JPS58182910A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
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- JPS58182910A JPS58182910A JP6594682A JP6594682A JPS58182910A JP S58182910 A JPS58182910 A JP S58182910A JP 6594682 A JP6594682 A JP 6594682A JP 6594682 A JP6594682 A JP 6594682A JP S58182910 A JPS58182910 A JP S58182910A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ） 発明の技術分野
本発明はストリップ型圧電振動子、特に圧電反作用を利
用して周波数調整された圧電振動子に関する。
用して周波数調整された圧電振動子に関する。
（ｂ） 技術の背景
水晶やＬ Ｉ Ｔ ａ ＯＨ等の圧電体に適当な電極を
被着形成し該電極に交流電界を印加すると、圧電体は印
加電界と勢しい周波数の応力を生じ、がっ、印加電界の
周波数が圧電体の固有振動数に一致すると共振して強勢
な振動が得られる。そして、かかる原理に基づく振動子
は小型高性能であるため、通信装賃等の発振回路やフィ
ルタとして広く使用されている。
被着形成し該電極に交流電界を印加すると、圧電体は印
加電界と勢しい周波数の応力を生じ、がっ、印加電界の
周波数が圧電体の固有振動数に一致すると共振して強勢
な振動が得られる。そして、かかる原理に基づく振動子
は小型高性能であるため、通信装賃等の発振回路やフィ
ルタとして広く使用されている。
（Ｃ） 従来技術と問題点
前記圧電振動子は、所定の単結晶板より圧電体を切出し
該圧電体の対向主面に適宜の電極パターン金被着形成し
作成されるが、かかる加工技術により所望の周波数を得
ることは困難である。そのため、共振周波数調整工程を
必要とするが、一般に、従来はめつきや蒸着手段により
電極の質量付加方法が用いられていた。即ち、めっきに
よる付加方法は周波数測定工程と、めっき手段により電
極の厚さを増す工程とを繰返して所要の周波数を得る方
法であり、蒸着による付加方法は蒸着槽内で周波数測定
しながら、蒸着手段により電極の厚さを増して所要の周
波数にする方法である。しかし、これらの従来方法は周
波数調整範囲が狭いという欠点がありた。
該圧電体の対向主面に適宜の電極パターン金被着形成し
作成されるが、かかる加工技術により所望の周波数を得
ることは困難である。そのため、共振周波数調整工程を
必要とするが、一般に、従来はめつきや蒸着手段により
電極の質量付加方法が用いられていた。即ち、めっきに
よる付加方法は周波数測定工程と、めっき手段により電
極の厚さを増す工程とを繰返して所要の周波数を得る方
法であり、蒸着による付加方法は蒸着槽内で周波数測定
しながら、蒸着手段により電極の厚さを増して所要の周
波数にする方法である。しかし、これらの従来方法は周
波数調整範囲が狭いという欠点がありた。
（ｄ） 発明の目的
本発明は上記欠点に鑑み、周波数調整が容易で調整範囲
の広い圧電振動子を提供することを目的とする。
の広い圧電振動子を提供することを目的とする。
（ｅ） 発明の構成
上記目的は、ストリップ型圧電体の対向主面それぞれに
形成した電極パターンの一部を、レーザトリミングやサ
ンドブラスト等の削除手段により減面し、周波数調整さ
れてなることを特徴とした厚みすべりモードのストリッ
プ型圧電振動子により達成される。
形成した電極パターンの一部を、レーザトリミングやサ
ンドブラスト等の削除手段により減面し、周波数調整さ
れてなることを特徴とした厚みすべりモードのストリッ
プ型圧電振動子により達成される。
（ｆ） 発明の実施例
以下、本発明の実施例に係わる図面を用いて本発明を説
明する。
明する。
第１図は本発明の一実施例に係わり周波数調整前のスト
リップ型振動素子を示す斜視図イと、周波数調整後のス
トリ、ブ型振動素子を示す斜視図口と、振動の大きさを
説明する斜視図である。
リップ型振動素子を示す斜視図イと、周波数調整後のス
トリ、ブ型振動素子を示す斜視図口と、振動の大きさを
説明する斜視図である。
第１図イにおいて、周波数調整前の撮動素子ｌはＬｉＴ
ａＯ２の単結晶を用いた圧電体２の対向主面（図示上面
と下面）に、丁字形電極３と４が蒸着手段で触着されて
いる。そして、電極３は圧電体２の中央部全幅にわたり
設計値よりやや大きい主部５と、圧電体２の一端（図示
右端）に延長する接続部６とからなり、電極３と同形の
