JPS5817658Y2 - 洗滌脱水装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は表面に付着水を有する固体物品の洗滌装置に関
する。

電子回路に使用されるケイ素ウェハーとか金メツキ製品
、各種光学レンズなどにあっては、その製造工程間、高
度の洗滌迅速な乾燥が要求され、製品そのものも不揮発
性電解質やココイド分などの残存しない高度の乾燥仕上
げが要求せられる。

このような洗滌乾燥目的に合致する洗滌液として水溶性
有機液体と、これを溶解含有する・・ロダン化炭化水素
系溶剤との混合溶液の使用が極めて有用である。

このような洗滌液である混合溶剤を使用する洗滌乾燥は
、該溶剤中に被乾燥物品を浸漬してゆすいだのちに引上
げることによって行われる。

そうすると、物品表面に付着していた水は前記溶剤中に
溶出されて物品表面は脱水できる。

しかし、洗滌室の増加と共に、溶剤中の水の量は増加し
、逐次脱水能力が低下する。

それで現実の洗滌装置においては、この増加する水を絶
えず排除してやらなければならないし、水溶性有機液体
ならびにハロゲン化炭化水素系溶剤を可及的に効率よく
循環再用することが極めて重要な問題点となってくる。

本考案はこのような観点から為されたものであつて、本
考案装置に使用される洗滌液はメタノール、エタノール
、ロープロバノール、イソプロパツール、アセトニトリ
ル、アセトン、ニトロメタンないしはジオキサンなどの
水溶性有機液体を溶解含有している１、１．２ ）リク
ロロ１．１゜２トリフルオロエタン（フロン−１１２と
略記）、１．１．２．２−テトラクロロ−１，２−ジフ
ルオロエタン、トリクロロモノフルオロメタンなどハロ
ゲン化炭化水素の混合溶剤であって、いずれの場合にも
水溶性有機液体の沸点は、・・ロゲン化炭化水素の沸点
よりも高温である。

このような洗滌液たる溶剤を使用する本考案装置は、そ
の実施例たる添付第１図に示した通り、脱水槽を主とし
た本体部■と、除脱器および精留塔を主体とした回収部
■とより成る。

いまこれを、第１図のＡ−Ａ断面図たる第２図をも参照
しつ〜説明する。

本例に示す本体部Ｉの主体は、上部の開放された長方体
である有底１ａの本体槽１であって、右壁１ｂ、左壁１
ｃとの間には、高さが低いが底に達する隔壁１ｆ 、Ｉ
ｇ 、１ｈが前壁１ｄ、後壁１ｅ間に達して設けられ、
それによって槽内は蒸発室２、洗滌室３、水分離室４お
よび水分離室の一部である貯留室５の４つに区分せられ
ている。

なお、水分離室４には、図示の通り底１ａには達しない
隔壁１ｉ、Ｉｊが、前１ｄ・後１ｅ壁間に差しわたされ
て、下部の連通した３つの室４ａ。

４ｂ 、４ｃに不完全に区画せられている。

水分離室（図ではその一部である貯留室）底部からは管
路６ａｓポンプ７、管路６ｂを経て、洗滌室３に至る溶
剤の循環路が設けられており、また同じ（水分離室から
溢流溶剤を蒸発室２へ移送する管路８が付設されている
。

蒸発室の底部には溶剤を蒸発気化させるための加熱器９
ａが設備されている。

既述した各隔壁は図示の通り何れも槽１の高さの半ば前
後の高さしかないので、上記した４つの室の上側は、槽
壁１ｂ、１ｃ、１ｄおよび１ｅによって囲繞された空間
となっているが、該空間の下部を単に空間にと呼びその
上側空間を開放通路ｔと名付ける。

開放通路ｔには冷媒の循環する蛇管たる凝縮設備１０が
設けられ、凝縮した溶剤は復液設備たる復液管１１によ
り洗滌室３または貯留室５を含む水分離室４に返戻され
る。

本体部Ｉの外部には・・ロゲン化炭化水素除脱器（以下
単に除脱器という）と精留塔とを主体とした回収部■が
設げられていて、本体部の水分離室における水相部に開
口する排水管１２は、回収部■の除脱器に結ばれている
。

該除脱室１３ａの底部には加熱器９ｂが、また上部には
槽本体１の連通空間Ｋに開口するハロゲン化炭化水素返
戻管１４ａが取りつげられている。

除脱室の排水は管路１５ａを経て精留塔１６に入り、こ
〜で精留により留出する水溶性有機液体は管路１８を経
て、本体の空間Ｋに回収され、釜残は抜取管１７から棄
却される。

本考案装置を使用するにはまず洗滌室、水分離室等本体
槽１に洗滌溶剤を入れ、該溶剤を循環させると共に、加
熱器９ａを加熱して槽内空間に溶剤蒸気相を形成せしめ
る。

むろんその逸出するのを防止するよう凝縮設備を運転し
、凝縮液はこれを槽１内に復液する。

被洗滌物品を開放通路ｔを通って洗滌室３内に入れ、そ
こでゆすいで引上げれば、連通空間Ｋにおける蒸気相を
通過して物品は完全に脱水される。

溶剤は壁１ｇを溢流して水分離室４内に入って分液、つ
まり比重の高い溶剤は下層に、物品から奪われた水は水
溶液となって上層へと２層に分離する。

隔壁１１は、この分離がし易いようにこれら液相を不必
要に動揺させない役割を果す。

上層の水溶液は排水管１２を通って後述する除脱器に抜
きとられる。

下層である溶剤は隔壁１ｈを溢流して貯留室５内に入り
、循環路６ａ−７−６ｂを通って洗滌室３へと循環され
る。

溶剤の一部は管路８を通って蒸発室２に導かれて蒸気浴
の形成に使用される。

上の説明から判るように貯留室は溶剤を静止的ならしめ
、既述したその循環を容易ならしめる為のものであるか
ら、水分離室そのものに溶剤を静止的ならしめる部分が
設けられる限り、これを省略することができる。

