JPS58150803A - 回転体の軸方向位置測定装置 - Google Patents
回転体の軸方向位置測定装置Info
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- JPS58150803A JPS58150803A JP57019692A JP1969282A JPS58150803A JP S58150803 A JPS58150803 A JP S58150803A JP 57019692 A JP57019692 A JP 57019692A JP 1969282 A JP1969282 A JP 1969282A JP S58150803 A JPS58150803 A JP S58150803A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は回転体の軸方向位置測定装置にかかわり、特に
、研削盤、フライス盤および切断機などの工作機械にお
いて、回転する主軸に設けられた工具等の軸方向位置を
レーザ測長器を用いて測定する装置に関するものである
。
、研削盤、フライス盤および切断機などの工作機械にお
いて、回転する主軸に設けられた工具等の軸方向位置を
レーザ測長器を用いて測定する装置に関するものである
。
回転する主軸の先端に取り付けた工具の軸方向位置をレ
ーザ測長器を用いて測定する場合の従来例を第１図に示
す。この従来例では、なるべく工具６の軸方向位置を正
確に測定するため、主軸５の軸心゛に中空穴５ａを形成
し、該中空穴５ａと同軸上で前記工具６の直下に反射鏡
７を設置しである。この例では、前記反射鏡７の変位を
レーザ測長システム（干渉計８および受光器９）によす
測寓し、結果を発振回路３より周期的に供給される変換
指令信号３ａに同期してＡ、−Ｄ変換回路２によリティ
ジタル信号２ａに変換し、該ディジタル信号２ａを入力
指令信号２ｂに同期して演算処理装置１に送信している
。しかしながら、この方法では、主軸５の回転数を変更
した場合、＼主軸の回転と前記変換指令信号３ａとの同
期が合わないため、反射鏡７の取付誤差が真の測定値に
加算されて前記演算処理装置１に送信されるという欠点
があった。
ーザ測長器を用いて測定する場合の従来例を第１図に示
す。この従来例では、なるべく工具６の軸方向位置を正
確に測定するため、主軸５の軸心゛に中空穴５ａを形成
し、該中空穴５ａと同軸上で前記工具６の直下に反射鏡
７を設置しである。この例では、前記反射鏡７の変位を
レーザ測長システム（干渉計８および受光器９）によす
測寓し、結果を発振回路３より周期的に供給される変換
指令信号３ａに同期してＡ、−Ｄ変換回路２によリティ
ジタル信号２ａに変換し、該ディジタル信号２ａを入力
指令信号２ｂに同期して演算処理装置１に送信している
。しかしながら、この方法では、主軸５の回転数を変更
した場合、＼主軸の回転と前記変換指令信号３ａとの同
期が合わないため、反射鏡７の取付誤差が真の測定値に
加算されて前記演算処理装置１に送信されるという欠点
があった。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくし、測
定精度を向上させ、自動化を考慮した回転体の軸方向位
置測定装置を提供するにある。前記目的を達成するため
、本発明は、主軸の回転に同期した変換指令信号を発生
させることにより、常に反射鏡円周上の同一点で測定す
るようにし、反射鏡の取付誤差を含まない回転体の軸方
向位置測定ができるようにしたものである。
定精度を向上させ、自動化を考慮した回転体の軸方向位
置測定装置を提供するにある。前記目的を達成するため
、本発明は、主軸の回転に同期した変換指令信号を発生
させることにより、常に反射鏡円周上の同一点で測定す
るようにし、反射鏡の取付誤差を含まない回転体の軸方
向位置測定ができるようにしたものである。
以下、図面を用いて本発明による回転体の軸方向位置測
定装置の実施例を説明する。
定装置の実施例を説明する。
〔実施例１〕
