JPS58156802A - 光センサ装置 - Google Patents
光センサ装置Info
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- JPS58156802A JPS58156802A JP3947182A JP3947182A JPS58156802A JP S58156802 A JPS58156802 A JP S58156802A JP 3947182 A JP3947182 A JP 3947182A JP 3947182 A JP3947182 A JP 3947182A JP S58156802 A JPS58156802 A JP S58156802A
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- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 74
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- 235000017166 Bambusa arundinacea Nutrition 0.000 claims 1
- 235000017491 Bambusa tulda Nutrition 0.000 claims 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/268—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light using optical fibres
-
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
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- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分計〕
本発明は、光の回折を応用して変位量を検出する光セン
サ装置に関するものである。
サ装置に関するものである。
光ファイバを用いて測定点まで光を伝送して種々の物理
量を測定する光フアイバ応用センサは、多くのタイプの
ものが提案されている。多くの光フアイバ応用センサに
おいて、光ファイバからの出射光を集束性ロッドレンズ
を用いてコリメートし測定点に導いている。物理量によ
って伺らかの変調を受けた光は前記集束性ロンドレンズ
と向い合った第２の集束性ロンドレンズに入射し出射面
で結像して光ファイバに入射する。この場合集束性ロッ
ドレンズは％ピッチのものが一般的である。
量を測定する光フアイバ応用センサは、多くのタイプの
ものが提案されている。多くの光フアイバ応用センサに
おいて、光ファイバからの出射光を集束性ロッドレンズ
を用いてコリメートし測定点に導いている。物理量によ
って伺らかの変調を受けた光は前記集束性ロンドレンズ
と向い合った第２の集束性ロンドレンズに入射し出射面
で結像して光ファイバに入射する。この場合集束性ロッ
ドレンズは％ピッチのものが一般的である。
このような構造の場合、結像の倍率はｌ：１で光の損失
をなるべく小さくするために入射側と出射側の光ファイ
バの位置合せを１０μ以下の精度で設定しｈけｊ、ばな
らず、多くの時間と大掛かりな微動台を必要とし、セン
サの価格を高く１〜でいる。
をなるべく小さくするために入射側と出射側の光ファイ
バの位置合せを１０μ以下の精度で設定しｈけｊ、ばな
らず、多くの時間と大掛かりな微動台を必要とし、セン
サの価格を高く１〜でいる。
変調部に回折を利用した光フアイバ応用センサの従来例
を第１図に示す。入射側光ファイバ（３）から集束性ロ
ッドレンズ（１）に入射した例えばＬＥＤからの光はコ
リメートさねて例えば部分的に回折格子になっている透
過形の回折格子変位板（６）ニ入射し、回折され、集束
性ロッドレンズ（２）によって結像され、０次回折光お
よび１次回折光の結像位置にそれぞれ置かれた出射側光
ファイバ（４）および（５）に入射して受光部まで伝送
され１回折光の光量が測定される。従来、このようｈ系
を構成する場合、光ファイバは入射側、出射側とも同一
のものを使用ｌ−でいた。その１例を第２図に示す。第
２図の光ファイバは、コア径が５０μｍ、クラツド径が
１２５μｍのグレーデッドインデックス型（５０−１２
５ＧＩ）である。第１図の系では、入射側光ファイバ（
３）、出射側光ファイバ（４）および（５）とも第２図
の光ファイバを用いている。これは、ステップインデッ
クス型（ＳＩ）でも同様である。しかしながら、回折格
子を使用し、入射側と出射１１１１とに同じ光ファイバ
を使用ｌ−だ場合、入射側と出射側の１：１の結像関係
に種々の誤差要因が与える影響は大きい。これは例えば
、前記集束性ロッドレンズ（１，）によってコリメート
された光は回折格子変位板（６）に垂直に入射しなけれ
