JPS58199787A - 多面回転鏡の反射鏡面の形成方法 - Google Patents
多面回転鏡の反射鏡面の形成方法Info
- Publication number
- JPS58199787A JPS58199787A JP8113482A JP8113482A JPS58199787A JP S58199787 A JPS58199787 A JP S58199787A JP 8113482 A JP8113482 A JP 8113482A JP 8113482 A JP8113482 A JP 8113482A JP S58199787 A JPS58199787 A JP S58199787A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- mirror surface
- forming
- plating layer
- formation
- Prior art date
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- Granted
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
181 発明の技術分野
本発明はレーザプリンタのレーザ光の高速走査に用いら
れるセラミックを基台とする多面回転鏡の反射鏡面の形
成方法に関する。
れるセラミックを基台とする多面回転鏡の反射鏡面の形
成方法に関する。
(bl 従来技術と問題点
近年、レーザ光など光ビームを走査して、情報を読み取
ったり記録したりする装置、所謂レーザプリンタが盛ん
に開発されている。このようなプリンタにおける光ビー
ムの走査手段として、多面回転鏡が採用されている。
ったり記録したりする装置、所謂レーザプリンタが盛ん
に開発されている。このようなプリンタにおける光ビー
ムの走査手段として、多面回転鏡が採用されている。
最近プリンタの印字速度の高速化にともない。
レーザビームの走査速度も高くなり、従って該レーザビ
ームを反射する多面回転鏡の毎分回転数も。
ームを反射する多面回転鏡の毎分回転数も。
30000〜40000回転に達している。
一方多面回転鏡は、その軽量化の為に、基台の材料とし
てセラミックが使用されるようになった。図面はそのよ
うな多面回転鏡の構造を示し、基台1の外周には、その
回転軸X−Xに平行な複数の反射鏡面2が設けられてい
る。
てセラミックが使用されるようになった。図面はそのよ
うな多面回転鏡の構造を示し、基台1の外周には、その
回転軸X−Xに平行な複数の反射鏡面2が設けられてい
る。
従来、該反射鏡面2は、まず基台lのセラミック表面を
精密で且つ極めて平田な平面に仕上げ。
精密で且つ極めて平田な平面に仕上げ。
所定の粗さに加工した後、無電解ニッケ゛ルメソキを施
し、これを鏡面にラッピングし、更にアルミニウム(A
1)を茎着して反射鏡面を完成するという工程順序に従
って形成されていた。しかしながら、従来のこの形成方
法には次のような問題がある。即ち i 無電解ニッケルメッキ層とセラミック表面との接着
力は、該メッキ層がセラミ・7り表面の微小凹凸に食い
込む所謂アンカー効果による程度で極めて弱<、30k
g/−以下である。
し、これを鏡面にラッピングし、更にアルミニウム(A
1)を茎着して反射鏡面を完成するという工程順序に従
って形成されていた。しかしながら、従来のこの形成方
法には次のような問題がある。即ち i 無電解ニッケルメッキ層とセラミック表面との接着
力は、該メッキ層がセラミ・7り表面の微小凹凸に食い
込む所謂アンカー効果による程度で極めて弱<、30k
g/−以下である。
ii 無電解ニッケルメッキ層を厚くするとその内部
応力が増大し、益々上記の接着力を低くし、甚だしい時
は該メッキ層がセラミック表面より剥離するに至るので
、ラッピングに必要なメッキ厚(約30ミクロン)を得
ることが困難である。
応力が増大し、益々上記の接着力を低くし、甚だしい時
は該メッキ層がセラミック表面より剥離するに至るので
、ラッピングに必要なメッキ厚(約30ミクロン)を得
ることが困難である。
以上の従来形成法による多面回転鏡によれば、これまで
のレーザプリンタでは十分に機能するが、前述した高速
印刷用プリンタの場合、多面回転鏡1は高速度で回転す
るので、メッキ層の受ける遠心力が極めて大きく、高速
回転で連続動作中にメッキ層が剥離するに至ることもあ
って9品質的にも極めて不安定である。従って、より接
着強度の高い反射鏡面の形成方法の開発が望まれていた
。
のレーザプリンタでは十分に機能するが、前述した高速
印刷用プリンタの場合、多面回転鏡1は高速度で回転す
るので、メッキ層の受ける遠心力が極めて大きく、高速
回転で連続動作中にメッキ層が剥離するに至ることもあ
って9品質的にも極めて不安定である。従って、より接
着強度の高い反射鏡面の形成方法の開発が望まれていた
。
(C1発明の目的
\
本発明は一ト述の点にIIi基□なされたもので、レー
ザプリンタに用いられる多面回転鏡のセラミック基台の
表面に金属メッキ層を形成するに際し、該セラミック基
台表面と該金属メッキ層との間に強固な接着強度を与え
るような形成方法を提供することを目的とする。
ザプリンタに用いられる多面回転鏡のセラミック基台の
表面に金属メッキ層を形成するに際し、該セラミック基
台表面と該金属メッキ層との間に強固な接着強度を与え
るような形成方法を提供することを目的とする。
(dl 発明の構成
上記の目的は1本発明によればレーザプリンタに使用す
る。セラミック基台を有する多面回転鏡の反射鏡面の形
成に於て、該セラミック基台の鏡面部にメタライズ層を
形成した後、さらにその上に金属メッキ層を所定の厚さ
に形成し9次いで該金属メッキ層を鏡面仕上げ加工して
からそれに金属膜を蒸着して反射鏡面を構成することに
より容易に達成できる。
