JPS58123783A - イオンレ−ザ装置 - Google Patents
イオンレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS58123783A JPS58123783A JP563382A JP563382A JPS58123783A JP S58123783 A JPS58123783 A JP S58123783A JP 563382 A JP563382 A JP 563382A JP 563382 A JP563382 A JP 563382A JP S58123783 A JPS58123783 A JP S58123783A
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- gas
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- solenoid valve
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- valve
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- Pending
Links
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 68
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レーザ管の管内ガスが減少するのを補給する
よう圧したイオンレーザ装置に関する。
よう圧したイオンレーザ装置に関する。
この種のイオンレーザ装置は、レーザ管内のガスをイオ
ン化するため大電流アーク放電をさせる。
ン化するため大電流アーク放電をさせる。
そのため、ガスクリーンアップによりレーザ管内のガス
が減少する。ようてガスレーザ管のチューブドロップ電
圧は減少し、長時間にわたる安定な動作は不可能である
。
が減少する。ようてガスレーザ管のチューブドロップ電
圧は減少し、長時間にわたる安定な動作は不可能である
。
従来のイオンレーザ装置は、第１図（、ｌ）に示すよう
にレーザ電源２の一つの出力端をレーザ管１のアノード
３に接続し、他端をレーザ管１のカソード５の端子４．
４’に接続する。またレーザ管１に対し、電磁弁７によ
って仕切ら詐た補助ガスボンベ８を設ける。レーザ管１
の内部には、管内ガス圧検出用フィラメント６が設けら
れてお凱このフィラメント６と抵抗１０を直列に接続し
、その両端に直流電源９を接続する。ｔた直流電源９の
両端に抵抗１１．１２を直列接続したものを接続する。
にレーザ電源２の一つの出力端をレーザ管１のアノード
３に接続し、他端をレーザ管１のカソード５の端子４．
４’に接続する。またレーザ管１に対し、電磁弁７によ
って仕切ら詐た補助ガスボンベ８を設ける。レーザ管１
の内部には、管内ガス圧検出用フィラメント６が設けら
れてお凱このフィラメント６と抵抗１０を直列に接続し
、その両端に直流電源９を接続する。ｔた直流電源９の
両端に抵抗１１．１２を直列接続したものを接続する。
そしてガス圧検出用フィラメント６と抵抗ｌＯとの接続
黒人と抵抗１１．１２の接続点Ｂをガス補給回路１３の
ガス圧検出入力端に接続する。そして、ガス補給回路１
３の出力は電磁弁７に加えられる。
黒人と抵抗１１．１２の接続点Ｂをガス補給回路１３の
ガス圧検出入力端に接続する。そして、ガス補給回路１
３の出力は電磁弁７に加えられる。
ここでレーザ管１のアノード３１カソード５間の放電に
よってガスがクリーンアップされてガス圧が低くなると
、ガス圧検出用フィラメント６は温度が上昇し、接続点
Ｂの電圧よりも接続点Ａの電圧が上昇し、ガス補給回路
１３の出力は電磁弁７のソレノイド１６に加えられ可動
コア１９を引き上げ弁１７を開き補助ガスボンベ８のガ
