JPS5814459A - Ｘ線発生装置 - Google Patents
Ｘ線発生装置Info
- Publication number
- JPS5814459A JPS5814459A JP56110879A JP11087981A JPS5814459A JP S5814459 A JPS5814459 A JP S5814459A JP 56110879 A JP56110879 A JP 56110879A JP 11087981 A JP11087981 A JP 11087981A JP S5814459 A JPS5814459 A JP S5814459A
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- JP
- Japan
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- discharge
- electrode
- tube
- cylinder
- developed
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/003—X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はＸ線発生の起動をさせるためのト埋ガ機構を設
けたＸ線発生装置に関するものである。
けたＸ線発生装置に関するものである。
従来、例えばＬＳＩ等半導体装置の製造プロセスにおい
て、微小パターンの転写には、よシ短波長の光を採用す
ることによって高解像度番得る努力がなされており、紫
外線に代りＸ線露光も行なわれるようになった。その光
源としても有望な細管形Ｘ線発生装置がある〔例えば、
ｌ’、 Ｂｏｇｅｎ 。
て、微小パターンの転写には、よシ短波長の光を採用す
ることによって高解像度番得る努力がなされており、紫
外線に代りＸ線露光も行なわれるようになった。その光
源としても有望な細管形Ｘ線発生装置がある〔例えば、
ｌ’、 Ｂｏｇｅｎ 。
ｅｔ ａｌ、” Ｃｏｎｔｉｎｕｕｍ Ｒａｄｉａｔｉ
ｏｎ ５ｏｕｒｃｅ’ｏｆ ｒＴｉｇ’ｈＩｎｔｅｎｓ
ｉｔｙ″Ｊ、Ｏｐｔ、 Ｓｏｃ、Ａｍｅｒ、 ５８．
Ｎｌ１２ 、 ＋１゜２０３ （１９６８）、参照〕。
ｏｎ ５ｏｕｒｃｅ’ｏｆ ｒＴｉｇ’ｈＩｎｔｅｎｓ
ｉｔｙ″Ｊ、Ｏｐｔ、 Ｓｏｃ、Ａｍｅｒ、 ５８．
Ｎｌ１２ 、 ＋１゜２０３ （１９６８）、参照〕。
第１図は上記論文に発表されている細管形Ｘ線発生装置
の動作原理説明図であり、同図（ａ）は正面図、（ｂ）
は（ａ）、のＡ−Ａ線における断面図及び電気結線図を
示す。図において、１は所定の波長域のＸ線を放射すべ
き元素を含有せる電気的絶縁性の物質（例え、ば炭素の
Ｘ線が必要な場合、炭素を含有する物質としてはポリエ
チレンが選ハレる）からなる円筒（以下、単に円筒と・
記す）で、その中央に放電空間を形成する細管（細孔）
２を有する。円筒１の両端面に電極３が設けられ、それ
には高耐圧のコンデンサ４が接続されている。コンデン
サ４には高抵抗５を介して直流高圧電源６が接続され、
この電源によってコンデンサ４は高電圧に充電されてい
る。円筒１．電極３は高真空容器に収められている。コ
ンデンサ４の充電が進行して円筒１の両端の電極６に充
分高い電圧が加わり、細管２の壁面の材質及び状態・形
状から一義的に定まる沿面放電開始電圧に達すると、細
管２の壁面に沿って沿面放電が発生し、コンデンサ４咳
蓄えられた電気量が急激に流れ始める？とれによって細
管２の壁面が急激に加熱され、円筒１の構成物質が爆発
的に蒸発・気化し、細管２内部に充満する。ここに至っ
て放電は細管２に充満した蒸気のガス放電に移行し、細
管２内はプラズマで満たされる。プラズマ中のイオンが
周囲に薄遇する電子を捕捉して基底状態に戻るときにＸ
線が発生し、細管２から放射される。この一連の現象が
コンデ・ンサ４が放電するまでの極く短時間（１００ｎ
Ｓ前後）に集中的に起きるために、−回の放電毎に強力
なＸ線が放射される。
の動作原理説明図であり、同図（ａ）は正面図、（ｂ）
は（ａ）、のＡ−Ａ線における断面図及び電気結線図を
示す。図において、１は所定の波長域のＸ線を放射すべ
き元素を含有せる電気的絶縁性の物質（例え、ば炭素の
Ｘ線が必要な場合、炭素を含有する物質としてはポリエ
チレンが選ハレる）からなる円筒（以下、単に円筒と・
記す）で、その中央に放電空間を形成する細管（細孔）
２を有する。円筒１の両端面に電極３が設けられ、それ
には高耐圧のコンデンサ４が接続されている。コンデン
サ４には高抵抗５を介して直流高圧電源６が接続され、
この電源によってコンデンサ４は高電圧に充電されてい
る。円筒１．電極３は高真空容器に収められている。コ
