JPS5824337A - 液塊の処理方法 - Google Patents

液塊の処理方法

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JPS5824337A
JPS5824337A JP57124986A JP12498682A JPS5824337A JP S5824337 A JPS5824337 A JP S5824337A JP 57124986 A JP57124986 A JP 57124986A JP 12498682 A JP12498682 A JP 12498682A JP S5824337 A JPS5824337 A JP S5824337A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、数棟を容器の壁とは接触させずに持ち上げた
り、適当な位置に保持したり、また成型（またつするこ
とを可能とする数棟の処理方法に関１１、特に数棟を凝
固成型させろ方法に関する。
モールディングによる成型工程を含む方法は、高温の金
属合金のように液体が腐食性のものである場合に、重大
な問題を引き起こす。その主たるものは、容器を形成す
る物質と液体との間の物理的及び物理化学的適合性に関
する問題である。即ち、その２つの物質の間で反応が起
こり、得られる製品の純度を損うこととなる。また一方
、凝固時に、熱膨張係数が相異することにより適合し得
ない寸法上の変化が起こる。
これらの問題点を解決するために、電磁力、静電力、音
響揚力、更には光学揚力の作用により容器を不用のもの
とする新Ｉ７い方法が採用されるようになった。しかし
ながら、これらの方法は、実施することが難１．　＜、
かつ地球の重力下では少量の数棟にしか適用することが
できない。その上、これらの方法では数棟の成型が不可
能である。
本発明は、容器壁に接触させずにできるだけ大量の数棟
を持ち上げ、取り扱えるようにすることにより、前記し
た欠点の取り除かれた方法に関する。
更に詳しく述べれは、本発明は、少なくとも１つの壁部
な有する装置の内部で数棟を処理する方法において、数
棟及び装置壁部の形成材料に対【２て化学的に不活性な
気体を前記壁部な通過させて薄い膜を形成させることに
より、前記数棟をその壁部に接触させずに持ち上げたり
、固定、或いは成型させるように１７だ方法に関する。
本発明方法のも５１つの特徴によれば、前記壁部は数棟
な持ち上げて取り扱うために使用されるガスが通過でき
るように多孔質なものとするか又は小径の導管により孔
が穿設されている。この壁部は、多孔質である場合には
、融解急冷物質でつ（ることかできる。
このように、液体とその容器との間の機械的な接触をな
くすることにより、液体と壁部形成物質との間に如何な
る相互作用も起こらず、その結果として大量の数棟が容
器中に保持できることとなる。当然のことながら、取り
扱い操作に用いられるガスは数棟に対して化学的に不活
性でなければならず、多くの場合ヘリウムのような中性
ガスが適Ｉ２ている。
容器壁部は多孔質であり、またガス膜はガスを数棟の表
面に向けて外側から容器壁部な通じて強制的に流出させ
てつくられるのが好ましい。このようにして、数棟表面
のすべての所で通常の均一な力学的圧力が形成され、こ
れが数棟の及ぼす圧力と均衡状態を保つことになる。数
棟と壁部との間の隔離状態を維持するための必須の条件
であるガス膜の安定性は、液面の振動防止を目的として
ガス流の流出を防ぐことにより得られる。
次に、本発明について、その範囲を何ら限定するもので
はない実施例と添付図面を用いて更に詳細に説明する。
第１図においては、液体シリコン滴２が、ガス膜によっ
て壁４の上方に、その壁と接触せずに支持された状態が
示されている。壁４は多孔質であり、使用されるガスを
加圧、加熱する室６の拡散壁を兼ねている。この場合、
液滴な壁と直接接触するように置いてからその壁を通っ
て流出するガスの力により持ち上げてもよいし、或いは