スをレーザ管ｌに供給し、レーザ管ｌのガス圧を上昇さ
せガス圧検出用フィラメント６の温度を下げ接続点Ａの
電圧が下降し、ガス補給回路１３の出力はＯＫなる。そ
こで電磁弁７０ソレノイド１６１Ｃ引き上ｉられていた
可動・ア１９は・イルバネ１８によって引き下げられ弁
１７を閉じる。しかし。
よってガスがクリーンアップされてガス圧が低くなると
、ガス圧検出用フィラメント６は温度が上昇し、接続点
Ｂの電圧よりも接続点Ａの電圧が上昇し、ガス補給回路
１３の出力は電磁弁７のソレノイド１６に加えられ可動
コア１９を引き上げ弁１７を開き補助ガスボンベ８のガ
スをレーザ管ｌに供給し、レーザ管ｌのガス圧を上昇さ
せガス圧検出用フィラメント６の温度を下げ接続点Ａの
電圧が下降し、ガス補給回路１３の出力はＯＫなる。そ
こで電磁弁７０ソレノイド１６１Ｃ引き上ｉられていた
可動・ア１９は・イルバネ１８によって引き下げられ弁
１７を閉じる。しかし。
補助ガスボンベ８の圧力が高すぎるとガス圧検出用フィ
ラメント６とガス補給回路１３と電磁弁７の応答速度の
問題でレーザ管１にガスが入りすぎることがあるので、
通常補助ガスボンベ８の圧力は３ＱＴｏｒｒ程度に制限
される。また、レーザ管１を封入する際、第１図（ｂ）
のレーザ管ｌ＠は１気圧（７６０Ｔｏｒｒ）となるため
、電磁弁７の弁１７が１気圧で押されレーザ管ｌを封入
する際にレーザ管−１内にある。凡やＯ３が補助ガスボ
ンベ８に混じることがある。そのため、前記のようにレ
ーザ管ＩＫ補助ガスボンベ８のガスが補給されると、レ
ーザ管ｌのアノード３１カソード５間の放電色が異常と
なり、レーザ出力１５も減少し、カソード５を劣化させ
、レーザ管の寿命を短くする。
ラメント６とガス補給回路１３と電磁弁７の応答速度の
問題でレーザ管１にガスが入りすぎることがあるので、
通常補助ガスボンベ８の圧力は３ＱＴｏｒｒ程度に制限
される。また、レーザ管１を封入する際、第１図（ｂ）
のレーザ管ｌ＠は１気圧（７６０Ｔｏｒｒ）となるため
、電磁弁７の弁１７が１気圧で押されレーザ管ｌを封入
する際にレーザ管−１内にある。凡やＯ３が補助ガスボ
ンベ８に混じることがある。そのため、前記のようにレ
ーザ管ＩＫ補助ガスボンベ８のガスが補給されると、レ
ーザ管ｌのアノード３１カソード５間の放電色が異常と
なり、レーザ出力１５も減少し、カソード５を劣化させ
、レーザ管の寿命を短くする。
本発明の目的は、前記欠点を除去し、長期間にわたって
放電が正常に維持でき、安定な出力を得ることのできる
イオンレーザ管を提供することにある。
放電が正常に維持でき、安定な出力を得ることのできる
イオンレーザ管を提供することにある。
本発明によれば、電磁弁２組によりて仕切られた１気圧
（７６０Ｔｏｒｒ）の補助ガスボンベを備え封入中にも
Ｎ・やＯｌの不一ガスが補助ガスボンベに混じらないこ
とを特徴とするイオンレーザ装置が得られる。
（７６０Ｔｏｒｒ）の補助ガスボンベを備え封入中にも
Ｎ・やＯｌの不一ガスが補助ガスボンベに混じらないこ
とを特徴とするイオンレーザ装置が得られる。
以下、第２図（ａ） 、 （ｂ）を参照して一実施例に
つぃて本発明の詳細な説明する。
つぃて本発明の詳細な説明する。
従来のイオンレーザ装置と異なるところは、補助ガスボ
ンベ８が２組の電磁弁７．７′で仕切られ。
ンベ８が２組の電磁弁７．７′で仕切られ。
ガス補給回路１３の出力がタイマ２２を通して電磁弁７
に加えられていることと、ガス補給回路１３の出力のも
う一つはガス補給回路１３′を通して。
に加えられていることと、ガス補給回路１３の出力のも
う一つはガス補給回路１３′を通して。
電磁弁７′に加えられていることである。このような構
成において、レーザ管１のアノード３．カソード４間の
放電によりレーザ管ｌ内部のガスがクリーンアップされ
ガス圧が低下すると、ガス圧検出用フィラメント６の温
度は上昇し、接続点Ａの電圧は接続点Ｂの電圧より上昇