ばならず、垂直からずｊだ誤差分け１次回折光の方向を
変化させ、出力側集束性ロンドレンズ（２）の結像面に
おいて１次回折光が出射側光ファイバ（５）とけずれた
場所に結像して、光量の損失と々る。さらに％回折格子
変位板（６）は物理量に応じて変位するため光と常に一
定の入射角が保たれずに変位と共に変動するので入射角
の変動による光量変化はそのまま測定誤差となってしま
う。また、同様のことが回折格子変位板（６）の回折格
子のピッチの不均一性に関しても言える。すなわち、１
次回折光の角度は回折格子のピッチによって決まるため
、ピッチの場所的または時間的変化による回折光の結像
に与える影響は測定誤差となってしまう。
を第１図に示す。入射側光ファイバ（３）から集束性ロ
ッドレンズ（１）に入射した例えばＬＥＤからの光はコ
リメートさねて例えば部分的に回折格子になっている透
過形の回折格子変位板（６）ニ入射し、回折され、集束
性ロッドレンズ（２）によって結像され、０次回折光お
よび１次回折光の結像位置にそれぞれ置かれた出射側光
ファイバ（４）および（５）に入射して受光部まで伝送
され１回折光の光量が測定される。従来、このようｈ系
を構成する場合、光ファイバは入射側、出射側とも同一
のものを使用ｌ−でいた。その１例を第２図に示す。第
２図の光ファイバは、コア径が５０μｍ、クラツド径が
１２５μｍのグレーデッドインデックス型（５０−１２
５ＧＩ）である。第１図の系では、入射側光ファイバ（
３）、出射側光ファイバ（４）および（５）とも第２図
の光ファイバを用いている。これは、ステップインデッ
クス型（ＳＩ）でも同様である。しかしながら、回折格
子を使用し、入射側と出射１１１１とに同じ光ファイバ
を使用ｌ−だ場合、入射側と出射側の１：１の結像関係
に種々の誤差要因が与える影響は大きい。これは例えば
、前記集束性ロッドレンズ（１，）によってコリメート
された光は回折格子変位板（６）に垂直に入射しなけれ
ばならず、垂直からずｊだ誤差分け１次回折光の方向を
変化させ、出力側集束性ロンドレンズ（２）の結像面に
おいて１次回折光が出射側光ファイバ（５）とけずれた
場所に結像して、光量の損失と々る。さらに％回折格子
変位板（６）は物理量に応じて変位するため光と常に一
定の入射角が保たれずに変位と共に変動するので入射角
の変動による光量変化はそのまま測定誤差となってしま
う。また、同様のことが回折格子変位板（６）の回折格
子のピッチの不均一性に関しても言える。すなわち、１
次回折光の角度は回折格子のピッチによって決まるため
、ピッチの場所的または時間的変化による回折光の結像
に与える影響は測定誤差となってしまう。
よって１本発明の目的は、回折を応用した光フアイバセ
ンサ装置において、回折格子に起因する種々の評差の影
響を軽減することができる光センザ装置を提供すること
にある。
ンサ装置において、回折格子に起因する種々の評差の影
響を軽減することができる光センザ装置を提供すること
にある。
本発明は、入射側光ファイバからの光をコリメートする
集束性ロンドレンズと、このレンズによりコリメートさ
れた光を回折効果を利用して変位量に応じた強度変調を
行がう回折格子変位板と、この回折格子変位板による回
折光を結像するだめの集束性ロッドレンズと、このレン
ズによる０次回折光乃至高次回折光のそれぞれの結像位
置に配置された出射側光ファイバとを具備してなる光セ
ンサ装置において、前記入射側光ファイバのコア径が出
射側光ファイバのコア径より小さくなるように入射側お
よび出射側の光ファイバーを選ぶようにして所期の目的
を達成したものである。
集束性ロンドレンズと、このレンズによりコリメートさ
れた光を回折効果を利用して変位量に応じた強度変調を
行がう回折格子変位板と、この回折格子変位板による回
折光を結像するだめの集束性ロッドレンズと、このレン
ズによる０次回折光乃至高次回折光のそれぞれの結像位
置に配置された出射側光ファイバとを具備してなる光セ
ンサ装置において、前記入射側光ファイバのコア径が出
射側光ファイバのコア径より小さくなるように入射側お
よび出射側の光ファイバーを選ぶようにして所期の目的
を達成したものである。
本発明の一実施例を第３図、第４図（ａｌ 、 （ｂ）
、第５図（ａｌ 、 （ｂｌを参照して説明する。第３
図は本発明一実施例の光センサ装置の構成図である。第
３図において、鋸澹は入射側光ファイバ、（１）は集束
性口 −ラドレンズ、（６）は回折格子変位板、（２）
け焦束件ロッドレンズ、α４けＯ次回指光の結像位置に
置か名。
、第５図（ａｌ 、 （ｂｌを参照して説明する。第３
図は本発明一実施例の光センサ装置の構成図である。第
３図において、鋸澹は入射側光ファイバ、（１）は集束
性口 −ラドレンズ、（６）は回折格子変位板、（２）
け焦束件ロッドレンズ、α４けＯ次回指光の結像位置に
置か名。
た出射側光ファイバ、０均は１次回折光の結像位置に置
かれた出射側光ファイバである。こわらの出射側光ファ
イバはそれぞれ図示しない受光部に導ひかれる。そして
