JPS5819555A - 超音波顕微鏡における円柱試料の走査方法 - Google Patents
超音波顕微鏡における円柱試料の走査方法Info
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- JPS5819555A JPS5819555A JP56117522A JP11752281A JPS5819555A JP S5819555 A JPS5819555 A JP S5819555A JP 56117522 A JP56117522 A JP 56117522A JP 11752281 A JP11752281 A JP 11752281A JP S5819555 A JPS5819555 A JP S5819555A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、超音波顕微鏡における円柱試料の走査方法に
関するものであって、その目的とするところは、観察し
ようとする試料が円柱状の場合に、その円外側ａｔたは
内側面に沿って二次元走査しうる走査方法を提供しよう
とするものである。
関するものであって、その目的とするところは、観察し
ようとする試料が円柱状の場合に、その円外側ａｔたは
内側面に沿って二次元走査しうる走査方法を提供しよう
とするものである。
第１図は従来の反射抛超音波顕微鏡における走査方法の
説明図である０同図（ａ）に示したように従来の走査方
法においては、上面に超音波トランスジューサを設け、
下面に音響レンズを形成した超音波送受波素子ｌと観察
したい試料２とをＸ方向およびＹ方向に移動させること
によって、二次元の平面走査を行なっている。その超音
波送受波素子ｌと試料２の間には、同図、（ｂ）のよう
に超音波減衰の少ない、たとえば液体のよう″Ｉｋ＠音
波伝達媒体３が満されており、この超音波伝達媒体Ｊを
介して超音波送受波素子ｌかも一定の焦点圧−をもって
超音波を放射し走査するようにしている。このような従
来の走査方法においては、試料が平面状であることを前
提にしているため、第２図（転）に示したように円柱状
あるいは球状の試料参の内側面を走査する場合、−試料
ダの観察しようとする面は円周面であり超音波送受波索
子ｌの平面走査であるから同図伽）に示したように超音
波送受波索子ｌと試料参との距離にｌよ−１．の差が生
じてしまう。
説明図である０同図（ａ）に示したように従来の走査方
法においては、上面に超音波トランスジューサを設け、
下面に音響レンズを形成した超音波送受波素子ｌと観察
したい試料２とをＸ方向およびＹ方向に移動させること
によって、二次元の平面走査を行なっている。その超音
波送受波素子ｌと試料２の間には、同図、（ｂ）のよう
に超音波減衰の少ない、たとえば液体のよう″Ｉｋ＠音
波伝達媒体３が満されており、この超音波伝達媒体Ｊを
介して超音波送受波素子ｌかも一定の焦点圧−をもって
超音波を放射し走査するようにしている。このような従
来の走査方法においては、試料が平面状であることを前
提にしているため、第２図（転）に示したように円柱状
あるいは球状の試料参の内側面を走査する場合、−試料
ダの観察しようとする面は円周面であり超音波送受波索
子ｌの平面走査であるから同図伽）に示したように超音
波送受波索子ｌと試料参との距離にｌよ−１．の差が生
じてしまう。
従って、試料が円柱、状の場合にはその軸方向に、また
球状のものでは微少な同心円状に、超音波送受波素子ｌ
の焦点距離近傍の位置する部分だけしか超音波顕微鏡像
が得られない一点があった・観察試料のうち、工業用材
料として円柱形の材料は比較的多く存在するが、この円
柱形材料を超音波顕微鏡で観察しようとすると、上記の
ように限られた微少部分のみしか観察し得なかったので
、全円柱側面を観察するには、多数の画像をとらなけれ
ばならず、そのために試料をたびたび回転させなければ
ならない煩わしさがあった。このような問題は円筒の内
側面を観察する場合にも同様に生ずるものである。
球状のものでは微少な同心円状に、超音波送受波素子ｌ
の焦点距離近傍の位置する部分だけしか超音波顕微鏡像
