JPS58173750A - 電子写真用感光体 - Google Patents

電子写真用感光体

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JPS58173750A
JPS58173750A JP5714982A JP5714982A JPS58173750A JP S58173750 A JPS58173750 A JP S58173750A JP 5714982 A JP5714982 A JP 5714982A JP 5714982 A JP5714982 A JP 5714982A JP S58173750 A JPS58173750 A JP S58173750A
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photosensitive layer
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Shigeharu Konuma
重春 小沼
Kunihiro Tamahashi
邦裕 玉橋
Akira Hosoya
細谷 明
Atsushi Tsunoda
敦 角田
Yasuki Mori
森 靖樹
Yasusada Morishita
森下 泰定
Shinichi Haruki
慎一 春木
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Hitachi Ltd
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Hitachi Koki Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G5/00Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
    • G03G5/10Bases for charge-receiving or other layers
    • G03G5/102Bases for charge-receiving or other layers consisting of or comprising metals

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Photoreceptors In Electrophotography (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電子写真感光体とその製造法に係シ、轡にレー
ザ・ビーム・プリンタに好適な感光体とその114造法
に関する。
導電基体上に感光層1有する電子写真感光体におりて、
従来、導電基体として軽量でかつ加工性の良いことなど
から、主として特開昭53−13423号公報に明示さ
れているようなアルミニクム(At)合金が使用されて
いる。一般に電子写真用感光体の4竃性基体は通常円筒
状に加工され、更に表向t−S密加工し、鏡面の状態で
゛実用に供される.し乃為し前記の即く加工する段階に
おいて、導電性基体であるAt合金が強加工上受けるこ
とにな〕、加工による残留応力の増大が避けられず、円
筒状での所望寸法からのずれ、特に一芯の発生がひどく
、感光層付加後における電子与真装賦への装着において
、@献な印刷性能を得がたいという欠点を有してV&た
本発明の目的は、寸法摺度に優れ、合格品の歩wプ向上
が図られる鬼子写真用感光体としての製造法を提供する
にある。
本発明看は時効硬化渥アルミニウム(At)合金の優れ
た機械的性質に着目し、従来の非時効硬化型At合金に
比べ、所望寸法までの加工による寸法変化の小なること
を見い出すと共κ、基体の硬度の向上等、電子写真感光
体用基体として性能向上を確認し、電子写真用感光体の
歩留シを大巾に向上させるという知見を得た。
本発明の電子写真用感光体は、導電性基体が時効硬化m
htAt合金ることを脣黴とする.また本発明の電子写
真用感光体の製造法は、時効硬化型At合金に時効硬化
熱処Mlを行一、該基体llj面t−椙密加工し、該基
体上Kill記感光層を真空蒸着および/tたは浸漬塗
工κて形成することを特徴とする。
本発明に使用する導電性基体は、硬度がビンカース硬直
で60HV以上の時効硬化型アルミニクム合金でつくら
れ九ものが望ましい。アルミニワム(At)合金は、非
時効硬化型と時効硬化型に大別され、前者は重性変形に
よる加工硬化によって硬化して釣るのに対し、後者は時
効硬化熱処理によって硬化する。
ところで鬼子写真用感光体に2いて、円筒状基体を用い
る場合には周知のごとく加工性が艮く寸法の経時変化が
少なめことが請求されAt合金が主として使用されて―