固体塊を使用して、それをガス膜によって持ち上げてか
ら融解させることもできる。第１図に示される特別な場
合においては、約１０ｙの平行六面体状固体シリコンが
３２％の開孔率をもつ厚さ約３龍のグラファイト板４の
中央に置かれる。固体シリコンブロックは壁４を通じて
ヘリウムを発散させることによりまず持ち上げられる。
装置ごと抵抗型オーブン中に入れられるが、シリコン塊
に対しては如何なる電磁力も誘起されず、加熱が開始さ
れ、シリコンが融解するまで熱量が増加される。液体シ
リコンの高い表面張力の作用により、液体シリコンは滴
の形で収集される。板４の外表面上の同じ位置に液滴２
を保持するために、板は少し凹面状に形成される。この
ため、滴の形状を保持する復元力がな（でも、滴の重量
がガス膜の圧力と均衡を保つので、滴は極く僅かの未制
御な力を受けてかなりの移動性を得ることになる。従っ
て少し凹面状に形成された壁によって滴が偶発的に移動
するのが防止される。
【７かＩ７ながら、ガス膜により水平な壁の上方に保持
されだ液滴な移動させることが必要な場合もある。
第２図は、そのような操作を可能とする方法を示Ｉ、て
いる。同図からは本発明方法に従ってガス膜により多孔
質壁１２の上方に保持された２つの滴８，１０を見るこ
とができる。上昇するガスは室１６内の開口部１４から
送り込まれ、壁１２を通過ｔ２て発散する。滴８と１０
を移動させるために部分的に過剰圧力或いは過小圧力が
生成されるものであり、このなめに室１６の内部で移動
する滑り弁１８が使用される。滑り弁１８は各々ロッド
１９によって制御されており、壁１２と同じ型の薄い多
孔質板２０を有する。この滑り弁１Ｂは、ガスの圧力降
下を部分的に増大させ、その結果、壁の上に圧力の減少
を生起させるので、その減圧　　　　　　１領−に滴８
と１０とが固定されることになる。ロッド１９によって
滑り弁１８を移動させると、減圧部分が移動１２、従っ
て滴を移動させることになる。
第１，２図に沿って以上説明Ｉ２てきた方法は少量の滴
又は数棟にのみ適用可能である。数棟が多量の場合には
、その数棟がガス膜により壁から分離状態に置かれる容
器を使用する必要がある。
第３図は、数棟２２を、容器２３の壁部や底部に全く接
触させずに、その容器２３の内部に保持する方法を示■
７ている。容器の壁部２４は、数棟な持ち上げて保持す
るために使用されるガスが通過できるように多孔質であ
る。容器２３の底部２５も数棟を持ち上げるためのガス
を供給できるように多孔質の壁で構成されている。この
場合に、容器の底部及び数棟の間のガス膜と、容器の壁
部及び数棟の間のガス膜とは同じ機能を果さないことが
指摘される。底部２５と数棟２２との間のガス膜の圧力
は数棟の重量と均衡するように作用するが、数棟と容器
壁部の間のガス膜は液体柱の変動する流体静圧力を補償
するように作用する。また、容器２３の底部２５は壁部
２４と接触■２ていない。
即ち、開口端２６が多孔質壁部を通じて拡散されるガス
を流出させ得るように容器の最下部に形成される。
本発明の方法は、種々様々な用途を有するが、特に数棟
から物品を成型するために利用される。
ゾーン融解法においては特に有用である。既存のゾーン
融解法は、特に当初の部材が垂直位置に置かれる場合に
欠点を有する。これは、液体部分の高さが高（なり過ぎ
ると、液体自体の重量によって液化領域が崩壊してしま
いその領域の安定性を欠いて１．まうからである。本発
明の方法は、液化領域が大きな寸法（高さと直径）を有
する場合でも、ゾーン融解操作を施される物質を適当な
位置に保持することを可能とすることにより、これらの
欠点を除去するものである。この目的のために、融解領
域はガス膜により多孔質壁を備えたスＩＪ−ブの内部に
保持されており、融解Ｉ７た液体塊はスリーブの壁部と
全（接触していない。スリーブの断面は多様な形状が得
られるように任意のタイプのものにし得ることは明らか
である。
第４図は、垂直ゾーン融解装置中に置かれた金属部材、