が得られない一点があった・観察試料のうち、工業用材
料として円柱形の材料は比較的多く存在するが、この円
柱形材料を超音波顕微鏡で観察しようとすると、上記の
ように限られた微少部分のみしか観察し得なかったので
、全円柱側面を観察するには、多数の画像をとらなけれ
ばならず、そのために試料をたびたび回転させなければ
ならない煩わしさがあった。このような問題は円筒の内
側面を観察する場合にも同様に生ずるものである。
本発明は上述の如き一点を解消し、円柱状試料の観察を
能率的に行いうるようにした超音波顕微鏡における円柱
試料の走査方法を提供すべくなされたものであって、超
音波送受波素子が円柱状試料の内側面に沿ってその円周
方向に変位するように、それら超音波送受波素子と円柱
状試料とを相対的に揺動または回転させるとともに、そ
の超音波送受波素子が前記円柱状試−の軸方向に沿って
・変位するように、それら超音波送受波素子と円柱状試
料とを相対的に往復移動させることにより、前記円柱状
試料内側面をその内側面に沿って二次元走査する仁とを
特徴とするものである。
能率的に行いうるようにした超音波顕微鏡における円柱
試料の走査方法を提供すべくなされたものであって、超
音波送受波素子が円柱状試料の内側面に沿ってその円周
方向に変位するように、それら超音波送受波素子と円柱
状試料とを相対的に揺動または回転させるとともに、そ
の超音波送受波素子が前記円柱状試−の軸方向に沿って
・変位するように、それら超音波送受波素子と円柱状試
料とを相対的に往復移動させることにより、前記円柱状
試料内側面をその内側面に沿って二次元走査する仁とを
特徴とするものである。
以下図面を参照して本発明の詳細な説明する・第３図は
、超音波送受波素子Ｉと円柱状試料参の表面との距離を
一定にして焦点距離を保つようにした本発明方法による
各種の走査Ｗ１１１を示したものである。
、超音波送受波素子Ｉと円柱状試料参の表面との距離を
一定にして焦点距離を保つようにした本発明方法による
各種の走査Ｗ１１１を示したものである。
同図において、五−！ないしム−１は、円柱状試料参の
位置を固定して、超音波送受波素子ｌをその円柱状試料
参の内側面に沿わせて揺動もしくは回転させると同時に
その円蜂状試料参の軸方向に振動もしくは移動させて、
その円柱状試料ダの内側面をその内側面に沿い二次元走
査するようにしたものである・同１ｉｔ！ｆｆ Ｂ −
−１ないしＢ−１は、その逆に超音波送受波素子ｌの位
置を固定し、円柱状試料参を、その軸を中心にして揺動
もしくは回転させると同時に軸方向に振動もしくは移動
させて円柱状試料参の内側面に沿い二次元走査するも、
のである・ ｔた、ｆｍｖＡｏ−／−１’＆いＬＯ−／−１１１ＦＯ
−コーＩないし０−Ｊ−１は、超音波送受波素子Ｉおよ
び円柱状試料参の双方を走査動作させる場合のものであ
って、そのＯ−／−１ないしＣ−／’−１は超音波送受
波素子Ｉを直線的に移動動作させ、円柱状試料ダをその
軸心を中心に揺動もしくは回転させる仁とにより二次走
査するものであり、Ｃ−コーｌなし％ＬＯ−コー鳳は、
それとは逆に円柱状試料参をその軸方向に直義運動葛せ
るとともに、超音波送受波素子ｌを、前記軸を中心に揺
動もしくは回転させる−ことにより、円柱状試料参の内
側面をその内側面に沿って二次元走査する場合をそれぞ
れ示したものである。
位置を固定して、超音波送受波素子ｌをその円柱状試料
参の内側面に沿わせて揺動もしくは回転させると同時に
その円蜂状試料参の軸方向に振動もしくは移動させて、
その円柱状試料ダの内側面をその内側面に沿い二次元走
査するようにしたものである・同１ｉｔ！ｆｆ Ｂ −
−１ないしＢ−１は、その逆に超音波送受波素子ｌの位
置を固定し、円柱状試料参を、その軸を中心にして揺動
もしくは回転させると同時に軸方向に振動もしくは移動
させて円柱状試料参の内側面に沿い二次元走査するも、
のである・ ｔた、ｆｍｖＡｏ−／−１’＆いＬＯ−／−１１１ＦＯ
−コーＩないし０−Ｊ−１は、超音波送受波素子Ｉおよ
び円柱状試料参の双方を走査動作させる場合のものであ
って、そのＯ−／−１ないしＣ−／’−１は超音波送受
波素子Ｉを直線的に移動動作させ、円柱状試料ダをその
