JPS58223385A - イオンレ−ザ装置 - Google Patents
イオンレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS58223385A JPS58223385A JP10741282A JP10741282A JPS58223385A JP S58223385 A JPS58223385 A JP S58223385A JP 10741282 A JP10741282 A JP 10741282A JP 10741282 A JP10741282 A JP 10741282A JP S58223385 A JPS58223385 A JP S58223385A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser tube
- power source
- laser
- gas
- filament
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、動作中にレーザ管の管内ガスが減少するのを
補給するようにしたイオンレーザ装置に関する。
補給するようにしたイオンレーザ装置に関する。
従来、この種のイオンレーザ装置は、レーザ管内のガス
をイオン化するため大電流アーク放電させる。そのため
ガスクリーンアップによりレーザ管内のガスが減少する
。よって、ガスレーザ管のチーーブドロップ電圧は減少
し長時間にわたる安定な動作は不可能である。
をイオン化するため大電流アーク放電させる。そのため
ガスクリーンアップによりレーザ管内のガスが減少する
。よって、ガスレーザ管のチーーブドロップ電圧は減少
し長時間にわたる安定な動作は不可能である。
本発明の目的は、前記レーザ管のガスの減少を防止し、
レーザ出力の安定化と寿命を長くすることができるイオ
ンレーザ装置を提供することにある。
レーザ出力の安定化と寿命を長くすることができるイオ
ンレーザ装置を提供することにある。
以下５図面に示した実施例について本発明を説明する。
図のレーザ電源２の−っの出力端をレーザ管１のカソー
ド５のカッニドリード４．４′に接続し他端をトリガ電
源８を通して、レーザ管１のアノード３に接続する。ま
た、レーザ管１に対し。
ド５のカッニドリード４．４′に接続し他端をトリガ電
源８を通して、レーザ管１のアノード３に接続する。ま
た、レーザ管１に対し。
電磁弁１０によって仕切られた補助ガスボンベ９を設け
る。レーザ管１の内部には管内ガス圧検出用フィラメン
ト６を設け、管内ガス圧検出用フィラメント６と抵抗１
８とを直列に接続する。その両端に直流電源１９と直列
な２個の抵抗１６．１７とをともに並列に接続し、前記
管内ガス圧検出用フィラメント６と抵抗１８との接続点
と抵抗１６゜１７の接続点との差電圧を抵抗１３．１４
を通して比較増幅器１２に加え、その出力電圧を電磁弁
駆動回路１１に加え、その出力電圧を電磁弁１０に加え
る。まだ前記トリガ電源８の電源スィッチ２３と連動し
たスイッチ２３′と直列に直流電源２２を接続し、その
両端に並列にコンデンサ２１と抵抗２０を接続する。ま
た、コンデンサ２１の正側を抵抗１５全通して比較増幅
器１２の負（−）端子に接続し、コンデン′ｙ′２１の
負側を比較増幅器１２の００Ｍ端子に接続する。
る。レーザ管１の内部には管内ガス圧検出用フィラメン
ト６を設け、管内ガス圧検出用フィラメント６と抵抗１
８とを直列に接続する。その両端に直流電源１９と直列
な２個の抵抗１６．１７とをともに並列に接続し、前記
管内ガス圧検出用フィラメント６と抵抗１８との接続点
と抵抗１６゜１７の接続点との差電圧を抵抗１３．１４
を通して比較増幅器１２に加え、その出力電圧を電磁弁
駆動回路１１に加え、その出力電圧を電磁弁１０に加え
る。まだ前記トリガ電源８の電源スィッチ２３と連動し
たスイッチ２３′と直列に直流電源２２を接続し、その
両端に並列にコンデンサ２１と抵抗２０を接続する。ま
た、コンデンサ２１の正側を抵抗１５全通して比較増幅
器１２の負（−）端子に接続し、コンデン′ｙ′２１の
負側を比較増幅器１２の００Ｍ端子に接続する。
