JPS58176621A - スペ−サ材微粒子散布装置 - Google Patents
スペ−サ材微粒子散布装置Info
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- JPS58176621A JPS58176621A JP6051082A JP6051082A JPS58176621A JP S58176621 A JPS58176621 A JP S58176621A JP 6051082 A JP6051082 A JP 6051082A JP 6051082 A JP6051082 A JP 6051082A JP S58176621 A JPS58176621 A JP S58176621A
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
- G02F1/13392—Gaskets; Spacers; Sealing of cells spacers dispersed on the cell substrate, e.g. spherical particles, microfibres
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は液晶セル用等の基板間隔制御に用いるスペーサ
材微粒子の散布１ｕｔＧＩ：関するものである。
材微粒子の散布１ｕｔＧＩ：関するものである。
２枚の基板をスペーサを介して向き合せ、これら基板を
加圧しながら周縁部に配した接着剤を硬化させて接着さ
せることにより前記基板間に空間を形成し、この空間内
に液状表示媒体を封入するようにした液晶セルを製造す
るに当っては、基板面上にスペーサ材が散布される。こ
のスペーサ材は液晶セルの厚さの均一化を計るために散
布されるもので、散布装置として第１図に示す装置が実
開昭５６−８０５１５号公報に提案されている。
加圧しながら周縁部に配した接着剤を硬化させて接着さ
せることにより前記基板間に空間を形成し、この空間内
に液状表示媒体を封入するようにした液晶セルを製造す
るに当っては、基板面上にスペーサ材が散布される。こ
のスペーサ材は液晶セルの厚さの均一化を計るために散
布されるもので、散布装置として第１図に示す装置が実
開昭５６−８０５１５号公報に提案されている。
この装置は、前記空間内に封入する液状表示媒体の性能
及びスペーサ材料に影醤を及ぼさない液体を分散媒体と
して用い、容器】においてこの分散媒体中にガラス蝋維
等からなるスペーサ材を入れスターテ８により均一に混
合して混合分散液２号つくり、この分散液ｆ−液体流１
に４１節弁４ｆ−介して噴霧ノズル５に供給し、一方圧
縮気体を入口８からフィルター６、気体流量調節弁７を
介して噴霧ノズル５に供給し噴霧ノズル５から所定量の
分散液な噴霧する噴霧装置と、被スペーサ散布基板１２
を搬送する装置１０ｆ−ＩＲえ、搬送装置ｌＯを駆動装
置ａｌｌにより駆動し、噴霧室を通過させる間搬送装置
１１１ｆｌＯ上に配向処理［１ｆｉ１表に向けて載置さ
せた前記基板面に、噴霧室の天井に設けた前記噴霧ノズ
ル５から所定の噴霧条件で基板１２に垂直方向に分散液
２？噴霧し、基板１２の表面上に均一にスペーサ材微粒
子を分散させ一方冷却器１８により凝縮した余分な分散
液は回収皿１４により回収しようとするものである。
及びスペーサ材料に影醤を及ぼさない液体を分散媒体と
して用い、容器】においてこの分散媒体中にガラス蝋維
等からなるスペーサ材を入れスターテ８により均一に混
合して混合分散液２号つくり、この分散液ｆ−液体流１
に４１節弁４ｆ−介して噴霧ノズル５に供給し、一方圧
縮気体を入口８からフィルター６、気体流量調節弁７を
介して噴霧ノズル５に供給し噴霧ノズル５から所定量の
分散液な噴霧する噴霧装置と、被スペーサ散布基板１２
を搬送する装置１０ｆ−ＩＲえ、搬送装置ｌＯを駆動装
置ａｌｌにより駆動し、噴霧室を通過させる間搬送装置
１１１ｆｌＯ上に配向処理［１ｆｉ１表に向けて載置さ
せた前記基板面に、噴霧室の天井に設けた前記噴霧ノズ
ル５から所定の噴霧条件で基板１２に垂直方向に分散液
２？噴霧し、基板１２の表面上に均一にスペーサ材微粒
子を分散させ一方冷却器１８により凝縮した余分な分散
液は回収皿１４により回収しようとするものである。
しかしながらこのような従来の散布装置にあっては噴霧
ノズルと被スペーサ散布基板が向かい合っていたため、
散布圧力が強すぎると基板上のスペーサを吹き飛ばして
しまったり、逆に弱すぎると基板上に分激液が落下して
シミができ、また分散媒が十分蒸発せず基板上に落下す
る念めにスペーサ材の分布が局部的に斑になり、シミと
して残る場をがあるという問題点があった。
ノズルと被スペーサ散布基板が向かい合っていたため、
