JPS58169027A - 変位測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、変位測定装置に関するものであり、Ｉ！に詳
細に述べるならば、皺−置物に設けられて、検出素子に
′０＃及び′１＃とじて弁別できる信号を発生させるこ
とかで１１ゐ符号化領域を有するコード部材と、そのコ
ーＰｓ材の符号化領域を検出してコード部＃Ｏ変位に応
じて亙に９０′″位相がずれ要請１及び鎮２の検出信号
をそれぞれ発生するようＫなされ要請１及び蒙２の検出
手段とを使用する置式の変位調定装置に関す石ものであ
為。

この種の変位一定装置においては、コーｒｉｇａ材の愛
位に応じて第１及び蒙２の検出子ＩＩｔ＃ｉ、請１１１
に示す如く位相が９０°ずれた検出信号＾及び−をそれ
ぞれ出力すＪｌ、そして、そのような検出信号をカウン
トして変位量を求めるために、従来の変位測定装置にあ
っては、コンデンサと抵抗勢を用いえ微分回路に検出信
号を印加して、検出信号の立上り父は立下り又はその両
方に対応する／４ルスを得ていた。

しかしながら、微分ｍ１ＩＫ使用されるコンデンサ中抵
抗線温度依存性が高く温度変化による影響によってスレ
ッシニレベルの変動を自たし誤差の原因となり信頼性が
低下する。さらにエツジの検出に相当分の微分回路の必
要が生じ−、構成部品点数の増加を来し、これらの集積
化も容品でないことから変位測定位置の電子回路の構成
が複雑化し小型化の障害となる。

を九、この種の変位一定装置に使用されている＝−ド部
材の符号化領域に設けられている個々のコード唸、互に
同一のもので＃）シ、個々に区別はできない。従って、
その検出信号をカウントすることＫよ）、前述の如く羨
位量を求めることができる。すなわち、コードの型式は
、いわゆるインクリメント式である。このインクリメン
ト式コードは、予じめ決め九絶対原点を基準として、コ
ード部材に個々に区別できるコードを順次設けてゆき、
そのコードを絖み龜るだけで位置を知ることができるい
わゆるアブソリエート式と対比されるものである。アブ
ソリエート式は、信頼性が高い反面、構造が豪雑であり
高価である。そこで、アブソリエート式に比べて構造が
簡単で安価であるインクリメント式が広く利用されてい
る。

このインクリメント式での蜜位側窒においては、検出信
号のミスカウントが千まま調定誤差とを砂、これが、ア
ブソリエート式に比べて信Ｉｌｌ性が低いといわれゐ主
な原因である。そして、とのきスカウントは、検出手段
の出力が低下した場合や、正確に９０′″位相がずれて
いるべ！１２つの検出信号の位相差が大幅に大きくなっ
たり反対ＫＩｉ端に小さくなったりし九場合や、コード
部材が検出手段の応答速度以上の速度で変位した場合等
に、＠きる。具体的にみるならば、コードｍ材Ｏ変位速
度が適過ぎることＫよって生じゐミスカウントは、検出
手段の応答遣変という素子や回路の特性によゐものであ
り、避けることはできない、まえ、位相差のずれｋよる
ミスカウントは、互に？Ｏ”位相がずれているべ＊ＩＩ
Ｎと第２の検出信号の立上り管えは立下りまたは両方を
示すノ譬ルスの間隔が小さくなり、カウンタがそれら／
譬ルスを判別できなくなり、きスカウントするためと考
えられる。　　゛そして、そのような位相ずれの原因は
、光学的検出の場合Ｋｉｔコード部材部材フィンデック
ススリット光素子の位置ずれが考えられ、磁気的検出の
場合ＫＦｉ、コーＰ部材や磁気検出素子の位置ずれが考
えられる。　Ｉ！に、検出手段の出力の低下は、検出信
号を１０”と１１”の符号に符号化しにくくなる九めに
％ミスカウントを招くものである。

そして、この検出手段の出力の低下は、光学的検出の場
合ＫＦｉ、発光部、コード部材、インデックススリット
、受光素子等の汚れ中、発光素子への印加電圧の低下や
、発党素嵩若しくは受光素子の異常が考えられ、磁気的
検出の場合に／Ｉｉ、コード部材上の磁性材ｌＩＩ面の
汚れ、コード部材と磁気検出素子との離間、磁気検出素
子の異常轡が考えられ為。

しかしながら、このよう１に々スカウントの間−に対し
て従来何ら対策が講じられておらず、友だ特公＠５Ｂ−
４２５２４号会報が、検出手段の出力を常時所定レベル
と比験して、検出手段の出力が低下したとき警報を尭す
Ｊｌｌｌ路を開示していゐ友けである。しかし、この会
報に示畜れる警報−路け、検出手段の出力に所定レベル
を越え為ノイズがあゐ場合、そのノイズが所定レベルを
越えるととＫより、異常なしと判断し、レベル検出に十
分な信−性がない。

そこで、本発明は、コンデンザ中抵抗勢から碌る微分回
路を全く使用しない変位調定装置を提供せんとすゐもの
である。

１！に、本発明は、上述し大如きミスカウントの警報を
発す石ようＫなされえ変位調定装置管提供せんとする−
のである。

ＷＫ具体的に述べるならば、本発明の第１の目的は、微
分回路を使用す１代１１に、クロッタノ臂ルス発生器を
使用し、検出手段からの検出信号の零タロス立上り又は
立下りのような所定の軟部とはぽ時間的に一致す為クロ
ック／譬ルスを抽出して、その抽出し九り■ツクノ譬ル
スをカウントして変位量を欄定する賓位調定装置を提供
せんとす為ものであ為。

壕え、本発−の第２０目的は、被測定物の変位速度が所
定値以上になったとき警報を発すゐ襞位調定装置を提供
せんとするものである。

１２に、本発明の第３の目的は、互に９０′″位相がず
れているべき第１及び蒙２の検出手段の蒙１及び第２の
検出信号の位相差が所定値以下になったと自譬報を発す
る変位一定装置を提供せんとす為ものである。

ＷＫｔえ、本発明のｊｌＩ４の目的は、検出手段の出力
が所定値以上にあるかどうか高精賓で判別するために、
検出信号が最大値又は最小値となゐタイミングに検出信
号な基準値と比較して警報を発するようＫなした変位測
定値置を提供せんとする亀のである。