第２図は本実施例の装置を装備した切断機の概略を示し
たものである。図において、先端に工具６を具備しかつ
プーリ１１およびベルト１２ヲ介して駆動用モータ（図
示せず）によって回転される主軸５が、ベアリングを、
介して軸受４に支持されている。この主軸５は軸心方向
に中空穴５ａが形成され、この中空穴５ａのほぼ工具６
直下の主軸軸心粒着に反射鏡７が配置され、また、この
反射鏡７でのレーザ光の反射を利用して干渉を起こさせ
る干渉器８が前記主軸５の軸心延長上に設置され、さら
に、この干渉器８から発せられた干渉光１０ｄを受光し
て結果を電圧に変換する受光器９が、前記干渉光１０ｄ
の延長上に設置されている。前記主軸５には、円周上に
少なくとも１個の切欠き穴があけられた回転ディスク１
３が取り付けられており、この回転ディスク１３の切欠
き穴を感知するように、発光素子と受光素子とを一体化
したフォトセンサ１４か配置されている。このフォトセ
ンサ１４が前記切欠き穴を感知したときに発生する出力
信号１４ａは、後記するＡ−Ｄ変換回路２の定格電圧（
通常ＴＴＬレベル）の矩形波に変換して変換指令信号３
ａを発生する波形整形回路１５に入力される。Ａ−Ｄ変
換回路２は、前記受光器９から発せられる電圧信号を前
記変換指令信号３ａに同期してデジ変換回路２より発せ
られる入力指令信号２ｂに同−期してディジタル信号２
ａを入力し、下式（１）のような演算を行い、前記工具
６の位置を算出するものである。すなわち、主軸１回当
ｉこりの入力データＸｉと主軸の位置Ｘとの関係は。
たものである。図において、先端に工具６を具備しかつ
プーリ１１およびベルト１２ヲ介して駆動用モータ（図
示せず）によって回転される主軸５が、ベアリングを、
介して軸受４に支持されている。この主軸５は軸心方向
に中空穴５ａが形成され、この中空穴５ａのほぼ工具６
直下の主軸軸心粒着に反射鏡７が配置され、また、この
反射鏡７でのレーザ光の反射を利用して干渉を起こさせ
る干渉器８が前記主軸５の軸心延長上に設置され、さら
に、この干渉器８から発せられた干渉光１０ｄを受光し
て結果を電圧に変換する受光器９が、前記干渉光１０ｄ
の延長上に設置されている。前記主軸５には、円周上に
少なくとも１個の切欠き穴があけられた回転ディスク１
３が取り付けられており、この回転ディスク１３の切欠
き穴を感知するように、発光素子と受光素子とを一体化
したフォトセンサ１４か配置されている。このフォトセ
ンサ１４が前記切欠き穴を感知したときに発生する出力
信号１４ａは、後記するＡ−Ｄ変換回路２の定格電圧（
通常ＴＴＬレベル）の矩形波に変換して変換指令信号３
ａを発生する波形整形回路１５に入力される。Ａ−Ｄ変
換回路２は、前記受光器９から発せられる電圧信号を前
記変換指令信号３ａに同期してデジ変換回路２より発せ
られる入力指令信号２ｂに同−期してディジタル信号２
ａを入力し、下式（１）のような演算を行い、前記工具
６の位置を算出するものである。すなわち、主軸１回当
ｉこりの入力データＸｉと主軸の位置Ｘとの関係は。
Ｘ−ΣＸ１／ｒｌ ・・・・・・・・・（１）
ｉ＝１ となり、回転ディスク１３の切欠き穴が１個の場合。
ｉ＝１ となり、回転ディスク１３の切欠き穴が１個の場合。
Ｘ＝Ｘ、となる。ここで、ｎは回転ディスク円周上の切
欠き穴の個数、Ｘｌは回転ディスク円周上の基点から１
個目の切欠き穴位置における干渉結果の読取り値（入力
データ）、Ｘは主軸の位置である。
欠き穴の個数、Ｘｌは回転ディスク円周上の基点から１
個目の切欠き穴位置における干渉結果の読取り値（入力
データ）、Ｘは主軸の位置である。
いま、回転ディスク１３の円周上の切欠き穴の個数ｎを
１１１ｍとし、主軸５を任意に無段変速できるような駆
動モータ（図示せず）で前記主軸５を回転させて、該主
軸５の位置を測定するものとする。
１１１ｍとし、主軸５を任意に無段変速できるような駆
動モータ（図示せず）で前記主軸５を回転させて、該主
軸５の位置を測定するものとする。
例えば、主軸回転数Ｎ＝ＬＯＯＯｒｐｍでのレニザ干渉
装置は、反射鏡７の円周上の前記回転ディスク１３の切