、入射側光ファイバａ３け出射側光ファイバα荀、０５
よりもコア径が小さく、且つ開口数が周辺よりも中心部
が大きいものを選ぶ。例えば入射側光ファイバα４は、
第４図（ａ）に示すよう［、コア径が５０μｍ１クラツ
ド径が１２５μｍのグレーデッドインデックス型（５０
−１２５Ｇ Ｉ ）を用いる。出射側光ファイバ（１４
） 、 （ｌｆ９は、例えば第４図（ｂｌに示すように
、コア径が８０μｍ１クラツド径が１２５μｍのステッ
プインデックス型（８０−１２５８Ｉ）ｆ用いる。グレ
ーデツトインデックス型光ファイバ（ＧＩ）の開口数（
ＮＡ）の分布は第５図（ａ）に示すように中心部で犬き
く周辺部では小さくなっており、入射側光ファイバとし
て適１−２ている。
かれた出射側光ファイバである。こわらの出射側光ファ
イバはそれぞれ図示しない受光部に導ひかれる。そして
、入射側光ファイバａ３け出射側光ファイバα荀、０５
よりもコア径が小さく、且つ開口数が周辺よりも中心部
が大きいものを選ぶ。例えば入射側光ファイバα４は、
第４図（ａ）に示すよう［、コア径が５０μｍ１クラツ
ド径が１２５μｍのグレーデッドインデックス型（５０
−１２５Ｇ Ｉ ）を用いる。出射側光ファイバ（１４
） 、 （ｌｆ９は、例えば第４図（ｂｌに示すように
、コア径が８０μｍ１クラツド径が１２５μｍのステッ
プインデックス型（８０−１２５８Ｉ）ｆ用いる。グレ
ーデツトインデックス型光ファイバ（ＧＩ）の開口数（
ＮＡ）の分布は第５図（ａ）に示すように中心部で犬き
く周辺部では小さくなっており、入射側光ファイバとし
て適１−２ている。
一方、ステップインデックス型光ファイバ（ＳＩ）の開
口数（ＮＡ）の分布は第５図（ｂ）に示すように均−Ｋ
がつている。なお、ＧＩおよびＳＩ光ファイバは単に１
例にすぎず、上記の条件を満足すれば他種の光ファイバ
でもかまわない。
口数（ＮＡ）の分布は第５図（ｂ）に示すように均−Ｋ
がつている。なお、ＧＩおよびＳＩ光ファイバは単に１
例にすぎず、上記の条件を満足すれば他種の光ファイバ
でもかまわない。
上記のように構成された本発明一実施例の光センサ装置
においては、入射側光ファイバ（１３がら集束性ロッド
レンズ（１）に入射した例えばＬＥＤの光は、集束性ロ
ッドレンズ（１）によりコリメートされて例えば部分的
に回折格子になっている透過形の回折格子変位板（６）
に入射さｊｌ、回折され、回折光は集束性ロッドレンズ
（２）により結像され、０次回折光および１次回折光の
それぞれの位置に置かｔ’また出射側光ファイバ（１４
）およびｑ５１に各々入射して受光部まで伝送され、回
折光の光量が測定さｊ、る。
においては、入射側光ファイバ（１３がら集束性ロッド
レンズ（１）に入射した例えばＬＥＤの光は、集束性ロ
ッドレンズ（１）によりコリメートされて例えば部分的
に回折格子になっている透過形の回折格子変位板（６）
に入射さｊｌ、回折され、回折光は集束性ロッドレンズ
（２）により結像され、０次回折光および１次回折光の
それぞれの位置に置かｔ’また出射側光ファイバ（１４
）およびｑ５１に各々入射して受光部まで伝送され、回
折光の光量が測定さｊ、る。
この際、入射側光ファイバ０→は開口数が中心に集中し
、コア径の小さい５Ｏ−１２５０Ｉを用いているので、
集束性ロッドレンズ（１）によりコリメートされた光の
広がり角が小さくか鯰２回折格子変位板（６）に入射す
る角度の均一性が増す。また、出射側光フアイバ０荀お
よび萌は開口数が均一でコア径の大きい８Ｏ−１２５８
Ｉを用いているので、回折格子変位板（６）Ｋおける回
折格子の設置角度の変化、ピッチむら、光の波長変化等
に起因する１次回折光の回折角変化に伴方う集束性ロッ
ドレンズ（２）の結像面における像と出射側光ファイバ
０υとの位置ずれは、コア径が太きいためほとんどコア
径の範囲内に納まり、さらに出射側光ファイバの開口数
が均一であるため、前記位置ずれは受光光量にほとんど
影響を及ばずことがなく、測定誤差をほとんど無くすこ
とができる。
、コア径の小さい５Ｏ−１２５０Ｉを用いているので、
集束性ロッドレンズ（１）によりコリメートされた光の
広がり角が小さくか鯰２回折格子変位板（６）に入射す
る角度の均一性が増す。また、出射側光フアイバ０荀お
よび萌は開口数が均一でコア径の大きい８Ｏ−１２５８
Ｉを用いているので、回折格子変位板（６）Ｋおける回
折格子の設置角度の変化、ピッチむら、光の波長変化等
に起因する１次回折光の回折角変化に伴方う集束性ロッ
ドレンズ（２）の結像面における像と出射側光ファイバ
０υとの位置ずれは、コア径が太きいためほとんどコア
径の範囲内に納まり、さらに出射側光ファイバの開口数
が均一であるため、前記位置ずれは受光光量にほとんど
影響を及ばずことがなく、測定誤差をほとんど無くすこ
とができる。
なお、上記の実施例では、出射側光ファイバとしてコア
径が８０μｍのものを用いたが、出射側光ファイバのコ
ア径は必要に応じてコア径１００μｍのものまたけそれ
以上のものを使用すればよい。