散布圧力が強すぎると基板上のスペーサを吹き飛ばして
しまったり、逆に弱すぎると基板上に分激液が落下して
シミができ、また分散媒が十分蒸発せず基板上に落下す
る念めにスペーサ材の分布が局部的に斑になり、シミと
して残る場をがあるという問題点があった。
本発明はこのような問題点に層目してなされたもので、
噴霧ノズルを噴霧室の側壁に設けて、噴褥ノズルの噴出
し方向な基板表面にほぼ平行にすることにより噴霧ノズ
ルと基板が向かい合わない工うにし、ｆ′ｆｃ所要に応
じて噴霧を妨げない位置に加熱装置を設けることにより
分散媒がより蒸発し易くすることにより上記問題点を解
決したスペーサ材微粒子散布装置に関する本のである。
噴霧ノズルを噴霧室の側壁に設けて、噴褥ノズルの噴出
し方向な基板表面にほぼ平行にすることにより噴霧ノズ
ルと基板が向かい合わない工うにし、ｆ′ｆｃ所要に応
じて噴霧を妨げない位置に加熱装置を設けることにより
分散媒がより蒸発し易くすることにより上記問題点を解
決したスペーサ材微粒子散布装置に関する本のである。
以下本発明？図面につき説明する。
第２図は本発明の一例装置の説明図で、ｌが容器、２が
スペーサ材微粒子と分散媒体の混合液、δかスターテ、
５が噴霧ノズル、６がフィルター、７が気体流量１節弁
、８が圧縮気体導入口、９が噴霧室、ｌＯが搬送装置、
１１が搬送装置１０の鳴動装置、１２が被スペーサ散布
基板、１５がマイクロチューブポンプ、１６が電磁弁、
１７がマイクロチューブポンプ、電磁弁およびシャッタ
ーの切り換えスイッチ、１８がコンデンサー、１９がポ
ンプ、２０がヒーターである１本発明の装置？用いて基
板にスペーサ材を散布するには、先ず容器ｌ内で、２枚
の基板間の空間内に封入する液状表示媒体の性能および
スペーサ材に影響号及ぼさ牙つくり、マイクロチューブ
ポンプ１５を介して＋Ｊｉ霧ノズル１６に供給し、一方
圧一気体を入口８からフィルター６、気体流量調節弁）
、電磁弁１６を介して噴霧ノズルに供給し１＊＊ノズル
５から所定量の分散液を、搬送製電ｌＯ上に載置した被
スペーサ散布基板１１１上に噴霧する。噴霧された分散
媒体は噴霧されて気圧が下がったことと、ヒータ２０で
＃霧室の雰囲気温度が分散媒体の沸点以上に上がってい
ることにより噴Ｓ後基板上に落下する＠蒸発してしまう
、−１残されたスペーサ材微粒子だけが被スペーサ散布
基板１２の上に落下し、蒸発した分散媒体ｐよびスペー
サ材はポンプ１９によりコンデンサ１８に回収される。
スペーサ材微粒子と分散媒体の混合液、δかスターテ、
５が噴霧ノズル、６がフィルター、７が気体流量１節弁
、８が圧縮気体導入口、９が噴霧室、ｌＯが搬送装置、
１１が搬送装置１０の鳴動装置、１２が被スペーサ散布
基板、１５がマイクロチューブポンプ、１６が電磁弁、
１７がマイクロチューブポンプ、電磁弁およびシャッタ
ーの切り換えスイッチ、１８がコンデンサー、１９がポ
ンプ、２０がヒーターである１本発明の装置？用いて基
板にスペーサ材を散布するには、先ず容器ｌ内で、２枚
の基板間の空間内に封入する液状表示媒体の性能および
スペーサ材に影響号及ぼさ牙つくり、マイクロチューブ
ポンプ１５を介して＋Ｊｉ霧ノズル１６に供給し、一方
圧一気体を入口８からフィルター６、気体流量調節弁）
、電磁弁１６を介して噴霧ノズルに供給し１＊＊ノズル
５から所定量の分散液を、搬送製電ｌＯ上に載置した被
スペーサ散布基板１１１上に噴霧する。噴霧された分散
媒体は噴霧されて気圧が下がったことと、ヒータ２０で
＃霧室の雰囲気温度が分散媒体の沸点以上に上がってい
ることにより噴Ｓ後基板上に落下する＠蒸発してしまう
、−１残されたスペーサ材微粒子だけが被スペーサ散布
基板１２の上に落下し、蒸発した分散媒体ｐよびスペー
サ材はポンプ１９によりコンデンサ１８に回収される。
ｔｓｔｓ弁トマイクロチューブボンブの作動は、切換ス
イッチ１７により行うことができる。
イッチ１７により行うことができる。
第２図に示す装置では図示するように基板１２は搬送装
置ｌＯ上に４１！看され、搬送装置を駆動装ｗｌｌによ
り駆動し、連続的に基板上にスペーサ材を散布すること
ができるが、バッチ式に行う場合は第８図に示す装ｗｅ
用いて行えばよい。第８図にお込て填８図と同じ記号は
同じものを示す。
置ｌＯ上に４１！看され、搬送装置を駆動装ｗｌｌによ
り駆動し、連続的に基板上にスペーサ材を散布すること
ができるが、バッチ式に行う場合は第８図に示す装ｗｅ
用いて行えばよい。第８図にお込て填８図と同じ記号は
同じものを示す。
パッチ式でスペーサ材の散布を行う場合は分散液を連続
して噴霧装置の噴霧ノズルに送る必要がないので、マイ
クロチューブポンプ１５を構成から省くことができる６
図示する装置な使用する場合は同様にして帰られた容器