電極４は主部７と、主部７から圧電体２の他端（図示左
端）に延長する接続部８とから彦る。
ａＯ２の単結晶を用いた圧電体２の対向主面（図示上面
と下面）に、丁字形電極３と４が蒸着手段で触着されて
いる。そして、電極３は圧電体２の中央部全幅にわたり
設計値よりやや大きい主部５と、圧電体２の一端（図示
右端）に延長する接続部６とからなり、電極３と同形の
電極４は主部７と、主部７から圧電体２の他端（図示左
端）に延長する接続部８とから彦る。
かかる構成になる振動素子１の周波数調整は、接続部６
と８に所定の電圧を印加し電極主部５と７の一部をレー
ザトリミングやサンドブラスト等の削除手段により除去
して行なわれる。
と８に所定の電圧を印加し電極主部５と７の一部をレー
ザトリミングやサンドブラスト等の削除手段により除去
して行なわれる。
第１図口において、振動素子１の周波数調整を終了した
振動素子１′は、電極３及び４にレーザトリミングを施
してｉｔ電極主部及び６の一部９と１０を切離して丁字
形電極子及び４′が形成されたものである。そして、電
極３′及び４′に所定の高周波電圧を印加すれば素子／
′は矢印方向に所望周波数の厚みすべり振動を生じ、そ
の大きさは第１図ノ・に示す如く中央部で最も大きく両
端に行くほど小さくなる。
振動素子１′は、電極３及び４にレーザトリミングを施
してｉｔ電極主部及び６の一部９と１０を切離して丁字
形電極子及び４′が形成されたものである。そして、電
極３′及び４′に所定の高周波電圧を印加すれば素子／
′は矢印方向に所望周波数の厚みすべり振動を生じ、そ
の大きさは第１図ノ・に示す如く中央部で最も大きく両
端に行くほど小さくなる。
第２図は本発明の他の一実施例になる振動素子を示す斜
視図であり、ストリ、ブ型振動素子１１は圧電体１２の
対向主面それぞれに形成され圧電極１３と１４は、圧電
体１２の中央部全幅にわたる主部１５又は１６と、主部
１５及び１６の一側から圧電体の一端（図示右端）又は
他端（図示左端）に延長する接続部１７又は１８と、主
部１５及び１６の他倶］に一部が接続された丁字形の周
波数調整用電極１９又は２０と電極１９又は２０に一部
が接続された丁字形の周波数調整用電極２１又は２２１
−具える。そして素子１１は、接続部１７と１ｓｔ介し
て電極１３と１４に所定の高周波電圧を印加し、その測
定周波数に基づいて丁字形調整用電極１９〜２２の接続
部ｔ−削除し、さらに必要に応じて電極主部１５及び１
６の一部を削除して所定周波数に調整される。
視図であり、ストリ、ブ型振動素子１１は圧電体１２の
対向主面それぞれに形成され圧電極１３と１４は、圧電
体１２の中央部全幅にわたる主部１５又は１６と、主部
１５及び１６の一側から圧電体の一端（図示右端）又は
他端（図示左端）に延長する接続部１７又は１８と、主
部１５及び１６の他倶］に一部が接続された丁字形の周
波数調整用電極１９又は２０と電極１９又は２０に一部
が接続された丁字形の周波数調整用電極２１又は２２１
−具える。そして素子１１は、接続部１７と１ｓｔ介し
て電極１３と１４に所定の高周波電圧を印加し、その測
定周波数に基づいて丁字形調整用電極１９〜２２の接続
部ｔ−削除し、さらに必要に応じて電極主部１５及び１
６の一部を削除して所定周波数に調整される。
纂３図は長さ８ｘｍ、幅２冨渭、厚さ５６５μｍに加工
され７ｈＬｉＴａ０３圧電体の対向主面それぞれに、主
部長さｌの丁字形電極を形成した振動素子の共振周波数
ｆと主部長さｌとの関係を、実験データによる曲線Ａで
示したものである。
され７ｈＬｉＴａ０３圧電体の対向主面それぞれに、主
部長さｌの丁字形電極を形成した振動素子の共振周波数
ｆと主部長さｌとの関係を、実験データによる曲線Ａで
示したものである。
第３図において、横軸は電極主部長さｌ（ｌＩｍ）とし
、縦軸は共振周波数ｆ （ＭＨりであり、！を２．５ｆ
ｌｌとし圧損動素子の周波数ｆは約３．５２ＭＨＩとな
り、尚核部の周波数変化率は一点鎖線Ｂで示す如く、ｌ
をＩ Ｈｍ’減らすとｆが約５４Ｈｚ減じるようになる
。そして、′ｖＬ極主部長さｌが大きくなると周波数変
化率は低下するが、３．５ＭＨｚ前後の振１１素子では
数１００Ｈｚの減少調整を容易に一定値）１ｍに加工さ
れたＬＩＴａＯｓ圧電体の対向主面それぞれに、電極主
部長さｊの丁字形電極を形成した振動素子において、ｌ
により変化する共振周波数低下量と閉じ込め量との関係
を負験による曲線Ｃで示したものである。ただし、電極
主部長さを！とした素子の共振周波数をｆ、圧電体主面
の全面を電極主部とした素子の共振周波数をｆｅ。
、縦軸は共振周波数ｆ （ＭＨりであり、！を２．５ｆ
ｌｌとし圧損動素子の周波数ｆは約３．５２ＭＨＩとな
り、尚核部の周波数変化率は一点鎖線Ｂで示す如く、ｌ
をＩ Ｈｍ’減らすとｆが約５４Ｈｚ減じるようになる