軸心を中心に揺動もしくは回転させる仁とにより二次走
査するものであり、Ｃ−コーｌなし％ＬＯ−コー鳳は、
それとは逆に円柱状試料参をその軸方向に直義運動葛せ
るとともに、超音波送受波素子ｌを、前記軸を中心に揺
動もしくは回転させる−ことにより、円柱状試料参の内
側面をその内側面に沿って二次元走査する場合をそれぞ
れ示したものである。
それらの各走査方法において、五−１％’ｓ −１゜０
−／−１および０−Ｊ−１に示した走査方法は、円柱状
試料参の面を、超音波送受波素子／ｌたは円柱状試料も
しくはその両者の相対運動による円柱状試料参の軸方向
に対する振動と、円周方向に対する低連揺動とによって
走査するようにし・ており１、五−Ｉ％Ｂ−１，Ｏ−／
−１および０−Ｊ−夏は、それとは逆に円柱状試料参の
軸方向走査は低速走査、その円周方向は振動による高速
走査により二次元走査を行なう場合を示している。
−／−１および０−Ｊ−１に示した走査方法は、円柱状
試料参の面を、超音波送受波素子／ｌたは円柱状試料も
しくはその両者の相対運動による円柱状試料参の軸方向
に対する振動と、円周方向に対する低連揺動とによって
走査するようにし・ており１、五−Ｉ％Ｂ−１，Ｏ−／
−１および０−Ｊ−夏は、それとは逆に円柱状試料参の
軸方向走査は低速走査、その円周方向は振動による高速
走査により二次元走査を行なう場合を示している。
また、ム−１，Ｂ−１、Ｏ−／−１およびＣ−２−［は
１超音波送受波素子ｌまたは円柱状試料参の何れか一方
をその円柱状試料参の軸を中心に回転させるとともに円
柱状試料参の軸方向に低速移動させ、もしくはそ・の一
方を高速回転させ他方を前記軸方向に低速移動させるこ
とによる両者の相対位置の変化に°よって前記円柱状試
料参の内側面をスパイラル走査するようにしたものであ
る・なおこのスパイラル走査による場合を含め、二次元
走査周期とこの走査によって得られる超音波顕微鏡像と
は同期を取らなければなら嫌いことは勿論である。
１超音波送受波素子ｌまたは円柱状試料参の何れか一方
をその円柱状試料参の軸を中心に回転させるとともに円
柱状試料参の軸方向に低速移動させ、もしくはそ・の一
方を高速回転させ他方を前記軸方向に低速移動させるこ
とによる両者の相対位置の変化に°よって前記円柱状試
料参の内側面をスパイラル走査するようにしたものであ
る・なおこのスパイラル走査による場合を含め、二次元
走査周期とこの走査によって得られる超音波顕微鏡像と
は同期を取らなければなら嫌いことは勿論である。
第参図は、上述の本発明方法を実施するための走査装置
の一例の構成図であるｅＭＩｉｌにおいて、ｌは超音波
送受波素子、参紘観察したい円柱状試であって、その超
音波送受波素子ｌと円柱状試暑艶聞には液体のような超
音波伝達媒体を介在させている。！はその円柱状試料参
を芯出しして保持するチャック、≦はそのチャックに保
持された円柱状試参をその軸を中心にして任意に回転さ
せうるように構成した円柱試料回転用駆動部、７はその
円柱状試料回転用駆動部ｔを、前記チャックＳにより保
持した円柱状試料ダの軸方向に、ペッドｔに設けた送り
台ｔに沿って任意の手段により正確に直線移動させるた
めの試料送り駆動部、１０は優音波送受波素子ｌを保持
し、必要に応じて円柱状試料ダの軸方向もしくは円周方
向に振動させるための加振器、ｌｌはその加振器１０に
よって保持された句音波送受波素子ｌの円柱状試料参の
径方向の位置を可変させるための径方向送り機構、１２
はその径方向送り機＠／／と前記加振器１０を保持し、
これらをその加振器に保持した超音波送受波素子ｌとと
もに、その超音波送受波素子が前記円柱状試料参の軸を
中心にその内側面に沿″つて揺動あるいは回転するよう
に駆動するための超音波送受波素子回転駆動部、／Ｊは
超音波送受波素子ｌを円柱状試料参の軸方向に、前記送
り台ｔに沿って正確に直線的に低速移動式せうるように
構成した超音波送受波素子送り用駆動部であって、この
駆動部に前記超音波送受波素子回転事態動部／２が取り
付けられている。しかして、前記円柱状試料回転用駆動
部６により回転するチャックｌの軸と、前記超音波送受
波素子回転用駆動部１２により揺動もしくは回転する超