る。セラミック基台を有する多面回転鏡の反射鏡面の形
成に於て、該セラミック基台の鏡面部にメタライズ層を
形成した後、さらにその上に金属メッキ層を所定の厚さ
に形成し9次いで該金属メッキ層を鏡面仕上げ加工して
からそれに金属膜を蒸着して反射鏡面を構成することに
より容易に達成できる。
let 発明の実施例
以下本発明の実施例につき1図面を参照して説明する。
まず図に示す多面回転鏡の基台1上の反射鏡面2を構成
する部分にメタライズ層を形成する。メヶ、イXff1
よ、7.よ、’ fPIえ、よ。、、。、。8□%Mo
−15%Mn−3%Tiの混合粉末を塗着し。
する部分にメタライズ層を形成する。メヶ、イXff1
よ、7.よ、’ fPIえ、よ。、、。、。8□%Mo
−15%Mn−3%Tiの混合粉末を塗着し。
1450℃の水素炉中で焼結して得られる。
次いで、このメタライズ層上にニッケルメッキ層を約1
00ミクロン以上形成した後、鏡面研摩機で研摩し、最
後に蒸着槽内でアルミニウムを蒸着する。
00ミクロン以上形成した後、鏡面研摩機で研摩し、最
後に蒸着槽内でアルミニウムを蒸着する。
この方法による反射鏡面の一例を挙げると、鏡面粗さo
、oosミクロン、反射率90%、セラミック基台への
接着強度120kg/−が得られた。
、oosミクロン、反射率90%、セラミック基台への
接着強度120kg/−が得られた。
これらの値は、高速印刷レーザプリンタ用の多面回転鏡
の反射鏡面としては十分な性能を有し。
の反射鏡面としては十分な性能を有し。
36000回転/分の遠心力を与えて長時間運転しても
鏡面材剥離の問題は全くなかった。
鏡面材剥離の問題は全くなかった。
尚以上の説明ではニッケルメッキ層の上にアルミニウム
蒸着面を形成した例について述べたが。
蒸着面を形成した例について述べたが。
これらの種類の金属に限るものではない。
(fl 発明の効果
以上の説明から明らかなように、レーザプリンタ用の高
速多面回転鏡の基台としてセラミックを用いる場合、そ
の反射鏡面を形成するに際し9本発明の方法を採用する
ことにより、viセラミソ、り基台と反射鏡面材との接
着強度を著しく高めることができる。その結果、該金属
メッキ層を厚(することが出来るので、鏡面加工の仕上
げ代を十分数ることができ、高い反射率の鏡面が得られ
ると共に、高速回転の遠心力に十分耐えられるという効
果が得られる。
速多面回転鏡の基台としてセラミックを用いる場合、そ
の反射鏡面を形成するに際し9本発明の方法を採用する
ことにより、viセラミソ、り基台と反射鏡面材との接
着強度を著しく高めることができる。その結果、該金属
メッキ層を厚(することが出来るので、鏡面加工の仕上
げ代を十分数ることができ、高い反射率の鏡面が得られ
ると共に、高速回転の遠心力に十分耐えられるという効
果が得られる。
図面はレーザプリンタ用の多面回転鏡のセラミック基台
を概念的に示した斜視図である。 図において、1は基台、2は反射鏡面、3は軸ボス、4
は回転軸の嵌る孔をそれぞれ示す。
を概念的に示した斜視図である。 図において、1は基台、2は反射鏡面、3は軸ボス、4
は回転軸の嵌る孔をそれぞれ示す。
Claims (1)
- レーザプリンタに使用する。セラミック基台を有する多
面回転鏡の反射鏡面の形成に於て、該セラミック基台の
鏡面部にメタライズ層を形成した後、さらにその上に金
属メッキ層を所定の厚さに形成し1次いで該金属メッキ
層を鏡面仕上げ加工してからそれに金属膜を蒸着して反
射鏡面を構成するようにしたことを特徴とする多面回転
鏡の反射鏡面の形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8113482A JPS6055477B2 (ja) | 1982-05-13 | 1982-05-13 | 多面回転鏡の反射鏡面の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8113482A JPS6055477B2 (ja) | 1982-05-13 | 1982-05-13 | 多面回転鏡の反射鏡面の形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58199787A true JPS58199787A (ja) | 1983-11-21 |
JPS6055477B2 JPS6055477B2 (ja) | 1985-12-05 |
Family
ID=13737925
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8113482A Expired JPS6055477B2 (ja) | 1982-05-13 | 1982-05-13 | 多面回転鏡の反射鏡面の形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6055477B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS612618U (ja) * | 1984-06-12 | 1986-01-09 | 富士写真フイルム株式会社 | ガルバノメ−タミラ− |
-
1982
- 1982-05-13 JP JP8113482A patent/JPS6055477B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS612618U (ja) * | 1984-06-12 | 1986-01-09 | 富士写真フイルム株式会社 | ガルバノメ−タミラ− |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6055477B2 (ja) | 1985-12-05 |
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