 A JP6443278 A JP 6443278A JP 6443278 A JP6443278 A JP 6443278A JP S5826796 B2 JPS5826796 B2 JP S5826796B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/84—Heating arrangements specially adapted for transparent or reflecting areas, e.g. for demisting or de-icing windows, mirrors or vehicle windshields
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
- H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
- H05B3/14—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
- H05B3/141—Conductive ceramics, e.g. metal oxides, metal carbides, barium titanate, ferrites, zirconia, vitrous compounds
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
- Surface Heating Bodies (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はヒータ、さらに特定すれば複数個のヒータ素子
を備えた電気的フィルム状ヒータに関する。
を備えた電気的フィルム状ヒータに関する。
本発明のフィルム状ヒータは半導体技術、医学、生物学
むよび食品工業にむいて超高純度の液体または気体の媒
体を加熱する導電性電気的ヒータとしておよびラッカ、
ペンキ、ホトレジスト層などを遠隔乾燥するヒータとし
て使用することができる。
むよび食品工業にむいて超高純度の液体または気体の媒
体を加熱する導電性電気的ヒータとしておよびラッカ、
ペンキ、ホトレジスト層などを遠隔乾燥するヒータとし
て使用することができる。
公知の１つの抵抗性電気的ヒータ（ＦａｎｃｈｅｒＭ、
Ｆｏｕｒ ｈａｕｔｅ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ
ｅｎ ａｈｎｏｓｐｈｅｒｅｏｘｙｄａｎｔｅ ｏｕ
ｎｅｕｔｒｅ ” 、 Ｒｅｖｕｅ Ｉｎｔｅｒｎａｔ
−ｈａｕｔｅｓ ｔｅｍｐｅｒａｔ−ｅｔ ｒｅｆ
ｒａｃ、 、 ］ ９ ６ ９ 、 ６ 。
Ｆｏｕｒ ｈａｕｔｅ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ
ｅｎ ａｈｎｏｓｐｈｅｒｅｏｘｙｄａｎｔｅ ｏｕ
ｎｅｕｔｒｅ ” 、 Ｒｅｖｕｅ Ｉｎｔｅｒｎａｔ
−ｈａｕｔｅｓ ｔｅｍｐｅｒａｔ−ｅｔ ｒｅｆ
ｒａｃ、 、 ］ ９ ６ ９ 、 ６ 。
煮］、ｐｐ、１７〜２３．ＩＶ）は２つのヒータ素子か
らなり、その１つは酸化ジルコニウムからなる第１の管
であり、他は第１の管を包囲する管であってその上に白
金線が巻かれている。
らなり、その１つは酸化ジルコニウムからなる第１の管
であり、他は第１の管を包囲する管であってその上に白
金線が巻かれている。
第１の管である内部ヒータ素子は可変断面を有し、長手
方向に延びた円筒形動作室内に処理すべき物体を入れる
。
方向に延びた円筒形動作室内に処理すべき物体を入れる
。
この管は酸化カルシウムを処理した酸化ジルコニウムか
らなり、表面に酸化ジルコニウム膜を有する。
らなり、表面に酸化ジルコニウム膜を有する。
この第１の管にあけた長手方向のスリットによって導体
の断面を調整することができる。
の断面を調整することができる。
第２の管である外部ヒータ素子は耐火材料セラ□ツクま
たはアル□すからなり、その外側に巻いた白金線は予熱
用である。
たはアル□すからなり、その外側に巻いた白金線は予熱
用である。
この第２の管の外部ヒータ素子は第１の管を包囲してこ
れを機械的に保護する。
れを機械的に保護する。
このヒータは、最初に外部ヒータ素子に通電し、内部ヒ
ータ素子が加温された後に前者を遮断し、その後に後者
を動作させる。
ータ素子が加温された後に前者を遮断し、その後に後者
を動作させる。
このヒータはヒータ素子の切換えを必要とするのでその
動作が不安定である。
動作が不安定である。
さらに最初の加温期間にお・いては効果がない。
公知の高温度安定性電気的フィルム状ヒータ（特願昭５
１−１０８４４０号、１９７６年１２月２８日出願）は
