JPS58211616A - 半導体式圧力センサ - Google Patents
半導体式圧力センサInfo
- Publication number
- JPS58211616A JPS58211616A JP9547982A JP9547982A JPS58211616A JP S58211616 A JPS58211616 A JP S58211616A JP 9547982 A JP9547982 A JP 9547982A JP 9547982 A JP9547982 A JP 9547982A JP S58211616 A JPS58211616 A JP S58211616A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- semiconductor
- pedestal
- pressure sensor
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/003—Fluidic connecting means using a detachable interface or adapter between the process medium and the pressure gauge
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/147—Details about the mounting of the sensor to support or covering means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は一面に導圧管を通じて導入される測定圧力が加
わり、他面に基準圧力が加わる半導体感圧ダイヤフラム
が導圧管と台座を介して結合される半導体式圧力センサ
に関する。
わり、他面に基準圧力が加わる半導体感圧ダイヤフラム
が導圧管と台座を介して結合される半導体式圧力センサ
に関する。
第１図はそのような半導体式圧力センサの一例で、シリ
コン感圧ダイヤフラムチップ１は、円筒状台座２の上に
固定され、この台座２の反ダイヤフラムチップ側に導圧
管３が接合されている。この導圧管３は密閉容器の一部
を形成する環状支持体４により容器底板５に固定され、
容器底板５と容器箸休６の形成する内部空間７内の基準
圧力と導圧管３を介して導入される測定圧力の差によつ
センサ出力として外部へ取り出される。台座２はダイヤ
フラムに熱歪を与えないためにダイヤフ゛ラムチッグ１
の半導体材料と熱膨張係数が近似している材料、例えば
シリコンまたはガラスを用いて作られる。しかしシリコ
ンを用いる場合には感圧ダイヤフラムチップ１と容器と
を絶縁するためにシリコン台座２の表面に酸化膜を形成
するか、あるいは第２図に拡大して示すように台座２と
導圧管３との間に中間層として絶縁体１１を挾むか、も
しくは第３図に示すように導圧管３と容器の一部を形成
する環状支持体４との間にカラス管１２を弁傘させて絶
縁する必要があり、高価になる。
コン感圧ダイヤフラムチップ１は、円筒状台座２の上に
固定され、この台座２の反ダイヤフラムチップ側に導圧
管３が接合されている。この導圧管３は密閉容器の一部
を形成する環状支持体４により容器底板５に固定され、
容器底板５と容器箸休６の形成する内部空間７内の基準
圧力と導圧管３を介して導入される測定圧力の差によつ
センサ出力として外部へ取り出される。台座２はダイヤ
フラムに熱歪を与えないためにダイヤフ゛ラムチッグ１
の半導体材料と熱膨張係数が近似している材料、例えば
シリコンまたはガラスを用いて作られる。しかしシリコ
ンを用いる場合には感圧ダイヤフラムチップ１と容器と
を絶縁するためにシリコン台座２の表面に酸化膜を形成
するか、あるいは第２図に拡大して示すように台座２と
導圧管３との間に中間層として絶縁体１１を挾むか、も
しくは第３図に示すように導圧管３と容器の一部を形成
する環状支持体４との間にカラス管１２を弁傘させて絶
縁する必要があり、高価になる。
また台座２にガラスを２使用した場合は絶縁する必要は
ないが、例えば圧力センサを自動車エンジン制御に使用
する場合、排ガス腐食の懸念がある。
ないが、例えば圧力センサを自動車エンジン制御に使用
する場合、排ガス腐食の懸念がある。
本発明はこれに対し電気絶縁性を有するとともに、排ガ
ス等に対する耐食性にすぐれ、感圧ダイヤフラムの材料
と熱膨張係数が近似的に等しく、さらに導圧管、容器の
熱歪のタイヤフラムに及ぼす影響を少なくして感圧セン
サの特性を良好ならしめる半導体式圧力センサの台座を
安価に提供することを目的とする。
ス等に対する耐食性にすぐれ、感圧ダイヤフラムの材料
と熱膨張係数が近似的に等しく、さらに導圧管、容器の
熱歪のタイヤフラムに及ぼす影響を少なくして感圧セン
サの特性を良好ならしめる半導体式圧力センサの台座を
安価に提供することを目的とする。
この目的は、台座がジルコン（Ｚｒ０２・５ｉｎｔ）か
らなることによって達成される。
らなることによって達成される。
以下図を引用して本発明の実施例について説明する。第
４図において、例えばシリコンからなるによって固着さ
れており、台座２１．は例えばコバールからなる導圧管
３と同じく接着層１３によって固着されている。導圧管
３は従来と同様容器の一部を形成する環状支持体４によ
って図示しない容器底板５に固定されている。このよう
にジルコンからなる台座を用いることにより次の効果が
得られる。
４図において、例えばシリコンからなるによって固着さ
れており、台座２１．は例えばコバールからなる導圧管
３と同じく接着層１３によって固着されている。導圧管
３は従来と同様容器の一部を形成する環状支持体４によ
って図示しない容器底板５に固定されている。このよう
にジルコンからなる台座を用いることにより次の効果が
得られる。
ｆｉｌ ＺｒＯ，・Ｓ１０．焼結体は電気的絶縁性に
