JPS58221273A - 蒸着用ボ−ト - Google Patents
蒸着用ボ−トInfo
- Publication number
- JPS58221273A JPS58221273A JP10382982A JP10382982A JPS58221273A JP S58221273 A JPS58221273 A JP S58221273A JP 10382982 A JP10382982 A JP 10382982A JP 10382982 A JP10382982 A JP 10382982A JP S58221273 A JPS58221273 A JP S58221273A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- evaporation
- groove
- vapor deposition
- lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は蒸着用ボートに関し、特に材料のもれやしみ出
しを防止するボートの構造に関するものである。
しを防止するボートの構造に関するものである。
上ぶた、中ぶた、下ぶたからなる三層構造の蒸着用ボー
トにおいて、蒸気圧ポイントの高い材料を蒸着する場合
、ボート内で加熱された材料は、蒸気となシ、下ぶたボ
ートから中ぶたボートの蒸気孔を抜け、さらに上ぶたボ
ートの蒸気孔から放射状に発散する。この場合、中ぶた
ボートの蒸気孔以外に当った材料は、横にそれて中ぶた
ボートと下ぶたボートとの間をしみ出して蒸着ボート外
に発散する。このため、従来の蒸着ボートにおいては、
材料のしみ出しのために蒸発速度が変動する欠点があっ
た。
トにおいて、蒸気圧ポイントの高い材料を蒸着する場合
、ボート内で加熱された材料は、蒸気となシ、下ぶたボ
ートから中ぶたボートの蒸気孔を抜け、さらに上ぶたボ
ートの蒸気孔から放射状に発散する。この場合、中ぶた
ボートの蒸気孔以外に当った材料は、横にそれて中ぶた
ボートと下ぶたボートとの間をしみ出して蒸着ボート外
に発散する。このため、従来の蒸着ボートにおいては、
材料のしみ出しのために蒸発速度が変動する欠点があっ
た。
本発明の目的は、蒸発中におけるボート材料のもれ、し
み出しを防止することによ如、蒸発速度変動の軽減、材
料スポットの付着防止ができるような蒸着用ボートを傍
伊することにある。
み出しを防止することによ如、蒸発速度変動の軽減、材
料スポットの付着防止ができるような蒸着用ボートを傍
伊することにある。
真空中で薄膜を形成する場合、その談の均一性を高める
ために、蒸着基鈑を回転させた）、蒸発速度のバラツキ
を少寿くすることが不可久である。
ために、蒸着基鈑を回転させた）、蒸発速度のバラツキ
を少寿くすることが不可久である。
特に、戸空中で複数＠料を濃度を変えカから同時蒸着す
ると、この蒸発速度のバラツキが太き表問題となる。こ
のバラツキを少々くする方法として、蒸着制御精度、蒸
着治具のもれ、蒸着ボートの構造等が考えられるが、本
発明は蒸着ボート構造に改良を加えて蒸発速度のバラツ
キ、もれを少なくしたものである。
ると、この蒸発速度のバラツキが太き表問題となる。こ
のバラツキを少々くする方法として、蒸着制御精度、蒸
着治具のもれ、蒸着ボートの構造等が考えられるが、本
発明は蒸着ボート構造に改良を加えて蒸発速度のバラツ
キ、もれを少なくしたものである。
以下、本発明の一実施例を図によシ説明する。
図は本発明に係る蒸着用ボートの一実施例の構造を示し
、ボートは蒸着用下ぶたボート１、蒸着用中ぶたボート
２、蒸着用上ぶたボート３の三枚構成でなり、蒸着用下
ぶたボート１には蒸着材料を積むことができる材料貯め
５が形成されている。
、ボートは蒸着用下ぶたボート１、蒸着用中ぶたボート
２、蒸着用上ぶたボート３の三枚構成でなり、蒸着用下
ぶたボート１には蒸着材料を積むことができる材料貯め
５が形成されている。
蒸着用中ぶたボート２、蒸着用上ぶたボート３には、蒸
発材料が飛び出る蒸気孔が２ａ、３ａがそれぞれ形成さ
れている。
発材料が飛び出る蒸気孔が２ａ、３ａがそれぞれ形成さ
れている。
真空中で蒸着ボートが加熱されると、貯め５内の蒸発材
料は蒸気圧付近から活発となシ、その一部は、蒸着用中
ぶたボート２の蒸気孔２’％蒸着川上ぶたボート３の蒸
気孔３ａをぬけて真空中で発散される。又、蒸着用中ぶ
たボート２の蒸気孔２ａ以外に当った蒸着材料は横方向
にそれるが、蒸着用下ぶたボート１の溝すとこの溝すに
曾せて作られた蒸着用中ぶたボート２のかえｐ曲げ部７
によシ、蒸着用下ぶたボート１と蒸着用中ぶたボート２
０間をぬけて蒸着ボート外に発散されることが阻止され
、蒸着ボート外へのもれが防止てきる。