、基板に設けたヒータ素子が、アンチモンおよびほう素
を添加した酸化すずからなる大面積の導電性フィルムで
あって、動作開始時においてオーム抵抗が高い。
１−１０８４４０号、１９７６年１２月２８日出願）は
、基板に設けたヒータ素子が、アンチモンおよびほう素
を添加した酸化すずからなる大面積の導電性フィルムで
あって、動作開始時においてオーム抵抗が高い。
従って、加熱面積が１０００ｃｙｙｆｆｉを超えるヒー
タにかいては、動作開始時に電圧が４００〜５００■に
達するので、このヒータの電源として幹線を直接に使用
することができない。
タにかいては、動作開始時に電圧が４００〜５００■に
達するので、このヒータの電源として幹線を直接に使用
することができない。
本発明の目的は電気的フィルム状ヒータの全動作期間を
通じて動作電圧を低下させることである。
通じて動作電圧を低下させることである。
本発明の他の目的は電気的フィルム状ヒータの信頼性を
改良することである。
改良することである。
本発明の目的は、複数個のヒータ素子を備えた電気的フ
ィルム状ヒータであって、基板１上に高抵抗導電性フィ
ルムとしてヒータ素子２が設けられ、該ヒータ素子２の
上に、導入線４を有する低抵抗導電性フィルムとして他
の１つのヒータ素子３が設けられている複数個のヒータ
素子を備えた電気的フィルム状ヒータによって達成する
ことができる。
ィルム状ヒータであって、基板１上に高抵抗導電性フィ
ルムとしてヒータ素子２が設けられ、該ヒータ素子２の
上に、導入線４を有する低抵抗導電性フィルムとして他
の１つのヒータ素子３が設けられている複数個のヒータ
素子を備えた電気的フィルム状ヒータによって達成する
ことができる。
高抵抗導電性フィルムとしたヒータ素子２の厚みをａと
し、低抵抗導電性フィルムとしたヒータ素子３の厚みを
ｂとするときに、ｂをａ／（０，５〜１０）に等しくす
ることが推奨される。
し、低抵抗導電性フィルムとしたヒータ素子３の厚みを
ｂとするときに、ｂをａ／（０，５〜１０）に等しくす
ることが推奨される。
本発明の上記目的むよび他の目的は、添付図面を参照し
て次の実施態様の詳細な説明によって、さらに明瞭にな
るであろう。
て次の実施態様の詳細な説明によって、さらに明瞭にな
るであろう。
複数個のヒータ素子を備えた電気的フィルム状ヒータ（
第１図）はたとえばほうけい酸ガラスからなる誘電性基
板１の上に２層のヒータ素子２゜３を設ける。
第１図）はたとえばほうけい酸ガラスからなる誘電性基
板１の上に２層のヒータ素子２゜３を設ける。
ヒータ素子２は高抵抗を有し、たとえばアンチモンおよ
びほう素を添加剤とする酸化すず、５ｎ０２＋Ｓｂ＋Ｂ
からなる。
びほう素を添加剤とする酸化すず、５ｎ０２＋Ｓｂ＋Ｂ
からなる。
低抵抗ヒータ素子３はたとえばふつ素を添加剤とする酸
化すず、ＳｎＯ２千Ｆからなる。
化すず、ＳｎＯ２千Ｆからなる。
ヒータ素子３の上に銀の導入線４を焼き込み、これは電
源５に接続する。
源５に接続する。
ａをヒータ素子２の厚み、ｂを！−タ素子３の厚みとす
ると、これらのヒータ素子２，３の厚みの比※※はｂ＝
ａ／ （０，５〜Ｉ Ｏ）である。
ると、これらのヒータ素子２，３の厚みの比※※はｂ＝
ａ／ （０，５〜Ｉ Ｏ）である。
第２図は各ヒータ素子２，３およびフィルム状ヒータの
比表面抵抗の温度に対する関係を示すグラフであり、曲
線６は５ｎ２０＋Ｓｂ＋Ｂからなる導電性フィルムのヒ
ータ素子２、曲線７はＳｎＯ２＋１からなる導電性フィ
ルムのヒータ素子３、曲線８はフィルム状ヒータである
。
比表面抵抗の温度に対する関係を示すグラフであり、曲
線６は５ｎ２０＋Ｓｂ＋Ｂからなる導電性フィルムのヒ
ータ素子２、曲線７はＳｎＯ２＋１からなる導電性フィ
ルムのヒータ素子３、曲線８はフィルム状ヒータである
。
次表は各ヒータ素子の厚さおよび温度を変えたときの各
ヒータ素子ち゛よびフィルム状ヒータの比抵抗を示す。
ヒータ素子ち゛よびフィルム状ヒータの比抵抗を示す。
ヒータ素子２はＳｎＯ２＋８％Ｓｂ＋２％Ｂ、ヒータ素
子３はＳｎＯ２＋１０％Ｆ、フィルム状ヒータはこれら
のヒータ素子２，３からなり、面積が１５００−である
。
子３はＳｎＯ２＋１０％Ｆ、フィルム状ヒータはこれら
のヒータ素子２，３からなり、面積が１５００−である
。
フィルム状ヒータは次のごとく動作する。
これを電源５（第１図）に接続すると、導入線４を経て
ヒータ素子２，３に電圧が印加される。
ヒータ素子２，３に電圧が印加される。
最初は低温度ヒータ素子３の初期比抵抗が低いので（第
２図曲線７）、電流はヒータ素子３を通って流れる。
２図曲線７）、電流はヒータ素子３を通って流れる。
加熱が進むにつれて、ヒータ素子２の抵抗が減少しく第
２図曲線６）、ある点にむいてヒータ素子３の比抵抗よ
り低くなる。
２図曲線６）、ある点にむいてヒータ素子３の比抵抗よ