例えば単結晶性金属部材２７の液体部分を所定の形態に
保持するための方法を示している。
部材２７は、加圧ガスが通過できるように多孔質のもの
で構成された壁部２９を有する加熱スリーブ２８の内部
に設置される。スリーブ２８は垂直方向に移動可能であ
る。部材２７の液化部分３２は、スリーブの壁部２９を
通って発散されるガスによりその壁部２９と直接接触し
ない状態に保持されろ。スリーブ２８が垂直方向に移動
する間、融解領域３２も同時に移動する。明らかなよう
にスリーブ内部を部材が移動する場合にも適用すること
ができる。
第５図は、ツオクラルスキー法（ＣＺＯ（ｊｌＲＡＬｓ
ＫＩｐｒｏ、ｃｅｓｓ）とも呼ばれる、垂直引抜法を示
１２ている。従来、この方法においては、非常に細い管
が融解物質の自由表面に接触させられる。毛管現象によ
り、液体は管を伝って上昇し凝韻【７て核を形成する。
次に管は非常にゆっくりと持ち上げられ、核に固着した
液体はこの移動の間に凝固する。第５図は係る方法を示
すもので、数棟は本発明方法により容器の壁と非接触状
態に保持される。物質３５の数棟３６は、ガスを発散す
る加熱スリーブにより保持され７、ており、引き上げら
れた仕上り部分は３４で示される。
断面を変えて水平ゾーン融解とした場合を第６α図と第
６ｂ図に示すと、固体部材４２は、その両端において水
平に保持されており、壁部４４が多孔質のスリーブ４３
は部材４２のまわりの断面を減少させるよう機能する。
スリーブは部材４２に沿って矢印Ｆの方向に移動するこ
とができる。加熱手段４５は、スリーブ内に位置する部
材４２０部分を液化させ、それによって得られだ数棟は
発散壁部４４を通じて供給される加圧ガス膜によりスリ
ーブの内部に保持され且つ、そこで成型される。尚、こ
の実施例の場合、第６α図は、スリーブ４３が揺り籠の
形状をした装置の側面図を、第６ｂ図は、同装置の平面
図を示しているが、部材４２の幅を減少させるのに問題
があり、この目的のためにスリーブ４３を不規則な形態
にして液化部分４６が既に仕上げられた部分４２αとこ
れから狭く或いは短縮させられる部分、即ち４２Ａとの
間の結合をもたらすことができろようになっている。本
実施例においては、部材４２は最初縦長であり、次いで
高さを変えずにその幅が短縮される。このために、部材
４２は一端４８のみが固定され、他端４７は支持部材５
０の内部で徐々に移動し得るようになっている。第６Ｃ
図は、断面を何等変えずに水平ゾーン融解を行うための
装置を示す。スリーブ４３′はＵ型の断面を有し、多孔
質壁部４４′を通じて発散されるガスによって液体部分
４６′を支持する。明らかなように、スリーブ４３′は
２つの垂直壁部と独立した水平基部とに分解することが
できる。加熱手段４５’によって部材４２／が融解され
る。どのような場合にも、部材４２′の液化部分とスリ
ーブ４３′の壁部との間に接触が起こらないことは明ら
かである。
本発明による方法は、液体は持ち上げられても、その固
定や成型は確実になし得ない空間の微重力のもとで物品
を製造する場合に適用されるものである。第７図は係る
場合への適用を示［、ており、数棟５１は微重力下で壁
部と接触せずに縦長の形態に保持される。数棟５１の位
置は、ガスを通過させ発散させる多孔質壁部５３をもつ
案内レール５２により確保される。重量や流体静圧力が
及ぼされることがないので、必要なガス流は比較的少量
にすることが出来る。
第８図は、本発明によるガス膜持ち上げ方法を用いた連
続鋳造法を示す。数棟５４は、液体を放出し且つ連続鋳
造によって凝固させるための開口部５６を底部にもつ容
器５５の内部に保持される。
開口ｇＬ５６かも流出する液体は、スリーブ５７を通過
するが、同スリーブの壁部５８は加圧ガスを通過させる
ように多孔質である。スリーブ５７の上部には、容器５
５の底部の外壁に対向し、その底部とは少し離れても５
１つの水平な多孔質壁部５９が設けられる。壁部５９と
容器の底部との間にこのように拡散されて形成されるガ
