JPS5814497A - Ｘ線発生装置 - Google Patents
Ｘ線発生装置Info
- Publication number
- JPS5814497A JPS5814497A JP56110880A JP11088081A JPS5814497A JP S5814497 A JPS5814497 A JP S5814497A JP 56110880 A JP56110880 A JP 56110880A JP 11088081 A JP11088081 A JP 11088081A JP S5814497 A JPS5814497 A JP S5814497A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- electrode
- trigger
- voltage
- rays
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
- H05G1/08—Electrical details
- H05G1/26—Measuring, controlling or protecting
- H05G1/30—Controlling
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は任意の強度のＸ線を発生させるためのトリガ機
構を備えたＸ線発生装置に関するものである。
構を備えたＸ線発生装置に関するものである。
従来、例えばＬＳＩ等半導体装置の製造プロセスにおい
て、微小パターンの転写には、より短波長の光を採用す
ることによって高解像度を得る努力がなされており、紫
外線に代りＸ線露光も行なわれるようになった゛。その
光源としても有望な細管形Ｘ線発生装置がある〔例えば
、Ｐ、Ｂｏｇｅｎ 。
て、微小パターンの転写には、より短波長の光を採用す
ることによって高解像度を得る努力がなされており、紫
外線に代りＸ線露光も行なわれるようになった゛。その
光源としても有望な細管形Ｘ線発生装置がある〔例えば
、Ｐ、Ｂｏｇｅｎ 。
ｅｔ ａｌ、” Ｃｏｎｔｉｎｕｕｍ Ｒａｄｉａｔｉ
ｏｎ Ｓｏｕ、ｒｃｅ ｏｆ ＨｉｇｈＩｎｔｅｎｓｉ
ｔｙ”Ｊ、 Ｏｐｔ、 ８ｏｃ、Ａｍｅｒ、 ５８．
Ｎｌ ２． ｒ）。
ｏｎ Ｓｏｕ、ｒｃｅ ｏｆ ＨｉｇｈＩｎｔｅｎｓｉ
ｔｙ”Ｊ、 Ｏｐｔ、 ８ｏｃ、Ａｍｅｒ、 ５８．
Ｎｌ ２． ｒ）。
２０３ （１９６８）、 参照〕。
第１図は上記論文に発表されている細管形Ｘ線発生装置
の動作原理説明図であり、同図（ａ）は正面図、（ｂ）
は（ａ）のＡ−Ａ線における断面図及び電気結線図を示
す。図において、１は所定の波長域のＸ線を放射すべき
元素を含有せる電気的絶縁性の物質（例えば炭素のＸ線
が必要々場合、炭素を含有する物質としてはポリエチレ
ンが選ばれる）からなる円筒“（以下、単に円筒と記す
）で、その中央に放電空間を形成する細管（細孔）２を
有する。円筒１０両端面に電極３が設けられ、それには
高耐圧のコンデンサ４が接続されている。コンデンサ４
には高抵抗５を介して直流高圧電源ｃ：・が接続され、
この電源によってコンデンサ４は高電圧に充電されてい
る。円筒１．電極３は高真空容器に収められている。コ
ンデンサ４の充電が進行して円筒１の両端の電極３に充
分高い電圧が加わり、細管２の壁面の材質及び状態・形
状から一義的に定まる沿面放電開始電圧に達すると、細
管２の壁面に沿って沿面放電が発生し、コンデンサ４に
蓄えられた電気量が急激に流れ始める。これによって細
管２の壁面が急激に加熱され、円筒１の構成物質が爆発
的に蒸発・気化し、―管２内部に充満する。ここに至っ
て放電は細管２に充満した蒸気のガス放電に移行し、細
管２内はプラズマゼ満たされる。プラズマ中のイオンが
周囲に浮遊する電子を捕捉して基底状態に戻るときにＸ
線が発生し、細管２から放射される゛。この一連の現象
がコンデンサ４が放電するまでの極く短時間（１００ｎ
Ｓ前後）に集中的に起きるために、−回の放電毎に強力
なＸ線が放射される。
の動作原理説明図であり、同図（ａ）は正面図、（ｂ）
は（ａ）のＡ−Ａ線における断面図及び電気結線図を示
す。図において、１は所定の波長域のＸ線を放射すべき
元素を含有せる電気的絶縁性の物質（例えば炭素のＸ線
が必要々場合、炭素を含有する物質としてはポリエチレ
ンが選ばれる）からなる円筒“（以下、単に円筒と記す
）で、その中央に放電空間を形成する細管（細孔）２を
有する。円筒１０両端面に電極３が設けられ、それには
高耐圧のコンデンサ４が接続されている。コンデンサ４
には高抵抗５を介して直流高圧電源ｃ：・が接続され、
この電源によってコンデンサ４は高電圧に充電されてい
る。円筒１．電極３は高真空容器に収められている。コ
ンデンサ４の充電が進行して円筒１の両端の電極３に充
分高い電圧が加わり、細管２の壁面の材質及び状態・形
状から一義的に定まる沿面放電開始電圧に達すると、細
管２の壁面に沿って沿面放電が発生し、コンデンサ４に
蓄えられた電気量が急激に流れ始める。これによって細
管２の壁面が急激に加熱され、円筒１の構成物質が爆発
的に蒸発・気化し、―管２内部に充満する。ここに至っ
て放電は細管２に充満した蒸気のガス放電に移行し、細