すなわち、本発ｆ！によるならば、ｗａｉｔ定物に置物
られてお壷、且つζ・検出素子ＫＩ　ｏ　＃及び１１＃
として弁別できる信号を発生させることがてきる符号化
領域を有す為コード部材と、コーｐＨ材の符号化領域を
検出するように配置されており、且つ、コード部材の変
位に応じて、互に？Ｏ”位相がずれ九１Ｉｉ１及び１１
２の検出信号をそれぞれ発生するようＫｔされ要請１及
び第２の検出手段と、＄１１１１及び第２の検出信号を
それぞれ受けて＃１１及び＃１．２の矩形波信号をそれ
ぞれ発生する第１及び第一の矩形波変換回路と、第１及
び第一の矩形波信号を受けてコード部材の変位方向を示
す方向信号を発生する方向弁別器と、第１及び第一の検
出信号の繰返し周波数より高い繰返し周波数のり讐ック
ノ辛ルスを発生するクロック／ｆルス発生器ト、第１及
び第一の矩形波信号の少くと４一方とりはツクノ豐ルス
とを受けてその矩形波信号の立上ヤ及び立下シの少くと
も一方とほぼ一致するタロッタノタルスを出カッぐルス
として出力するエツジ検出器と、方向弁別器よりの方向
信号に従ってエツジ検出器よりの出カッぐルスを加減算
カウントするアッグＩクンカクンメと、アッ！ダクンカ
ウ／りのカウント値を表示する表示器とを具備すること
を特徴とする変位測定装置が提供される。

以上の如く、コンデンサや抵抗等からなる微分回路を使
用する代りに温度依存性の少ないデジタル囲路によ）構
成し、温度変化の影響を減少させ信輌性の向上を図９、
さらに部品点数の減少にょ９羨位綱定鵜置の電子囲路の
構成が簡単ＫＩＪ）且つ小樽化も図れる。

本発明による変位測定値置け、コール部材の選択により
、直線変位の一定にも、角変変位の一定に％使用できる
０例えげ、トランシットの仰角即ち高度角中水平角を一
定する場合には、円板状のコード部材を一転軸に取付け
、そのコード部材のＮＨＫ、符号化領域を設け、その符
号化領域に相対して２つの検出手段を配置すればよい、
また、工作横棚の直線運動部材Ｏ変釘量を一定する場合
ＫＦｉ、例えば、符号化領域が一直線に配置されえコー
ド部材をそＯ直線這動郁材に設け、その符号化領域に相
対して２つの検出手段を配置すればよい。

管え、本発−による変位測定値置で使用するコ−ｒｓｗ
ｔｉ、光学式でも磁気式で−よい、磁気式の場合Ｋｔｊ
、コーｙＩｌＩ材の符号化領域を例えば磁気格子で形成
し、検出手段として磁気ヘラＶを用いることかで１１為
、一方、光学式には、透過式と反射式とがあるが、透過
式の場合には、コーｙＩＩ材の符号化領域にスリットの
ような逓＠部を一定の間隔で形成し、そのコーｒｓ材の
符号化領域を挾むように一方の儒に発光素子のような光
−を饋き、他方の憫に検出手段として受光素子を置けば
よい０反射式の場合ＫＦｉ、コード部材の符号化領域に
、反射部と不反射部とを交互に設け、その符号化領域を
照明するように発光素子のような党―を配置し、そして
、反射部からの反射量を受けゐ位置に検出手段として受
光素子を配置すればよい。

本発明による上達した焚付一定装置ＯＩＩ論例は、エツ
ジ検出−よりの出力パルスを受性てカウントするカウン
タと、り■ツクＩ譬ルス発ＪｋＩＩよりのクロックツ々
ルスを受けて分目してクリア信号をそのカウンタに出力
すゐ分目−とを有して市つンーの出力をコード部材の変
位速度として出力すゐ適度検出装置をＷＫ具備すゐ、そ
して、好會しくは。

この遭変検出ａｔは、変位速度の上限を設定す為連変設
定器と、カウンタよりのカウント出力と上購遭変設定−
よりの設定値とを受けてカウント値が設定値を越え九と
自信号を発生ずる比ＩＩｌ！−とを更に有し、比較ＩＩ
が信号を発生したと＊＊示量がそＯＩＩ示を行う、この
ようにすることによ参、変位が遠退「為ことによる謀計
−の可能性をオペレータが知ることができ、オペレータ
は再度ゆっくりとじ九遮賓で被測定物を変位させるとと
により、正確な変位調定値を得ることができる。

Ｗｌｋ本発明によゐ変位測定装置の一＊ｍ例では、エツ
ジ検出−は、１１１及び第２の矩形波信号の両方とクロ
ックパルスとを受けて鮪１及び１１２の矩形波信号の立
上り及び立下ヤとはは一致するクロックパルスを出力パ
ルスとして出力するようＫなされる。このようＫすると
とＫより、矩形波信号の一方の拳の立上ヤ又は立下ヤと
はは一致す石りロック／譬ルスを出力／奢ルスとして出
力する場合よりも、高精度の変位測定をすゐことができ
る。

を九、本発明による変位測定装置の一実施例では、クロ
ツタパルス発生器は、亙Ｋ　／％イレペルである瞬間が
一致しないように位相が異なる同−鴫波歇の算１及び蒙
２のタロツク／４ルスを発生するように構成され、そし
て、エツジ検出１１１Ｕ、ＩＩＥｌ及び第２０矩形諌信
号の両方と＃１１及び第２のクロックツ譬ルヌの両方を
畳重て、第１の矩形波信号の立上り及び立下りとほぼ一
致する第１のクロックパルスと、＄１１２０蟻形練信号
の立上り及び立下りとはぼ一致する第２のタロツク／４
ルスとを出カッ９ルスとして出力す石ように構成する。

このようＫ１１ｌ威すれば、第１の矩形波信号の立上抄
と立下りとほぼ一致するタロツク／４ルスと、第２の矩
形波信号の立上りと立下りとは埋−散するタロツク／４
ルスとが、時間的に重なり合うことはなく、被測定物の
変位速度が高くて４正確な測定をすることができる。

