JPS5818286Y2 - Pellet positioning device - Google Patents

Pellet positioning device

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Publication number
JPS5818286Y2
JPS5818286Y2 JP1977087266U JP8726677U JPS5818286Y2 JP S5818286 Y2 JPS5818286 Y2 JP S5818286Y2 JP 1977087266 U JP1977087266 U JP 1977087266U JP 8726677 U JP8726677 U JP 8726677U JP S5818286 Y2 JPS5818286 Y2 JP S5818286Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pellet
positioning device
contact
pellets
claw
Prior art date
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Expired
Application number
JP1977087266U
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS5414163U (en
Inventor
山田隆雄
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Publication date
Application filed by 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 filed Critical 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、半導体ペレットを、マウントするために、押
し爪で押して移送させ、位置規制を行う位置決め装置に
関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a positioning device that moves a semiconductor pellet by pushing it with a pusher claw and regulates its position in order to mount the semiconductor pellet.

従来より半導体装置に用いられるペレットは、ウェハー
を選択拡散処理して多数の素子を形成して後、スクライ
ビング工程にて、個々の素子毎に分割することにより得
ている。
Pellets conventionally used for semiconductor devices are obtained by selectively diffusing a wafer to form a large number of elements, and then dividing the wafer into individual elements in a scribing process.

このスクライビング工程は、ウェハーの素子以外の切り
代部分を、罫掻棒等によって刻み溝に形成し、ウェハー
を折曲さらに引張る等の手段によって溝を境界として、
一枚のウェハーから素子の数のペレットに分割している
This scribing process involves forming grooves on the wafer other than the elements with a scratching stick, and using the grooves as boundaries by bending and pulling the wafer.
A single wafer is divided into pellets as many as the number of devices.

しかるに、分割されるペレットは、その側断面形状が、
理想的には矩形となるのが望ましいが、実際には分割さ
れる時に生じる溝からの裂は目が垂直ではなくある所定
範囲の角度をなすために、その側壁は斜面となり菱形に
なっている。
However, the side cross-sectional shape of the divided pellets is
Ideally, it would be rectangular, but in reality, the fissures from the grooves that occur when splitting are not vertical but form an angle within a certain range, so the side walls are sloped, forming a diamond shape. .

このために後述するように、ペレットをマウントするた
めに位置規制する際に、ペレットの端部が欠損する不都
合な事故が生じていた。
For this reason, as will be described later, an inconvenient accident has occurred in which the end portion of the pellet is damaged when regulating the position for mounting the pellet.

すなわち、ペレットをマウントするには、多数のペレッ
トを載置した基台から一担ペレットを1個づつステージ
上に移し、さらに単一のペレットをコレットで吸着して
取り出し、リードフレーム等の上に移してやるのである
が、コレットで吸着してやるために用いられる位置決め
装置は、ステージ上に単に載置されたペレットを押し爪
で正規の位置まで押して移送させ位置決めを行なってい
る。
In other words, to mount pellets, one pellet is transferred from a base on which a large number of pellets are placed onto the stage, one pellet at a time is taken out by suction with a collet, and then placed on a lead frame, etc. The positioning device used to adsorb the pellet with a collet simply moves the pellet placed on a stage by pushing it to the correct position with a push claw.

この様子を示すと、第1図に示すように、ステージ1上
のペレット2へ、一方の押し爪3が摺動してきて当接し
、そのまま押して正規の位置4付近まで移送し、この時
他方の押し爪5が、反対側より摺動してきて、正規の位
置4に接して待機しており、押し爪3に押されてきたペ
レット2を押し爪5が受は止めて、ペレット2は正規の
位置4に位置決めされる。
To illustrate this situation, as shown in Fig. 1, one of the pushing claws 3 slides into contact with the pellet 2 on the stage 1, pushes it as it is, and transfers it to near the normal position 4. The push claw 5 slides from the opposite side and waits in contact with the regular position 4, and the push claw 5 stops receiving the pellet 2 that has been pushed by the push claw 3, and the pellet 2 is placed in the regular position. Positioned at position 4.

ここで押し爪3,5がペレット2と当接する際には、上
述したようにペレット2の側壁は斜面となっているから
、第2図に示すように押し爪3,5のペレット2との当
接部分3a。
Here, when the pushing claws 3, 5 come into contact with the pellet 2, since the side walls of the pellet 2 are sloped as described above, the pushing claws 3, 5 contact the pellet 2 as shown in FIG. Contact portion 3a.

5aはそれぞれペレット2の鋭角の端部2at22’と
衝突してしまい、端部2a 、 2a’を欠損する事故
が、しばしば生じていた。
Each of the pellets 5a collides with the sharp end 2at22' of the pellet 2, and accidents often occur in which the ends 2a and 2a' are damaged.

この欠損事故が生じると、特にIC等のペレットでは、
端部に設けられる端子電極が失われ、又ペレットの特性
も劣り、結局マウントした構体が不良となってしたい不
都合であった。
When this defective accident occurs, especially in pellets such as IC,
The terminal electrodes provided at the ends were lost, the properties of the pellets were also poor, and the mounted structure ended up being defective, which was an inconvenience.

本考案は、上記の点に鑑みペレットの欠損事故を生じな
い位置決め装置を提供するもので、押し爪のペレットと
の当接部分の少くとも一つが、ペレットの側壁中間部と
線接触するようにしたことを特徴とする。
In view of the above-mentioned points, the present invention provides a positioning device that does not cause pellet loss accidents, and is designed so that at least one of the contact parts of the pressing claw with the pellet is in line contact with the middle part of the side wall of the pellet. It is characterized by what it did.