る。At合金は軟い友め、基体として使用する場合にそ
れを硬化する方法として塑性変形による加工硬化と熱処
理による時効硬化とがある。しかし基体硬化のうちで前
者の方法は《従来はこれによってφるが》寸法経時変化
が大きく、基体硬化法として不適である。他方、本発明
に用いる時効硬化mhtAt合金量でしかも加工性が良
く、円筒状態で偏芯(の寸法変化をおこす割合が少なく
、高硬度にすることができる利点を持ち、そして時効硬
化▲tを基板とすることが感光層の冷却効果に適合した
ものと予測さnる。
尚、円筒状基体において、偏心が生じた場合には、感光
体としてレーず・ビーム・プリンタ等に装着した場合、
回転による感光体の損れ、他装置とのマツチングのずれ
の資因となシ、ひiては印刷のピンボケ、印刷のむら等
、印刷性能を劣化させる為、極力小さくしなければなら
なi。
本発明で使用される時効硬化処理を合金の例としては、
次表1に示すものが挙げられる。
3!e1に一般に知られてする時効硬化型アルミニ9ム
の中から本発明者が精密〃ロエ性1時効便化処塩性等を
検討し次結果、JIS記号A −6063のAt−(0
,45〜1.2)%Mg −(0,2〜1.23%3i
合金が籍に優れていることを見−出した。
電子写真感光体の基体は第1図に示すような平板状、慇
2図に示すような円筒状等、用途に応じて所定の形状を
とシうる。な2、第1.2図において1は基体、2は感
光層である。例えば上記時効硬化mht合金を所望の形
状に成形し、所望の寸法近くに加工し、時効硬化処理埋
t190〜210Cでα5〜1時間行い、更に基体狭面
t−鏡山になるように積置加工して所望の寸法に仕上げ
、基体t−洗浄処境して、後の感光層蒸着工程に送る。
この一連の工程は第3図に示しである。
このようにして得られる基体のiII度はピンカース硬
直で60)IV以上であることがi!ましい。このよう
に^硬化することによ)、次のような効果が得られる。
1)非時効硬化人を合金に比し、所望寸法にNvB加工
する途中で時効硬化熱処理が施ζされることによジ、加
工による基体の浅域応力、加工歪等の低減がなされ、寸
法精度、籍に偏芯の少なi基体が得られる。
2)偏芯の少ない基体が得られることによシ、電子写真
感光体の基体として、襄造の歩、留シの同上がはかられ
ると共に、感光層蒸着後にレーザプリンタ、複写機等の
装置へのマツチングにすぐれ、鮮明なiiI儂の提供が
な逼れる。
3)時効硬化処理によシ、基体が高硬度になる等jlの
機械的性質が向上することにょ9、樗密加工性能2機械
的損傷、衝撃性にすぐれ、取扱い性能が向上する。
4)基体に硬い感光層が付与されることにょシ、電子写
真感光体として、装置組み込みによって、記録用紙との
接触画像形成粉体のクリーニング彎による耐摩耗性が向
上し、印刷性が増大し、長鱒命な感光体となる。
次に、本発明の一実施例についてis!明する。
まずJIS記号A−6063の合金の押し出し管kfI
望寸法のα5m5tlまで旋盤で荒加工を行った恢、焼
もどし時効硬化処理を施こし、さらにPfr望寸法であ
る外径26L8■、内径250■、長さ430−にsu
m工(−面加工)を行った。この時の両端sKおける寸
法変化即ち偏芯は0.03■以下で、従来の使用合金で
あるJI8記号A −3003のAt−(1,0〜1.
53%Ml’1  合金に比べ極めて偏芯が小さく、ま
7tff密加工性の良いことが認められ次。
以上の如く作製した導電性基体に感光層として次の物質
を真空蒸着法、浸漬塗工法あるいは七nらの画法の併用
等で作製した。
1)8C又は8CとBe合金の積層 2) 8e又rise合金とPVK(ポリビニルカルバ
ゾール)を主体とした有機層 3)PVKt−主体とし九壱機層とBe又はBe合金層 4)PVK、7タロンアニンIA科士プチラノールm脂
等を用いた有機層 5)Cd8711 6)Zn2層 以上の感光層を付着せしめて電子写真用感光体として、
レーザ・ビーム・プリンタに実績した結果、回転による
感光体の振nが少なく、ま7を現儂器等の他装置とのマ
ツチングに優れ、従来の感光体に比べ印刷のむら、ビン
ぼけ等の印字性能が向上することが明らかとなシ、導電
性基体並びに感光体としての合格品の歩留ル向上が飛躍
し几。
導電性基体上に感光層□としてBeやそれを主成分とす
るSe合金、或いはCd8.210等の無機系感光層及
びPVKて代機される有機系感光層又は前記無機基と’
11機系を積層したいわゆる複合感光層等kmする電子
写真用感光体は、その静電現象と光導電効果を組み合せ
良電子写真印刷amにおいて明瞭な印刷性能を持つが、
導電性1体の寸法種度が印刷装置とのマツチングの上で
印刷性能を左右する。藷に非時効硬化mht合金に比べ
時効硬化型At合金が導−性基体として便用される所望