欠き穴の位置に一致する。さらに主軸回転数Ｎを１．５
．ＯＯＯｒｐｍに上げた場合でも、前記回転ディ−スフ
１３は主軸５と一体となって回転するため、前述のＮ＝
１．００Ｏｒｐｍでの干渉位置と同じ位置での干渉結
果を読み取ることができる。従って、主軸回転ｄＮのい
かなる範囲（ただし０＜Ｎ）においても、常に同じ位置
での干渉結果を読み取ることができ、測定精度を向上で
きる。また、上記のように主軸５を中空軸とし、この中
空軸とし、この中空軸の軸心にレーザ光を通すことによ
り、直接口に触れることなどなく、きわめて作業性が良
いという利点もある。
装置は、反射鏡７の円周上の前記回転ディスク１３の切
欠き穴の位置に一致する。さらに主軸回転数Ｎを１．５
．ＯＯＯｒｐｍに上げた場合でも、前記回転ディ−スフ
１３は主軸５と一体となって回転するため、前述のＮ＝
１．００Ｏｒｐｍでの干渉位置と同じ位置での干渉結
果を読み取ることができる。従って、主軸回転ｄＮのい
かなる範囲（ただし０＜Ｎ）においても、常に同じ位置
での干渉結果を読み取ることができ、測定精度を向上で
きる。また、上記のように主軸５を中空軸とし、この中
空軸とし、この中空軸の軸心にレーザ光を通すことによ
り、直接口に触れることなどなく、きわめて作業性が良
いという利点もある。
〔実施例２〕
第３図は本発明の池の実施例におけるＡ−Ｄ変換指令信
号発生回路の近傍を示したものである。
号発生回路の近傍を示したものである。
第３図において、回転ディスク１３の切欠き穴を感知し
て得られる可変周期信号１５ａと、発振回路３から得ら
れる固定周期信号３ｂとを得るべき回路をそれぞれ構成
し、回転体（すなわち主軸）の回転指令発生回路１７よ
り発せられる回転または停止信号の状態により、回転体
が回転中は可変周期信号１５ａを、ζまた回転体が停止
中は固定周期信号３ｂ−をＡ−Ｄ変換回路２への変換指
令信号３ａとするための変換指令判定回路１６を設けて
いる。なお、図中の符号１８は、回転体駆動装置ｌが回
転中であることを示す信号を与える信号供給源を示す。
て得られる可変周期信号１５ａと、発振回路３から得ら
れる固定周期信号３ｂとを得るべき回路をそれぞれ構成
し、回転体（すなわち主軸）の回転指令発生回路１７よ
り発せられる回転または停止信号の状態により、回転体
が回転中は可変周期信号１５ａを、ζまた回転体が停止
中は固定周期信号３ｂ−をＡ−Ｄ変換回路２への変換指
令信号３ａとするための変換指令判定回路１６を設けて
いる。なお、図中の符号１８は、回転体駆動装置ｌが回
転中であることを示す信号を与える信号供給源を示す。
上記の構７成により、回転体が停止中であっても、前記
回転体の軸方向位置を測定することができる。
回転体の軸方向位置を測定することができる。
〔実施例３〕
実施例１において、回転ディスク１３とフォトセンサ１
４の代りにロータリエンコーダを用いて主軸５の一定回
転角度位置が検出できるようにし、これを変換指令信号
３１ａのところに接続すれば、実施例１と同様の効果が
得られる。
４の代りにロータリエンコーダを用いて主軸５の一定回
転角度位置が検出できるようにし、これを変換指令信号
３１ａのところに接続すれば、実施例１と同様の効果が
得られる。
〔実施例４〕
実施例１において、回転ディスク１３の代りに、回転角
度方向に決い幅をもつ遮板を主軸５に固定し、実施例１
とは全く逆の信号、すなわちフォトセンサ１４の光を遮
板が遮断したときに主軸５の回転角度を検出できるよう
にしても、同様の機能と効果が得られる。
度方向に決い幅をもつ遮板を主軸５に固定し、実施例１
とは全く逆の信号、すなわちフォトセンサ１４の光を遮
板が遮断したときに主軸５の回転角度を検出できるよう
にしても、同様の機能と効果が得られる。
以上説明したように、本発明によれば、主軸の軸方向位
置をレーザ干渉を利用してｆ測定するに当たり、主軸の
回転に同期して反射鏡等の円周上の常に一定点でのレー
ザ干渉の結果を読み取るようにしたため、反射鏡の取付
誤差が及ぼす測定誤差を除去でき、測定精度を１０．１