そしてまえ、本発明による変位測定装置の実施例は、ク
ロツタパルス発生器よ如のりｐツク／曹ルスをカウント
してエツジ発生器よ）０出力／曹ルスでクリアされるカ
ウンタと、位相差設電−と、カウンタかものカウント値
と位相差設定器よ伽の設定値とを受けてカウント値が設
定値を越え九と自異常信号を出力す為比較−とｔ有する
位相差検出装置を更ＫＡ備し、位相差検出装置の比較器
が信号を出力し九と＊＊来示−その表示を行う、このよ
うＫ１１ｌｌ威するこ七により、亙に９０＠位４１がず
れているぺ自錆１と１ｓ２の検出信号の位相差が小さく
なつ九えめにエツジ検出器よりＯ出力Ｉ奢ルスの間隔が
小さく１ｋＩＪ、その結果、カウンタがミスカウントす
る可能性を、オ（レータが知ることができる。従って、
オペレータは、その位相ずれを起している原因を除くよ
うに必要な調整中保守を行い、再度一定を行うことＫよ
如、正確な変位調定値を得為ことができる。

更Ｋｔた、本発明による変位測定装置の実施例では、エ
ツジ検出器は、第１の矩形波信号の立上り及び立下Ｊｔ
Ｋｆｉは一致するクロックパルスを第１の出力／４ルス
として出力し、第２の矩形波信号の立上勤及び立下ヤに
はは一致す為クロックツ苛ルスを第２０出力）臂ルスと
して出力す為ように構成され、更に、変位測定装置は、
第１及び第２の検出信号をそれぞれ−受けて、それぞれ
の検出信号のレベルをその検出信号と？Ｏ＠位相が異な
る検出信号よ）得られえ出力／ｆルスと一致するタイミ
ングで基準レベルと比較し、基準値よ〕小さいとき信号
を発生する一対の出力検出器からなる出力検出装置を異
端し、その出力検出−が信号を出力したと！表示器がそ
の表示を行う、そして、好ｔしくは、各出力検ａｌｌｌ
Ｂは、検出信号を最大基準レベルと比較する第１の比Ｉ
ＩＩＩＩｌと、検出信号を最小基準レベルと比較する第
２の比較器とを含んでいる。このように構成することＫ
より、検出信号が最大値又は最小値となるタイミングで
基準レベルと検出信号が比較されるので、検出信号が基
準レベルより大きいか小さいかｔノイｉＫ影響されず確
実Ｋｍ定できる。そして、異常表示がなされたときに１
オ（レータがそのような出力低下をも九らす原因を除く
ように必要な調整中保守を行って再度一定を行うととに
より、正確１に変位調定値を得ることができる。

ＷＫ本発＠によるならば、被測定物に＠叶られており、
且つ、検出素子ＫＩ　ｏ　＃及び１１＃として弁別でき
る信号を発生させることかで論ゐ符号化領域を有すゐコ
ード部材と、そのコーｒ＠材の符号化領域を検出するよ
うに配置されてお勢、且つ、コーｙｌＩ材の変位に応じ
て、互に９０１位相がずれた第１及び蒙２の検出信号を
それぞれ発生するようＫｅｙれ要請１及び蒙２の検出手
段とを具備して、第１と＄２０検出検出上から変位方向
を判別して第１と第２の検出信号の少くと４一方をカウ
ントして変位を一定するようになされえ変位調定装置に
おいて、第１及び第２の検出信号を受けてその位相差を
検出す為位相差検出器と、位相差検出器の検出し先位相
差が所定の範囲内であるかどうか判別すゐ判別器と、判
別−が位相差が所定範囲外と判別し九と＊＊示を行う表
示器とを有する位相差検出装置を設ける。そして、本発
明によゐこの変位調定装置の一実施例は、ｔｓｌ及び＄
１１２の検出信号をそれぞれ受性て第１及びＩＩ２の矩
形線信号をそれぞれ発生すゐ第１及び絡２の矩形波変換
■賂と、第１及び鮪２の検出信号の繰返しｍｓ数よ如高
い繰返しｌＩ披数のクロツタ・々ルスを発生するタロツ
クパル１発生−と、絶唱及び第２０矩形績儒号とタロツ
クパルスとを受けて雛１及び第２０矩形績儒号の立上拳
及び立下りとほぼ一致するタロツクパルスを出カッ々ル
スとして出力するエツジ検出器とを更に具備しており、
そして、その位相差検出器は、タロツクパルスをカウン
トして出力／４ルスでクリアされゐカウンタで構成され
、判別Ｓは、そのカウンタから出力されるカウント値を
位相差設定−より設定値と比較してカウント値が設定値
を越え九とき信号を出力すゐ比較器で構成されゐ、こＯ
ようＫ１１ｌ威すれば、亙に９０°位相がずれているべ
Ｉ第１及び第２０検出信号が＃１ぼ９０１位相がずれて
いないととＫよ多生じる測定誤差の可能性なオペレータ
が知ることがで龜石、従って、オペレータは、必要な調
整中保９を行って再Ｗｌａ定を行うことＫよ拳、正確な
蜜位掬定値を１１．＆ことができる。

更Ｋまた、本発明によるならば、被測定物に設けられて
５Ｉ−ａ、且つ、検出素子に０＃及び１１１として弁別
でｆＩＡ為儒号を発生１せることがで自る符号化領域を
有するコーＰＩＩ材と、そＯコード部材の符号化領域を
検出するように配置されてｓＰｂ、且つ、コード部材の
変位に応じて、ＩＬｌｃｔｐｏ＠位椙がずれえ嬉位相び
第２０検出信号をそれぞれ発生するように１にされえ嬉
１及び嬉２０機出手家とを具備して、第１と８２の検出
信号とから変位方向を判別して第１と鶴２０検出信号の
少くとも一方を力９ン卜して変位をｊｌｌ定するようＫ
ｍされえ変位一定装置において、縞１及び１ｓ２の検出
信号を受けて力９ン卜して所ｖ１０時間ごとにクリアさ
れゐカウンタを含む適度検出器と、そのカクン−よ−Ｏ
カウント値と適度設定器よりの設定値とを受けてカ９ン
ト値が設定値を越え良と龜儒号を出力す為比較−と、比
較Ｓが備考を出力し良と自貴示を行う表示−とを有す為
適度検出装置を般ける。

そして、本実＠によるこＯ変位ｌｌ定装置の一実施例は
、第１１び嬉２の検出信号をそれでれ受けて嬉１及び第
２０矩廖波ａ勺をそれぞれ発生する第１及び嬉２の矩形
波変換−路と、ｊｌｌ及び１ｓ２の検出１号Ｏ―遍し局
液歇よ艶高い繰返し周波数のタロツクパルスを発生す為
クーツタΔルス尭生量と、嬉１晟び嬉２の蝋形波備号Ｏ
少くとも一方とタロツクパルスとを受けてその矩廖波儒
号の立上り辰び立下抄の少くとも一方と陛ぼ一致するク
ロツタ・臂ルスを出力パルスとして出力するエツジ検出
器とをｉ［ＫＡ備し、そして、適度検出器のカウンタは
、エツジ検出器よりの出力パルスをカウント［、クロッ
クパルス発生量よ抄のタロツクパルスを分周しえ分局）
４＃スによってクリアされるように構成される。こＯよ
うに構成す為ことＫよ参、変位が適過「為ことによゐ諷
欄ｊｉ！Ｏ可−愉をオペレータは知ることかで自、オペ
レータは、変位適度を低くして再ｉ＋ｕ＋ｇ＊すること
によ抄、正確な変位欄定値を得ゐことがで自る。

