JPS58218739A - 電子ビ−ム照射装置 - Google Patents
電子ビ−ム照射装置Info
- Publication number
- JPS58218739A JPS58218739A JP10042982A JP10042982A JPS58218739A JP S58218739 A JPS58218739 A JP S58218739A JP 10042982 A JP10042982 A JP 10042982A JP 10042982 A JP10042982 A JP 10042982A JP S58218739 A JPS58218739 A JP S58218739A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotation
- sample
- fourier
- electron beam
- deflector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）１発明の技術分野
本発明は画像パターンの回転を自動的に補正しうるよう
に改良した電子ビーム照射装置に関する。
に改良した電子ビーム照射装置に関する。
（２）、技術の背景
電子顕微鏡等において、例えば、試料室内に１°かれる
試料の高さが変わると、試料へ照射される電子ビームの
ピントがずれてしまい、得られる画像パターンが正規の
位置から回転するということはよく知られている事柄で
ある。これに対処する従来の技術的手段は次の如きもの
であり、その不便さから脱却しうる技術的手段の開発が
要望されている。
試料の高さが変わると、試料へ照射される電子ビームの
ピントがずれてしまい、得られる画像パターンが正規の
位置から回転するということはよく知られている事柄で
ある。これに対処する従来の技術的手段は次の如きもの
であり、その不便さから脱却しうる技術的手段の開発が
要望されている。
（３）、従来技術と問題点
上述の如き画像パターンの回転を補正する手段は得られ
る画像パターンを目視しながら、その回転を補正する如
きものであった。従って、その補正を短時間内に遂行し
得ない。これは試料に必要以上のビームを照射すること
になったり、補正後の処理を必要以上に待機させなけれ
ば々らないという不都合を来たす。
る画像パターンを目視しながら、その回転を補正する如
きものであった。従って、その補正を短時間内に遂行し
得ない。これは試料に必要以上のビームを照射すること
になったり、補正後の処理を必要以上に待機させなけれ
ば々らないという不都合を来たす。
（４）６発明の目的
本発明は上述したような従来技術の有する欠点に鑑みて
創案されたもので、その目的は画像パターンの回転を可
及的即時的に補正しうる電子ビーム照射装置を提供する
ことにある。
創案されたもので、その目的は画像パターンの回転を可
及的即時的に補正しうる電子ビーム照射装置を提供する
ことにある。
（５）１発明の構成
そして、この目的は偏向器によって走査される電子ビー
ムを試料に照射してそこからの二次電子又は反射電子を
検知して得られる画像ノ（ターンを記憶する画像記憶装
ｆｆｉを有する電子ビーム照射装置において、上記画像
記憶装置の画像パターンをフーリエ変換し、そのフーリ
エ変換パターンから回転量を算出し、該回転量から回転
補正量を求めて上記偏向器に補正を生せしめることによ
って達成される。
ムを試料に照射してそこからの二次電子又は反射電子を
検知して得られる画像ノ（ターンを記憶する画像記憶装
ｆｆｉを有する電子ビーム照射装置において、上記画像
記憶装置の画像パターンをフーリエ変換し、そのフーリ
エ変換パターンから回転量を算出し、該回転量から回転
補正量を求めて上記偏向器に補正を生せしめることによ
って達成される。
（６）０発明の実施例
以下、添付図面、を参照しながら、本発明の実施例を説
明、する。
明、する。
第１図は本発明の一実施例を示す。１はテーブル２上に
載置される試料で、この試料上に偏向器３によって走査
される電子ビーム４が照射される・５は電子″′Ａ ４
、：を−けた試料力゛ら二次電子又は反射電子検知器
６へ向かう二次電子又は反射電子である。検知器６の出
力は前置増幅器７を経てアナログ−ディジタル変換器８
へ接続される。変換器８でディジタル化された画像パタ
ーンは画像記憶装置９に記憶される。１゜は画像パター
ンをフーリエ変換するフーリエ変換プロ・ヒッサであシ
、１１はプロセッサ１ｏがらのフーリエ変換パターンを
直線近似して回転量を求める回転量検出器である。回転
量検出器１１の出力は回転補正回路１２を経て偏向器３
−＼接続されている。１３は対物レンズである。
載置される試料で、この試料上に偏向器３によって走査
される電子ビーム４が照射される・５は電子″′Ａ ４
、：を−けた試料力゛ら二次電子又は反射電子検知器
６へ向かう二次電子又は反射電子である。検知器６の出
力は前置増幅器７を経てアナログ−ディジタル変換器８
へ接続される。変換器８でディジタル化された画像パタ
ーンは画像記憶装置９に記憶される。１゜は画像パター
ンをフーリエ変換するフーリエ変換プロ・ヒッサであシ
、１１はプロセッサ１ｏがらのフーリエ変換パターンを
直線近似して回転量を求める回転量検出器である。回転
量検出器１１の出力は回転補正回路１２を経て偏向器３
−＼接続されている。１３は対物レンズである。
次に、上述構成から成る本発明実施例装置の動作を説明
する。
する。
偏向器３によって走査される電子ビーム４を受ける試料
からの二次電子又は反射電子５は二次電子又は反射電子
検知器６で検知される。検知器、６からのアナログ画像
信号は増幅器７で増幅された後、アナログ−ディジタル
変換器８でディジタル化される。そのディジタル画像パ
ターンは上述電子ビーム４の走査と同期した配憶動作を
生ぜしめられている画像記憶装［９に記 憶される
、その画像パターンは、例えば第２図の（２−１）に示
す如く集積回路の直交形式で設けられる配線パターンで
、そのｘ −ｙ軸から図示の如く回転されて採取されて
いるとする。
からの二次電子又は反射電子５は二次電子又は反射電子
検知器６で検知される。検知器、６からのアナログ画像
信号は増幅器７で増幅された後、アナログ−ディジタル
変換器８でディジタル化される。そのディジタル画像パ
ターンは上述電子ビーム４の走査と同期した配憶動作を