μｍに向上することができる。
置をレーザ干渉を利用してｆ測定するに当たり、主軸の
回転に同期して反射鏡等の円周上の常に一定点でのレー
ザ干渉の結果を読み取るようにしたため、反射鏡の取付
誤差が及ぼす測定誤差を除去でき、測定精度を１０．１
μｍに向上することができる。
第１図は従来技術による回転体の軸方向位置測定装置の
概略説明図、第２図は本発明による回転体の軸方同位１
ｌｉｆｔｕＯ定装置の一実施例を装備した切断機の概略
説明図、第３図は本発明の他の実施例のＡ−１１）変換
指令信号発生回路の近傍を示す説明図である。 符号の説明 ｌ・・・演算処理装置 ２・・・Ａ−Ｄ変換回路３・
・・発振回路 ３ａ・・・変換指令信号３ｂ・
・・固定周期信号 ５・・・主軸５ａ・・・中空穴
６・・・工具７・・・反射鏡 ８・・
・干渉器９・・・受光器 １３・・・回転ディ
スク１４・・・フォトセンサ １５・・・波形整形回
路１５ａ・・・可変周期信号 １６・・・変換指令判
定回路１７・・・回転指令発生回路 代理人弁理士 中 村純之助 卆２林１ 手続補正書（自発） 昭和５８年４月１３日 特許庁長官 殿 事件の表示 昭和５７年特許願第１９６９２号発明
の名称 回転体の軸方向位置測定装置補正をする者 事件との関係 特許出願人 代表者 三 ［１１勝 茂 代 理 人 補正の内容 （１）明細書の特許請求の範囲を別添のとおり訂正する
。 ″（２）明細書第３頁第１５行から第１６行の「変換指
令信号３ａに同期してＡ−Ｄ変換回路２によりディジタ
ル信号２ａに変換し」を「記憶指令信号３ａに同期して
ＵＰ／ＤＯＷＮカウンタ回路２によりディジタル信号２
ａとして記憶し」に訂正する。 （３）同第３頁第加行の「変換指令信号」を「記憶指令
信号」に訂正する。 （４）同第５頁第１３行から第１４行の「後記するＡ−
Ｄ変換回路２の定格電圧（通常ＴＴＬレベル）の矩形波
に変換して変換指令信号」を「後記するＵｐ／ＤＯＷＮ
カウンタ回路２の定格−電圧（通常ＴＴＬレベル）の矩
形波に変換して記憶指令信号」に訂正する。 （５）同第５頁第１５〜１６行の「Ａ−Ｄ変換回路２は
、」から同頁第１９〜２０行の「前記Ａ−Ｄ変換回路２
より発せられる」までを、全文下記に訂正する。 ｒ ＵＰ／ＤＯＷＮカウンタ回絡２は、前記受光器９か
ら発せられる電圧信号を最小読取り単位に分割する分割
回路および反射鏡７の変位方向を判定する方向弁別回路
を内蔵しており、前記受光器９から発せられる電圧信号
を前記記憶指令信号３ａに同期してディジタル信号２ａ
として記憶し、記憶路゛了後に入力指令信号２ｂを発生
する。演算処理装置１は、前記ＵＰ／ＤＯＷＮカウンタ
回路２より発せられる」。 （６）同第６頁第１７〜１８行の「レーザ干渉装置」を
「レーザ干渉位置」に訂正する。 （７）同第７頁第７行の「主軸５を中空軸とし、この中
空軸とし、」を「主軸５を中空軸とし、」に訂正する。 （８）同第７頁第１２〜１３行の「Ａ−Ｄ変換指令信号
発生回路」を「記憶指令信号発生回路」に訂正する。 （９）同第８頁第１〜２行のＦ Ａ−Ｄ変換回路２への
変換指令信号３ａとするための変換指令判定回路１６」
を「ＵＰ／ＤＯＷＮカウンタ回路２への記憶指令信号３
ａとするための記憶指令判定回路１６」に訂正する。 （１０）同第８頁第３〜４行の「回転体駆動装置１が回
転中であることを示す信号を与える信号供給源」を「主
軸５を回転させる駆動装置（図示せず）へ回転脂伶を与
える信号供給源」に訂正する。 （１１）同第８頁第１１行の「変換指令信号３′ｉ」を
「記憶指令信号３ａＪに訂正する。 （１２）同第９頁第１５行の「２・・・Ａ−Ｄ変換回路
」を「２・・・ＵＰ／ＤＯＷＮカウンタ回路」に訂正す
る。 （１３）同第９頁第１６行の［３ａ・・・変換指令信号
」を「３ａ・・・記憶指令信号」に訂正する。 （１４）同第１０頁第２行の「１６・・・変換指令判定
回路」を「１６・・・記憶指令判定回路」に訂正する。 別 紙 特許請求の範囲 （１）一部に工具または被削物を有する回転体の軸方向
位置を、該回転体にその軸方向に直角に設けた反射鏡等
へのレーザ入射光と該反射鏡等でのレーザ反射光とのレ