径が８０μｍのものを用いたが、出射側光ファイバのコ
ア径は必要に応じてコア径１００μｍのものまたけそれ
以上のものを使用すればよい。
また１本発明はＯ次回指光と１次回折光のみの検出だけ
に限らず、回折光であれば何次回折でもかまわない。例
えば第６図に示す変形例は％２次回折光の集束性ロッド
レンズ（２）による結像位置に新たに入射側光ファイバ
（１３よりもコア径の大きい出射側光フアイバ０的を付
加して、０次、１次、２次の各回折光の検出を可能に１
−だものである。
に限らず、回折光であれば何次回折でもかまわない。例
えば第６図に示す変形例は％２次回折光の集束性ロッド
レンズ（２）による結像位置に新たに入射側光ファイバ
（１３よりもコア径の大きい出射側光フアイバ０的を付
加して、０次、１次、２次の各回折光の検出を可能に１
−だものである。
本発明によれば、光センサ装置において、入射側光ファ
イバとしてはコア径が出射側光ファイバーのコア径より
小さい光ファイバーを用いるようにし、さらに入射側光
ファイバには開口数の分布が周辺部よりも中心部で大き
いものを用い、出射側光ファイバには開口数の分布が均
一かものを用いるようにしたので、入射側から集束性ロ
ッドレンズ（１）に入射しこのレンズによりコリメート
された光の広がり角が小さくなって回折格子変位板（６
）に入射する角度の均一性が増し、角度の広がりによる
光損失が小さくなり、測定誤差を小さくする。
イバとしてはコア径が出射側光ファイバーのコア径より
小さい光ファイバーを用いるようにし、さらに入射側光
ファイバには開口数の分布が周辺部よりも中心部で大き
いものを用い、出射側光ファイバには開口数の分布が均
一かものを用いるようにしたので、入射側から集束性ロ
ッドレンズ（１）に入射しこのレンズによりコリメート
された光の広がり角が小さくなって回折格子変位板（６
）に入射する角度の均一性が増し、角度の広がりによる
光損失が小さくなり、測定誤差を小さくする。
また、回折格子変位板（６）における回折格子の設置角
度の変化、ピッチの場所的または時間的変化によるむら
、光の波長変化等を原因として起る回折角変化にもとづ
く集束性ロッドレンズ（２）の結像面での像と出射側光
ファイバとのずれが、出射側光ファイバのコア径が大き
いためにコア径の範囲内に収まり光知損失とならずにす
む。さらに出射側光ファイバの開口数の分布が均一であ
るためコア（９） −１１径の
範囲内のずれは受光部にほとんど影響を及ぼさない。こ
ｈらの好ましい作用の相乗効果により回折光の光景測定
の誤差を小さくすることができ。
度の変化、ピッチの場所的または時間的変化によるむら
、光の波長変化等を原因として起る回折角変化にもとづ
く集束性ロッドレンズ（２）の結像面での像と出射側光
ファイバとのずれが、出射側光ファイバのコア径が大き
いためにコア径の範囲内に収まり光知損失とならずにす
む。さらに出射側光ファイバの開口数の分布が均一であ
るためコア（９） −１１径の
範囲内のずれは受光部にほとんど影響を及ぼさない。こ
ｈらの好ましい作用の相乗効果により回折光の光景測定
の誤差を小さくすることができ。
測定精度の高い光センサ装置が得らゎる。
第１図は光フアイバ応用センサの従来例の構成図、第２
図は第１図の入射側および出射側の光ファイバの断面図
、纂３図は本発明一実施例の光センサ装置の構成図、第
４図（ａ） 、 ｔｂｌはそれぞ１第３ ′図の
入射側および出射側の光ファイバの断面図。 第５図（ａｌは第４図（ａｌの入射側光ファイバの開口
数の分布を示すグラフ、第５図（ｂ）は第４図（ｂｌの
出射細光ファイバの開口数の分布を示すグラフ、第６図
は本発明−変形例の光センサ装置の構成図である。 １・・・集束性ロッドレンズ ２・・・集束性ロッドレ
ンズ６・・・回折格子変位板 １３・・・入射側光ファ
イバ１４．１５．１６・・・ 出射側光ファイバ代理人
弁理士 井 上 −男
図は第１図の入射側および出射側の光ファイバの断面図
、纂３図は本発明一実施例の光センサ装置の構成図、第
４図（ａ） 、 ｔｂｌはそれぞ１第３ ′図の
入射側および出射側の光ファイバの断面図。 第５図（ａｌは第４図（ａｌの入射側光ファイバの開口
数の分布を示すグラフ、第５図（ｂ）は第４図（ｂｌの
出射細光ファイバの開口数の分布を示すグラフ、第６図
は本発明−変形例の光センサ装置の構成図である。 １・・・集束性ロッドレンズ ２・・・集束性ロッドレ
ンズ６・・・回折格子変位板 １３・・・入射側光ファ
イバ１４．１５．１６・・・ 出射側光ファイバ代理人
弁理士 井 上 −男
Claims (2)
- （１）入射側光ファイバからの光をコリメートする′集
束性ロッドレンズと、このレンズによりコリメートされ
た光を回折効果を利用して変位量に応じた強度変調を竹
なう回折格子変位板と、この回折格子変位板による回折
光を結像するだめの集束性ロンドレンズと、このレンズ
による０次回指光乃至高次回折光のそれぞれの結像位置
に配置された出射側光ファイバとを具備してなる光セン