し、ガス補給回路１３の出力が上昇する。そうするとタ
イマ２２が動作し、電磁弁７に電圧が印加される。ソレ
ノイド１６は可動コア１９を引き上げ弁１７が開き。
成において、レーザ管１のアノード３．カソード４間の
放電によりレーザ管ｌ内部のガスがクリーンアップされ
ガス圧が低下すると、ガス圧検出用フィラメント６の温
度は上昇し、接続点Ａの電圧は接続点Ｂの電圧より上昇
し、ガス補給回路１３の出力が上昇する。そうするとタ
イマ２２が動作し、電磁弁７に電圧が印加される。ソレ
ノイド１６は可動コア１９を引き上げ弁１７が開き。
補助ガスボンベ８のガスがガス溜２１に供給され、タイ
マ２２がタイムアツプするとソレノイド１６に印加され
ていた電圧が０になり、可動コア１９はコイルバネ１８
によって引下げられ弁１７を閉じる。つぎにガス補給回
路１３のもう一つの出力はガス補給回路１３’に供給さ
れガス補給回路１３′の出力が上昇し、電磁弁７′に電
圧が印加される。
マ２２がタイムアツプするとソレノイド１６に印加され
ていた電圧が０になり、可動コア１９はコイルバネ１８
によって引下げられ弁１７を閉じる。つぎにガス補給回
路１３のもう一つの出力はガス補給回路１３’に供給さ
れガス補給回路１３′の出力が上昇し、電磁弁７′に電
圧が印加される。
ソレノイド１６′は可動コア１９’を引き上げ弁１７′
を開き、ガス溜２１のガスをレーザ管１に供給する。レ
ーザ管１のガス圧は上昇し、ガス圧検出用フィラメント
６は冷却され温度が下がる。そして接続点Ａの電圧が接
続点Ｂの電圧より下がると、ガス補給回路１３の出力電
圧は０となり、ガス補給回路１３′の出力電圧もＯと表
り電磁弁７′のソレノイド１６′によって引き上げられ
ていた可動コア１９’はコイルバネ１８’により引き下
げられ弁１７’は閉じる。この場合、ガス溜２１の体積
を適当に選んでおくことによシ適正なガス量を得ること
が出来るので、補助ガスボンベ８のガス圧を１気圧以上
にすることも出来る。ｔたレーザ管１を封入する際、第
２図（ｂ）のレーザ管ｌ側が１気圧（７６０Ｔｏｒｒ）
となっても弁１７′は閉じる方向に押しつけられている
ためガス溜２１にもレーザ管１封人中の不純ガスが混じ
ることは無い、よって補助ガスボンベ８への不純ガス混
入も無い。
を開き、ガス溜２１のガスをレーザ管１に供給する。レ
ーザ管１のガス圧は上昇し、ガス圧検出用フィラメント
６は冷却され温度が下がる。そして接続点Ａの電圧が接
続点Ｂの電圧より下がると、ガス補給回路１３の出力電
圧は０となり、ガス補給回路１３′の出力電圧もＯと表
り電磁弁７′のソレノイド１６′によって引き上げられ
ていた可動コア１９’はコイルバネ１８’により引き下
げられ弁１７’は閉じる。この場合、ガス溜２１の体積
を適当に選んでおくことによシ適正なガス量を得ること
が出来るので、補助ガスボンベ８のガス圧を１気圧以上
にすることも出来る。ｔたレーザ管１を封入する際、第
２図（ｂ）のレーザ管ｌ側が１気圧（７６０Ｔｏｒｒ）
となっても弁１７′は閉じる方向に押しつけられている
ためガス溜２１にもレーザ管１封人中の不純ガスが混じ
ることは無い、よって補助ガスボンベ８への不純ガス混
入も無い。
以上述べたように、補助ガスボンベ８のガス圧を１気圧
程度にできるため、長期間にもたってガス補給動作が続
けられ、長期間にわたって放電が正常に維持できる。ま
た、封入中に補助ガスボンベ８に不純ガスが混入するこ
とが無いので、レーザ出力も安定な、長寿命なイオンレ
ーザ装置を得ることができる。
程度にできるため、長期間にもたってガス補給動作が続
けられ、長期間にわたって放電が正常に維持できる。ま
た、封入中に補助ガスボンベ８に不純ガスが混入するこ
とが無いので、レーザ出力も安定な、長寿命なイオンレ
ーザ装置を得ることができる。
第１図（ａ）は従来のイオンレーザ装置の構成略図。
第１図（ｂｌは従来のイオンレーザ装置の電磁弁部の構