１内の混合分散液２は、容器内と噴出ノズルの圧力差に
より噴霧ノズルまで送られ、噴霧される。この場合も噴
霧され九分散媒体は噴霧されて圧力が下がったこととヒ
ータ２０で噴き室９の雰囲気温度が分散媒体の沸点以上
に上かつていることにより噴霧後基板上に落下する前に
蒸発してしまう、−万代されたスペーサ材微粒子だけが
固定台上の基板１２上に藩下し、蒸発した分散媒体およ
びスペーサ材はポンプ１９によりコンデンサ１８に回収
される。散布を終了するとノズル付近の分散媒は極板上
にたれることなく容器内にもどる。
して噴霧装置の噴霧ノズルに送る必要がないので、マイ
クロチューブポンプ１５を構成から省くことができる６
図示する装置な使用する場合は同様にして帰られた容器
１内の混合分散液２は、容器内と噴出ノズルの圧力差に
より噴霧ノズルまで送られ、噴霧される。この場合も噴
霧され九分散媒体は噴霧されて圧力が下がったこととヒ
ータ２０で噴き室９の雰囲気温度が分散媒体の沸点以上
に上かつていることにより噴霧後基板上に落下する前に
蒸発してしまう、−万代されたスペーサ材微粒子だけが
固定台上の基板１２上に藩下し、蒸発した分散媒体およ
びスペーサ材はポンプ１９によりコンデンサ１８に回収
される。散布を終了するとノズル付近の分散媒は極板上
にたれることなく容器内にもどる。
以上本発明を好適例につき説明しなか、加熱装置は必ず
しも設ける必要はない。
しも設ける必要はない。
次に第２図の装置を使用して散布したスペーサ材の分散
を定量的に検討するため、基板の各点でスペーサ材密度
を測定し、その統計的バラツキを求めｔ、また同時に平
均散布密度と散布時間および散布距離の関係、１質′４
雰囲気温蜜によるシミの数の平均Ｃ個／Ｃイ）を測定し
た。得た結果’ｆ−＠４〜７図に示す。これ等の実験で
は、スペーサ材として８０〜５０μ寓×直径１０声肩の
グラスファイバー、分散媒としてフレオン（７レオンＴ
Ｆ、三井フロロケミカル社製）Ｃ沸点〜ＩｓＯ°Ｃ１比
重約１．５）ｆｆ用し、スペーサ材製［１■／！、フレ
オン流量６ ｄ ／ ｍｉｎ ｓ 散布圧力０．５ ｋ
ｇ ／ ｒｄ、散布距＃１１８０ ｃｔｓ、シミ数の測
定と平均散布密度の測定時の散布時間５分間としな、第
４図に示すスペース材密度の測定は１００Ｘ １ （ｌ
０５ｍ１２の基板の１０ケ所でグラス７アイパーの散
布密Ｉｆを測定し、比較のｔめ従来法で１００Ｘ２００
ｓｓ２の基板の１００ケ所でグラスファイバーの散布密
度を測定する実験ｆ８回行った。グラスファイバー散布
密度の平均値と標準偏差の関係を示す、ｌＫ４図の結果
から本発明の装置は従来の装置と同等の性能を有してお
り、しかも従来の装置Ｐ用いた場合のようなスペーサ材
の散乱、分散媒、ρ落下によるシミ等の発生はふられな
かった。また本発明の装置は散布時間ｔ−ｅは紙布距離
以外の他の条件が一定ならば第５〜７図に示すような性
質？有するので任意の散布″１ｆｊＩｆを容易に得るこ
とができる。
を定量的に検討するため、基板の各点でスペーサ材密度
を測定し、その統計的バラツキを求めｔ、また同時に平
均散布密度と散布時間および散布距離の関係、１質′４
雰囲気温蜜によるシミの数の平均Ｃ個／Ｃイ）を測定し
た。得た結果’ｆ−＠４〜７図に示す。これ等の実験で
は、スペーサ材として８０〜５０μ寓×直径１０声肩の
グラスファイバー、分散媒としてフレオン（７レオンＴ
Ｆ、三井フロロケミカル社製）Ｃ沸点〜ＩｓＯ°Ｃ１比
重約１．５）ｆｆ用し、スペーサ材製［１■／！、フレ
オン流量６ ｄ ／ ｍｉｎ ｓ 散布圧力０．５ ｋ
ｇ ／ ｒｄ、散布距＃１１８０ ｃｔｓ、シミ数の測
定と平均散布密度の測定時の散布時間５分間としな、第
４図に示すスペース材密度の測定は１００Ｘ １ （ｌ
０５ｍ１２の基板の１０ケ所でグラス７アイパーの散
布密Ｉｆを測定し、比較のｔめ従来法で１００Ｘ２００
ｓｓ２の基板の１００ケ所でグラスファイバーの散布密
度を測定する実験ｆ８回行った。グラスファイバー散布
密度の平均値と標準偏差の関係を示す、ｌＫ４図の結果
から本発明の装置は従来の装置と同等の性能を有してお
り、しかも従来の装置Ｐ用いた場合のようなスペーサ材
の散乱、分散媒、ρ落下によるシミ等の発生はふられな
かった。また本発明の装置は散布時間ｔ−ｅは紙布距離
以外の他の条件が一定ならば第５〜７図に示すような性
質？有するので任意の散布″１ｆｊＩｆを容易に得るこ
とができる。
以上説明してきたように本発明の装置ではＩｊｊｔＳｌ
ノズル牙噴霧室の側壁に設けたため噴霧の圧力で基板上
のスペーサ材を散乱させたり、分散媒が直接基板上に滴
下してシミができる等の問題点？解決できるという効果
が得られ、この効果は噴霧を妨げない位置に加熱装置を
設けることにより−１−顕著である。