ーザ干渉を利用して測定する装置であって、前記回転体
の回転角度を検出する手段を有し、該検出手段により得
られる回転体の角度に同期した信号に基づき、前記レー
ザ干渉を利用した測定装置の測定結果を読み取るように
したことを特徴とする回転体の軸方向位置測定装置。 （２、特許請求の範囲第１項に記載の回転体の軸方向位
置測定装置において、主軸を軸心方向に中空穴を有する
中空状に形成し、該中空穴内部をレーザ干渉をするレー
ザ光の光路の一部としたことを特徴とする回転体の軸方
向位置測定装置。 （３） 特許請求の範囲第１項に記載の回転体の軸方
向位置測定装置において、回転体の一部に、円周上に少
なくとも１個の切欠き穴を有する回転ディスクまたは少
なくとも１個の回転角度方向に狭い幅をもつ遮板を該回
転体と一体となって回転するごとく配置し、該回転ディ
スクの切欠き穴または該遮板を感知するフォトセンサを
設け、該フォトセンサが前記切欠き穴または前記遮板を
感知することにより回転体の回転角度を検出し、該回転
角度に同期した電気信号を出力することを特徴とする回
転体の軸方向位置測定装置。 （４）特許請求の範囲第１項に記載の回転体の軸方向位
置測定装置において、回転体の回転に同期した電気信号
を発する第１の回路と、回転体の回転には無関係にある
一定周期の電気信号を発する第２の回路とを設け、前記
回転体が回転中は前記第１の回路より発せられる電気信
号を、回転体が停止中は前記第２の回路より発、せられ
る電気信号をそれぞれ選択して、前記回転体の位置を読
み取るタイミング信号を発することを特徴とする回転体
の軸方向位置測定装置。
概略説明図、第２図は本発明による回転体の軸方同位１
ｌｉｆｔｕＯ定装置の一実施例を装備した切断機の概略
説明図、第３図は本発明の他の実施例のＡ−１１）変換
指令信号発生回路の近傍を示す説明図である。 符号の説明 ｌ・・・演算処理装置 ２・・・Ａ−Ｄ変換回路３・
・・発振回路 ３ａ・・・変換指令信号３ｂ・
・・固定周期信号 ５・・・主軸５ａ・・・中空穴
６・・・工具７・・・反射鏡 ８・・
・干渉器９・・・受光器 １３・・・回転ディ
スク１４・・・フォトセンサ １５・・・波形整形回
路１５ａ・・・可変周期信号 １６・・・変換指令判
定回路１７・・・回転指令発生回路 代理人弁理士 中 村純之助 卆２林１ 手続補正書（自発） 昭和５８年４月１３日 特許庁長官 殿 事件の表示 昭和５７年特許願第１９６９２号発明
の名称 回転体の軸方向位置測定装置補正をする者 事件との関係 特許出願人 代表者 三 ［１１勝 茂 代 理 人 補正の内容 （１）明細書の特許請求の範囲を別添のとおり訂正する
。 ″（２）明細書第３頁第１５行から第１６行の「変換指
令信号３ａに同期してＡ−Ｄ変換回路２によりディジタ
ル信号２ａに変換し」を「記憶指令信号３ａに同期して
ＵＰ／ＤＯＷＮカウンタ回路２によりディジタル信号２
ａとして記憶し」に訂正する。 （３）同第３頁第加行の「変換指令信号」を「記憶指令
信号」に訂正する。 （４）同第５頁第１３行から第１４行の「後記するＡ−
Ｄ変換回路２の定格電圧（通常ＴＴＬレベル）の矩形波
に変換して変換指令信号」を「後記するＵｐ／ＤＯＷＮ
カウンタ回路２の定格−電圧（通常ＴＴＬレベル）の矩
形波に変換して記憶指令信号」に訂正する。 （５）同第５頁第１５〜１６行の「Ａ−Ｄ変換回路２は
、」から同頁第１９〜２０行の「前記Ａ−Ｄ変換回路２
より発せられる」までを、全文下記に訂正する。 ｒ ＵＰ／ＤＯＷＮカウンタ回絡２は、前記受光器９か
ら発せられる電圧信号を最小読取り単位に分割する分割
回路および反射鏡７の変位方向を判定する方向弁別回路
を内蔵しており、前記受光器９から発せられる電圧信号
を前記記憶指令信号３ａに同期してディジタル信号２ａ
として記憶し、記憶路゛了後に入力指令信号２ｂを発生
する。演算処理装置１は、前記ＵＰ／ＤＯＷＮカウンタ
回路２より発せられる」。 （６）同第６頁第１７〜１８行の「レーザ干渉装置」を
「レーザ干渉位置」に訂正する。 （７）同第７頁第７行の「主軸５を中空軸とし、この中