つぎに、この発明のガス補給動作を説明する。
まず、レーザ管１のガス圧が適当な状態において。
抵抗１６．１７を調節し、接続点Ａ、Ｂの差電圧ＶＡＢ
がＯになるようにしておく。レーザ管１のアノード３と
カソード５の間にレーザ電源２からの電圧が加えられト
リガ電源８のスイッチ２３がＯＮされると管内ガスが放
電イオン化し、光共振器７．７′によりレーザ光２８が
発生される。この発振動作中にガスが減少すると、ガス
圧検出用フィラメント６はガス減少分だけ冷却されなく
なるので温度が上昇し、その抵抗値が増加し、その電圧
降下ＶＡＣが増加し、接続点Ａの電圧が接続点Ｂの電圧
より上昇するため、その差電圧ＶＡＢが上昇し、比較増
幅器１２の出力も上昇する。電磁弁駆動回路１１により
、１を磁弁１０を開いてガス補給し、ガス補給の結果ガ
ス圧検出用フィラメント６は冷却され抵抗値が減少し、
その電圧降下ＶＡＣが減少し、接続点Ａ、Ｂの差電圧Ｖ
ＡＢがＯになるとＮ磁弁１０は閉じる。このようにして
レーザ管１のガス減少は防止され、レーザ管１のガス圧
は適正ガスにたもたれる。
がＯになるようにしておく。レーザ管１のアノード３と
カソード５の間にレーザ電源２からの電圧が加えられト
リガ電源８のスイッチ２３がＯＮされると管内ガスが放
電イオン化し、光共振器７．７′によりレーザ光２８が
発生される。この発振動作中にガスが減少すると、ガス
圧検出用フィラメント６はガス減少分だけ冷却されなく
なるので温度が上昇し、その抵抗値が増加し、その電圧
降下ＶＡＣが増加し、接続点Ａの電圧が接続点Ｂの電圧
より上昇するため、その差電圧ＶＡＢが上昇し、比較増
幅器１２の出力も上昇する。電磁弁駆動回路１１により
、１を磁弁１０を開いてガス補給し、ガス補給の結果ガ
ス圧検出用フィラメント６は冷却され抵抗値が減少し、
その電圧降下ＶＡＣが減少し、接続点Ａ、Ｂの差電圧Ｖ
ＡＢがＯになるとＮ磁弁１０は閉じる。このようにして
レーザ管１のガス減少は防止され、レーザ管１のガス圧
は適正ガスにたもたれる。
なお、前記トリガ電源８のスイッチ２３が放電開始まで
ＯＮされると連動しているスイッチ２３′が放電開始ま
でＯＮとなり直流電源２２の電圧がコンデンサ２１に印
加されコンデンサ２１の両端にＶＣＩという電圧が発生
し、比較増幅器１２の差電圧はＶＡＢ −ＶＣＩＩ
となり、コンデンサ２１の電荷が抵抗２０を通して放電
するまでの時間（通常１０分間程度ンは比較増幅器１２
の出力は負となり電磁弁１０は閉じたままとなる。した
がって。
ＯＮされると連動しているスイッチ２３′が放電開始ま
でＯＮとなり直流電源２２の電圧がコンデンサ２１に印
加されコンデンサ２１の両端にＶＣＩという電圧が発生
し、比較増幅器１２の差電圧はＶＡＢ −ＶＣＩＩ
となり、コンデンサ２１の電荷が抵抗２０を通して放電
するまでの時間（通常１０分間程度ンは比較増幅器１２
の出力は負となり電磁弁１０は閉じたままとなる。した
がって。
レーザ管１が放電開始直後の低ガス圧時には、電磁弁１
０は閉じたままになシ、レーザ管１の管内ガス圧が安定
した時（通常１０分間程度後）に前記ｖＣ１１が０とな
り、前記のガス補給動作も正常にもどる。
０は閉じたままになシ、レーザ管１の管内ガス圧が安定
した時（通常１０分間程度後）に前記ｖＣ１１が０とな
り、前記のガス補給動作も正常にもどる。
したがって、レーザ管１が安定動作に入ってから正常な
ガス補給動作がされるので、ガス補給しすぎもなく、レ
ーザ管１のガス圧を適正にたもつことができ、レーザ出
力の安定化と寿命を長くすることができる。
ガス補給動作がされるので、ガス補給しすぎもなく、レ
ーザ管１のガス圧を適正にたもつことができ、レーザ出
力の安定化と寿命を長くすることができる。
５−
図は本発明の一実施例のイオンレーザ装置の構成略図で
ある。 １・・・・・・レーザ管、２・・・・・・レーザ電源、
３・・・・・・アノード、４．イ・・・・・・カソード
リード、５・・・・・・カソード、６・・・・・・ガス
検出用フィラメント、７．１・・・・・・光共振器、８
・・・・・・トリガ電源、９・・・・・・補助ガスボン
ベ、１０・・・・・・電磁弁、１１・・・・・・電磁弁