ノズル牙噴霧室の側壁に設けたため噴霧の圧力で基板上
のスペーサ材を散乱させたり、分散媒が直接基板上に滴
下してシミができる等の問題点？解決できるという効果
が得られ、この効果は噴霧を妨げない位置に加熱装置を
設けることにより−１−顕著である。
第１図は従来の散布製雪の説明図、
第２図および第８図は夫々本発明の詳細な説明図、
鷹４図はスペーサ材の散布密度の平均値と標準偏差の関
係の説明図、 第５図は平均散布！Ｉｆと散布時間の関係を示す曲線図
、 第６図は平均散布密度と散布距離の関係を示す曲線図、 職７図はスペーサ材分散媒体としてフレオンＴＦＰ使用
し之場合の雰囲気とシミの関係を示す曲線図である。 １・・・容器、２・・・スペーサ材混合分散液、８・・
・スター９．４・・・液体流量調節弁、５・・・噴霧ノ
ズル、６・・・フィルター、７・・・気体流量調節弁、
８・・・圧縮気体導入口、９・・・噴霧室、１０・・・
搬送装置、１１・・・駆ｉ装置、１２・・・被スペーサ
赦布基板、１８・・・冷却装置、１４・・・回収皿、１
５・・・マイクロチューブポンプ、１６・・・電磁弁、
１７・・・スイッチ、１８・・・コンデンサー、１９・
・・ポンプ、２０−・・ヒーター。 第３図 第５図 散布晴間（ｓｉｎ） 第６図 １ｋ ｅ ｆｆｉ＃！ （ｃｍ）
係の説明図、 第５図は平均散布！Ｉｆと散布時間の関係を示す曲線図
、 第６図は平均散布密度と散布距離の関係を示す曲線図、 職７図はスペーサ材分散媒体としてフレオンＴＦＰ使用
し之場合の雰囲気とシミの関係を示す曲線図である。 １・・・容器、２・・・スペーサ材混合分散液、８・・
・スター９．４・・・液体流量調節弁、５・・・噴霧ノ
ズル、６・・・フィルター、７・・・気体流量調節弁、
８・・・圧縮気体導入口、９・・・噴霧室、１０・・・
搬送装置、１１・・・駆ｉ装置、１２・・・被スペーサ
赦布基板、１８・・・冷却装置、１４・・・回収皿、１
５・・・マイクロチューブポンプ、１６・・・電磁弁、
１７・・・スイッチ、１８・・・コンデンサー、１９・
・・ポンプ、２０−・・ヒーター。 第３図 第５図 散布晴間（ｓｉｎ） 第６図 １ｋ ｅ ｆｆｉ＃！ （ｃｍ）
Claims (1)
- １．２枚の基板を、スペーサを介在させて向き合わせ、
これ等基板Ｐ加圧しながら周縁部に配した接着剤を硬化
させて接着させることにより該基板間に空間を形成し、
該空間内に液状表示媒体？封入するようにした表示素子
を製造する過程で前記基板【圧・着する前の一方の基板
の前記空間に面する側の表面上にスペーサ材？散布する
ために、前記液状表示媒体の性能及びスペーサ材料に影
響憂及ぼさない成体を分散媒体とし、この分散媒体中に
所定の形状と重量のスペーサ材を混合し九混合分散液を
入れるための容器と、この容器の混合分散液を攪拌し、
前記分散媒体中にスペーサ材微粒子を均一に分散させ九
分散液を得るための攪拌手段と、該攪拌手段に１って得
られた前記分散液を所定の条件で噴霧するためのｆるた
めのｌｉｌ！ｉ１足台ｔたは該基板をのせて基板の面方
向に移動する搬送装置と、ＩｊｊｔＳしたスペーサ材と
分散媒体の一部を回収するための手段管有するスペーサ
材微粒子散布装置において、上記噴精装置の噴霧ノズル
を基板表面とほぼ平行に噴出させるように設は九ことン
特徴とするスペース紡機粒子散布装置。 ２ 噴霧装置からのＩＩＪＩｌｌに影響を及ぼさない位
置に加熱装［ｆｌｌｌｉえた特許請求の範囲第１項記載
のスペーサ材微粒子散布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6051082A JPS58176621A (ja) | 1982-04-12 | 1982-04-12 | スペ−サ材微粒子散布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6051082A JPS58176621A (ja) | 1982-04-12 | 1982-04-12 | スペ−サ材微粒子散布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58176621A true JPS58176621A (ja) | 1983-10-17 |
Family
ID=13144376
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6051082A Pending JPS58176621A (ja) | 1982-04-12 | 1982-04-12 | スペ−サ材微粒子散布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58176621A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6396633A (ja) * | 1986-10-13 | 1988-04-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶パネル用スペ−サ分散装置 |