以下添付−爾を参照して本発明による変位測定鏑置Ｏ夷
論例を説明する。

嬉２■は、本発明を喪施しえ、光電弐Ｋｌｌ転角を一定
するための変位測定装置Ｏｆａクロックある。ｌ１１１
１１定物である回転軸ＩＫ、ｌｌ３１１Ａに示す細く、
円周に等角度ピッチＰ１０ラジアルスリット格子２＾を
有する回転コード内Ｉ［８が鴫同心に固定され、−転輪
ｌと一繍Ｋｉ１転する。ζａｉｍ転コード円板鵞と対内
する如く１つこれと同心的にインデックス円板３が一転
しないように歇けられている。インデックス円板島は、
縞！ＩＩＩＩＫ示すようＫ　２　Ｒ”　Ｉ　Ｐ　＜但し
、鞠冨豊数）の角度差即ち≠ ９０＠位椙羞を有するインデックススリット格子１＾、
３ｍが配ａＳれている。ヒのインデックス格子３＾、３
１と一転＝−ｒ円Ｉ［８を挾んで光電４と光電変換嵩子
墨＾、器−とが配殴されている。

−転輪１がＷｓ−すると、光電！Ｒ換素子５＾、Ｉ１１
から嬉４５１１０４＾及び４−に示す如くそれぞれ、？
ｔｌ”位ａｌｌの正蚊波状Ｏ検崗信号が出力されゐ。

これらＯ検崗信号４＾、４−は、例えば増幅量６＾、Ｓ
Ｓで増ｌＩＩされ、シエ（ットｍ賂７＾、７勝で嬉４図
０４Ｃ及び４ＤＫ示す如く矩形織信号にそれぞれ弯換さ
れゐ、これら０Ｓｌｉ形威信漫を受けるエツジ検出−８
は、クロック・譬ルス発生器９から供艙畜れる各矩形液
信漫より高い周液数を有す為クーツタｄルスをｊ［Ｋ受
けて、各矩形波信号Ｏ立上ヤと立下りに一致し光／４ル
スを出力する。

こ□　ｘ　ツジ検出Ｓ＠は、例えば、＄１５１１０１１
１１ように構成される。９０’位権葺０［形波４＾、４
−は、タ四ツクイルス発生−・から０／ｌツクｄルス４
Ｅと共に、それでれＡＮＤｒ−）３１０゜３１に供給１
れ、それらＡＮＤｒ−）は、第４−〇４Ｆ、４６に示す
波拳Ｏ信号を出力する。これら信号４ｖ１に、び４ｅを
、ターツクＩ膏ルス４［Ｋ岡ＪＩＬ友シフト動作を行う
１段のシフトレジスタ３１．８３にそれでれ送り、さら
にこのシフトレジスメＳ雪、ｍｌＯ出カと信号４Ｆ及び
４＠を◆々排−的論１１１１１’−）即ちｌＸ０Ｒｒ−
ト１４．８ｓＫそれぞれ印−する、そ０紬果、ｒ−）　
１４．３ｓから、９０”位相差６２　っ０矩形波４Ｃ。

４０の立上如、立下りとほぼタイ々ンダが一致し　１九
り四ツタ／ｆルスが、嬉４−の４８，４１に示すような
単一・曹ルスとして出方される。これを０Ｒｒ−）３１
に供給すゐと嬉４１１の４ＪＯ如１１同一系列の単一の
出力−ルスが得られる。

］［Ｋ１シエミットー賂７＾、７１０出力社、方向弁別
四路１０に送られる。仁の方自弁ＩＩＷＩＡ踏は、例え
ば、信号４００立上りＯ瞬間に信号４Ｃがハイレベルに
６あときは層方向と、そして、その瞬間に信号４Ｃが關
−レベルにあると自は逆方向と弁別し、方向信号をアツ
７’／９ンカクンメ１１に出力する。

この力豐ンメ１１は、その方向値１０指示に従って、エ
ツジ検出ｌＩ８よりの出力Δルス４ｊをアップダウンカ
ウントする。そして、ζＯｔＩ？ン！１１０カク７Ｆ値
け、マイタ宵ｆ　ａ−にツナ１意によ伽、角１１ｅｃ変
換され、表示ｌｌｌ５によって真示され為。

出力ｄルス４Ｊとり■ツタＩ４ルス４Ｅは、適度検知装
置１４と位相差検知装置１８４１（夏に供鎗され、１え
、検出１号４＾、４−と矩形波１１１勺４ｃ。

４０と単一Δルス４Ｈ％４１ｄ、出カ検知―置１・に供
給され為、適度検知装置１４は、例えば第４１１に示す
如く構成堪れ、エツジ検出働・からｏｒｅルス４ｊがカ
ウンタ４ｏで力９ントされゐ。

一方／ａツクΔルス４【け、分周器４１にて分周され、
所定Ｏ時闘閤隔０ΔルスとしｉＩ？ンタ４゜Ｋ／９ア儒
考として印１ａｓれみ、カウ７メ４００カクント値社、
霊時比曖１１４ｍにて殴定器４３で設定され比値と比砿
１れ、Ｗｊ！定値よ伽大自〈なっ大時に＃ハイ“０儒号
が出カ堪れる。こ０出カは、マイクロゾロ竜ツｔ１２て
ラッテされて、嬉２ｍ１ｌＫ示しえ真示１１１１ｍＫて
適度エラー〇ｌＩ示が１れＡ、　！Ｔｈ、Ａｆｍ″Ｃ示
す如くカウンタ４００）１ウント値を分周４１４１から
のクリア１号ごとに遮＊ｍ示−４０ＡＫＩＩ与込む仁と
により、責位遭度０貴示がでｔ！ｉる。