駆動回％、１２・・・・・・比較増幅器、１３．１４．
１５゜１６．１７．１８．２０・・・・・・抵抗器、１
９．２２・・・・・・直流電源、２１・・・・・・コン
デンサ、２３・・・・・・スイッチ、２４．２５・・・
・・・冷却水％ ２６・・・・・・レーザ細管、２７・
・・・・・冷却水容器、２８・・・・・・レーザ光。 ６−
ある。 １・・・・・・レーザ管、２・・・・・・レーザ電源、
３・・・・・・アノード、４．イ・・・・・・カソード
リード、５・・・・・・カソード、６・・・・・・ガス
検出用フィラメント、７．１・・・・・・光共振器、８
・・・・・・トリガ電源、９・・・・・・補助ガスボン
ベ、１０・・・・・・電磁弁、１１・・・・・・電磁弁
駆動回％、１２・・・・・・比較増幅器、１３．１４．
１５゜１６．１７．１８．２０・・・・・・抵抗器、１
９．２２・・・・・・直流電源、２１・・・・・・コン
デンサ、２３・・・・・・スイッチ、２４．２５・・・
・・・冷却水％ ２６・・・・・・レーザ細管、２７・
・・・・・冷却水容器、２８・・・・・・レーザ光。 ６−
Claims (1)
- 電磁弁によって仕切られた補助ガスボンベを備えたレー
ザ管と１前記電磁升を駆動するための電磁弁駆動回路と
、前記レーザ管内部に設けられた管内ガス圧検出用フィ
ラメントと、該ガス圧検出用フィラメントと抵抗とを直
列に接続し、その両端に直流電源と２個の直列な抵抗と
をともに並列接続し、前記フィラメントと抵抗との接続
点と２個の抵抗の接続点との差電圧を比較増幅器に加え
その出力電圧を前記電磁弁駆動回路加えるようにしたイ
オンレーザ装置において、前記レーザ管を放電開始させ
るためのトリガ電源と、核トリガ電源の電源スィッチと
連動したスイッチと直列に接続された直流電源と、その
両端に並列にコンデンサと抵抗を接続し、該コンデンサ
の両端を該比較増幅器の負端子に加えることを特徴とす
るイオンレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10741282A JPS58223385A (ja) | 1982-06-22 | 1982-06-22 | イオンレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10741282A JPS58223385A (ja) | 1982-06-22 | 1982-06-22 | イオンレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58223385A true JPS58223385A (ja) | 1983-12-24 |
Family
ID=14458489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10741282A Pending JPS58223385A (ja) | 1982-06-22 | 1982-06-22 | イオンレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58223385A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4794613A (en) * | 1987-07-27 | 1988-12-27 | Prc Corporation | Laser fluid flow control apparatus and method |
-
1982
- 1982-06-22 JP JP10741282A patent/JPS58223385A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4794613A (en) * | 1987-07-27 | 1988-12-27 | Prc Corporation | Laser fluid flow control apparatus and method |
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