管２内はプラズマゼ満たされる。プラズマ中のイオンが
周囲に浮遊する電子を捕捉して基底状態に戻るときにＸ
線が発生し、細管２から放射される゛。この一連の現象
がコンデンサ４が放電するまでの極く短時間（１００ｎ
Ｓ前後）に集中的に起きるために、−回の放電毎に強力
なＸ線が放射される。
上に述べたように、従来の細管形Ｘ線発生装置では、印
加電圧が細管２の壁面の材質、形状、状態のみで定まる
沿面放電開始電圧に達したときに放電が自爆的に発生し
てＸ線が放射される。従つ出来なかった。
加電圧が細管２の壁面の材質、形状、状態のみで定まる
沿面放電開始電圧に達したときに放電が自爆的に発生し
てＸ線が放射される。従つ出来なかった。
本発明は、細管形Ｘ線発生装置におけるこれらの欠゛点
を除去するため、細管両端の電極に印加する電圧の大き
さによって動作する放電開始トリガ用の電極を設けたも
ので、以下図面について詳細に説明する。
を除去するため、細管両端の電極に印加する電圧の大き
さによって動作する放電開始トリガ用の電極を設けたも
ので、以下図面について詳細に説明する。
第２図は本発明の実施例の装置を示すもので、同図（ａ
）はその主要部の正面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線に
おける断面図及び電気結線図である。図において、前出
のものと同一符号のものは同一または均等部分を示すも
のとする。円筒１はＸ線源となるべき元素を含着する電
気的絶縁性の物質で形成され、中央には細孔（細管２）
が、明いているその両端面に電極５．５’Ｃ例えばカー
ボン製）が設けられている。７はトリガ電極で、図に示
したものは中央細孔部に突起を有しているが、平板状の
ものでもよい。このトリガ電極７は絶縁碍子８を介して
電極３に取付けられておシ、ダイオード９とトリガ抵抗
１０を介してトリガ用直流電源１１が結線されている。
）はその主要部の正面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線に
おける断面図及び電気結線図である。図において、前出
のものと同一符号のものは同一または均等部分を示すも
のとする。円筒１はＸ線源となるべき元素を含着する電
気的絶縁性の物質で形成され、中央には細孔（細管２）
が、明いているその両端面に電極５．５’Ｃ例えばカー
ボン製）が設けられている。７はトリガ電極で、図に示
したものは中央細孔部に突起を有しているが、平板状の
ものでもよい。このトリガ電極７は絶縁碍子８を介して
電極３に取付けられておシ、ダイオード９とトリガ抵抗
１０を介してトリガ用直流電源１１が結線されている。
電極６，６′にはコンデンサ４が接続され、さらに高抵
抗５を介して直流高圧電源６が結線されている。なお、
円筒１．電極３’、 ３’、 トＩＪガ電極７．絶縁碍
子８は高真空中に収められている。
抗５を介して直流高圧電源６が結線されている。なお、
円筒１．電極３’、 ３’、 トＩＪガ電極７．絶縁碍
子８は高真空中に収められている。
直流高圧電源６によってコンデンサ４が充電され始める
と、電極３の電位が上昇してゆく。あらかじめトリガ用
直流電源１１を調節し、トリガ電極７に一定の電圧を印
加しておくと、トリガ電極７、電極３の間の電位差が所
定の値を越えたところで、両電極間で放電が生ずる。こ
れが引金となって、細管２の壁面に沿面放電が誘起され
、以下壁面物質の蒸発・気化、気体放電への移行、プラ
ズマの生成、Ｘ線の発生の各段階が連続的に進行する。
と、電極３の電位が上昇してゆく。あらかじめトリガ用
直流電源１１を調節し、トリガ電極７に一定の電圧を印
加しておくと、トリガ電極７、電極３の間の電位差が所
定の値を越えたところで、両電極間で放電が生ずる。こ
れが引金となって、細管２の壁面に沿面放電が誘起され
、以下壁面物質の蒸発・気化、気体放電への移行、プラ
ズマの生成、Ｘ線の発生の各段階が連続的に進行する。
トリガ用直流電源１１を調節し、トリガ電極７の電位を
変えることによって、沿面放電の開始電圧を制御する。
変えることによって、沿面放電の開始電圧を制御する。
放射されるＸ線の強度は、この開始電圧に支配されるか
ら、Ｘ線強度の制御ができることになる。
ら、Ｘ線強度の制御ができることになる。
なお、ダイオード９は電極３の電位がトリガ電極７の電
位より低いときに、両電極間に放電が起きるのを防止す
るためのものである。
位より低いときに、両電極間に放電が起きるのを防止す
るためのものである。
本発明の装置の具体的な構成と動作の一例を示すと次の
通りである。
通りである。
円筒１の長さ約２３ｍｍ、 細管２の内径０．５〜２
、Ｑｍｍのもので、直流高圧電源６の電ＦＥ４［１ｋＶ
とし、トリガ用直流電源１１は０〜４ （３ｋＶ可変と
し、電極３′をアース電位にして動作させ、所望の強度
（例えば０．５〜１００ジー−ル）のＸ線を発生させる
ことができた。
、Ｑｍｍのもので、直流高圧電源６の電ＦＥ４［１ｋＶ
とし、トリガ用直流電源１１は０〜４ （３ｋＶ可変と
し、電極３′をアース電位にして動作させ、所望の強度
（例えば０．５〜１００ジー−ル）のＸ線を発生させる
ことができた。
以上説明したように、本発明によれば、放電開始の電圧
