JPS58132701A - 多面鏡の製造方法 - Google Patents
多面鏡の製造方法Info
- Publication number
- JPS58132701A JPS58132701A JP57014339A JP1433982A JPS58132701A JP S58132701 A JPS58132701 A JP S58132701A JP 57014339 A JP57014339 A JP 57014339A JP 1433982 A JP1433982 A JP 1433982A JP S58132701 A JPS58132701 A JP S58132701A
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- JP
- Japan
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- nickel alloy
- alloy film
- smooth
- ion plating
- smooth surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/09—Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/0816—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
- G02B5/085—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal
- G02B5/0858—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal the reflecting layers comprising a single metallic layer with one or more dielectric layers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レーザプリンタ等の光学系に使用される光偏
光器としての多面鏡の製造方法に関するものである。
光器としての多面鏡の製造方法に関するものである。
従来、レーザプリンタ等の光学系に使用される光偏光器
としての多面鏡は、金属素材としてのアルミ合金体の外
周を切削して、このアルミ合金体の外周に複数個の反射
面となる平滑面を形成し、次にこの複数個の平滑面に電
気メッキによってニブケル合金を付着させてニッケル合
金膜を形成し、その後このニッケル合金膜を研磨して平
滑面を鏡面状態に仕上げて反射面となるようにされてい
る。
としての多面鏡は、金属素材としてのアルミ合金体の外
周を切削して、このアルミ合金体の外周に複数個の反射
面となる平滑面を形成し、次にこの複数個の平滑面に電
気メッキによってニブケル合金を付着させてニッケル合
金膜を形成し、その後このニッケル合金膜を研磨して平
滑面を鏡面状態に仕上げて反射面となるようにされてい
る。
とζろで、電気メッキによって形成されたニッケル合一
金膜−は、結晶構造が比較的規則正しく配列されておシ
、微視的にみるとこの従来のニッケル合金膜には、硬い
部分と軟かい部分とが混在している。このニッケル合金
膜を研磨すると、゛硬い部分と軟かい部分とで研磨のさ
れ方が異な如、研磨むらが壺じて面精度を向上させ離い
一因となっている。また、このように研磨むらが生じや
すいので、従来は、このニッケル合金膜が形成された反
射面１個当たシについて、約９ないし１００分の時間を
かけてニッケル合金膜を丁寧に研磨しているが、反射面
の個数に比例して研磨時間が増大し、多面鏡１個当たシ
の製作に多大の研磨時間を要するという欠点もある。
金膜−は、結晶構造が比較的規則正しく配列されておシ
、微視的にみるとこの従来のニッケル合金膜には、硬い
部分と軟かい部分とが混在している。このニッケル合金
膜を研磨すると、゛硬い部分と軟かい部分とで研磨のさ
れ方が異な如、研磨むらが壺じて面精度を向上させ離い
一因となっている。また、このように研磨むらが生じや
すいので、従来は、このニッケル合金膜が形成された反
射面１個当たシについて、約９ないし１００分の時間を
かけてニッケル合金膜を丁寧に研磨しているが、反射面
の個数に比例して研磨時間が増大し、多面鏡１個当たシ
の製作に多大の研磨時間を要するという欠点もある。
本発明の目的は、研磨時間の短縮と研磨面精度の向上を
図る多面鏡の製造方法を提供することにあシ、その特徴
は、反射面となる平滑面にイオングレーティング法によ
ってニッケル合金を付着させて、形成されるニッケル合
金膜の結晶構造を不Ｑに配列させてニッケル合金膜の硬
度を高めるようにし九ことにある。
図る多面鏡の製造方法を提供することにあシ、その特徴
は、反射面となる平滑面にイオングレーティング法によ
ってニッケル合金を付着させて、形成されるニッケル合
金膜の結晶構造を不Ｑに配列させてニッケル合金膜の硬
度を高めるようにし九ことにある。
以下に本発明に係る多面鏡の製造方法を、図面を参照し
つつ説明する。
つつ説明する。
第１図は、本発明に係る多面鏡が適用されるレーザプリ
ンタの概略構成を示すもので、この図において、１はレ
ーザー発振器、２．３は反射ミラー、４は変調器、５は
ビームエキスパンダ、６はモータ、７は多面鏡、８はｆ
θレンズ、９は感光体ドラム、ｌＯは転写紙であって、
レーザー発振器１から射出されたレーザー光は、反射ミ
ラー２゜３によって反射されて変調器４、ビームエキス
パンダ５を通過した後、回転する多面鏡７によって反射