また蒸発室２も殊更に槽１０部分として設けず、洗滌室
下部に加熱器９ａを設け、該室に蒸発室を兼ねしめうる
。

排水管１２から抜き取られて精留に付さるべき水を多量
に溶解した有機液体中には、少量のハロゲン化炭化水素
が含有されている。

この炭化水素は冒頭に述べたように本考案に使用する水
溶性有機液体の沸点よりも、その沸点が低いので、排水
管から抜き取った排水を直接精留にかけると突沸現象を
起して正常な精留が行われ難い。

これが為予め該排水中の・・ロゲン化炭化水素を除脱す
る為に設けられているのが除脱器１３ａであって、ここ
で第１図の例によれば、加熱器９ｂの加熱により、・・
ロゲン化炭化水素が除脱され回収管路１４ａを経て本体
槽へ返戻回収されるのである。

除脱後の排水が、管路１５ａを経て精留塔１６で精留さ
れ、該排水中の有機液体が本体槽へ管路１８を通って戻
されることは既記の通りである。

この精留は通常の精留操作と異らないから、リフラック
ス管等は省略して示しておいた。

このように本考案装置の著しい特徴点は除脱器の存在で
ある。

しかし、むろん第１図の加熱による・・ロゲン化炭化水
素の除脱に限らず、第３図に示したような比重差を利用
した除脱器１３ｂも有効である。

この除脱器１３ｂでは管路１２から入って来る排水は該
除脱器内で静置分液され、下層である・・ロゲン化炭化
水素は液状のまＳ管路１４ｂを通って本体槽１へ戻され
、上層たる水層は管路１５ｂを通って精留塔へ導かれる
。

その他の点は第１図の場合に異らない。

【図面の簡単な説明】

添付図面は本考案装置の一例を示すもので、第１図はそ
の模式的な縦断面図、第２図は第１図ＡＡ断面図、第３
図は第１図に示した除脱室とは別懇様の除脱室の模式的
な縦断面図である。 ■・・・・・・本体部、■・・・・・・回収部、１・・
・・・・本体槽、２・・・・・・蒸発室、３・・・・・
・洗滌室、４・・・・・・水分離室、５・・・・・・貯
留室、６・・・・・・循環路、７・・・・・・ポンプ、
８・・・・・・管路、９ａ、９ｂ・・・・・・加熱器、
１０・・・・・・凝縮設備、１１・・・・・・復液設備
、１２・・・・・・排水管、１３ａ。 １３ｂ・・・・・・ハロゲン化炭化水素除脱室、１４ａ
。 １４ｂ・・・・・・・・ロゲン化炭化水素返戻管、１５
ａ。 １５ｂ・・・・・・管路、１６・・・・・・精留塔、１
７・・・・・・抜取管。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １）水溶性有機液体を溶解含有するハロゲン化炭化水素
   系溶剤を収容し、表面に付着水を有する物品を前記溶剤
   中に浸漬して、その付着水を除去する洗滌室３、洗滌室
   で除去された水を、層分離によって溶剤から分離する水
   分離室４、該水分離室中に一端を開口した排水管１２、
   水分離室４から洗滌室３へ溶剤を循環させる溶剤循環路
   ６ａ−７−６ｂ、洗滌室および水分離室における両液面
   に連通し、かつ両液面外周上で槽壁１によって囲繞され
   た空間に１この空間を大気に開放する開放通路ｔ１該開
   放通路に装した溶剤蒸気の凝縮設備１０、こ〜に凝縮し
   た溶剤を洗滌室３または貯留室５を含む水分離室４に返
   戻する復液設備１１とを備えた本体部と、ハロゲン化炭
   化水素除脱器および精留塔を主体とした回収部とから成
   り、本体部の前記排水管の他端は、ハロゲン化炭化水素
   除脱器１３ａ 、１３ｂを介して精留塔に結合されてい
   て、ハロゲン化炭化水素除脱後の排水が精留に付され、
   こ〜に留出された水溶性有機液体と、除脱して得られた
   ・・ロゲン化炭化水素は共に、本体部に返還されるよう
   にして成る洗滌脱水装置。 ２）ハロゲン化炭化水素除脱器は加熱器とハロゲン化炭
   化水素返戻管１４ａとを備え、溶剤蒸気を、前記空間Ｋ
   または脱水槽１などの液中に開口した実用新案登録請求
   の範囲１）記載の装置。 ３）・・ロゲン化炭化水素除脱器に溶剤返戻管１４ｂを
   開口し、溶剤返戻管１４ｂの他端を前記空間Ｋまたは脱
   水槽１などの液中に開口した実用新案請求の範囲１）の
   装置。