すぐれているため、シリコン台座に絶縁性酸化被膜要が
なく工数を低減できる。
すぐれているため、シリコン台座に絶縁性酸化被膜要が
なく工数を低減できる。
（２１ＺｒＯ，・Ｓ１０．焼結体の熱膨張係数は３７〜
４．２Ｘ１０（／”０ ”で、半導体（シ
リコン）の熱膨張係数４ Ｘ ｌ Ｏ＝／ ”０←Ｇ＝
−←←争七と近似しているためダイヤプラムに熱歪を与
えることが少ない。
４．２Ｘ１０（／”０ ”で、半導体（シ
リコン）の熱膨張係数４ Ｘ ｌ Ｏ＝／ ”０←Ｇ＝
−←←争七と近似しているためダイヤプラムに熱歪を与
えることが少ない。
（３） 他の構造部品、例えば導圧管や容器からの熱
歪の影響を吸収し、感圧センサの特性を良好に維持でき
る。
歪の影響を吸収し、感圧センサの特性を良好に維持でき
る。
（４１ＺｒＯ，・Ｓｉｎ、焼結体は耐食性が良好である
ため、圧力センサの一使用例として自動車エンジン制御
に用いる場合−も、排ガス腐食に対して充分な信頼性が
得られる。
ため、圧力センサの一使用例として自動車エンジン制御
に用いる場合−も、排ガス腐食に対して充分な信頼性が
得られる。
（５）台座の材料を変更するのみであるから他の部品は
そのまま使用でき、外形寸法など従来と全く同様の半導
体圧力センサを得ることができる。
そのまま使用でき、外形寸法など従来と全く同様の半導
体圧力センサを得ることができる。
すなわち、本発明によりすべての分野に使用できる信頼
性高い半導体式圧力センサが得られるので、その効果は
極めて大きい。
性高い半導体式圧力センサが得られるので、その効果は
極めて大きい。
第１図は半導体式圧力センサの一例を示す断面図、第２
図、第３図はそれぞれ感圧ダイヤフラムおよび台座部の
異なる構造を示す断面図、第４図は本発明の一実施例に
おける同様の部分の構造を示す断面図である。 １・・・感圧ダイヤプラムチツグ、３山導圧管、１３・
・・接着層、２１・ １ｒｏ２・８ｉ０２台座。 才１閃
図、第３図はそれぞれ感圧ダイヤフラムおよび台座部の
異なる構造を示す断面図、第４図は本発明の一実施例に
おける同様の部分の構造を示す断面図である。 １・・・感圧ダイヤプラムチツグ、３山導圧管、１３・
・・接着層、２１・ １ｒｏ２・８ｉ０２台座。 才１閃
Claims (1)
- 】）−面に導圧管を通じて導入される圧力が加わり、他
面に基準圧力が加わる半導体感圧ダイヤフラムが台座を
介して導圧管と結合されるものにおいて、台座がジルコ
ン（ＺｒＯ２・ＳｉＱ、）からなることを特徴とする半
導体式圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9547982A JPS58211616A (ja) | 1982-06-03 | 1982-06-03 | 半導体式圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9547982A JPS58211616A (ja) | 1982-06-03 | 1982-06-03 | 半導体式圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58211616A true JPS58211616A (ja) | 1983-12-09 |
Family
ID=14138749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9547982A Pending JPS58211616A (ja) | 1982-06-03 | 1982-06-03 | 半導体式圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58211616A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS595931A (ja) * | 1982-07-02 | 1984-01-12 | Nippon Denso Co Ltd | 半導体圧力センサ |
| JPS6157826A (ja) * | 1984-08-29 | 1986-03-24 | Hitachi Ltd | 圧力変換器 |
| JPS62207923A (ja) * | 1986-03-07 | 1987-09-12 | Taiheiyo Kogyo Kk | 圧力検知装置 |
| JPS63151832A (ja) * | 1986-12-17 | 1988-06-24 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体圧力センサ装置 |
| JPH0319939U (ja) * | 1989-02-22 | 1991-02-27 |
-
1982
- 1982-06-03 JP JP9547982A patent/JPS58211616A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS595931A (ja) * | 1982-07-02 | 1984-01-12 | Nippon Denso Co Ltd | 半導体圧力センサ |
| JPS6157826A (ja) * | 1984-08-29 | 1986-03-24 | Hitachi Ltd | 圧力変換器 |
| JPS62207923A (ja) * | 1986-03-07 | 1987-09-12 | Taiheiyo Kogyo Kk | 圧力検知装置 |
| JPS63151832A (ja) * | 1986-12-17 | 1988-06-24 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体圧力センサ装置 |
| JPH0319939U (ja) * | 1989-02-22 | 1991-02-27 |
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