料は蒸気圧付近から活発となシ、その一部は、蒸着用中
ぶたボート２の蒸気孔２’％蒸着川上ぶたボート３の蒸
気孔３ａをぬけて真空中で発散される。又、蒸着用中ぶ
たボート２の蒸気孔２ａ以外に当った蒸着材料は横方向
にそれるが、蒸着用下ぶたボート１の溝すとこの溝すに
曾せて作られた蒸着用中ぶたボート２のかえｐ曲げ部７
によシ、蒸着用下ぶたボート１と蒸着用中ぶたボート２
０間をぬけて蒸着ボート外に発散されることが阻止され
、蒸着ボート外へのもれが防止てきる。
このように、蒸着ボート外へのもれを防止することによ
り、蒸発速度の変動を減少でき、蒸発材料スポットの蒸
着基板付着の減少をはかることができる効果がある。
り、蒸発速度の変動を減少でき、蒸発材料スポットの蒸
着基板付着の減少をはかることができる効果がある。
このように本発明によれば、蒸着用ボートからの蒸発材
料の１２み出しをおさえることが可能と々シ、蒸発連間
の変動減少、昇華材料等の材料スポットの付着防止に効
果がある。％に蒸気圧点の高い材料を蒸発させる際には
極めて有効的である。
料の１２み出しをおさえることが可能と々シ、蒸発連間
の変動減少、昇華材料等の材料スポットの付着防止に効
果がある。％に蒸気圧点の高い材料を蒸発させる際には
極めて有効的である。
図は本発明に係る蒸着用ボートの一実施例の断面図であ
る。 １・・・°蒸着用下ぶたボート、２・・・・蒸着用中ぶ
たボート、３・・・・蒸着用上ぶたボー）、２ａ、３ａ
・・嗜−蒸気孔、５・・ｅ・材料貯め、６・・・・溝、
７・・・・かえり曲げ部。
る。 １・・・°蒸着用下ぶたボート、２・・・・蒸着用中ぶ
たボート、３・・・・蒸着用上ぶたボー）、２ａ、３ａ
・・嗜−蒸気孔、５・・ｅ・材料貯め、６・・・・溝、
７・・・・かえり曲げ部。
Claims (1)
- 上ぶたと中ぶたと下ぶたの複層ボート構造を有する蒸着
ボートにおいて、下ぶたボートの材斜貯め周辺に溝を設
け、中ぶたボートに下ぶたボート
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10382982A JPS58221273A (ja) | 1982-06-18 | 1982-06-18 | 蒸着用ボ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10382982A JPS58221273A (ja) | 1982-06-18 | 1982-06-18 | 蒸着用ボ−ト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58221273A true JPS58221273A (ja) | 1983-12-22 |
Family
ID=14364304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10382982A Pending JPS58221273A (ja) | 1982-06-18 | 1982-06-18 | 蒸着用ボ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58221273A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100490537B1 (ko) * | 2002-07-23 | 2005-05-17 | 삼성에스디아이 주식회사 | 가열용기와 이를 이용한 증착장치 |
| EP2056373A1 (de) * | 2007-10-30 | 2009-05-06 | Hueck Folien Ges.m.b.H. | Verfahren zur Bedampfung von bahnförmigen Materialien mit Fullerenen |
-
1982
- 1982-06-18 JP JP10382982A patent/JPS58221273A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100490537B1 (ko) * | 2002-07-23 | 2005-05-17 | 삼성에스디아이 주식회사 | 가열용기와 이를 이용한 증착장치 |
| EP2056373A1 (de) * | 2007-10-30 | 2009-05-06 | Hueck Folien Ges.m.b.H. | Verfahren zur Bedampfung von bahnförmigen Materialien mit Fullerenen |
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