寸法までの稽密加工時に受ける加工歪、浅域応力による
寸法変化が小さいことを見い出し、それが導電性基体及
び電子写真用感光体の歩留り向上に大きく寄与すること
が判明した。
次に本発明における感光層の例として8e會土体とする
−のを用−る場合について説明する。
基体上に形成される感光層ri例えば無定形8C又ri
se合金から真空蒸着法によってつくられるが、Be合
金としては、5et−主体にして、更に’J’s、 S
b、AI等を添加元素として含んだものを用いても良−
6 感光層の膜厚は通常40〜100μmである。
電子写真用感光体の耐印刷性を高めかつ長寿命化7には
かるには、感光層の表dA硬度を高める必要がある。B
e系感光゛層の我国硬度の量定は、ビッカース−IIL
llll定法が採用できないため鉛筆硬度試験法が採用
されている。この方法は第4図に示すように、軸木3で
かこまnた芯4の硬さの違う鉛1&を用い、感光層&面
5に芯4を平らにして角度60°で撤し一定応力で矢印
の方向に押しつけ表向の凹凸を生□じないと右の鉛筆の
漱萬の硬度をもって表面硬度とする方法である。
感光層の表面硬直を鉛筆硬度で5量以上の硬さにするこ
とKよプ今までにない優れた耐印刷性。
長寿命化が得られることが本発明看によって初めてわか
った。t4面硬装が鉛線硬度で5量以上の硬さの感光層
を得るには、機々実験の結果、一つの要因として、基体
のi11度をビッカース硬度で601(v以上にするこ
とが望ましいこと、また他の要因として、真空蒸着後祷
られた感光層を形成し九基体を冷却速度で5量7分以上
の急速冷却をすることがWlましことがわかつ几。
冷却速fは蒸着終了時の基体表面温f(約60C〜80
C)から30Cまでに冷却場れる平均階動速度で示す。
基体弐面温度はpt−pt−Rh抵抗欄温体(シート型
)を用い基体3!Ii山に貼付して測定する。蒸着後の
基体の冷却はマンドレル内へ樵々の温度の冷水(−20
(:’ 〜30C)t−注入し、*lI i セルと共
に、真空槽内に大気t4人して放冷すればよい。大気導
入によp1マンドレルからの熱伝達能が着しく向上し、
真空槽内が大気圧と等しくなると同時に基体の諷[はマ
ンドレル冷水−直と一敢する。    ゛ 時効破孔型At合金(硬度60HY)を主体として用い
た時の感光層表面の鉛筆硬度と冷却速jlLとの間には
纂5図に示すような関係がある。なンこのと111!用
した時効硬化mAt合金の組成はAt−(α20・=α
60%)8量−(0,45−α9)Mg(JIS記号A
−6063)である。
第5図から明らかなように感光層の表面硬直を鉛線硬度
で5量以上の硬さにするには冷却速度を5C/分以上に
する必要があることがわかる。
また基体及び感光層の冷却は冷却媒体として冷水の他、
液体&1素、液体Heなどの極低温冷媒の通用が可能で
あ)、冷却気体としては空気の他窒素ガス!At等の不
活性ガスも適用できる。この表cfl硬化機構は理論的
に必ずしも明らかでないが、こnoseについて説明す
ると次のとお9である。
8eo蒸着における基板上での成膜過楊は、まず分子状
8Cとして蒸発したBeが基板上で凝集し、冷却過機を
経て感光層となるが、良好な電子写真特性奢得るために
は、基板温fをBeの軟化一度以上、結晶化囲始龜度未
満に加熱する必要がある。
したがってBeの蒸着中において、基体上に凝集し7t
Seは軟らかい状腿であシ、その状層から軟化fill
禾滴の温度へ急冷することによシ、g属時の内部応力等
がそのまま保持され、破り構造の感光層となる。筐た基
板はSCo膜中に、生ずる応力の受容体として、すなわ
ち外部応力に対し強力でなければならない。このことは
基体の機械的性質が曳いCと、換言すると硬度が烏iこ
とが要求される。基体硬度が高いことは基体の機械的性
質を増大することとなり、感光体として優れ次性質を持
つこととなる。
なお従来使用されているht合金基体は非時効硬化型の
もので硬度がビッカース硬直で25−40)IVのもの
であるが、このような基体を用い。
ても感光層の表面硬度を鉛筆硬度5H以上の硬さには、
すくら冷却速f七大自くしても、′″c11な−ことも
判明した。
感光層の表面硬度(鉛筆硬直)と印刷における寿命(I
c、 )、即ちレーザプリンターでの寿命(印刷ページ
数)の間には第6図に示すような関係がある。
使用した記録用紙は55KI1紙である。
印刷ページ数は鉛筆硬度が高くなるにしたがい増加し、
1つの感光体で150万ペ一ジ以上印刷に耐えるには5
H以上が必要である。このことから?I4硬度感光体に
することにより、感光体の寿命が大巾にのびる仁とが明
らかである。
実1/IA?!11 第3凶に示す1機に従い、電子写真感光体t−得た。即
ち、電子写真感光体の基体としてJIB−A6063.