ス膜は、開口部５６を通過する液体によりスリーブ内面
が濡れ出すのを防ぐ。供給器６１に連結１．たレベル探
知器６０は、容器５５内部における液体レベルの低下に
感応する形で液体の流入を制御している。
壁部５８を通過して発散するガスの温度を適切に設定す
ることによって、固体と液体の界面をスリーブ５７内部
の適切な位置に定めることが可能となる。第８図に示す
連続鋳造の場合、数棟５４は容器５５の壁部とは接触す
るが、成型部材或いはスリーブ５７の壁部とは接触しな
いことが見てとれよう。これは、液体Ｆ容器壁部との間
で実質的に相互作用が起きない場合や非常に高純度の製
品をつくることを望まない場合には許容されつる。しか
しながら、非常に高純度の製品をつ（ることか望まれる
場合には、加圧ガスが通過出来ろように　　　　　　１
゜スリーブ５７と同様に底部と壁部を多孔質のものにし
た容器５５を使用することができる。このように、数棟
は加圧ガス膜により製造装置の全ての壁から分離される
。
本発明の方法は、また頂部から下方へ凝固させていって
物質を成型させる場合にも使用することができる。この
場合、スリーブ中の液体の上昇を生起させるために、ガ
ス拡散スリーブを具備した開口部を有する成型部材が液
体中に強制的に浸漬される。
第９図は、この方法を示１２、固体部材６″３は容器６
５中の数棟６４からつくられる。容器は、数棟６４を液
体状態に保つためオーブン６２中に載置される。この方
法によって、数棟のうち凝固部分６３に固着する部分を
適当な位置に保持することが可能となる。この目的のた
めに、「成型部材」と呼ばれる装置６６が液体６４の自
由表面上に載置される。この装置の外寸は容器６５より
も少し小さく、その中央に、凝固部分を形成するための
通路となる開口部が設けられる。容器６５の内壁に面す
る成型部材６６の壁部、液体６４の自由表面に面する壁
部、更にはスリーブ６７内の壁部Ｇま、開口部７０を通
じて送り込まれるガスを通過させるように多孔質である
。液体中に成型部材６６を部分的に浸した後に同部材の
多孔質壁部を通じて発散されるガスは、スリーブ６Ｔの
内部にある数棟の部分を保持することを可能とする。成
型された液体はスリーブ６７中で凝固する。液体６４の
自由表面に面する壁部な通じて発散するガスをま離隔用
として使われ、成型部材６６の外壁と容器６５の内壁と
の間に挟持されるガス膜は液体が容器の内壁に沿って上
昇するのを防ぐようになって（・ろ。
固体部分６３が成型されるのに従（・、容器６５内の液
体６４のレベルは低下する。成型部材６６カー（支）定
されているので、製造の間に容器を持ち上げるための装
置が必要である。
最後に、本発明の方法によるもう１つの興味深い実施例
と１．で、上下方向の張力によって光起電性シリコン板
を成型する方法を述べることにする。
第１０図は、係る方法を適用される装置を示しており、
融解されたシリコン塊７１が高さの調節可能な支持台（
図示せず）上に置かれたホーロー質炭素るつぼ中に収容
されて（・る。シリコン塊７１）自由表面上には、幅１
ｍｍ、高さｔｏｉｎ、長さ５０間のスリーブ７４を画成
する垂直スロットが中央に設けられた成型部材Ｔ３が配
設されろ。ス１ノーブの壁部７５は多孔質である。装置
をま全体力１オーブン７９中に載置されろ。液体７１の
自由表面に面する成型部材７３の壁部７６もまた多重り
質である。ガスは導入ノ路プ７７によって成型部材７３
の内部に供給されろ。最初に成型部材７３の下壁部７６
が液体７１の自由表面と接触する。次（・でガスが送り
込まれ、スロットの内部（１シ１ノコンの０．５間の平
板状の核が液体の表面に接触するまでスロット７４内へ
導入される。固体と液体の界面が形成され、その位置は
オープン１９の加熱手段を適切に設定することによって
スロット内部に固定される。次いで引抜作業が所望の速
度で開始される。液体のレベルは板２８がつくられるに
つれて低下する。成型部材はオーブン７９に対して固定
されているので、液体のレベル変動はるつぼ７２を連続
