JPS58190110A - 圧電振動素子の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （ａ）　　発明の技術分野 本発明は接続用端部［＆を１する圧電振動素子の製造方
法、特に複数個の圧電素板が採取される圧電ウェーハの
巣位でバッチ作成される振動素子のＦｉ造方法に関する
。

（ｂ）　　技術の背景 水晶やＬ１τａＳＳ等にてなる圧電板に適当な電極を形
成し該電極に交流電界を印加すると、圧電素板（振動素
子）け印加電界と等しい周波数の応力を生じ、かつ、印
加電界の周波数が素板の固有揚＃ａＪ数に一致すると共
振して強勢な振動が得られる。そして、かかる圧電振動
子は小型高性能であるため通信機等の発振回路、或いは
フィルタとして広く用いられている。

（ｃ）　　従来技術と問題点 第１図は１対の端部電極が形成されたス）　ＩＪッグ型
型圧捩振動素子斜視図である。

第１図において、振動素子１はＬ　ｉ　Ｔ　ａ　Ｏｎに
てなる圧ｋＸ＆２の対向主面それぞれにＴ字形対向ｔ４
３及び４を形成し、電極パターン３及び４の電極部３　
及び４　の−側から弧長する接続部３　及び４　の端部
に所定厚さの導体層５と５′及び６と６　を形成し、次
いで導体層５と５′及び６と６　それぞれを短絡する導
体層７及び８を被着し九ものである。従って、導体層５
と５′と７が一方の端部電極９を構成し、導体１ｆｌＩ
６と６′と８が他方の端部電極１０を構成する。

孜 かかる振動素子１の作成に際し、素＠２は１１１ｉの圧
電体ウェーハから複数個を採取できるため、該ウェーハ
には電極３と４とでなる複数の電極対を形成し、次いで
導体層５と５　及び６と６　を形成したのち、ウェーハ
を格子状に切断してから各個片にされた未完成素子（１
）の端面に導体層７及び８が被着されていた０従って、
従来方法の端面導体層７及び８は非能率的に形成されて
いた５みならず、導体層７及び８を形成するために塗付
した導電性ペーストが導体層５と５　及び６と６に付着
されることがありその結果素子ｌの機械的品質係数及び
スプリアスが損なわれるという欠点があった。

（ｄ）＊ｖｉ＋。、的　　　　　　？柵昭５８−１９０
１１０　（２）本発明の目的は、上記欠点を除去した圧
１撮動素子の製造方法を提供することである。

（ｅ）　　発明の構成 上記目的は、対向主面に複数対のＸ極パターン及び主面
上の端部電極部分を形成した圧電体ウェーハの一方の主
面をダイシングテープ等に接着し、端部電極を形成する
面及び端部電極を形成しない面に沿って格子状にウェー
ハ切断溝を刻設し、該端部電極を形成する面に沿った切
断溝に導電性ペーストを徴着し、該テープ等から剥離し
たのち該端部電極形成面に塗着した導電性ペーストを乾
燥してなることを特徴とした圧電撮動素子の製造方法０ （ｆ）　　発明の実施例 以下、本発明の一実施例に係わるｆａｚ図〜第６図を用
いて本発明方法を説明する。

＠２図〜第６図Ｖｉ第１図に示した圧！振動素子の作成
に本発明方法を適用した一例の主要工程を順次示したも
のである。

第２図Ｆ′１ＬｉＴａＯ，ウェーハの主面に複数対のｄ
ｔ電極パターン３及び４）を連結形成した平面図イとそ
のＡ−Ａ　　矢視断面の拡大図口である。図において、
ウェーハ１１の一方の主面（図示上面）１２に所定間隔
だけ離された複数本の梯子形電極１３、並びに主面１２
に対向する他方の主面（図示下面）１４には前記所定間
隔と同じ間隔だけ離した複数本の梯子形亀＆１５が蒸着
手段で形成される。ただし、電極１３と１５Ｖ′ｉクエ
ーハ１１の厚さ方向へ互い違いになり、かつ、該梯子形
の複数の横桟部を連結する縦桟部がウェーハ１１の厚さ
方向に対向している。

第３図は次の工程として、端部を極（９及び１０）を構
成する導体層（５と５　及び６と６　）を連結形成した
平面図イとそのＢ−Ｂ　　矢視断面の拡大図口である。

図において、ウエーノ・主面１２及び１４には電極１３
の中央を縦断する帯状導体層１６及び導体層１６に対向
する帯状導体層１６、並びにｗＬＬｉ２Ｏ中央を縦断す
る帯状導体層１７及び導体層１７に対向する帯状導体層
１７　が、スクリーン印刷手段で被着・乾燥されて形成
される０ 次いでウェーハ１１の一方の主面、例えば電極１５及び
導体層１６　と１７を形成した主面１４を拡張可能なダ
イシンダテ−１に接着し、該テープを１ｍ％のダイシン
グテープ張設台に張設して固定する。