At−(0,20〜0.60)%5i−(0,45〜Q
、9)%Mg組成の押出管を用い、所望寸法(−261
,8X260t)に対しα5謹の削9代を残してalf
fiによる荒加工を施こし九その後、時効硬化熱地ff
lを約2050で41時間行った(ビッカース硬度60
HV)、その後、基体表iilを一面に精W加工を行い
、所望の寸法に仕上げ、基体洗浄地塊を施こし九。次に
感光層<se>t−真空蒸着した。蒸着鋼杆は蒸発ボー
ト温[30(1,A着速度約I J In 7分、基体
温960〜80”l:’である。
蒸着終了後基体と感光層を1真空槽内の基体ホルダーで
あるマンドレルへ冷媒を注入すると共に大気を導入して
急冷しく約XOC/分)、鉛筆硬直5Hの感光層を肩す
る感光体を得た。
なお、円筒の加工後の偏芯はα03■以下であった。
実施例2及び比較省 感光層としてset使用し、基体としては、HVZ5〜
3Gの純At1従米のHV40のAt−(α05〜0.
2Q%) Cu −(1,0−1,5)%MnのAt合
金(JIs−3003)合金、HV60及び80のAt
−(α45−α9%)Mg−(0,20−0,60%J
8j合金材料t−便用した。
Beの蒸着は実施例1と同様基体回転及び加熱冷却機構
金偏えたマンドレル臘真空蒸着装置を用いた。基体ドラ
ムの表面を鏡面に積置加工tmこし脱脂洗浄処境會行な
った後8e蒸着を行なった。
蒸着条件として基板温Iitを8eの軟化m2以上、結
晶化開始温に未満である60〜80’CK保持し、Be
g着速度α85#m/分〜1.254m/分の軸自内で
種々の硬Ifをもつ基体上に真空蒸着し、t0蒸着完了
後速やかにマンドレル内に冷水t−儂濃、!ぜると共に
真空槽内に空気を導入して冷却を行なって感光体を作勇
した。
次に基体硬度、冷却速度及び感光層の鉛筆硬度試験法に
よるS5!面硬匿の関係を表2に示す。又前記感光体を
高速ノンインパクトプリンタに組込み印刷試験を行ない
、%4ilI!度の感光体について現状を示す基板硬[
:HV40、表面硬度3Hの感光体と耐機械的損傷及び
印刷性′f:観察対比し、その結束1kl!j3に示す
表  2 表   3 Δ 従来の感光体と同じ。
× 従来の感光体より劣る。
Q 従来の感光体よシ良い。
◎ 従来の感光体よ〕優れている。
(江)従来の感光体 基体表向一度25〜40HV感光
層表面硬度3H〜4H 前記夷−から従来の基体であるビッカース硬度25から
401(Vの基板を用いた場合基体及び感光層の冷却速
度が上昇するに従い表向硬度は増すが5C7分以上にな
ると平衡に違し、最大4Hである。ところが基体硬度が
60)IV以上になると冷却速度の上昇に従いtR向#
!屓は増加し冷却速度5C/分と86C/分では5Hと
なシ、10.3C/分でd6Hとなる。したがって表向
#!縦は冷却速度と同時に基体一度にも大きく依存し、
仮米のような軟質な基体を用いても感光層の表面硬度を
高めることは困−でめシ、l1ll−表向硬度を持つ感
光層を4るためには基体硬度601(V以上、冷却逼t
iG/分以上の条件が必賛であることが−めらnる。
印刷試験に$?−一ては鉛*4+l!J[2Hの感光体
は数千ページ印刷によシ感元層表面に傷が発生し、印刷
性艷を低下させた。鉛筆−に3H及び4Hの感光体に4
〜5万ページ付近から傷の発生が見らnlし友いに印刷
性lll!會低下させた。蛤I&硬直5H及び6Hの感
光体はlO万ページ印刷しても感光層tR向への傷の発
生がなく、を几印刷性能も他めて良好でめった。
またドラムの一芯[riミドラム430簡に対しa、0
3■以下でめった。
実Altfl13 前記時効硬化mAt合金を荒切削加工後、205Cで6
0分の時効硬化熱処理1r:施こしfI−後、外径φ2
601内径φ25Gの円筒状の所望寸法に精密加工を行
い、洗浄錫塩t−抛こした。なお円筒長手方向の偏芯F
io、oa■以下でめつ友。この基体に有機感光体でめ