ンデンサ４の充電が進行して円筒１の両端の電極６に充
分高い電圧が加わり、細管２の壁面の材質及び状態・形
状から一義的に定まる沿面放電開始電圧に達すると、細
管２の壁面に沿って沿面放電が発生し、コンデンサ４咳
蓄えられた電気量が急激に流れ始める？とれによって細
管２の壁面が急激に加熱され、円筒１の構成物質が爆発
的に蒸発・気化し、細管２内部に充満する。ここに至っ
て放電は細管２に充満した蒸気のガス放電に移行し、細
管２内はプラズマで満たされる。プラズマ中のイオンが
周囲に薄遇する電子を捕捉して基底状態に戻るときにＸ
線が発生し、細管２から放射される。この一連の現象が
コンデ・ンサ４が放電するまでの極く短時間（１００ｎ
Ｓ前後）に集中的に起きるために、−回の放電毎に強力
なＸ線が放射される。
上に述べたように、従来の細管形Ｘ線発生装置では、放
電開始は円筒１を構成する物質の物性と細管２の壁面状
態のみで決定され、外部からコントロールすることが出
来なかった。
電開始は円筒１を構成する物質の物性と細管２の壁面状
態のみで決定され、外部からコントロールすることが出
来なかった。
本発明は、細管形Ｘ線発生装置におけるこれらの欠点を
除去するため、新たに放電開始トリガ用の電極を設けた
もので、以下図面について詳細に説明する。
除去するため、新たに放電開始トリガ用の電極を設けた
もので、以下図面について詳細に説明する。
第２図は本発明の実施例の装置を示すもので、同図（ａ
）は正面図、（ｂ）は（ａ）のＢ ＝ Ｂ線における断
面図及び電気結線図である。図において、前出のものと
同一符号のものは同一または均等部分を示すものとする
。円筒１はＸ線源となるべき元素を含有する電気的絶縁
性の物質で形成され、中央には細孔（細管２）が明いて
いる。その両端面に電極３（例えばカーボン製）が設け
られている７はトリガ電極（図に示したものは針状の突
起を有しているが、単に平板であってもよい）で、絶縁
碍子８を介して電極６の一方に取りつけられている。９
はトリガ放電用の高圧パルス発生器である。なお、円筒
１．電極３．トリガ電極７．絶縁碍子８は高真空中に収
められている。
）は正面図、（ｂ）は（ａ）のＢ ＝ Ｂ線における断
面図及び電気結線図である。図において、前出のものと
同一符号のものは同一または均等部分を示すものとする
。円筒１はＸ線源となるべき元素を含有する電気的絶縁
性の物質で形成され、中央には細孔（細管２）が明いて
いる。その両端面に電極３（例えばカーボン製）が設け
られている７はトリガ電極（図に示したものは針状の突
起を有しているが、単に平板であってもよい）で、絶縁
碍子８を介して電極６の一方に取りつけられている。９
はトリガ放電用の高圧パルス発生器である。なお、円筒
１．電極３．トリガ電極７．絶縁碍子８は高真空中に収
められている。
直流高圧電源乙によってコンデンサ４が充電さ □
れ始めると、電極６により円筒１の両端面に印加される
電圧が時間とともに増し始める。ここで高圧パルス発生
器９によって、近接している電極３とトリガ電極７の間
に小さな放電を起こさせる。
れ始めると、電極６により円筒１の両端面に印加される
電圧が時間とともに増し始める。ここで高圧パルス発生
器９によって、近接している電極３とトリガ電極７の間
に小さな放電を起こさせる。
この放電が引金となって、細管２の壁面に沿面放電が誘
発されて、以下壁面物質の蒸発・気化、気体放電への移
行、プラズマの生成、Ｘ線の発生が段階的に極く短時間
の内に進行し、細管２がらＸ線が放出される。
発されて、以下壁面物質の蒸発・気化、気体放電への移
行、プラズマの生成、Ｘ線の発生が段階的に極く短時間
の内に進行し、細管２がらＸ線が放出される。
なお、具体的な構成と動作の一例を示すと、円筒１の長
さ約２Ｑｍｍ、 細管２の内径０．５〜２．０ｍｍの
もので、直流高圧電源６の電圧４ ［１ｋＶとし、トリ
ガ放電用の高圧パルスとしてはパルス幅５Ｑｍｓ、、ｊ
□〜１５ｋＶを印加する。高圧パルスによる起動で、放
電開始時間の制御のみならず放電開始電圧（例えば２０
〜３５ｋＶ）の制御も可能になる。
さ約２Ｑｍｍ、 細管２の内径０．５〜２．０ｍｍの
もので、直流高圧電源６の電圧４ ［１ｋＶとし、トリ
ガ放電用の高圧パルスとしてはパルス幅５Ｑｍｓ、、ｊ
□〜１５ｋＶを印加する。高圧パルスによる起動で、放
電開始時間の制御のみならず放電開始電圧（例えば２０
〜３５ｋＶ）の制御も可能になる。
以上説明したように、本発明によれば、細管２の物質と
形状から定まる沿面放電開始電圧に関係なく、トリガ電
極７にパルスを加えることにょシ所望の時間に所望の放
電間隔でＸ線を発生させうる利点がある。従って、例え
ば半導体装置の製造プロセス（゛ホトリソグラフィ）に