り低くなる。
その結果大部分の電流はヒータ素子２を通って流れる。
このために３００℃を超える温度にむいてヒータ素子３
が焼損することがない。
が焼損することがない。
この場合に動作初期むよび全期間を通じて、フィルム状
ヒータの比抵抗は各ヒータ素子２，３の比抵抗よりも少
なく（第２図曲線８）、これによって動作電圧を２２０
Ｖｔたはこれより低くし、フィルム状ヒータの信頼性を
高めることができる。
ヒータの比抵抗は各ヒータ素子２，３の比抵抗よりも少
なく（第２図曲線８）、これによって動作電圧を２２０
Ｖｔたはこれより低くし、フィルム状ヒータの信頼性を
高めることができる。
第１図は本発明の複数個のヒータ素子を備えた電気的フ
ィルム状ヒータの斜視図であり、第２図は各ヒータ素子
２，３むよび複数個のヒータ素子を備えた電気的フィル
ム状ヒータの表面比抵抗の温度に対する関係を示すグラ
フである。 １・・・基板、２，３・・叱−夕素子、４・・・導入線
。
ィルム状ヒータの斜視図であり、第２図は各ヒータ素子
２，３むよび複数個のヒータ素子を備えた電気的フィル
ム状ヒータの表面比抵抗の温度に対する関係を示すグラ
フである。 １・・・基板、２，３・・叱−夕素子、４・・・導入線
。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 複数個のヒータ素子を備えた電気的フィルム状ヒー
タであって、基板１上に高抵抗導電性フィルムとしてヒ
ータ素子２が設けられ、該ヒータ素子２の上に、導入線
４を有する低抵抗導電性フィルムとして他の１つのヒー
タ素子３が設けられ、これら二つのヒータ素子２，３は
温度の上昇に伴なって抵抗を減少し、かつある温度にお
いてヒータ素子２の抵抗がヒータ素子３の抵抗より少な
くなることを特徴とする、複数個のヒータ素子を備えた
電気的フィルム状ヒータ。 ２ 高抵抗導電性フィルムとしたヒータ素子２の厚みを
ａとし、低抵抗導電性フィルムとしたヒータ素子３の厚
みをｂとするときに、ｂがａ／（０，５〜１０）に等し
い、特許請求の範囲第１項記載の複数個のヒータ素子を
備えた電気的フィルム状ヒータ。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU772546370A SU671677A1 (ru) | 1977-11-25 | 1977-11-25 | Резисторный электронагреватель |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5475639A JPS5475639A (en) | 1979-06-16 |
| JPS5826796B2 true JPS5826796B2 (ja) | 1983-06-04 |
Family
ID=20734261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6443278A Expired JPS5826796B2 (ja) | 1977-11-25 | 1978-05-31 | 複数個のヒ−タ素子を備えた電気的フイルム状ヒ−タ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5826796B2 (ja) |
| DE (1) | DE2822335C3 (ja) |
| FR (1) | FR2410411A1 (ja) |
| SU (1) | SU671677A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62258594A (ja) * | 1986-05-01 | 1987-11-11 | Matsushita Electric Works Ltd | 雨滴音混合回路 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3325204A1 (de) * | 1983-07-13 | 1985-01-24 | Reimbold & Strick GmbH & Co, 5000 Köln | Auf einem traeger aus elektrisch isolierenden werkstoffen aufgebrachtes heizelement aus elektrisch leitenden werkstoffen, seine herstellung und verwendung |
| US4835539A (en) * | 1986-05-20 | 1989-05-30 | Ball Corporation | Broadbanded microstrip antenna having series-broadbanding capacitance integral with feedline connection |