るβ溢フタQ’/アニンjlI科(大日本インキ社製、
ファーストゲンブルーFGF )2真意部とブチラール
樹脂(ユニオンカーバイト社製、XYHL)1重量Sを
キシレンを浴剤とした61量%の溶液になるよりにして
、ボールミル(日本化学陶業社製)で5時間混練して、
電荷発生物質血液とし、この血液t1!!潰法で円筒K
l!工し、乾燥して電荷発生物質の層(電荷発生層)を
形格した。この層の膜厚蝶、約3amである。次に熱硬
化截アクリル系重合体を以下の方法により合成した。1
tO三つロフラスコにかきまぜ機。
窒素導入口、温度針、R1&コンデンナ−をつけた。
このフラスコに191重量部の乾燥し次蒸留キシレンを
入れ、ゆつくプ窒IAを流しながら136Cに熱する。
135重量部のメタクリル酸メデル、80嵐量部のアク
リル酸エチル、30重量部のメタクリル酸、55重量部
の 0ど” CH*=CCNHCH*QCaHe 1 6重量部の一、*ai化ジー纂3fiJLブチル及び3
重量部の第3繊−ドデシルメルカプタンの混合物を11
5時閲かけて加え次。マントルヒーター−調節するか、
又は空気をフラスコの弐mK吹きつけて温度を136t
:’〜143CK保ち、65Cまで冷却し、それから1
00重jlsの無水エタノールを加え、熱硬化製アクリ
ル系重合体溶液を得た。このlv液の固体含有量は51
.3重量%である。
次に上+1iJi敵10重量部に、硬化剤としてエピク
ロルヒドリン−ビスフェノールAタイプのエポキシ樹脂
(シェル化学社製、EpOn 828) 2重量部1に
加え、罠に溶剤としてトルエンを加えて、固体含有量z
omt%にした。この1m液に、下記構造式の電荷搬送
物質(日本感光色素研究所製、NK−1347)tlO
重量部加えて攪拌によシ完全に溶解させて、電荷搬送物
lX皇at得た。この慮液t−i#紀電荷発生層上に、
浸漬法によ)車重を行い、塗工後、100Gの乾燥機中
に30分放置して浴剤を除去した俵、31に乾燥機の温
度を上げ、130Ll’の雰囲気中に1時間放置して、
緒着剤樹脂を硬化ざぜた。こうして得られた電荷搬送層
の膜厚は10μmで6つ九。この感光体tレーザ・プリ
/りに装着し、印字試験を行ったところ鮮明な画像が得
られ次。籍に感元層皇工前の円筒基体の一芯が少なく歩
留〕向上がはかられた。
以、上の憬に時効硬化mA4合金を基体として、時効値
化熱処堀′1kjIilICシ、無+IAあるいは有機
の感光層を有する感光体とすることによって、基体の歩
留り向上、鮮明な印字、長痔命化がなさnる。
便って無機と有機の複合層感光層等、電子写真方式の感
光層′t−有する導電性基体に最適であることが緒めら
れる。
以上の説明から明らかなように、基体として時効嬢化臘
ht合金で表向硬度が60HV以上のものtR用するこ
とによ)得られる電子写真用感光体の寸法n1度が向上
し、また基体を円筒状に成形加工し7を1合偏芯が着し
くなくなシ、従って円筒製造の歩留シが看しく向上する
という効果が得られる。tた、基体41[をピンカース
硬直で60HV以上、基体及び感光層の冷却速fi+を
毎分5C以上の条件を併用することによプ、前記蒸着傘
件によって表面硬直5H以上の従来よJ)16硬度な感
光層?:肩する感光体を得ることが可能とな)、耐aI
IllI的損傷に強く、印刷性能を低下させず長鍔命化
をほかることができる。
【図面の簡単な説明】
纂1図は本発明の電子写真用感光体の平板状のものの部
分断thI図、第2図は本舛明の電子写真用感光体の円
筒状のものの部分断面図、第3図は本発明の電子写真用
感光体の製造工種の一?IIt−示す70−図、8g4
凶は鉛筆硬度試験法を示す概略図、第5凶は1′v却速
直と感光層の鉛筆硬賦との関係を示す特性図、第6図は