をコントロールすることが出来るから、それによって、
放射されるＸ線の強度を調節しうる利点がある。
をコントロールすることが出来るから、それによって、
放射されるＸ線の強度を調節しうる利点がある。
第１図は従来の細管形Ｘ線発生装置の動作原理説明図で
、同図（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線にお
ける断面図及び、電気結線図、第２図は本発明になる装
置を示すもので、同図（ａ）は正面図（ｂ）はＣａ’）
のＢ−Ｂ線における断面図及び電気結線図である。 １・・・円筒 ２・・・細管（細孔）３．
６′・・・電極 ４・・・コンデンサ５・・・
高抵抗 ６・・・直流高圧電源７・・・トリ
ガ電極 ８・・・絶縁碍子９・・・ダイオード
１０・・・トリガ抵抗１１・・・トリガ用直流電源 特許出願人 日本電信電話公社 代理人弁理士 中村純之助 ２１ 図 （ａｌ （ｂｌ Δ
、同図（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線にお
ける断面図及び、電気結線図、第２図は本発明になる装
置を示すもので、同図（ａ）は正面図（ｂ）はＣａ’）
のＢ−Ｂ線における断面図及び電気結線図である。 １・・・円筒 ２・・・細管（細孔）３．
６′・・・電極 ４・・・コンデンサ５・・・
高抵抗 ６・・・直流高圧電源７・・・トリ
ガ電極 ８・・・絶縁碍子９・・・ダイオード
１０・・・トリガ抵抗１１・・・トリガ用直流電源 特許出願人 日本電信電話公社 代理人弁理士 中村純之助 ２１ 図 （ａｌ （ｂｌ Δ
Claims (1)
- 中央に放電空間を形成する細管を有する絶縁体の円筒と
、該円筒の両端に設けた放電用高電位を印加する電極と
を具備してなる細管形Ｘ線発生装置において、正又は負
の高電位が印−加される一方の電極の外側に、電気絶縁
碍子を介して支持された中央細孔部に突起を有するかも
しくは平板状のトリガ電極を設け、該トリガ電極に直流
電位を与えてＸｌｌ１ｍ発生のトリガをし、発生するＸ
線の強度を制御することを特徴とするＸ線発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56110880A JPS5814497A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | Ｘ線発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56110880A JPS5814497A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | Ｘ線発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5814497A true JPS5814497A (ja) | 1983-01-27 |
Family
ID=14547031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56110880A Pending JPS5814497A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | Ｘ線発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5814497A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6227544A (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-05 | Sky Alum Co Ltd | 成形加工用熱処理型ｔ４処理アルミニウム合金圧延板およびその製造方法 |
| FR2663046A1 (fr) * | 1990-06-07 | 1991-12-13 | Traitements Surface Mecanique | Procede et dispositif destines a produire un depot metallique sur des pieces. |
-
1981
- 1981-07-17 JP JP56110880A patent/JPS5814497A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6227544A (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-05 | Sky Alum Co Ltd | 成形加工用熱処理型ｔ４処理アルミニウム合金圧延板およびその製造方法 |
| FR2663046A1 (fr) * | 1990-06-07 | 1991-12-13 | Traitements Surface Mecanique | Procede et dispositif destines a produire un depot metallique sur des pieces. |
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