位相差検知装置１５は、例えば、Ｉｓ　ｙ　ＩＩ　ｓｃ
示す如く構成され、クロックｄルス発生ｌＩ９で発生し
えタロツクΔルス４１Ｅがカウンタ４４に、てカウント
される。一方、エツジ検出ＳＳ＋ら０出カｄルス４ｊは
カウンタ４４０クリア信号として供給畜れる。力９ンメ
０カクィト値は、常時比１１１１４１にて設定器４６で
設定され大値と比較され、設定値より大自くなり光時に
１ハイ＃Ｏ儒号が出力場れる。こＯ出力はマイタ騨プー
セツｔ１２でラッチされ、嬉２１１に示し大表示量１３
にで位相差エツー〇Ｉｍ示がされる。検出信号４＾に対
する検出信号４１０位権０逼れか！０＠より大きく壜れ
ば、それに応じて２つの矩形波信号４Ｃ，４００立上り
Ｏ位相差４９０°よ伽大暑くな砂、反対に検出信号４＾
に対する検出信号４１０位椙位相Ｏ遥れが９０″よ勢小
さくなれば、そＯ結果、２つの矩形液１１４Ｃ，４０の
一方の立上勤と他方の立下りＯ位相葺は！０＠よ勢大暑
くなる。＊つて、出力パルス４ｊでタリアし１ｋがらタ
■ツクΔルス４Ｅをカウントして、カウント値を１Ｈ４
Ｅ値と比較すゐことによう１位相葺が適正亀範■外に出
てし鵞っているかどうかを４１１１すゐことがで自る。

出力検知装置１６は、例えばＩＩＩＩＩＩＩＫ示すよう
な一対Ｏ幽力検知ｌ１ｌ−＾、１＠ＩＫよって構成され
ゐ。出力検知ｉｌｌ＠＾と１６１は、入力され為信号が
異１！Ｉｅけで、構成―作は同一であるＯて、出力検知
器１６＾についての与鋭嘴する。

出力検知量１６＾は、検出信号４＾Ｏ出力レベルを検出
すゐ、正弦波状の検出信号４＾が比ｍ１ｓ４８．４９〇
一端にそれぞれ人力場れる。一方、抵抗緘１．１、Ｒｓ
　は所定電圧Ｖ、、Ｖ、を作り出している。ここでＶ、
　　は、嬉９−の４＾に示す如く正常な検出備考の最大
値よ知多少量−Ｍ、　　ｔＪ値がとられ、ｖｌ　　は正
當倉検出信号Ｏ最小値よ勤多夕高いＭ！Ｏ値がとられて
いる。こＯ電圧Ｖ４、Ｖ、は比較器４８，４１１の倫端
にそれでれ入力場れ為。比較１１４８は、所定値Ｖ！　
よ妙正弦液状の検出値４＃４＾のレベルが大きいときに
“ハイ“を出力し、比較量４９は、所定値ｖ１　　よ伽
正弦痕状の検出信号４＾のレペ＃が小さいときＫ　’／
％イ“を出力する。

嬉！−から明らか電ように、正弦波状検出１号４＾の最
大値は、検出信号４Ｂから得られ九シエ） ミツト回１１７１の出力信号即ち矩形波信号４００立上
りのメイ建ンダであり、その最小値は、立下参Ｏメイミ
ンダとｔｋｈ、− こＯタイ電ンダのときの比較器４８．ｌび４９０出力状
−を検知する大めに、フリツｆ７０ツブ５ｏｏｏ端子に
は矩形波信号４Ｃが入力場れ、そ（）Ｔ端子には、エツ
ジ検出器・０区ＯＲ−路ｉｓから出力される単一パルス
４１が入力される。フリツ７’７Ｗツ７’１００Ｑ出力
はＡＮＤＩ回路１１ｔＩＯ人力〇一方に入力され、そ０
ＡＮＤＩＩＩＩ！！１の入力ｏ他’ｉｎｃハ、ＥＸＯＲ
１ｉｍｌｌＳＩＯ出力４１４入力される。ツリツデフロ
ツｆ　Ｉ　＠　０６出力は、＾ＮＯ回路６２０人力〇一
方に入力場れ、そ０ＡＮＯＩ回路ｓｓｏ入力Ｏ倫方には
、ＥＸＯＲ１ｍｌｌ１４０出力か入力され為、従って、
７％Ｉツｆ７ｕツｆｓ＠Ｆｉ、Ｔ端子人力Ｏｄルス４１
０立上ヤ時ＯＤ端子人力ＯΔルス４ＣＯ状態をＱ端子か
ら出力し、その出力ＩＩＩＬ廖は、鴎？１ｌＯ９ＦＯよ
うになり、そして、（端子Ｏ出力Ｏ波浄はこれＯ反転０
１８９ｍ０９ＧＯようになる。

＾Ｎ０１１１１ｉｊｓ１は、７１ツデフ田ツｆｓＯｔ）
Ｑ端子出力９ＦとｌＸＯＲ８１１ｍｌ１４０出力４１と
Ｏ鍮運積をと伽、嬉？−０ＩＮＫ示すような波形の・考
ルスを出力ｔｉ、このパルス９１４０ハイレベルのメイ
（ンダは、正弦波状検出信号４＾Ｏ最大値Ｏ時に対応し
ている。他方、＾Ｎ１ｊｌｌｌｌ！２は、ｄルス４１と
−・とを受けて、正弦波状検出１号４ＡＯ最小値の時に
対応しえ嬉！−の９１０よう１に／４ルスを出力する。

＾ＮＤｌｉＩｌｉ１５１０出力は、Ｄ端子に比較８１４
８０出力が入力１れている７リツノフロツｆｓ　１０丁
端子にλ力場れ、フリッグフ四ツｆＫＮは、正弦波状検
出１号４＾が最大値の時に、そＯ出力が所定値Ｖ！　よ
伽大自いかｉｌかＯ比較器４８０比砿績畢をＱ端子から
出力す為、とζでは正弦波状検出１号４＾Ｏ最大値が所
定値ｖ２　　よ〉大暑い場金に＃ハイＩｌ出力となる。

一方、＾−ロ＠＠ＳＸＯ出力は、Ｄ端子に比較−４１１
０出力が入力場れている７リツ！７■ツｆＩ４０７端子
に入力され、フリツｆ７ｍツデｓ４は、正弦ＩＩＩＬ秋
機幽備考４＾Ｏ最小値が所定値ｖ１　　よ抄小さい場金
Ｋ”ハイ“出力を出力する。そして、フリツｆ７０ツデ
Ｓ３．１１＋４０Ｑ出力はそれヤれＮＡＮＤＩＩＩＩＩ
ＩＩＫ入力され、正弦波状検出信号４＾Ｏ最大値が所定
値より大暑くかつ最小値が所定値より小さいと亀Ｏ与ｌ
ロー“出力と電動、そうでない場食いいかえると何らか
の原因によって光電＊＊嵩子の出力に異常が生じ友場金
“ハイ“となる。