感光層の鉛筆硬度と寿命との関係を示す特性図である。 1・・・導電性1体、2・・・感光層。 第4図 冷却速度 (’e/M/N) 第6図 鉛 1F石更麿 第1頁の続き 0発 明 者 森下泰定 日立市幸町3丁目1番1号株式 %式% 番2号日立工機株式会社内 0出 願 人 日立工機株式会社 ゛    東京都千代田区大手町二丁目6番2号

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、導電性基体上に感光層を設けてなる電子写真用感光
    体において、前記導電性基体が時効硬化型アルミニワ五
    合金でなることを特徴とする電子写真用感光体。 2、前記導電性基体の硬度はビッカース硬駅で60HV
    以上であること1t−11/igLとする特許請求の範
    囲第1項記載の電子写真用感光体。 3、前記時効硬化型アルミニクム合金がAt−Mg−8
    t系合金、At−CujvI合金、At−stAt−5
    t−系合金、或いはAj−Mn−Mg−Zn系合金であ
    る特許請求の範8第1項または12JJ記載の電子写真
    用感光体。 4、前記感光層の表面硬度は鉛線硬度試験法で5H以上
    であることを特徴とする特tf請求の範囲7s1項乃至
    #E3*のいずれかく記載の電子写真用感光体。 5、前記感光層は、Be層、Be合金層、有機化合−系
    の層、CdS層、或いは280層の、単一層tたはこれ
    らの層を組み合わせ次積層であることt−物像とする特
    許請求の範囲第1項乃至第4項のいずれかに配線の電子
    写真用感光体。 6、前記感光層は、無定形5e又は8e合金で作られた
    層であることを特徴とする特許請求の範囲181項乃至
    縞4項のいずれかに記載の電子写真用感光体。 7、前記*機化合物系の層は、PVK(ポリビニルカル
    バゾール)t−主体とする層或いは7タロシアニン系顔
    料を含有する層であることをq#愼とする特許請求の範
    囲第5項記載の電子写真用感光体。 8、前記PVKを主体とする層は5eまたはBe合金を
    含むものであること1に%黴とする特lFF請求のat
    囲II7項記載の電子写真用感光体。 9、#J記導電性基体が円筒状でめ)、前記感光層は該
    円管の外周面に形成さnて−ることを特徴とする特許請
    求の範囲第1項乃至第8項のいずれかに記載の電子写真
    用感光体。 10、前記導電性基体が平板状であることを特徴とする
    *i!f鶴求の範囲第1項乃至第8項のいずnかに記載
    の電子写真用感光体。 11、導電性基体上に感光層を形成するに際し、前記導
    電性基体として時効硬化型アルミニワム合金に時効硬化
    熱処理を行−1該基体表#Jを精密加工し、該基体上に
    前記感光層を真空蒸着および/または浸漬艦工にて形成
    することt%黴とする電子写真用感光体の製造法。 12、前記導電性基体の硬度がとツカース6i!1にで
    6()HV以上であることを特徴とする特許請求の範囲
    !11項記載の電子写真用感光体。 13、前記感光層の表面硬直が鉛筆硬度試験法で5H以
    上であることを特徴とする請求 第11項または第12項記載の電子写真用感光体。 14、#記導電性基体上に前記感光層を真空蒸着した後
    、得られた基体および感光層を急速に冷却することt%
    像とする%軒請求9範囲總1l項乃至第13項のいずれ
    かに記載の電子写真用感光体。 15、前記感光層形成後の急速な冷却を減圧下または大
    気圧下で行うことt41黴とする特許請求の範囲第14
    項記載の鬼子写真用感光体。 16、前記の急速な冷却を冷却速[5C/分以上C行う
    ことtq#黴とする特許請求の範囲第14項1たは31
    115項記載の亀子写真用感光体。
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