的に上昇させることにより補われる。第９図と第１Ｏ図
に示す実施例においては、液体がそれを収容する容器の
壁部６５，７２と接触している。非常に高純度の製品を
つくることを望む場合には、これらの壁部に多孔質のも
のを用いることも可能であり、連続鋳造についても前記
した内容が同様に当てはまる。
本発明の方法は、数棟を容器の壁部に全く接触させずに
その数棟から固体物質を成型することを可能とするため
、数多くの利点をもつ。本発明方法によって相互作用の
発生する恐れもなくなり、高純度の最終製品を得ること
ができる。また、本発明方法は種々の成型法、特にゾー
ン融解や連続鋳造、垂直張力を用いた凝固、或いは高純
度ガラスの製造等に適用することができる。また、この
方法は微重力下において数棟を維持し、且つ適当な位置
に固定するために使用することもできる。
また、数棟を水平な壁部の上方においてその壁部と接触
させずに移動させることも可能にする。
最後に付言すれば、本発明が、特にガスを発散させるた
めの多孔質壁部に使用される材料及び持ち上げ用のガス
の選択に関して、前記ｌ、た実施例に制限されるもので
はないこと、また本発明の範囲から逸脱せずに数多くの
変形をなし得ることは明白である。
【図面の簡単な説明】
第１図は、水平な多孔質壁部の上方にガス膜によって支
持されだ液滴の断面図である。 第２図は、水平な多孔質壁部の上方にガス膜によって支
持された複数の液滴の移動を示す、第１図と同様な断面
図である。 第３図は、数棟が本発明方法を用いて容器中に保持され
ている状態を示す断面図である。 第４図は、垂直領域を融解する方法を示す断面図であり
、固体部材の融解部分が壁と接触せずにスリーブ内に保
持されている。 第５図は、本発明方法を適用した垂直引抜法を示す図で
ある。 第６α図と第６ｈ図は、水平領域を融解させることによ
り固体物質を保持、成型する方法を示（７でおり、スリ
ーブは固体物質に沿って移動■２、融解された領域はガ
ス膜によりスリーブの壁部から離隔されている。 第６Ｃ図は、水平領域を融解させる装置を示す。 第７図は、空間の微重力下に置かれて、ガス膜を発散す
る多孔質壁部の助けにより保持されている細長い数棟を
示す図である。 第８図は、容器中の数棟の一部がスリーブ中を移動Ｉ１
、ガス膜によりその壁から分離されている連続鋳造法を
示す断面図である。 第９図は、本発明方法により、垂直凝固によって固体物
質を成型する方法を示す断面図である。 第１０図は、本発明方法により、持ち上げ方法を利用し
て垂直張力により光起電性シリコン板を成型する方法を
示す図である。 器、４，１２，２４，２９，３８，４４．４４’。 ５８．７５．７６・・・多孔質壁部

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 （１１少なくとも１つの壁部を有する装置における液塊
    の処理方法において、前記壁部を形成する物質及び前記
    液塊に対して化学的に不活性なガスを前記壁部な通過さ
    せてガス膜を形成することにより前記液塊は前記壁部に
    接触することな（持ち上げられ、定位置に保持され、或
    いは成型されてなる、液塊の処理方法。 （２）前記壁部は、液塊を持ち上げるのに用いられるガ
    スが通過し得るように、多孔性であり、且つ融解急冷物
    質で作られているか、或いは小径の導管によって孔部を
    穿設されてなる、特許請求の範囲第（１）項に記載の液
    塊の処理方法。 （３）前記壁部は実質的に平板な水平形状を有ｔ、てな
    る、特許請求の範囲第（２）項に記載の液塊処理方法。 （４）ガス膜の圧力が多孔質壁部の、前記液塊が位置す
    る側とは反対側にある移動部材により、その液塊な移動
    させるように、部分的に変化させられてなる、特許請求
    の範囲第（３）項に記載の液塊の処理方法。 （５）液塊が、持ち上げ用のガスを通過させるために多