このように出力検知器１６＾によ伽正弦ＩＩＩＬ状検出
信４＃４Ａのレベル検出が１にされ、出力検出器１１１
によ抄正弦液状検出信号４１についても一様の方法によ
ってレベル検出が行なわれ、そＯ艙畢は、それでれＯＲ
−路ｓ６に入力場れ、叩つＯ信号のいずれか一方に異常
が生じても七〇＠出が行える構成となっている。

０ｐＩｉｉｌｌＩｓ６はマイタｍ　ｆ　ｗセンナ１！を
介して表示働１１ＫＩＩＩＩｉｉれてお参、表示ＩＩＩ
Ｂにて異常を検出し友場金０１ｌｌＮ示が行われる。

以上、本ｌ１ｉｌｌｌによる変位欄！ｉ！装置の一つの
実施例を説明し大が、測定槽１１が◆伽轟く要求されな
い場合には、エツジ検出ＩＩ８は、２つの矩形液４Ｃ１
４０のいずれか一方の立上如及び立下抄に対応すゐｄル
スＯ与をカクンタ１１及び適度検出装置１４に出力して
もよく、ｔえ更にはそＯ立上勧と立下妙Ｏいずれか一方
に対応するｄルスＯみを出力してもよいことは、轟業者
には明らかであろう。

會え、第２■Ｏ実施例においては、嬉１と嬉２０蝋形掖
儒４＃４Ｇ、４Ｄの立上りと立下りに対応するｄベスを
同一〇クーツタＩ４ルスかち得ているが、−観軸１０−
転適度が◆すに遭＜１番と、嬉１と嬉２０蝋形波儒１４
ｃ、４００立上り又は立下妙にそれぞれ対応すゐタ謡ツ
クΔルスが岡−０％のとなる可能愉がああ。もしこのよ
うにｔｋ為と闘電細ＪＩＫＩＩＩ差が生じる。そこで、
嬉１と嬉２の信号Ｏ立上シと立下りに対応するノ４ルス
の位相が必ず異なるようＫすゐこともできる。

例えば、第１０ｍ１Ｋ示すよう１１１１威０１１１１β
より、嬉１１１１に示す如自単−周波歇ｄルヌＴから、
岡−周期で位ｍＯＪ％なる２つのｄルメ償４＃１ｂを　
　１得て、それぞれ＠５１１ＤＡｓｏｒ−）１４）、３
１１に入力させる。

こ０ｍｌ路は、Ｏ形フ９ッグフロッグ６・と２つの＾Ｎ
Ｏ［ｍ１１６１，８！かも構成される。０形７リツプフ
ロツデ６０は、第２！ｌＯタ繋ツクΔルス尭生量が発生
するようなタロツクパルスをＴ端子に受け１７２分周を
行い、嬉１１＠に示すように正転出力をＱ端子から反転
出力を（端子からそれぞれ出力する。そして、Ｑ出力と
る出力は、それぞれ２／）ＯＡＮＯ回路６１．＠！の入
力〇一方に入力され、互出力はさら６ｃｏ形７リツｌフ
ロツ１０Ｏ端子に入力喋れる。１良、２つ□ＡＮＤｉｌ
鴎の他方の入力には、ＣからＯターツ！Ａルスが入力さ
れる。かくして、＾−０ｒ−）＠１．６意から、ハイレ
ベルの瞬間が一致しないように位相が＾つた所望Ｏ信号
―、ｂが得られる。こＯ場合、ＩＩ　２　ｍｅ）ｌ　ｖ
ａ　２１１　ＡｈＸ＊’に１ｍ　ト１ｍ　１０　図Ｃ）
ｉｊｉＨＩを舎ぜて、１つＯｄ＃ヌ発生−と考えること
がで龜ゐ。

この信号を、第５ｉｌｌＯＡＩＩＩＤＩ回路１０，３１
にそれでれ入力することによって得られるＩＯ員ｒ−）
　Ｒ４、ｉｉｏ出力Δルスは、入力パルスの鳴位１ＩＩ
Ａが亙いに異っていることから、えとえシー＆（ット回
路７＾、７Ｂからの矩形波が信号４Ｇ、４ＤＯ立上り立
下りが重なつ九としても、重カリ合わないので、カクン
タ１１は常に判別可能にカウントで會るので位相ばらつ
きの許容範囲が拡大する。

更に＠、２［０実施例においては、光電変換素子の出力
検出と位相検出を別々に行ったが、第２図からもわかる
ようにλつの正弦波状の検出信号がり００位相差からず
れ九場合は、そのずれ量に応じた分だけ矩形波信号の立
上り、立下り紘正弦波信号の最大値、最小値よりもずれ
てしまう。したがって、位相差のずれの許容値を敗走し
、それに合った最大値、最小値を決定してやれば、充電
変換素子の出力検出と、位相検出を着ねること屯できる
。

以上の如く、ＣＲ眸を用いた微分回路を用いずに、デジ
タル回路によって矩形波信号の立上り一及び／又は立下
りを示すパルスを発生させることができるため、温度変
化の影響が少なく信頼性の高い縦位測定を行うことが可
能となる。

また、構成の値線化をもたらす微分回路が不要となり、
（成が簡単となり、電子装置部分の小撤化が可能となる
。

１喪、コーｒｓ材、インデックススリット、受光素子の
位置ずれ等によ伽９０＠Ｏ位椙葺があゐぺＩ！２つＯ検
出信号量Ｏ位相差が小さくなると、それぞれの信号Ｏ立
上ヤ及び／又は文下りを示すｄルスＯ関隔が小さ、（な
り、カクンタが個々ＯΔルスを判別できなくなるおそれ
が生じ、針数ＩＩＯ誤計数０１因となるが、２つ０１号
間の位相１１を検出し、異常な位相差を検知し大と自に
、表示器が勇示すゐので、適正な測定を確保している。

コード部材の変位適度が適過「る場合に＃ｉ；そＯ変化
に電気關路等が応答し自れずに鵬針歇Ｏ原ｎｉなるが、
そＯ適度を検知し、所定値以上の適度のと龜には開示Ｉ
Ｉが貴重するＯで、同様に適正ｔｉｕｉが確保で自重。