以下、本考案の一実施例を図面を参照しながら訣明する
An embodiment of the present invention will be explained below with reference to the drawings.

すなわち第3図A及び第3図Bにおいて、11はペレッ
ト12を載置するステージ、13.15はペレット12
をステージ11上の正規の位置14まで摺動しながら押
して移送させる押し爪で、ペレット12と当接する部分
は、面13aと13bとで形成する段13c及び面15
aと15bとで形成する段15cが設けられている。
That is, in FIGS. 3A and 3B, 11 is a stage on which pellets 12 are placed, and 13.15 is a stage on which pellets 12 are placed.
The part that comes into contact with the pellet 12 is a step 13c formed by surfaces 13a and 13b and a surface 15.
A step 15c formed by a and 15b is provided.

16は押し爪13.15により位置決めされて正規の位
置にあるペレット12を吸着して上方に取出すコレット
である。
Reference numeral 16 denotes a collet that is positioned by push claws 13 and 15 and picks up the pellet 12 in the correct position and takes it out upward.

位置決め装置の動作は、従来と同様であり省略するが、
要するに押し爪13.15がペレット12と当接する際
には、押し爪13の段13Cがペレット12の側壁中間
部12cと、押し爪15の段15cがペレット12の側
壁中間部12c′とそれぞれ線接触するようにしたこと
が重要である。
The operation of the positioning device is the same as before and will be omitted, but
In short, when the pushing claws 13.15 come into contact with the pellet 12, the step 13C of the pushing claw 13 is aligned with the side wall intermediate portion 12c of the pellet 12, and the step 15c of the pushing claw 15 is aligned with the side wall intermediate portion 12c' of the pellet 12. It is important to make contact.

したがって押し爪13.15がペレット12に当接する
際に、ペレット12の鋭角の端部12a。
Therefore, when the pressing pawl 13.15 abuts the pellet 12, the sharp end 12a of the pellet 12.

12a′には当らないから欠損することはない。Since it does not hit 12a', there is no loss.

向上記の実施例では、押し爪のペレットとの当接部分に
は、段を設けて線接触するようにしたが、勿論性の手段
でもよく、例えば突起を設けるようにしてもよいが、寸
法精度を厳しくしなければならず加工が難かしい。
In the embodiment described above, a step was provided at the contact portion of the pushing claw with the pellet to form a line contact, but of course other means may also be used, for example, a protrusion may be provided, but the dimensions may vary. It is difficult to process as it requires strict precision.

本考案は、上記のように構成するからペレット端部の欠
損事故を防止でき、ペレットをマウントした構体が不良
となるのを回避できる。
Since the present invention is configured as described above, it is possible to prevent an accident of chipping of the end portion of the pellet, and it is possible to avoid the structure on which the pellet is mounted from becoming defective.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図、第2図は、従来のペレット位置決め装置を示し
、第1図Aは平面図、第1図Bは側面図、第2図は要部
拡大側面図、第3図は、本考案の一実施例を示すペレッ
ト位置決め装置を示し、第3図Aは平面図、第3図Bは
側面図である。 12・・・・・・ペレット、12c、12c’・・・・
・・側壁中間部、13,15・・・・・・押し爪、13
c 、 15c・・・・・・段(当接部分)、14・・
・・・・正規の位置。
Fig. 1 and Fig. 2 show a conventional pellet positioning device, Fig. 1A is a plan view, Fig. 1B is a side view, Fig. 2 is an enlarged side view of main parts, and Fig. 3 is the present invention. 3A is a plan view and FIG. 3B is a side view of a pellet positioning device according to an embodiment of the present invention. 12... Pellet, 12c, 12c'...
・・Side wall middle part, 13, 15・・・・Press claw, 13
c, 15c... step (contact part), 14...
...regular position.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 載置したペレットを押し爪によって所定距離だけ押して
移送させ、正規の位置に位置決めするものにおいて、前
記押し爪のペレットとの当接部分の少くとも一つが、ペ
レットの側壁中間部と線接触するようにしたことを特徴
とするペレット位置決め装置。
In an apparatus in which a loaded pellet is pushed a predetermined distance by a push claw to be transferred and positioned at a proper position, at least one of the contact parts of the push claw with the pellet is in line contact with the middle part of the side wall of the pellet. A pellet positioning device characterized by:
JP1977087266U 1977-06-30 1977-06-30 Pellet positioning device Expired JPS5818286Y2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1977087266U JPS5818286Y2 (en) 1977-06-30 1977-06-30 Pellet positioning device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1977087266U JPS5818286Y2 (en) 1977-06-30 1977-06-30 Pellet positioning device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5414163U JPS5414163U (en) 1979-01-30
JPS5818286Y2 true JPS5818286Y2 (en) 1983-04-13

Family

ID=29012632

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1977087266U Expired JPS5818286Y2 (en) 1977-06-30 1977-06-30 Pellet positioning device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0540761Y2 (en) * 1986-10-30 1993-10-15
JP2641574B2 (en) * 1989-11-27 1997-08-13 松下電子工業株式会社 Positioning method of semiconductor chip

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4929075A (en) * 1972-07-12 1974-03-15

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JPS4929075A (en) * 1972-07-12 1974-03-15

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JPS5414163U (en) 1979-01-30

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