。そして、′ｖＬ極主部長さｌが大きくなると周波数変
化率は低下するが、３．５ＭＨｚ前後の振１１素子では
数１００Ｈｚの減少調整を容易に一定値）１ｍに加工さ
れたＬＩＴａＯｓ圧電体の対向主面それぞれに、電極主
部長さｊの丁字形電極を形成した振動素子において、ｌ
により変化する共振周波数低下量と閉じ込め量との関係
を負験による曲線Ｃで示したものである。ただし、電極
主部長さを！とした素子の共振周波数をｆ、圧電体主面
の全面を電極主部とした素子の共振周波数をｆｅ。
圧電体の固有振動数をｆＯとしたとき周波数低下率Δは
（ｆｏ −ｆｅ ）・ｆ、 となって共振周波数低下
量は １ Ｃｆ−ｆｅ）・Ｃｆｏ−ｆｅ） であり、閉じ込め量は ｌ−σ・Ｈ で表わされる。そして、水晶尋の結合係数が小さい圧電
体では、（ｆｏＪｅ） が小さいため共振周波数低下
率Δが０．２ ％以下となり、電極主部の面積を変えて
も共振周波数の変化１ｉＦｉ少なｈが、ＬｉＴａＯ３や
ＬｉＮｂＯ５等の結合係数が大きい圧電体では共振周波
数低下率Δが約ｌＯ％と大きいので、電極主部のｌ＠を
変えることにより共振周波数は大きく変化し振動素子の
周波数調整を客層に行なうことができるため特に有効で
ある。
（ｆｏ −ｆｅ ）・ｆ、 となって共振周波数低下
量は １ Ｃｆ−ｆｅ）・Ｃｆｏ−ｆｅ） であり、閉じ込め量は ｌ−σ・Ｈ で表わされる。そして、水晶尋の結合係数が小さい圧電
体では、（ｆｏＪｅ） が小さいため共振周波数低下
率Δが０．２ ％以下となり、電極主部の面積を変えて
も共振周波数の変化１ｉＦｉ少なｈが、ＬｉＴａＯ３や
ＬｉＮｂＯ５等の結合係数が大きい圧電体では共振周波
数低下率Δが約ｌＯ％と大きいので、電極主部のｌ＠を
変えることにより共振周波数は大きく変化し振動素子の
周波数調整を客層に行なうことができるため特に有効で
ある。
（Ｊｌ）発明の詳細
な説明した如く本発明は、共振周波数の調整範囲が拡大
されて振動子の作成を容易化し、製造歩留りを向上し得
た効果が顕著である。
されて振動子の作成を容易化し、製造歩留りを向上し得
た効果が顕著である。
第１図は本発明の一実施例に係わり周波数調整前のスト
リップ型振動素子を示す斜視図イと周波数調整後の骸素
子を示す斜視図口及び振動の大きさを説明する斜視図ハ
、第２図は本発明の他の一実施例に係わり周波数調整前
のストリップ型振動素子を示す斜視図、第３図はスト＋
７ツプ型ＬＩＴＪＩ０３振動素子の電極主部長さと共振
周波数との関係を示す図、第４図はストリップ型ＬＩＴ
ａＯｓ振動素子の閉じ込め量と共振周波数低下量との関
係を示す図である。 なお、図中において１．１’、１１は振動素子、２．１
２は圧電体、３． ３’、 ４． ４’、 １３．
１４は電極、５． ７． １５． １６は電極主部、
６，８゜１７．１８は電極接続部、１９〜２２ＦｉＴ字
形周波数粗調整部を示す。 竿１図 （パノ ／！′５うｌ ｌ ノ ヲ ４ ５
７ り、艷電＠ｆユ姫峠（勾 σ５ １０ ｌラ １．０ ２．５
）０ １，５川Ｌ−！−ρｌ 罰・ハラ
リップ型振動素子を示す斜視図イと周波数調整後の骸素
子を示す斜視図口及び振動の大きさを説明する斜視図ハ
、第２図は本発明の他の一実施例に係わり周波数調整前
のストリップ型振動素子を示す斜視図、第３図はスト＋
７ツプ型ＬＩＴＪＩ０３振動素子の電極主部長さと共振
周波数との関係を示す図、第４図はストリップ型ＬＩＴ
ａＯｓ振動素子の閉じ込め量と共振周波数低下量との関
係を示す図である。 なお、図中において１．１’、１１は振動素子、２．１
２は圧電体、３． ３’、 ４． ４’、 １３．
１４は電極、５． ７． １５． １６は電極主部、
６，８゜１７．１８は電極接続部、１９〜２２ＦｉＴ字
形周波数粗調整部を示す。 竿１図 （パノ ／！′５うｌ ｌ ノ ヲ ４ ５
７ り、艷電＠ｆユ姫峠（勾 σ５ １０ ｌラ １．０ ２．５
）０ １，５川Ｌ−！−ρｌ 罰・ハラ
Claims (3)
- （１）ス） ＩＪツブ型圧電体の対向主面それぞれに電
極を形成してなる厚みすべりモードの振動子において、
紋電極の少なくとも一方は一部をレーザトリミングやサ
ンドブラスト醇の削除手段により除去し、電極面積を減
じて周波数調整されてなることを特徴とした圧電振動子
。 - （２）前記圧電体は結合係数が大きいＬｉＴａＯ３やＬ
ＩＮｂＱ３ 等の高結合圧電体であることを特徴とした
前記特許請求の範囲第（１）項記載の圧電振動子。 - （３）前記電極は圧電体主面中央部の全幅にわたる主部
と該主部の一側から延長する接続部とを具え、前記周波
数調整される電極は核主部の他側に一部が接続された少
なくとも１つの丁字形周波数粗調整部を具え、該粗調整
部は周波数調整の所望により該主部との接続部を削除し