音波送受波素子ｌの回転軸とは同軸となるように設定し
である。
の一例の構成図であるｅＭＩｉｌにおいて、ｌは超音波
送受波素子、参紘観察したい円柱状試であって、その超
音波送受波素子ｌと円柱状試暑艶聞には液体のような超
音波伝達媒体を介在させている。！はその円柱状試料参
を芯出しして保持するチャック、≦はそのチャックに保
持された円柱状試参をその軸を中心にして任意に回転さ
せうるように構成した円柱試料回転用駆動部、７はその
円柱状試料回転用駆動部ｔを、前記チャックＳにより保
持した円柱状試料ダの軸方向に、ペッドｔに設けた送り
台ｔに沿って任意の手段により正確に直線移動させるた
めの試料送り駆動部、１０は優音波送受波素子ｌを保持
し、必要に応じて円柱状試料ダの軸方向もしくは円周方
向に振動させるための加振器、ｌｌはその加振器１０に
よって保持された句音波送受波素子ｌの円柱状試料参の
径方向の位置を可変させるための径方向送り機構、１２
はその径方向送り機＠／／と前記加振器１０を保持し、
これらをその加振器に保持した超音波送受波素子ｌとと
もに、その超音波送受波素子が前記円柱状試料参の軸を
中心にその内側面に沿″つて揺動あるいは回転するよう
に駆動するための超音波送受波素子回転駆動部、／Ｊは
超音波送受波素子ｌを円柱状試料参の軸方向に、前記送
り台ｔに沿って正確に直線的に低速移動式せうるように
構成した超音波送受波素子送り用駆動部であって、この
駆動部に前記超音波送受波素子回転事態動部／２が取り
付けられている。しかして、前記円柱状試料回転用駆動
部６により回転するチャックｌの軸と、前記超音波送受
波素子回転用駆動部１２により揺動もしくは回転する超
音波送受波素子ｌの回転軸とは同軸となるように設定し
である。
以上のように構成した円柱試料走査機構において、まず
観察すべき円柱状試料ダをチャックＳにより保持し、微
調整しながら軸を決める。ついでその円柱状試料参の表
面近傍に超音波送受波素子ｌを近づけ、その超音波送受
波素子ｌと、前記円柱状試料参上に超音波伝達媒体たと
えば液体を介在させる。超音波送受波素子ｌを円柱状試
料ダの表面に近づけるには、超音波送受波素子送り用駆
動部１３を送り台デに沿って矢印ａの方向に直！Ｉｓ動
させ、翅音波送受波素子ｌが円柱状試料参上にきたら、
径方向送り機構／／により矢印すで示した円柱状試料参
の径方向の調節を行なって、適当な焦点距雇になるよう
に円柱状試料ｑの面に対する超音波送受波素子ｌの位置
を定める。
観察すべき円柱状試料ダをチャックＳにより保持し、微
調整しながら軸を決める。ついでその円柱状試料参の表
面近傍に超音波送受波素子ｌを近づけ、その超音波送受
波素子ｌと、前記円柱状試料参上に超音波伝達媒体たと
えば液体を介在させる。超音波送受波素子ｌを円柱状試
料ダの表面に近づけるには、超音波送受波素子送り用駆
動部１３を送り台デに沿って矢印ａの方向に直！Ｉｓ動
させ、翅音波送受波素子ｌが円柱状試料参上にきたら、
径方向送り機構／／により矢印すで示した円柱状試料参
の径方向の調節を行なって、適当な焦点距雇になるよう
に円柱状試料ｑの面に対する超音波送受波素子ｌの位置
を定める。
このように設定したうえで、第Ｊ図ムー１に示した走査
を行なう場合は、観察したい箇所の幅だけ加振＠１０に
より矢印Ｃの方向に超音波送受波素子ｌを撮動させると
同時に、超音波送受波素子回転用駆動部１２により矢印
ｄで示した所定の一方向に前記円柱状試料の軸を回転軸
にして低速回転させればよい。また、第３図ムー璽の走
査を行なうには、超音波送受波素子ｌを超音波送受波素
子回転用駆動部１２により矢印ｄのように揺動すなわち
回転振動させるとともに、超音波送受波素子送り用駆動
部１３を矢印ａに示した方向に低速移動させればよい。
を行なう場合は、観察したい箇所の幅だけ加振＠１０に
より矢印Ｃの方向に超音波送受波素子ｌを撮動させると
同時に、超音波送受波素子回転用駆動部１２により矢印
ｄで示した所定の一方向に前記円柱状試料の軸を回転軸
にして低速回転させればよい。また、第３図ムー璽の走
査を行なうには、超音波送受波素子ｌを超音波送受波素
子回転用駆動部１２により矢印ｄのように揺動すなわち