生ぜしめられている画像記憶装［９に記 憶される
、その画像パターンは、例えば第２図の（２−１）に示
す如く集積回路の直交形式で設けられる配線パターンで
、そのｘ −ｙ軸から図示の如く回転されて採取されて
いるとする。
この画像パターンが画像記憶装置９から読出されフーリ
エ変換プロセッサ１０へ入力されてフーリエ変換を施さ
れると、その出力は第２図の（２−２）に示す如く、画
像パターンの記憶領域に対応する変換出力領域内て飛び
飛びに出力を有する二群の信号となりこれらの群は直交
している。
エ変換プロセッサ１０へ入力されてフーリエ変換を施さ
れると、その出力は第２図の（２−２）に示す如く、画
像パターンの記憶領域に対応する変換出力領域内て飛び
飛びに出力を有する二群の信号となりこれらの群は直交
している。
これら二群の信号を受ける回転量検出回路１１はその各
群毎に直線近似を施してそのＸ軸と成す角θを回転量と
して出力する。
群毎に直線近似を施してそのＸ軸と成す角θを回転量と
して出力する。
この回転量を受ける回転補正回路１２Ｆｉ、回転補正量
を発生してこれを偏向器３へ供給し、偏向器３による電
子ビームの走査方向をθだけ変える。従って、この変更
を生ぜしめられた後に得られる画像パターンである直交
する配線パターンのその直交は、第２図の（２−１）の
Ｘ−ｙ軸と一致した向きにある。
を発生してこれを偏向器３へ供給し、偏向器３による電
子ビームの走査方向をθだけ変える。従って、この変更
を生ぜしめられた後に得られる画像パターンである直交
する配線パターンのその直交は、第２図の（２−１）の
Ｘ−ｙ軸と一致した向きにある。
このような回転の補正はプロセッサ１０、回転量検出回
路１１、回転補正回路１２で信号処理に費やされる時間
だけ遅れるに過ぎず、その時間は比較的に短い故、可及
的即時的に生ぜしめられる。
路１１、回転補正回路１２で信号処理に費やされる時間
だけ遅れるに過ぎず、その時間は比較的に短い故、可及
的即時的に生ぜしめられる。
ガお、上記実施例では、フーリエ変換プロセッサ１０を
それ専用のものとする例につき説明したが、必ずしもこ
れに限定されるものではない。
それ専用のものとする例につき説明したが、必ずしもこ
れに限定されるものではない。
（７）１発明の効果
以上要するに、本発明によれば、画像パターンからそこ
に生じている回転の員を抽出してこれを偏向器の偏向補
正に用いうるようにしたので、上記回転の補正をはｙ即
時的に生ぜしめ、時間のか＼る補正の場合には生じてし
まう不具合を解消し得る。
に生じている回転の員を抽出してこれを偏向器の偏向補
正に用いうるようにしたので、上記回転の補正をはｙ即
時的に生ぜしめ、時間のか＼る補正の場合には生じてし
まう不具合を解消し得る。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図は第１図実
施例装置の要部各部の出力を平面に展開して示す図であ
る。 図において、１は試料、３は偏向器、５は二次電子又は
反射電子、６は二次電子又は反射電子検知器、９は画像
記憶＠置、１０はフーリエ変換プロセッサ、１１は回転
量検出回路、１２は回転補正回路である。 特許出願人 富士通株式会社
施例装置の要部各部の出力を平面に展開して示す図であ
る。 図において、１は試料、３は偏向器、５は二次電子又は
反射電子、６は二次電子又は反射電子検知器、９は画像
記憶＠置、１０はフーリエ変換プロセッサ、１１は回転
量検出回路、１２は回転補正回路である。 特許出願人 富士通株式会社
Claims (1)
- 偏向器によって走査される電子ビームを試料に照射して
そこからの二次電子又は反射電子を検知して得られる画
像パターンを記憶する画像記憶゛装置を有する電子ビー
ム照射装置圧おいて、上記画像記憶装置の画像パターン
をフーリエ変換し、そのフーリエ変換パターンから回転
量を算出し、該回転量から回転補正量を求めて上記偏向
器に補正を生せしめるようにしたことを特徴とする電子
ビーム闇射装筒。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10042982A JPS58218739A (ja) | 1982-06-11 | 1982-06-11 | 電子ビ−ム照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10042982A JPS58218739A (ja) | 1982-06-11 | 1982-06-11 | 電子ビ−ム照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58218739A true JPS58218739A (ja) | 1983-12-20 |
Family
ID=14273706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10042982A Pending JPS58218739A (ja) | 1982-06-11 | 1982-06-11 | 電子ビ−ム照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58218739A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5334909A (en) * | 1991-07-05 | 1994-08-02 | Nec Corporationcorporation | Microwave tube collector assembly including a chromium oxide film |
-
1982
- 1982-06-11 JP JP10042982A patent/JPS58218739A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5334909A (en) * | 1991-07-05 | 1994-08-02 | Nec Corporationcorporation | Microwave tube collector assembly including a chromium oxide film |
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