成略図、第２図（ａ）は本発明の一実施例のイオンレー
ザ装置の構成略図、第２図（ｂ）は本発明の一実施例の
電磁弁部の構成略図である。 １・・・・・・レーザ管、２・・・・・・レーザ電源、
３・・・・・・アノード、５・・・・・・カソード、６
・・・・・・ガス圧検出用フィラメント、フ、７′・・
・・・・電磁弁、８・・・・・・補助ガスボンベ、９・
・・・・・直流電源、１０，１１．１２・・・・・・抵
抗器、１３．１３’・・・・・・ガス補給回路％ １４
、１４’・・・・・・ミラー％ １５・・・・・・レ
ーザ出力％ １６ 、１６’・・・・・・ソレノイド、
１７．１７’・・・・・・弁％ １８ 、１８’・・・
・・・コイルバネ。 １９ 、１９’・・・・・・可動コア、２０．２０’・
・・・・・固定ネジ、２１・・・・・・ガス溜、２２・
・・・・・タイマ。
成略図、第２図（ａ）は本発明の一実施例のイオンレー
ザ装置の構成略図、第２図（ｂ）は本発明の一実施例の
電磁弁部の構成略図である。 １・・・・・・レーザ管、２・・・・・・レーザ電源、
３・・・・・・アノード、５・・・・・・カソード、６
・・・・・・ガス圧検出用フィラメント、フ、７′・・
・・・・電磁弁、８・・・・・・補助ガスボンベ、９・
・・・・・直流電源、１０，１１．１２・・・・・・抵
抗器、１３．１３’・・・・・・ガス補給回路％ １４
、１４’・・・・・・ミラー％ １５・・・・・・レ
ーザ出力％ １６ 、１６’・・・・・・ソレノイド、
１７．１７’・・・・・・弁％ １８ 、１８’・・・
・・・コイルバネ。 １９ 、１９’・・・・・・可動コア、２０．２０’・
・・・・・固定ネジ、２１・・・・・・ガス溜、２２・
・・・・・タイマ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 電磁弁によって仕切られた補助ガスボンベともう一つの
電磁弁によって仕切られたガス溜とを備えたレーザ管と
、前記２つの電磁弁を駆動するための２組のガス補給回
路と、前記レーザ管の内部に設けられた管内ガス圧検出
用フィラメントと。 前記フィラメントと直列に抵抗を接続し、その両端に直
流電源と２個の直列接続された抵抗とをともに並列に接
続し、前記フィラメントと直列な抵抗との接続点と２個
の直列な抵抗の接続点との差電圧を前記２つのガス補給
回路に加え、前記２つの電磁弁をそれぞれ別々に駆動す
るようＫしたイオンレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP563382A JPS58123783A (ja) | 1982-01-18 | 1982-01-18 | イオンレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP563382A JPS58123783A (ja) | 1982-01-18 | 1982-01-18 | イオンレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58123783A true JPS58123783A (ja) | 1983-07-23 |
Family
ID=11616545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP563382A Pending JPS58123783A (ja) | 1982-01-18 | 1982-01-18 | イオンレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58123783A (ja) |
-
1982
- 1982-01-18 JP JP563382A patent/JPS58123783A/ja active Pending
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