回転振動させるとともに、超音波送受波素子送り用駆動
部１３を矢印ａに示した方向に低速移動させればよい。
第Ｊ図ムー１の走査方法を実施するには上述したム−１
の走査の場合における揺動すなわち回転振動を、全回転
動作にして円柱状試料ダに対しスパイフル走査すればよ
い。
の走査の場合における揺動すなわち回転振動を、全回転
動作にして円柱状試料ダに対しスパイフル走査すればよ
い。
−万、第３図Ｂ−Ｉ″ＩｋいしＢ−１における走査方法
は、円柱状試料参のみの連動による走査動作であるので
、たとえばＢ−１の走査方法を実施する場合は、円柱状
試料参を円柱試料回転用駆動部６により矢印ｅで示した
ように揺動すなわち回転振動させるとともに、試料送り
用駆動部７により矢印ｆで示した方向の低速直線移動を
行なわせればよ＜％Ｂ−璽に示した走査方法は、前述の
Ｂ−■の場合における揺動すなわち回転振動に代えて円
柱状試料参を金回転動作させれば容易に実施できる・な
お、Ｂ ”’ ｌに示した２査方法は円柱状試料を第一
回には図示しない加振器によって振動させれ旨、実施可
能であるが、円柱状試料参の大きざ、重量に眼界があり
、正確な走査を行なうには実用向きでない。また、第１
図０−／−１ないしＱ−／−１および０−Ｊ−１ないし
０−Ｊ−１に示した各走査方法は、円柱状試料参上よび
超音波送受波素子ｌを共に動作葛せ、その相対運動によ
って二次元走査するようにしたものであるから、前、述
のム＝−１ないし五−１における超音波送受波素子ｌの
各動作と、Ｂ−１’＆いしＢ−１における円柱状試料の
各動作を適当に組合わせることによつて容易に実施でき
る。
は、円柱状試料参のみの連動による走査動作であるので
、たとえばＢ−１の走査方法を実施する場合は、円柱状
試料参を円柱試料回転用駆動部６により矢印ｅで示した
ように揺動すなわち回転振動させるとともに、試料送り
用駆動部７により矢印ｆで示した方向の低速直線移動を
行なわせればよ＜％Ｂ−璽に示した走査方法は、前述の
Ｂ−■の場合における揺動すなわち回転振動に代えて円
柱状試料参を金回転動作させれば容易に実施できる・な
お、Ｂ ”’ ｌに示した２査方法は円柱状試料を第一
回には図示しない加振器によって振動させれ旨、実施可
能であるが、円柱状試料参の大きざ、重量に眼界があり
、正確な走査を行なうには実用向きでない。また、第１
図０−／−１ないしＱ−／−１および０−Ｊ−１ないし
０−Ｊ−１に示した各走査方法は、円柱状試料参上よび
超音波送受波素子ｌを共に動作葛せ、その相対運動によ
って二次元走査するようにしたものであるから、前、述
のム＝−１ないし五−１における超音波送受波素子ｌの
各動作と、Ｂ−１’＆いしＢ−１における円柱状試料の
各動作を適当に組合わせることによつて容易に実施でき
る。
たとえばＯ−／−１ないしＯ−／−璽の方法は、加振器
１０もしくは超音波送受波素子送り用駆動部／Ｊにより
超音波送受波素子を矢印Ｏの方向に振動もしくは矢印ａ
の方向に直線移動させるとともに一円柱状試料参を円柱
試料回転用駆動部により矢印ｅに示した方向に揺動もし
くは回転式せればよく、０−コーＩないしＣ−コーｌの
走査方法を実施するには、上述や場合とは逆に、円柱試
料回転用駆動部１もしくは試料送り駆動部７により、円
柱状試料参を矢印ｆの方向に直線振動させるとともに超
音波送受波素子ｌを超音波送受波素子回転用駆動部によ
り揺動もしくは回転式せればよい。
１０もしくは超音波送受波素子送り用駆動部／Ｊにより
超音波送受波素子を矢印Ｏの方向に振動もしくは矢印ａ
の方向に直線移動させるとともに一円柱状試料参を円柱
試料回転用駆動部により矢印ｅに示した方向に揺動もし
くは回転式せればよく、０−コーＩないしＣ−コーｌの
走査方法を実施するには、上述や場合とは逆に、円柱試
料回転用駆動部１もしくは試料送り駆動部７により、円
柱状試料参を矢印ｆの方向に直線振動させるとともに超
音波送受波素子ｌを超音波送受波素子回転用駆動部によ
り揺動もしくは回転式せればよい。
なお、第参図に示した構成のものにおいては、径方向送
り機構／ｌを矢印すで示した径方向に、超音波送受波素
子ｌの直線振動もしくは直線移動に＋□ 関連して適当に移動するよう自動的に駆動させること吟