され、感光体９の軸方向に振られるようになっている。
ンタの概略構成を示すもので、この図において、１はレ
ーザー発振器、２．３は反射ミラー、４は変調器、５は
ビームエキスパンダ、６はモータ、７は多面鏡、８はｆ
θレンズ、９は感光体ドラム、ｌＯは転写紙であって、
レーザー発振器１から射出されたレーザー光は、反射ミ
ラー２゜３によって反射されて変調器４、ビームエキス
パンダ５を通過した後、回転する多面鏡７によって反射
され、感光体９の軸方向に振られるようになっている。
次に、この多面鏡７の製造方法を、第２図に示す製造工
程図に基いて説明すると、まず最初に、アルミ合金を旋
削、フライス切削、穴明けを行なって、第３図に示すよ
うな金属素材としての円板体１１から第４図、第５図に
示すような外周１！１面１２に複数個の反射面となる平
滑面１３を有する円板体１１を製造する。平滑面１３の
数はこの実施例においては１２個である。次にこの複数
個の平滑面１３が形成された円板体１１の機械加工によ
る歪を除去するために、温度約２００℃で約２時間の熱
処理を施す。
程図に基いて説明すると、まず最初に、アルミ合金を旋
削、フライス切削、穴明けを行なって、第３図に示すよ
うな金属素材としての円板体１１から第４図、第５図に
示すような外周１！１面１２に複数個の反射面となる平
滑面１３を有する円板体１１を製造する。平滑面１３の
数はこの実施例においては１２個である。次にこの複数
個の平滑面１３が形成された円板体１１の機械加工によ
る歪を除去するために、温度約２００℃で約２時間の熱
処理を施す。
次に、この豪数個の平滑面が形成された円板体１１０表
面を清浄にして、複数個の平滑面１３を含む円板体１１
の表面に、イオンブレーティング法によってニッケル合
金を付着させて平滑面１３の表面にニッケル合金膜１４
を形成する。イオンブレーティング装置には、プラズマ
発生機構を備えた真空蒸着装置を使用する。このイオン
ブレーティング法によれば、平滑面１３に、たたきつけ
るようにしてニッケル合金の原子が衝突付着するので、
不規則な結晶構造のニッケル合金７１１１１４が第６図
に示すように平滑面１３０表面に形成されることとなシ
、ニッケル合金膜１４は硬度の高いものとなる。ここで
は、この平滑面１３に厚さが約（資）ミクロンメートル
のニッケル合金膜を形成した。なお、ニッケル合金とし
ては、ニッケルーリン合金（Ｎｉ−Ｐ）、ニブケル−ク
ロム合金（Ｎｉ −Ｃｒ ）等を使用する。
面を清浄にして、複数個の平滑面１３を含む円板体１１
の表面に、イオンブレーティング法によってニッケル合
金を付着させて平滑面１３の表面にニッケル合金膜１４
を形成する。イオンブレーティング装置には、プラズマ
発生機構を備えた真空蒸着装置を使用する。このイオン
ブレーティング法によれば、平滑面１３に、たたきつけ
るようにしてニッケル合金の原子が衝突付着するので、
不規則な結晶構造のニッケル合金７１１１１４が第６図
に示すように平滑面１３０表面に形成されることとなシ
、ニッケル合金膜１４は硬度の高いものとなる。ここで
は、この平滑面１３に厚さが約（資）ミクロンメートル
のニッケル合金膜を形成した。なお、ニッケル合金とし
ては、ニッケルーリン合金（Ｎｉ−Ｐ）、ニブケル−ク
ロム合金（Ｎｉ −Ｃｒ ）等を使用する。
その後、このニッケル合金膜１４が形成された円板体】
１の両端面１５ 、１５をラッピングして、この両端面
１５ 、１５の平行度と平面度とが所望の値となるよう
にした後、ニッケル合金膜１４をラッピングする。そし
て、所望の面精度と、互いに隣接する平滑面のなす角度
の精度とを得た後、ニッケル合金膜１４をポリッシング
することによって平滑面１３を鏡面状態に仕上げて反射
面とする。そして、鏡面仕上げされた平滑面１３の面精
度と角度精度とを再び検査し、必要とあらばニッケル合
金膜１４をポリッシングして修正を行なう。その後、こ
のニッケル合金膜１４にアルミニウムを蒸着して反射膜
１６を形成し、反射率を測定した後、この反射ｌ［１６
の表面に酸化シリコン（ＳｉＯ、５ｉＯ２）を蒸着して
保護膜】７を・形成し、反射率を再び測定して、総合精
度を検査する。なお、ここでは、反射膜１６の厚さは約
１０００オングストローム、保護膜１７の厚さは約２０
００５ンダストロームである。
１の両端面１５ 、１５をラッピングして、この両端面
１５ 、１５の平行度と平面度とが所望の値となるよう
にした後、ニッケル合金膜１４をラッピングする。そし
て、所望の面精度と、互いに隣接する平滑面のなす角度
の精度とを得た後、ニッケル合金膜１４をポリッシング
することによって平滑面１３を鏡面状態に仕上げて反射
面とする。そして、鏡面仕上げされた平滑面１３の面精
度と角度精度とを再び検査し、必要とあらばニッケル合
金膜１４をポリッシングして修正を行なう。その後、こ
のニッケル合金膜１４にアルミニウムを蒸着して反射膜
１６を形成し、反射率を測定した後、この反射ｌ［１６
の表面に酸化シリコン（ＳｉＯ、５ｉＯ２）を蒸着して
保護膜】７を・形成し、反射率を再び測定して、総合精
度を検査する。なお、ここでは、反射膜１６の厚さは約
１０００オングストローム、保護膜１７の厚さは約２０
００５ンダストロームである。
本発明に係る多面鏡は、上記の工程を経て製造されるも
のであるが、この製造方法によれば、金属素材の外周に
形成された平滑面に、ニッケル合金をイオンブレーティ
ング法によって付着せしめて平滑面にニブケル合金膜を
形成する方法であるので、平滑向に形成されるニッケル
合金膜は金属素材との密着力が良好でしかも硬度の＾い
ものとなり、したがって、鏡面仕上けにおいて研磨を行
なった際に、研磨むらを極力低減できて面精度を向上さ