発光部、コード部材、インデックススリット、又は受光
素子等が汚れることによ妙、発光素子への入力電圧の低
下により又は発光票子着しくは受光素子Ｏ異常等の原ｍ
Ｋよって受光素子出力の低下又は出力賓動幅の減少等が
生ずると、コーＰｓ材ｏ　＃　ｏ　＃　　＃　１＃袴号
化・昔メーンの変化を検出しに＜＜１に、職針歇の原因
となぁか、受光素子の出力の最大値、最小値を所定の値
と比較することにより出力異常を検知し、異常出力の場
合には濶示ＩＩＫＩＩ示するので、ｌｌ＆測定の排除か
で―る。

【図面の簡単な説明】

第１１１は、２−）の検出素子の出力波形−１第２■は
、本実ｌｌＫよる責位ＩＩＩ電装置０１１總例のプロッ
タ閤、第５ｍｌは、嬉２■の錫板コード円板とインデツ
タス円ａｏｖａｉ■、第４−は嬉２１１０偏置と第ｓ＋
１ｏ１１＊ｏ４ｋｌｓｏｍ形−１嬉５−は、繻４図のエ
ツジ検出ｌｌ０ｍ１踏のプロツ！■、＄１１４１は、１
５２１ｍの適度検出偏置の四踏のブロック−１＄７閏は
、嬉２図の位相差検出装置の四路のブロックｍ、ｇｓｉ
ｉｏは、嬉２１１１０出力検出装置０ｉｉ１１１Ｄブー
ツター、ａｌｔｌｍは、ＪＩＩ８閣のａ路の番部の波形
−１第１０Ｉ３は、第２１１０り冑ツク・４ルス発生梼
ＯｆＲ形例を示す關路Ｏ□ｆロック図、そして、嬉　　
　　　１１１１１ｉ１、第１ａｔｌＡノＦａｉ＃Ｉ１０
％１１ｇ＞織ＪｉｌｌテｈＬ。 １＠１　　図 ０　　　工　　　、、） 旨　　？　？　、　　ゆ　　　　　・ 第９図 第　１０図 第　１１　　図