より１．その移動方向に径が変化するテーパー状試料の
観察をも可能とする仁とがで自る・また、第１図のよう
に円柱状試料参が円筒状のものでその内壁を観察したい
場合には、図示のように超音波送受波素子ｌの向きを、
第参図の場合とは逆に向ければ、その内壁面に沿って容
易に面走査柱状試料との相対位置を変化させて二次元走
査するようにした超音波顕微鏡の円柱状試料走査方法で
あるから、従来の門査方法では、多数回にわたって観察
する必要のあった円柱状試料軸面部の所望の範囲を超音
波顕微鏡像として一挙に観察しうる効果があり、またテ
ーパー状の試料の観察も可能であるばかりでなく、第＃
図の実施例の構成によれば円柱状試料の哄定法も同時に
与えられるという効果もある。
り機構／ｌを矢印すで示した径方向に、超音波送受波素
子ｌの直線振動もしくは直線移動に＋□ 関連して適当に移動するよう自動的に駆動させること吟
より１．その移動方向に径が変化するテーパー状試料の
観察をも可能とする仁とがで自る・また、第１図のよう
に円柱状試料参が円筒状のものでその内壁を観察したい
場合には、図示のように超音波送受波素子ｌの向きを、
第参図の場合とは逆に向ければ、その内壁面に沿って容
易に面走査柱状試料との相対位置を変化させて二次元走
査するようにした超音波顕微鏡の円柱状試料走査方法で
あるから、従来の門査方法では、多数回にわたって観察
する必要のあった円柱状試料軸面部の所望の範囲を超音
波顕微鏡像として一挙に観察しうる効果があり、またテ
ーパー状の試料の観察も可能であるばかりでなく、第＃
図の実施例の構成によれば円柱状試料の哄定法も同時に
与えられるという効果もある。
第１図は従来の反射１１Ｆ４音波顕微鏡における走査方
法の説明図、第Ｊ図は従来の走査方法によって円柱状試
料を走査した場合の説明図、第′Ｊ図は本発明の走査方
法の説明図、第参図は本発明の実施例の一例の構成図、
第ｊＷＪは本発明方法により円筒状試料の内側面を走査
する場合の説明図である。 ｌ−超音波送受波素子、２−・平板状試料、！ −超音
波伝達媒体、参−・円柱状試料、！−チャック、６・・
・円柱試料回転用駆動部、７−・試料送り駆動部、１−
・・ベッド、デー送り台、１０−・加振器、ｌ／−径方
向送り機構、’／２−・超音波送受波素子回転用駆動部
、／Ｊ−・・超音波送受波素子送り用駆動部・特許用願
人 オリンパス光学工業株式会社（ａ＞
ｔｂ＞ 第２図 （ａ ） 、 ｂ、＞ 第３図 第４図 第５図
法の説明図、第Ｊ図は従来の走査方法によって円柱状試
料を走査した場合の説明図、第′Ｊ図は本発明の走査方
法の説明図、第参図は本発明の実施例の一例の構成図、
第ｊＷＪは本発明方法により円筒状試料の内側面を走査
する場合の説明図である。 ｌ−超音波送受波素子、２−・平板状試料、！ −超音
波伝達媒体、参−・円柱状試料、！−チャック、６・・
・円柱試料回転用駆動部、７−・試料送り駆動部、１−
・・ベッド、デー送り台、１０−・加振器、ｌ／−径方
向送り機構、’／２−・超音波送受波素子回転用駆動部
、／Ｊ−・・超音波送受波素子送り用駆動部・特許用願
人 オリンパス光学工業株式会社（ａ＞
ｔｂ＞ 第２図 （ａ ） 、 ｂ、＞ 第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- Ｌ ＠ｉ音波送受波素子が円柱状試料の内側面に沿って
その円周方向に変位するように、それら超音波送受波素
子と円柱状試料とを相対的に揺動または回転蕩せるとと
もに、その超音波送受波素子が前記円柱状試料の軸方向
に沿って変位するように、それら超音波送受波索子と円
柱状試料とを相対的に移動させることにより、前記円柱
状試料内側面をその内側面に沿って二次元走査すること
を特徴とする超音波顕微鏡におけ、る円柱試料の走査方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56117522A JPS5819555A (ja) | 1981-07-27 | 1981-07-27 | 超音波顕微鏡における円柱試料の走査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56117522A JPS5819555A (ja) | 1981-07-27 | 1981-07-27 | 超音波顕微鏡における円柱試料の走査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5819555A true JPS5819555A (ja) | 1983-02-04 |