    孔質に形成された容器の底部と壁部からは隔離された状
    態で、該容器の内部に保持されている、特許請求の範囲
    第（２）項に記載の液塊の処理方法。 （６）液塊が、持ち上げ用のガスを通過させるために多
    孔質に形成された両端開口スリープの壁部がら離隔した
    状態で、該スリーブの内部に保持されている、特許請求
    の範囲第（２）項に記載の液塊の処理方法。 （７）当初固体部材である物質をゾーン溶解によって所
    定の形状に保持することを可能とする方法であって、前
    記スリーブは前記固体部材に沿って徐々に移動Ｉ２、こ
    のスリーブを加熱手段で加熱することによりスリーブ内
    部に位置する前記固体部材の部分を融解させ、その融解
    された部分は前記スリーブの壁部から離隔した位置に保
    持されてなる、特許請求の範囲第１）項に記載の数棟の
    処理方法。 （８）当初固体部材である物質を水平ゾーン溶解に徐々
    に移動Ｉ７、このスリーブを加熱手段で加熱することに
    よりスリーブ内部に位置する前記固体部材の部分を融解
    させ、その融解された部分は前記スリーブの壁部かも離
    隔した位置に保持されてなる、特許請求の範囲第（６）
    項に記載の数棟の処理方法。 （９）固体部材を垂直引抜法によって数棟から製造する
    方法であって、前記数棟は、持ち上げ用のガスが通過し
    得るように多孔質に形成された壁部な有する加熱スリー
    ブの内部に保持されてなる、特許請求の範囲第（６）項
    に記載の数棟の処理方法。 （１０）　　放出開口部を底部に設けられた容器内に収
    容される液体゛を連続鋳造法によって固体部材に成型す
    る方法であって、液体と固体の界面はスリーブの内部に
    位置ｌ−１前記液塊のうち前記開口部を通過する部分は
    前記スリーブの内部にその壁部から離隔して保持される
    、特許請求の範囲第（２）項に記載の数棟の処理方法。 （ｌｌ）垂直凝固法によって固体部材を上方部から製造
    する方法であって、数棟は、持ち上げ用のガスを通過し
    得るように多孔質に形成された壁部を有するスリーブ内
    へ送り込まれ、該数棟はそのスリーブを通過する間に凝
    固（７てなる、特許請求の範囲第（２）項に記載の数棟
    の処理方法。 （１２）　　１１向きの張力を用い、て容器に収容され
    る数棟を固体部材に成型する方法であって、前記固体部
    材の凝固部分に固着している数棟の部分は、液体の自由
    表面上に設置され、且つ凝固物質を通すためのスリーブ
    を画成する少なくとも１つの開口部を備えた装置により
    、垂直に保持されており、液体と固体の界面は、前記数
    棟の垂直部分を持ち上げるためのガスが通過し得るよう
    に壁部な多孔質に形成された前記スリーブの内部に位置
    しており、前記装置は、前記壁部を通過する加圧ガスの
    力によって前記数棟を前記スリーブの近傍で水平に保持
    するように、その数棟の自由表面に面する少な（とも１
    つの多孔質壁部を更に有している、特許請求の範囲第（
    ２）項に記載の数棟の処理方法。 （１３）特許請求の範囲第（２）項に記載の方法を微重
    力下にある物質の成型に適用した、数棟の処理方法。 （１４）数棟は、ガイドとして機能する少な（とも３つ
    の部材を有する装置によって保持されており、それら各
    部材は、前記数棟に対向すると共に加圧ガスを通過させ
    る多孔質の壁部な有する、特許請求の範囲第（２）項に
    記載の方法を微重力下の物質の成型に適用した、数棟の
    処理方法。
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FR8113966 1981-07-17

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