JPS58181707A - 窒化ほう素の製造法 - Google Patents

窒化ほう素の製造法

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JPS58181707A
JPS58181707A JP57063067A JP6306782A JPS58181707A JP S58181707 A JPS58181707 A JP S58181707A JP 57063067 A JP57063067 A JP 57063067A JP 6306782 A JP6306782 A JP 6306782A JP S58181707 A JPS58181707 A JP S58181707A
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ammonium chloride
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boron nitride
boron
crucible
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Tadao Sato
佐藤 忠夫
Toshihiko Ishii
石井 敏彦
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J6/00Heat treatments such as Calcining; Fusing ; Pyrolysis
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B21/00Nitrogen; Compounds thereof
    • C01B21/06Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
    • C01B21/064Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with boron
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
    • C01P2002/00Crystal-structural characteristics
    • C01P2002/70Crystal-structural characteristics defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data
    • C01P2002/72Crystal-structural characteristics defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data by d-values or two theta-values, e.g. as X-ray diagram
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    • C01PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 従来、常圧型窒化ほう素の工業的な製造法として杜、ほ
う酸,拳化ほう素またはほう拳塩を例えば尿素等の有機
窒素化合物で還元窒化する方法によっている。この方法
で得られ走電化ほう素中に0、j %の曽素が含まれて
いる。またこれらのBNには同時に炭素も含まれている
。高圧相移転による立方晶窒化はう素(以下OBNと記
載する)の製造原料として、酸素を多く含むBNを用い
ると、OBMの収率が極度に低下する。また酸素を含有
するBNは金属材料と反応して使用不能となる原因電,
飼こす。例えば2%の酸素を含むBMはtto。
℃中下でモリブデンと反応する。従って酸素の含嶌章の
少ない高純度BNの製造は工業的に多大の11澁をもた
らす。
酸素を含まない高純度のBNを製造するには、原料に酸
素を含まない化合物を使用することが最良の方法である
従来、このような製造法として、塩化ほう素ガスまたは
水素化はう素ガスをアンモニアと混合し、高温に加熱し
て気相からBNを析出させる方法が知られている。しか
し、この方法では原料の毒性及び腐蝕性が強いため、取
扱いに厳重な注意を必I!担するはか、中間反応生成物
の析出による配管11詰り、製品へ中間生成物が混入し
たり、まえ生成し九BHの捕集も置端である等の多くの
欠点がある。
本発明の目的は従来法における欠点を解消し、酸素含有
量の少ない窒化はう素を安全に且つ容易に製造する方法
を提供するKある。
本発明者は前記目的を達成すべく研究の結果、ニーtカ
リ金属のほう水素化物、me(nH4) (ただし、M
eはアルカリ金属を示す)と塩化アンモニウムとの゛−
合物を、非酸化性の雰囲気中で100−2200−一で
加熱するときは、酸素含有量の少ない高純度の窒化はう
素が得られることを知見し友。この知見に基いて本発明
を完成した。
本発明に用いるアルカリ金属のほう水素化物、例えばL
iBH4,NaBH4,KBH4は単独または混合物と
して使用することができる。
Me(BN4)塩化アンモニウムとの混合割合情、電へ 素がほう素に対してモル比で等量販上であ屈1こ)が好
ましい。はう素の比率が多いと得られるBNS?1に無
定形のほう素が混入して純度が低下する。
ムセの塩化アンモニウムは加熱により容易に散逸するの
で大過剰量でも差し支えない。両者の混合は大気中で行
うと水分を吸収してほう酸を生成し、製品に酸素の不純
物が含有する原因となるので乾燥ガス中で行うことが好
ましい。
混合物を入れるるつばは加熱中に該混合物と反応しない
ものであることが必要であり、好ましいA’Pとしては
例えば焼結体BNるつばが挙げられるd黒船るつばは混
合物と反応して消耗するばか)でなく製品に炭素が混入
するので好ましくない。
るつぼ材の混入を防ぐためには、るつば内壁及び上部を
塩化アンモニウムで覆い、その内部に混合物を充填する