空軸とし、」を「主軸５を中空軸とし、」に訂正する。 （８）同第７頁第１２〜１３行の「Ａ−Ｄ変換指令信号
発生回路」を「記憶指令信号発生回路」に訂正する。 （９）同第８頁第１〜２行のＦ Ａ−Ｄ変換回路２への
変換指令信号３ａとするための変換指令判定回路１６」
を「ＵＰ／ＤＯＷＮカウンタ回路２への記憶指令信号３
ａとするための記憶指令判定回路１６」に訂正する。 （１０）同第８頁第３〜４行の「回転体駆動装置１が回
転中であることを示す信号を与える信号供給源」を「主
軸５を回転させる駆動装置（図示せず）へ回転脂伶を与
える信号供給源」に訂正する。 （１１）同第８頁第１１行の「変換指令信号３′ｉ」を
「記憶指令信号３ａＪに訂正する。 （１２）同第９頁第１５行の「２・・・Ａ−Ｄ変換回路
」を「２・・・ＵＰ／ＤＯＷＮカウンタ回路」に訂正す
る。 （１３）同第９頁第１６行の［３ａ・・・変換指令信号
」を「３ａ・・・記憶指令信号」に訂正する。 （１４）同第１０頁第２行の「１６・・・変換指令判定
回路」を「１６・・・記憶指令判定回路」に訂正する。 別 紙 特許請求の範囲 （１）一部に工具または被削物を有する回転体の軸方向
位置を、該回転体にその軸方向に直角に設けた反射鏡等
へのレーザ入射光と該反射鏡等でのレーザ反射光とのレ
ーザ干渉を利用して測定する装置であって、前記回転体
の回転角度を検出する手段を有し、該検出手段により得
られる回転体の角度に同期した信号に基づき、前記レー
ザ干渉を利用した測定装置の測定結果を読み取るように
したことを特徴とする回転体の軸方向位置測定装置。 （２、特許請求の範囲第１項に記載の回転体の軸方向位
置測定装置において、主軸を軸心方向に中空穴を有する
中空状に形成し、該中空穴内部をレーザ干渉をするレー
ザ光の光路の一部としたことを特徴とする回転体の軸方
向位置測定装置。 （３） 特許請求の範囲第１項に記載の回転体の軸方
向位置測定装置において、回転体の一部に、円周上に少
なくとも１個の切欠き穴を有する回転ディスクまたは少
なくとも１個の回転角度方向に狭い幅をもつ遮板を該回
転体と一体となって回転するごとく配置し、該回転ディ
スクの切欠き穴または該遮板を感知するフォトセンサを
設け、該フォトセンサが前記切欠き穴または前記遮板を
感知することにより回転体の回転角度を検出し、該回転
角度に同期した電気信号を出力することを特徴とする回
転体の軸方向位置測定装置。 （４）特許請求の範囲第１項に記載の回転体の軸方向位
置測定装置において、回転体の回転に同期した電気信号
を発する第１の回路と、回転体の回転には無関係にある
一定周期の電気信号を発する第２の回路とを設け、前記
回転体が回転中は前記第１の回路より発せられる電気信
号を、回転体が停止中は前記第２の回路より発、せられ
る電気信号をそれぞれ選択して、前記回転体の位置を読
み取るタイミング信号を発することを特徴とする回転体
の軸方向位置測定装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）一部に工具または被削物を有する回転体の軸方向
位置を、該回転体にその軸方向に直角に設けた反射ａ４
へのレーザ入射光と該反射鏡等でのレーザ反射光とのレ
ーザ干渉を利用して測定する装置であって、前記回転体
の回転角度を検出する手段を有し、該検出手段により得
られる回転体の角度に同期した信号に基づき、前記レー
ザ干渉を利用した測定装置の測定結果を読み取るように
したことを特徴とする回転体の軸方向位置測定装置。 （２、特許請求の範囲第１項に記載の回転体の軸方向位
置測定装置において、主軸を軸心方向に中空穴を有する
中空状に形成し、該中空穴内部をレーザ干渉をするレー
ザ光の光路の一部としたことを特徴とする回転体の軸方
向位置測定装置。 （３）特許請求の範囲第１項に記載の回転体の軸方向位
置測定装置において、回転体の一部に、円周上に少なく
とも１個の切欠き穴を有する回転ディスクまたは少なく
とも１個の回転角度方向に狭い幅をもつ遮板を該回転体
と一体となって回転するごとく配置し、該回転ディスク