Family
ID=14713853
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56117522A Pending JPS5819555A (ja) | 1981-07-27 | 1981-07-27 | 超音波顕微鏡における円柱試料の走査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5819555A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6036133A (ja) * | 1983-07-05 | 1985-02-25 | オーエンス‐イリノイ・インコーポレーテツド | 延伸されたプラスチツクの熱収縮性スリーブを容器に配置して加熱するための方法および装置 |
| JPS62233229A (ja) * | 1986-03-27 | 1987-10-13 | ゼロツクス コ−ポレ−シヨン | 静電写真像形成ベルトの製造装置および方法 |
| US4995259A (en) * | 1989-03-09 | 1991-02-26 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Acoustic microscope surface inspection system and method |
| WO2010079730A1 (ja) * | 2009-01-08 | 2010-07-15 | Ueno Jun | 超音波探傷装置 |
| US10984661B2 (en) | 2016-06-02 | 2021-04-20 | Sony Corporation | Information processing device and information processing method |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5267689A (en) * | 1975-12-03 | 1977-06-04 | Nippon Steel Corp | Method of detecting defects on surface of steel pipe |
| JPS55149051A (en) * | 1979-05-09 | 1980-11-20 | Chugoku Electric Power Co Ltd:The | Annular member fixed on piping |
| JPS5635057A (en) * | 1979-08-30 | 1981-04-07 | Nippon Steel Corp | Detection method of inner grinding shape of welded part of electric welded tube |
-
1981
- 1981-07-27 JP JP56117522A patent/JPS5819555A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| WO2010079730A1 (ja) * | 2009-01-08 | 2010-07-15 | Ueno Jun | 超音波探傷装置 |
| US10984661B2 (en) | 2016-06-02 | 2021-04-20 | Sony Corporation | Information processing device and information processing method |
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