方法が有効である。
加熱源はどのようなものでもよい。しかし、高周波加熱
は炉壁の温度上昇が少ないために、分解ガスによる炉壁
の侵蝕が少なく好適である。
加熱に際しての雰囲気は非酸化性であるこ、−1!:、
*精−が容易で安価であり、高温におけるBNの分P#
啼おさえる点で好ましい。しかし、アンモニアガス、ア
ルゴンガス等も使用し得られることは勿論である。Me
(BN4)例えばKBH4と塩化アンモニウムにおける
BNの生成反応は、主として三段階にわけられることが
示差熱分析により分った。
第一段階の反応は混合物の複分解及び脱水素による吸熱
反応である。その反応式は次の通りであも KBH+ NHCjl 4 KCI + BNH,□+
−1H24 仕種、例えば200℃以下で複分解反応が起ると、ボラ
ゾール等の気化性の化合物を生成し飛散する。
KBH4,NH407は300℃まで安定で、その混合
物も300℃附近において初めて複分解反応が生じ、反
応生成物は高沸点であるため、散逸が少ない。
第二段階は脱水素による吸熱反応であって、約600℃
で始まる。この反応は脱水素が進行するに従って第三段
階の重合による発熱反応に変わり、BN化が完了する。
、ミ1この加熱により、副生じた塩類も同時に昇華す藩
′。昇温は特に制御しなくても十分な性能のBNが得ら
れるが、急激な昇温では原料が急激な分解を起し、飛散
することがあるので避けるべきである。均質なりNを収
率よ〈得るためには、各反応段階が各々完了した後に次
の段階に移るように徐kKli−温するか、あるいは段
階的に昇温するのが好ましい。
章終段階の焼成はroo℃未満であると、脱水素反彰は
非常におそくなる。1100℃附近からhBN化軒化石
進行。しかし、−気圧の窒素ガス中ではzioo℃を超
えるとBNの分解が起る。従って、hBNを多く含まな
いBNを得るには1roo〜/ 100℃、好ましくは
1ooo −1oto℃で焼成するのがよく、hBNを
多く含むBNを得るには/100 N2200℃、好ま
しくは2000−2コOO℃で焼成するのがよい0 本発明の方法で得られるBNは、白色または淡黄色の粉
末であって、BNの含有率は99%以上であり、微量の
塩類を含むが、酸素は検出限界以下いずれ本少量の菱面
体晶BM(rBNとする)を含んでいた。
特に原料に酸素が含まれていないので酸素の含有。
く、また少量のrBNを含んでいるためOBNへめ転す
ると、微細で均質な組成を持つ高緻密な焼一体が得られ
る等の優れた効果を有する。
実施例t KBHとNH4G lとをモル比で/ : /、30割
合で乾燥空気中で混合し、その混合物をBN焼結体か去
した後窒素ガスを導入した。該高周波加熱炉は第1図に
示す通りのものであった。第1図はその縦断面図を示す
。図中、lは光高温計、λは窒素ガス入口、3は断熱材
、ダは高周波加熱コイルで、これKよシ黒船発熱体jを
加熱する。7はKBH4とNH4Clとの混合粉体で、
その上面を塩化アンモ。
&!ム≦で覆う。faBN焼結体からなるるつは、9呻
るつばを支持する支持台である。10は石英管、lt&
+真空排気口、12は窒素ガス入口、13は熱電対、斥
−は窒素出口である。
炉内の原料であるKBH4とNH404の混合粉体7を
高周波により黒鉛発熱体jを加熱して7時間約300℃
の速度で加熱昇温し、10!0℃に達した後5時間保持
し、次いで冷却して取り出した。生成物は純[99,3
%の淡黄色のBN粉末であった。
この粉末のX線回折図形は第2図に示すように幅広で主
として非晶質BNであってhBNはみられなかった。ま
たrBNの回折線が僅かに混在していることがわかる。
実施例2 実施例1におけると同様にしてtosoclで昇温し1
時間保持した後、コioo℃に昇温し2時間保持した。
生成物はhBN、非晶質Bli及び少量のrBNの混合
粉末であった。
実施例& NaBH4とNu、04を原料とし、実施例1と同様な
■ 一一例歳 Li 、BH4とNH407を原料とし、実施例1と同
様表操作を行った。生成物は実施例3と同様であった。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の方法で使用する加熱炉の実施態様を示
す高周波加熱炉の縦断面図で、第2図は実施例1におい
て1010℃で1時間加熱保持後の試料のX線回折図を
示す。 /:光高温計、    コ;窒素ガス人口、3:断熱材
、      参:高周波加熱コイル、S:黒鉛発熱体
、乙:塩化アンモニウム、7 : KBH4とliH,
07との混合粉末、1 F BN焼結体るつに、9:支
持台、l#二石英管、     ll:真空排気口、1
2:窒素ガス入口、  13:熱電対、l#−窒素出口

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 t アルカリ金属のほう水素化物と塩化アンモニウムと
    の混合物を、非酸化性雰囲気中で100〜−一00℃に
    加熱することを特徴とする窒化はう素の製造法。 り、 アルカリ金属のほう水素化物と塩化アンモニウム
    との混合割合が、窒素がはう素に対してモル比で等量販
    上である特許請求on+st第1項記載の窒化はう素の
    製造法。
JP57063067A 1982-04-15 1982-04-15 窒化ほう素の製造法 Expired JPS6059166B2 (ja)

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US06/643,318 US4714599A (en) 1982-04-15 1984-08-22 Process for preparing rhombohedral system boron nitride using NaBH4 -and NH4 Cl
US06/642,717 US4913887A (en) 1982-04-15 1984-08-22 Production of boron nitride

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