てなることを特徴とした前記％ト請求の範囲第（１）項
記載の圧電振動子。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6594682A JPS58182910A (ja) | 1982-04-20 | 1982-04-20 | 圧電振動子 |
| DE8383302210T DE3379566D1 (en) | 1982-04-20 | 1983-04-19 | Piezoelectric resonator chip and a method for adjusting its resonant frequency |
| US06/486,532 US4468582A (en) | 1982-04-20 | 1983-04-19 | Piezoelectric resonator chip and trimming method for adjusting the frequency thereof |
| EP83302210A EP0092427B1 (en) | 1982-04-20 | 1983-04-19 | Piezoelectric resonator chip and a method for adjusting its resonant frequency |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6594682A JPS58182910A (ja) | 1982-04-20 | 1982-04-20 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58182910A true JPS58182910A (ja) | 1983-10-26 |
Family
ID=13301641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6594682A Pending JPS58182910A (ja) | 1982-04-20 | 1982-04-20 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58182910A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62220011A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-28 | Fujitsu Ltd | 振動素子の周波数調整方法 |
| JPS6320907A (ja) * | 1986-07-15 | 1988-01-28 | Fujitsu Ltd | 圧電振動子の周波数調整方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4960152A (ja) * | 1972-10-06 | 1974-06-11 | ||
| JPS5227020A (en) * | 1975-08-25 | 1977-03-01 | Budd Co | Method and device for casting metal |
| JPS52106288A (en) * | 1976-03-03 | 1977-09-06 | Seikosha Kk | Method of finely adjusting frequency of quartz vibrator |
-
1982
- 1982-04-20 JP JP6594682A patent/JPS58182910A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4960152A (ja) * | 1972-10-06 | 1974-06-11 | ||
| JPS5227020A (en) * | 1975-08-25 | 1977-03-01 | Budd Co | Method and device for casting metal |
| JPS52106288A (en) * | 1976-03-03 | 1977-09-06 | Seikosha Kk | Method of finely adjusting frequency of quartz vibrator |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPS6320907A (ja) * | 1986-07-15 | 1988-01-28 | Fujitsu Ltd | 圧電振動子の周波数調整方法 |
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