の切欠き穴または該遮板を感知するフォトセンサを設け
、該フォトセンサが前記切欠き穴または前記遮板を感知
することにより回転体の回転角度を検出することを特徴
とする回転体の軸方向位置測定装置。 （４）特許請求の範囲第１項に記載の回転体の軸方向位
置測定装置において、回転体の回転に同期した電気信号
を発する第１の回路と、回転体の回転には無関係にある
一定周期の電気信号を発する第２の回路とを設け、前記
回転体が回転中は前記第１の回路より発せられる電気信
号を、回転体が停止中は前記第２の回路より発せられる
電気信号をそれぞれ選択して、前記回転体の位置を読み
取るタイミング信号を発することを特徴とする回転体の
軸方向位置測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57019692A JPS58150803A (ja) | 1982-02-12 | 1982-02-12 | 回転体の軸方向位置測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57019692A JPS58150803A (ja) | 1982-02-12 | 1982-02-12 | 回転体の軸方向位置測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58150803A true JPS58150803A (ja) | 1983-09-07 |
Family
ID=12006298
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57019692A Pending JPS58150803A (ja) | 1982-02-12 | 1982-02-12 | 回転体の軸方向位置測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58150803A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0146917A2 (de) * | 1983-12-22 | 1985-07-03 | Leuze electronic GmbH + Co. | Einrichtung zum Erkennen des Vorhandenseins von Transportgut auf der Mantelfläche eines rotierenden Transportkörpers |
| JPS61214970A (ja) * | 1985-03-20 | 1986-09-24 | Sanyo Electric Co Ltd | 研摩装置 |
| KR101005051B1 (ko) | 2008-11-14 | 2010-12-30 | 에프엠전자(주) | 레이저 센서 |
-
1982
- 1982-02-12 JP JP57019692A patent/JPS58150803A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0146917A2 (de) * | 1983-12-22 | 1985-07-03 | Leuze electronic GmbH + Co. | Einrichtung zum Erkennen des Vorhandenseins von Transportgut auf der Mantelfläche eines rotierenden Transportkörpers |
| JPS61214970A (ja) * | 1985-03-20 | 1986-09-24 | Sanyo Electric Co Ltd | 研摩装置 |
| KR101005051B1 (ko) | 2008-11-14 | 2010-12-30 | 에프엠전자(주) | 레이저 센서 |
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