| US4882466A (en) * | 1988-05-03 | 1989-11-21 | Raychem Corporation | Electrical devices comprising conductive polymers |
| RU2070773C1 (ru) * | 1994-11-18 | 1996-12-20 | Воронкова Зинаида Петровна | Резистивный электронагреватель |
| DE19720880A1 (de) * | 1997-05-17 | 1998-11-19 | Ego Elektro Geraetebau Gmbh | Elektrisches Heizelement |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE625514C (de) * | 1932-11-17 | 1936-02-10 | Dispersion Cathodique En Abreg | Elektrischer Heizkoerper |
| DE1924202A1 (de) * | 1969-05-12 | 1970-11-19 | Annawerk Keramische Betr E Gmb | Flaechenfoermige,elektrische Heizvorrichtung |
| US3694627A (en) * | 1970-12-23 | 1972-09-26 | Whirlpool Co | Heating element & method of making |
| DE2327918A1 (de) * | 1973-06-01 | 1975-01-02 | Kalle Ag | Verfahren zur herstellung eines aus drei schichten bestehenden, zur leitung des elektrischen stromes befaehigten formkoerpers |
| FR2279687B1 (fr) * | 1974-07-26 | 1977-01-07 | Saint Gobain | Vitrages chauffants a couches deposees sous vide |
| DE2438984C3 (de) * | 1974-08-14 | 1981-11-19 | Hoechst Ag, 6000 Frankfurt | Kontaktvorrichtung an einer Folie eines Flächenheizleiters |
| SU577700A1 (ru) * | 1975-12-08 | 1977-10-25 | Предприятие П/Я Р-6707 | Токопровод щий материал дл пленочных электронагревателей |
-
1977
- 1977-11-25 SU SU772546370A patent/SU671677A1/ru active
-
1978
- 1978-05-22 DE DE19782822335 patent/DE2822335C3/de not_active Expired
- 1978-05-31 JP JP6443278A patent/JPS5826796B2/ja not_active Expired
- 1978-06-26 FR FR7818984A patent/FR2410411A1/fr active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62258594A (ja) * | 1986-05-01 | 1987-11-11 | Matsushita Electric Works Ltd | 雨滴音混合回路 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2410411B1 (ja) | 1983-11-10 |
| DE2822335B2 (de) | 1981-05-21 |
| DE2822335A1 (de) | 1979-05-31 |
| JPS5475639A (en) | 1979-06-16 |
| DE2822335C3 (de) | 1982-01-28 |
| FR2410411A1 (fr) | 1979-06-22 |
| SU671677A1 (ru) | 1980-04-15 |
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