第４図は次の工程として、ダイシングテープに接着され
たウェーハを格子状に切断した平面図イとそのＣ−Ｃ矢
視断面の拡大図口である０図において、ダイシングテー
プ１８に主面１４を接着したウェーハ１１は、端面導体
層（８及び９）を形成する而及び形成しない面に沿った
溝、即ち各導体層１６．１６　．１７．１７　　を縦断
する切断溝１９並びに１１極１３と１５の横桟部間を中
央で分割する切断＄２０％プレーシング手股で刻設する
。

その結果ウェーハ１１第１図の素板２に相当する＊＆２
１に分割されるとと本に、電極１３と１５並びに導体層
１６．１６’。１７．１７’も分割されて第１図の電極
パターン３と４に相当する電極バターン２２と２３並び
に第１図の導体＆５．５゜６．６　に相当する導体層２
４．２４．２５．２５が分！ｌｌ形成される。なお、本
実施例ではダイヤモンドを刃部に埋設した円板状ブレー
ドを用い、幅が約０．１　ｒａの溝１９及び２０を鉄膜
した。

第５図は次の工程として、溝１９に導電性ペースト２６
を埋入させた拡大断面図であり、導電性ペースト２６は
平板状メタルマスクｌ用いスクリーン印刷法によシ埋入
させた＠たたし、使用する導電性ペーストは粘度が約４
００００ＣＰＳ以上になると、図示の如く溝１９の中に
十分埋入さぜることが困難であり、粘度が約２ＱＯＯＯ
ＣＰＳ以下になると端部１ｍよりも広く広がって不都合
である。

第６図はさらに次の工程として、圧電木根間が開くよう
にした平面図イとそのＤ−Ｄ　　矢視断ｌｉの拡大図口
であシ、紀４回の溝１９及び２０の長さ方向にテープ１
８を加熱Φ引伸されたテープ１８　は拡張し、拡張溝１
９　及び２０ｔ１９Ｊ断へ１９及び２０よりも所定に拡
けられる。

その結果、各章＆２１の間隔が開くとともに５第５図の
導電性ペースト２６はｍ６図口に示す如く、素板２１の
端面に被着して分割され第１図の端面導体層７及び８に
相当する端面導体未乾燥層２７及び２８が形成される。

そこで、テープ１８　から各木板２１を剥離すると図示
しないパッケージに搭載される圧電振動素子が完成する
０なお、かかる素子において導体層２７及び２８は素＆
２１をテープ１８　から剥離したのち乾燥させてもよい
が、導電性ペーストを用いて前記搭載する工程に該乾燥
を含めることにより、素子作成工程を減らすことができ
る。

−）発明の詳細 な説明し九如く、本発明方法になる圧電振動素子は端部
電極を含めてバッチ処理されるため、その作成能率が極
しく嵩められたのみならず、該１［極の形成に伴なう従
来の特性低下を極しく低減し得九効来が顕著である。

【図面の簡単な説明】

第１図は漏部電極を有するス）　ＩＪツブ型型圧電動動
素子斜視図、第２図〜第６図は前記振動素子の作成に本
発明方法を適用した一実施例に係わる主要工程の説明図
である。 図において、ＩＦｉ圧電振動素子、２．２１は素子素板
、３．４．２２．２３はｔ極パターン、５゜５　．６．
６　７．８．２４．２４　．２５．２５　．２７゜２８
Ｆｉ端部電極を構成する一部となる導体層、９゜１０は
端部電極、１１は圧電体ウエーノ１．１２゜１４１−を
主面、１３．１５は梯子形電極、１６．１６　。 １７．１７　　は導体層、１８．１８　　はグイシング
テープ、１９．２０はウエーノ１切断溝、２６は溝１９
、に埋入され九導電性ペーストを示す・

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 圧電体ウェー八を切断したス）　ＩＪツブ型圧を木板の
   対向主面それぞれに電極部と接続部とでなる電極パター
   ンを形成し骸圧電板の一方の対向端面それぞれに該接続
   部を外部接続するための端部電極を形成してなる圧電振
   動素子において、対向主面に複数対の電極パターン及び
   主面上の熾部電他部分を形成した圧電体ウェー八は一方
   の主面をダイシングテープ等ＫＷ着し、端部電極を形成
   する面及び端部電極を形成しない面に沿って格子状にウ
   ェーハ切断溝を刻設し、該端部ｉ極を形成する面に沿っ
   九切断溝に４１［性ペーストをスクリーン印刷手段岬で
   産着し、該テープ等から剥離したのち咳端部電極形成面
   に塗着した４を性ペーストをｔｆｉ燥してなることを特
   徴とする圧電振動素子の製造方法。