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　被１ｓ定−に歇けられてお勤、且つ、検出素
   子に１０１及び１１１として弁別で龜る備考を発生させ
   る仁とができる符号化領域を有するコーＰｓ材と、 コード部材Ｏ符号化領域を検出するように配置１れてシ
   艶、且つ、コーｒｓｗｏ変位に応じて、互に９０１位相
   がずれ九１１１１及びｊ１２０検出儒検出子れぞれ発生
   するようになされた４１１１員゛び第２の検出手股と。 １１１１びａｌｌＯ検出信号をそれぞれ受けて譲１及び
   １１２０矩形波儒号をそれヤれ発生する萬１及び第２０
   ［１形ＩＩＩＥｉＩＩＩｌｌＩ回路と、纏１及びａｔｔ
   ｏ矩ｉ＃波儒号を受けてコード部材Ｏ変位方向を示す方
   崗儒嗜を発生ずゐ方向弁別器と、 第１ＪＬび嬉２０検出儒＊ｏｍ遮し局痕融よ一＾いｍｊ
   ＥＬ周ｓＢ＊ｏタ謁ツタΔルスを鵠生ずゐクーツタΔル
   ス発生器と、 嬉１及び繻２０４１Ｍ形波儒号の少くとも一方とタロツ
   ク／々ルスとを受けて七〇４１形液値号Ｏ立上抄及び立
   下抄の少くとも一方とほは一叙するり關ツクΔルスを出
   力Δルスとして出力するエツジ検出器と、 方向弁別器よ！ＩＯ方向償号Ｋ１ｍってエツジ検出−よ
   りＯ出力Δルスを加減算カウントするアツデダウンカク
   ンタと、 アップメクンカクンＩＯ＊ウント値を真示する表示−と を＾備す為ことを４１像とする変位測＊装置。
2. （２）エツジ検出器よりｅ出力Ａ＃スを受けてカウント
   す為カウンタと、タ曹ツタＡ＃ス脅生−よ伽のり關ツタ
   Δルスを受けて分局してり響ア儒号をそＯｉＩウンタに
   出力する分局器とを有して、カウンタＯ出力をコードｓ
   ｅｅ責位装置として出力す為適職検出―置を］［ＫＡ備
   す為ことを特徴とする特許−求の範−嬉（１）現記ＳＯ
   Ｗ値一定装置。
3. （３）適度検出！ＩＩＩは、変位適度の上限を設定する
   上限適度設定器と、力９ンメよ抄のカウント出力と上限
   適度設定器よりの設定値とを受けてカウント値が設定値
   を越え良と自値号を発生する比ａＳとを更に有してお勤
   、比較器が信号を発生しえとき表示器がそのＩＩ示を行
   うことを善黴とすゐ脣許−求ＯＳｍ嬉（２）項記載の蜜
   位闘定装置。
4. （４）　　エツジ検出器は、菖１及び菖２の矩ｌｌ液１
   号の両方とタ謂ツタノ譬ルスとを受けて嬉１及び第２０
   矩形波信号Ｏ立上−及び立下ヤとほぼ一致するクーツク
   Ａｋスを出力Δルスとして出力するように亀１れている
   仁とをＩＩ＃像とす４４１ＷＪｔ−京のｊｌｌｆｉｏ縞
   （υ項からＩｔ　（８１項１でのいずれかに記ＳＯ変位
   欄電装置。
5. （５）　　り薗ツタ・譬ルス発＊ａは、亙に＾イレペル
   である瞬間が一致しないよう４位ＩＩＡが異なる間−周
   波数Ｏ嬉１及び纏２のタ冑ツクノ母ルスを発生するよう
   に＊１れてお伽、 エツジ検出器は、嬉１及び第２０矩形波信号Ｏ両方とＪ
   Ｉｌｌ及び嬉２のクロックパルスの両方を受けて、第１
   ０矩形波信号Ｏ立上夛及び立下りと纜ぼ一致する第１の
   クロックツ４にスと、第２０矩形波信号の立上り及び立
   下りと嫌ぼ一致するＩＩＥ２のクロックパルスとを出力
   Δルスとして出力するようになされている ことｔ特徴とする峙許請求の範囲第（４）項記載の変位
   渕定装置。
6. （６）　　クロック／ｆルス発生器よりのクロックパル
   スをカウントしてエツジ発生器よりの出カッ４Ａ−スで
   クリアされるカウンタと、位相葺設定器と、カウンタか
   らのカウント値と位相差設定−よりの設定値とを受けて
   カウント値が設定値を越ええとき信号を出力する比較器
   とを有する位相差検出装置を具備してシシ、位相差検出
   装置の比＊ＩＩが信号を出力したとき霧示器がそ０貴示
   を行うことを特徴とする特許錆求の範−嬉４４）１又τ は第（６）現記ＩＥＯ羨位測定装置。
7. （７）　　エツジ検出器は、ｌｌ１１のｆＬＪＩｉｉ波
   信号（ｎ上り及び立下りＫｆｉぼ一致するりμツクノ譬
   ルスを嬉１の出力Δルスとして出力し、嬉２の矩形波儒
   号Ｏ立上艶及び立下１１ぼ一致するタ四ツク／４ルスを
   第２０出力パルスとして出力するようＫｅされており、 ＩＫ、嬉１及び嬉２０検出信号をそれぞれ受けて、それ
   ヤれ０検出１号のレベルをその検出信号と９０°位相が
   １４なる検出信号よ伽得られえ出力Δルスと一致すゐメ
   イ（ンダで基準レベルと比較し、基準値よ参小さいと自
   異當信号を発生する一対の出力検出−を具備してお勤、
   その出力検出器が信号を出方し大と自表示ａ′ＩＩＸそ
   ０＠示を行う ことを４１１１１とする４Ｉ許−求０１１１８１縞（４
   ）項から繻（・）１普でのいずれかに起重０責位欄定鏑
   置。 （８７各出力検出−は、検出信号を最大基準レベルと比
   着する＠１０比＊ｉｉと、検出信号を最小基準レベルと
   比較する嬉２ｏｍａｌｌとを含んでいることを特徴とす
   る特許錆求ＯＩＩ　ｉｌ　ＩＩ（７）項記載の変位ＩＩ
   ｌ′ｉ１＃Ｉ＆置。 （９１砿測定−に設けられてお伽、且つ、検出素子に１
   ０１及び１１＃として弁別できる信号を発生させること
   がで自る符号化領域を有するコード部材と、そのコード
   部材の符号化領域を検出するように配置されてお９、且
   つ、コ一部材材Ｏ変位に応じて、亙に９０°位相がずれ
   大第１及びＩＩＩＬ２の検出信号をそれぞれ発生するよ
   うにカされ喪第１及び第２の検出手段とを具備して、第
   １と嬉２の検出信号とから変位方向をＩＩＩＩして第１
   と第２の検出信号の少くとも一方をカウントして変位を
   測定するようになされ良質位一定装瞳において。 嬶１及び縞２の検出信号を受けてその位相差を検出すゐ
   位相差検出器と１位相差検出器の検出した位相差が所定
   の範囲内であるかどうか判別する判別器と、判別Ｓが位
   相差が所定範囲外と判別したとき表示を行う表示器とを
   含む位相差検出装置を具備している ことを特徴とする変位一定装置。 −ＩＩＩＩ及び第２の検出ＩＩ考をそれぞれ受けて嬉１
   及び嬉２の矩形波信号をそれぞれ発生する第１１及びＩ
   Ｉ２の矩形波変換回路と、 １１１１及び第２の検出信号Ｏ繰返し周波数より鳥い縄
   返し周波数Ｏり四ツタΔルスを発生するり窒ツタ／譬ル
   ス発生器と、 第１及び第２の矩形波信号とタロツタパルスとを受けて
   第１及び＋１１２０矩形波信号の立上り及び立下艶とは
   ぼ一致するタロツタパルスを出力パルスとして出力する
   エツジ検出器とを］Ｉ！に具備してシー、 位相葺機出器は、タロツタパルスをカウントして出力パ
   ルスでクリアされ１カクンタで４１、判＊Ｓは、そｏｎ
   ウンタから出力されるカウント値を位ｓｉｎ毅定柵よ参
   毅定値と比較してカウント値が設定値を越え九と自重量
   を出力する比較量であ為 ことを脣黴とす為轡許錆求０範−纏（９）項１！ｌ１ｌ
   Ｏ変位圃定鏑置。 ｏ毒　　被ｉ＋ｕｉ物に設けられてお伽、且つ、検出素
   子に一ロー及び？１−として弁別で自る信号を発生させ
   ることがで自重符号化領域を有するコード部材と、そ０
   コ−ＰＩＩ＃０袴号化領域を検出するように配置されて
   おり、且つ、ブード部材Ｏ変位に応じて、亙に？Ｏ＠位
   椙位相れ大第１及び＄１２０検出儒検出子れでれ発生す
   るように＊Ｓれえ第１及びａｌｌＯ検出手段とを具備し
   てお砂、ＪＩＩＥｌと嬉１０＠出信号とから変位方向を
   判別してＩＩＩと第２０検出儒勺の少くとも一方をカウ
   ントして変位を測定するように１にされえ賓位ＩＩｌ定
   装置にシいて、 第１及び第２ｔ）＠画信号を受けてカウントして所走Ｏ
   時間ごとにタリア堪れ為カッンメを會む適置検出善と、
   その−ＪＩ９ンタよ参０カウント値と遣度毅電−よｔＪ
   Ｏ置装値とを受けてオクノト値が設定値を越ええと１１
   号を出力する比較量と、比ｍｉｓが信号を出力し大と自
   ｌｌＩ承を行う貴示器とを有する適度検出装置を具備し
   ていることを特徴とする変位＠Ｍ１装置。 ＠　嬉１及びｌｌｌ０検出儒号をそれぞれ受けて嬉　　
   　　１１び嬉２０蟻形波値令をそれぞれ尭億する菖１及
   びａｘｅ端廖ＩＩＩＬ変換−踏と。 １１Ｎ及び嬉２０検出信号Ｏ繰返し周減数よ伽高い繰返
   し周波数のクロックツ譬ルスを発生するタロツタパルス
   発生器と、 第１及び嬉２の矩形液値号Ｏ少くとも一方とタロツタパ
   ルスとを受けてそＯ矩形腋儒号Ｏ立上抄及び立下知の少
   くと４一方とはぼ一致するクロツタ／＃ルスを出力／ｆ
   ルスとして出力するエツジ検出（至）とを具備しておや
   、 適度検出ＳＯカクンメは、エツジ検出−よ伽Ｏ出力Δル
   スをカクントシ、タロツタパルス発生器よ如Ｏタロツタ
   パルスを分周して得られ九分周ｄルスによってクリアさ
   れる ことを特徴とする特許績求０１１１１嬉叡毒項記−の変
   位測定装置。