せることができると共に、研磨も容謳となるので研磨時
間も短縮できるという効果を奏する。
のであるが、この製造方法によれば、金属素材の外周に
形成された平滑面に、ニッケル合金をイオンブレーティ
ング法によって付着せしめて平滑面にニブケル合金膜を
形成する方法であるので、平滑向に形成されるニッケル
合金膜は金属素材との密着力が良好でしかも硬度の＾い
ものとなり、したがって、鏡面仕上けにおいて研磨を行
なった際に、研磨むらを極力低減できて面精度を向上さ
せることができると共に、研磨も容謳となるので研磨時
間も短縮できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明による多面鏡が適用されるレーザープリ
ンタの概略構成を示す斜視図、第２図は本発明による多
面鏡の製造工程図、第３図は本発明による金属素材とし
ての円板体を示す平面図、第４図は反射面となる平滑面
が形成された円板体の平面図、第５図は第４図に示した
円板体の正面図、第６図は多面鏡の完成状態を示す部分
拡大断第２図 第５［・１ ５ 第６１，１
ンタの概略構成を示す斜視図、第２図は本発明による多
面鏡の製造工程図、第３図は本発明による金属素材とし
ての円板体を示す平面図、第４図は反射面となる平滑面
が形成された円板体の平面図、第５図は第４図に示した
円板体の正面図、第６図は多面鏡の完成状態を示す部分
拡大断第２図 第５［・１ ５ 第６１，１
Claims (1)
- 金属素材の外周を切削して該金属素材の外周に複数個の
反射面となる平滑面を形成し、次に該複数個の平滑面に
イオンブレーティング法によってニッケル合金を付着さ
せて該平滑面の表面にニッケル合金膜を形成し、その後
該ニッケル合金膜を研磨して前記平滑面を鏡面仕上けし
て反射面とすることを特徴とする多面鏡の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57014339A JPS58132701A (ja) | 1982-02-02 | 1982-02-02 | 多面鏡の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57014339A JPS58132701A (ja) | 1982-02-02 | 1982-02-02 | 多面鏡の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58132701A true JPS58132701A (ja) | 1983-08-08 |
Family
ID=11858302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57014339A Pending JPS58132701A (ja) | 1982-02-02 | 1982-02-02 | 多面鏡の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58132701A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7651654B2 (en) | 2001-02-13 | 2010-01-26 | Campagnolo S.R.L. | Method for producing a bicycle wheel rim, apparatus for implementing the method and bicycle wheel rim obtained thereby |
| CN112123089A (zh) * | 2020-09-22 | 2020-12-25 | 惠州市富丽电子有限公司 | 一种打孔全面屏保护膜和离型膜区分工艺 |
| CN114012511A (zh) * | 2021-09-30 | 2022-02-08 | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 | 一种钛合金镀镍反射镜及其低应力抛光方法 |
-
1982
- 1982-02-02 JP JP57014339A patent/JPS58132701A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7651654B2 (en) | 2001-02-13 | 2010-01-26 | Campagnolo S.R.L. | Method for producing a bicycle wheel rim, apparatus for implementing the method and bicycle wheel rim obtained thereby |
| CN112123089A (zh) * | 2020-09-22 | 2020-12-25 | 惠州市富丽电子有限公司 | 一种打孔全面屏保护膜和离型膜区分工艺 |
| CN114012511A (zh) * | 2021-09-30 | 2022-02-08 | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 | 一种钛合金镀镍反射镜及其低应力抛光方法 |
| CN114012511B (zh) * | 2021-09-30 | 2023-09-19 | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 | 一种钛合金镀镍反射镜及其低应力抛光方法 |
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