サ装置において、入射側光ファイバのコア径が出射側光
ファイバのコア径より小さいことを特徴とする光センサ
装置。 - （２）入射側光ファイバとして開口数の分布がコア周辺
部よりコア中心部で大きい光ファイバを用い、出射側光
ファイバとして開口数の分布がコア内でほぼ一様な光フ
ァイバを用いたことを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の光センサ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3947182A JPS58156802A (ja) | 1982-03-15 | 1982-03-15 | 光センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3947182A JPS58156802A (ja) | 1982-03-15 | 1982-03-15 | 光センサ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58156802A true JPS58156802A (ja) | 1983-09-17 |
Family
ID=12553975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3947182A Pending JPS58156802A (ja) | 1982-03-15 | 1982-03-15 | 光センサ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58156802A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0388345A2 (fr) * | 1989-03-13 | 1990-09-19 | Spectec S.A. | Chaîne de mesure d'angle ou de position optique et à transmission par fibres optiques intrinsèquement linéaire et référencé utilisant une ou plusieurs sources lumineuses |
| JPH02292844A (ja) * | 1989-05-02 | 1990-12-04 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | ウエハの外周位置検出装置 |
| US5751869A (en) * | 1996-08-08 | 1998-05-12 | Cogent Light Technologies, Inc. | Optical system for coupling light from a single fiber optic into a fiber bundle |
-
1982
- 1982-03-15 JP JP3947182A patent/JPS58156802A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0388345A2 (fr) * | 1989-03-13 | 1990-09-19 | Spectec S.A. | Chaîne de mesure d'angle ou de position optique et à transmission par fibres optiques intrinsèquement linéaire et référencé utilisant une ou plusieurs sources lumineuses |
| US5087811A (en) * | 1989-03-13 | 1992-02-11 | Spectec S.A. | Optical train for measuring angle or position with transmission by intrinsically linear and referenced optical fibers using one or more light sources |
| JPH02292844A (ja) * | 1989-05-02 | 1990-12-04 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | ウエハの外周位置検出装置 |
| US5751869A (en) * | 1996-08-08 | 1998-05-12 | Cogent Light Technologies, Inc. | Optical system for coupling light from a single fiber optic into a fiber bundle |
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