| JPS63155026A (ja) * | 1986-12-18 | 1988-06-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示パネルのスペ−サ材分散方法 |
| WO1990001721A1 (de) * | 1988-07-29 | 1990-02-22 | Nokia Unterhaltungselektronik (Deutschland) Gmbh | Verfahren zum aufbringen von distanzelementen einer flüssigkristallzelle und eine vorrichtung zur durchführung des verfahrens |
| JPH02120826A (ja) * | 1988-10-31 | 1990-05-08 | Catalysts & Chem Ind Co Ltd | 粉体の散布方法、粉体付基材および液晶セル |
| JPH05158049A (ja) * | 1991-12-05 | 1993-06-25 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | スペーサー散布装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5465560A (en) * | 1977-11-04 | 1979-05-26 | Hitachi Ltd | Forming method of spacings between electrode plates |
| JPS54103365A (en) * | 1978-02-01 | 1979-08-14 | Automobile Antipollution | Method of producing liquid crystal display element |
-
1982
- 1982-04-12 JP JP6051082A patent/JPS58176621A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5465560A (en) * | 1977-11-04 | 1979-05-26 | Hitachi Ltd | Forming method of spacings between electrode plates |
| JPS54103365A (en) * | 1978-02-01 | 1979-08-14 | Automobile Antipollution | Method of producing liquid crystal display element |
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| JPS63155026A (ja) * | 1986-12-18 | 1988-06-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示パネルのスペ−サ材分散方法 |
| JPH0830811B2 (ja) * | 1986-12-18 | 1996-03-27 | 松下電器産業株式会社 | 液晶表示パネルのスペ−サ材分散方法 |
| WO1990001721A1 (de) * | 1988-07-29 | 1990-02-22 | Nokia Unterhaltungselektronik (Deutschland) Gmbh | Verfahren zum aufbringen von distanzelementen einer flüssigkristallzelle und eine vorrichtung zur durchführung des verfahrens |
| JPH02120826A (ja) * | 1988-10-31 | 1990-05-08 | Catalysts & Chem Ind Co Ltd | 粉体の散布方法、粉体付基材および液晶セル |
| JPH05158049A (ja) * | 1991-12-05 | 1993-06-25 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | スペーサー散布装置 |
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