おける露光用光源として、本発明のＸ線発生装置を用い
れば、その作業性を著しく向上させることができる等の
効果がある。
形状から定まる沿面放電開始電圧に関係なく、トリガ電
極７にパルスを加えることにょシ所望の時間に所望の放
電間隔でＸ線を発生させうる利点がある。従って、例え
ば半導体装置の製造プロセス（゛ホトリソグラフィ）に
おける露光用光源として、本発明のＸ線発生装置を用い
れば、その作業性を著しく向上させることができる等の
効果がある。
第１図は従来の細管形Ｘ線発生装置の動作原理説明図で
、同図（ａ）は正面図、（ｂ）はにＩ）の八−入線にお
ける断面図及び電気結線図、第２図は本発明になる装置
を示すもので、同図（ａ）は正面図（ｂ）は（ａ＞のＢ
−Ｂ線における断面図及び電気結線図である。 １・・・円筒 ２・・・細管（細孔）３・
・・電極 ４・・・コンデンサ５・・・高
抵抗 ６・・・直流高圧電源７・・・トリガ
電極 ８・・・絶縁碍子９・・・高圧パルス発生
器 特許出願人 日本電信電話公社 代理人弁理士 中村純之助
、同図（ａ）は正面図、（ｂ）はにＩ）の八−入線にお
ける断面図及び電気結線図、第２図は本発明になる装置
を示すもので、同図（ａ）は正面図（ｂ）は（ａ＞のＢ
−Ｂ線における断面図及び電気結線図である。 １・・・円筒 ２・・・細管（細孔）３・
・・電極 ４・・・コンデンサ５・・・高
抵抗 ６・・・直流高圧電源７・・・トリガ
電極 ８・・・絶縁碍子９・・・高圧パルス発生
器 特許出願人 日本電信電話公社 代理人弁理士 中村純之助
Claims (1)
- 中央に放電空間を形成する細管を有する絶縁体の円筒と
、該円筒の両端に設けた放電用高電位を印加する電極と
を具備してなる細管形Ｘ線発生装置において、一方の電
極の外側に電気絶縁碍子を介して支持された針状または
平板状のトリガ電極を設け、該トリガ電極と上記一方の
電極の間にパルス電圧を印加してスパークを起こさせる
ことによってＸ線発生を起動することを特徴とするＸ線
発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56110879A JPS5944742B2 (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | Ｘ線発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56110879A JPS5944742B2 (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | Ｘ線発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5814459A true JPS5814459A (ja) | 1983-01-27 |
| JPS5944742B2 JPS5944742B2 (ja) | 1984-10-31 |
Family
ID=14547005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56110879A Expired JPS5944742B2 (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | Ｘ線発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5944742B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH021904A (ja) * | 1988-06-10 | 1990-01-08 | Mitsubishi Electric Corp | マスクの露光方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7164450B2 (ja) | 2019-01-29 | 2022-11-01 | グローブライド株式会社 | 両軸受型リール |
-
1981
- 1981-07-17 JP JP56110879A patent/JPS5944742B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH021904A (ja) * | 1988-06-10 | 1990-01-08 | Mitsubishi Electric Corp | マスクの露光方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5944742B2 (ja) | 1984-10-31 |
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