JPS58143A - 超音波ワイヤボンデイング方法 - Google Patents
超音波ワイヤボンデイング方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は超音波ワイヤボンディング方法、特にボンディ
ングツールとしてウェッジを用いた超音波ワイヤボンデ
ィング方法に関するものである。
ングツールとしてウェッジを用いた超音波ワイヤボンデ
ィング方法に関するものである。
第1!!!lは従来周知の超音波ワイヤボンディング装
置のウェッジ近傍を示し、(a)は正真図、Φ)は側面
断面図である。ホーン1の先端に一定されたウェッジ2
の下端には、ホーンlの振動方向に沿ってワイヤ3が挿
過される傾斜した案内孔2m及びボンド$2bが設けら
れ、前記案内孔2寂の近傍にはワイヤ3の挿通方向に整
列してワイヤ3をクランプするクランパ4が黴けられ、
更にその弧長線上にはホーン1に案内孔1aが設けられ
ており、ワイヤ3はこれらを通してウェッジ2の下端に
案内されている。
置のウェッジ近傍を示し、(a)は正真図、Φ)は側面
断面図である。ホーン1の先端に一定されたウェッジ2
の下端には、ホーンlの振動方向に沿ってワイヤ3が挿
過される傾斜した案内孔2m及びボンド$2bが設けら
れ、前記案内孔2寂の近傍にはワイヤ3の挿通方向に整
列してワイヤ3をクランプするクランパ4が黴けられ、
更にその弧長線上にはホーン1に案内孔1aが設けられ
ており、ワイヤ3はこれらを通してウェッジ2の下端に
案内されている。
そこで、かかる装置でワイヤボンディングを行うには、
第2図に示すように試料5を位置決め台6上の所定位置
に置いた後、位置決め台60回転と、ウェッジ2をXY
変位させ、ワイヤ3の接続方向をホーン1の振動方向に
響いて試料5のパッド(第1ボンド点)5麿にワイヤ3
の先端を第1ボンド3ml、、次にホーン11びクラン
パ4が次のリード(IIII2ポンド点)Sb上に移動
し1、この点にjI2ボンド3bする。そして、クラン
パ4によりワイヤ3をクランプし、クランパ4がウェッ
ジ2から達ざかる方向にワイヤ3の挿過方向に沿って移
−してワイヤ3をウェッジ下端のボンド溝2bの端部よ
り切断する。このようにして一対の相互すこ接続される
2つのボンド点がワイヤ1こより接続される。
第2図に示すように試料5を位置決め台6上の所定位置
に置いた後、位置決め台60回転と、ウェッジ2をXY
変位させ、ワイヤ3の接続方向をホーン1の振動方向に
響いて試料5のパッド(第1ボンド点)5麿にワイヤ3
の先端を第1ボンド3ml、、次にホーン11びクラン
パ4が次のリード(IIII2ポンド点)Sb上に移動
し1、この点にjI2ボンド3bする。そして、クラン
パ4によりワイヤ3をクランプし、クランパ4がウェッ
ジ2から達ざかる方向にワイヤ3の挿過方向に沿って移
−してワイヤ3をウェッジ下端のボンド溝2bの端部よ
り切断する。このようにして一対の相互すこ接続される
2つのボンド点がワイヤ1こより接続される。
しかしながら、かかる超音波ワイヤボッディング方法で
は、第3図に示すよう−こウェッジ2に挿通されたワイ
ヤ挿通方向(Y方向)、即ち超音波振動方向lこ対して
ボンド配線方向(第1ボンド点5aから第2ボンド点5
bの方向)が斜め方向(0だけ斜め)であると、第1ボ
ンド3a後、第2ボンド点5b上にウェッジ2が移動す
る時におけるウェッジ2のX方向移動−こよってワイヤ
3がウェッジ2のボンド溝2bから外れ、第2ボンド点
5bではボンドできない。そこで、前記した様にウェッ
ジ2のボンド溝2bよりワイヤ3が逃げないよう4とワ
イヤ挿通方向(Y方向)にボンド配線方向向(5a→5
b)を一致させるように位置決め台6を回転させてから
ボンドを行わなければならない。
は、第3図に示すよう−こウェッジ2に挿通されたワイ
ヤ挿通方向(Y方向)、即ち超音波振動方向lこ対して
ボンド配線方向(第1ボンド点5aから第2ボンド点5
bの方向)が斜め方向(0だけ斜め)であると、第1ボ
ンド3a後、第2ボンド点5b上にウェッジ2が移動す
る時におけるウェッジ2のX方向移動−こよってワイヤ
3がウェッジ2のボンド溝2bから外れ、第2ボンド点
5bではボンドできない。そこで、前記した様にウェッ
ジ2のボンド溝2bよりワイヤ3が逃げないよう4とワ
イヤ挿通方向(Y方向)にボンド配線方向向(5a→5
b)を一致させるように位置決め台6を回転させてから
ボンドを行わなければならない。
このために試料の自動供給取出し機構も位置挟め台の回
転機構を含めた方式になり、構造が複雑でかつ大蓋化す
る欠点があった。また前記のようにワイヤ挿通方向をポ
ンド配線方向番こ一致させると、第4図−こ示すように
ダイ儒のパッド5mが小さい場合にパッド5aからワイ
ヤ3がはみ出し、ボンド不良となる欠点があった。
転機構を含めた方式になり、構造が複雑でかつ大蓋化す
る欠点があった。また前記のようにワイヤ挿通方向をポ
ンド配線方向番こ一致させると、第4図−こ示すように
ダイ儒のパッド5mが小さい場合にパッド5aからワイ
ヤ3がはみ出し、ボンド不良となる欠点があった。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたもので、試
料を回転させなくても斜め方向ボンドが“可能な超音波
ワイヤボンディング方法を提供することを目的とする。
料を回転させなくても斜め方向ボンドが“可能な超音波
ワイヤボンディング方法を提供することを目的とする。
以下、本発明の方法を第51%!1に示す一実施例によ
り説明する。Iず同図(a)#こ示すようにウェッジ2
が第1ボンド点5aの上方に位置する。次に同図(b)
に示すようにウェッジ2が下降し、第1ボンド点51に
接地する。この状態で第1ボンド3aが行われ、またこ
の時クランパ4が開く。次に同図(C)に示すようにウ
ェッジ2とクランパ4が上昇し、続いてワイヤ挿通方向
(Y方向)の距離のみウェッジ2及びクランパ4が移動
する。この時、ワイヤ長及びY軸6と対するワイヤ3を
張る角度が設定した畏さ及び角度より大きい場合には、
2点制御で示す位置までウェッジ2を移動させ、ワイヤ
3の繰出し量を大きくする。このオーバーランする量は
図示しないマイクロコンピュータにより第1ボンド点5
aから第2ボンド点5bの長さ及び角度を計算し適切な
量とする。この同図中)から同図(C1のウェッジ2の
動作は、前記の如くワイヤ挿通方向(Y方向)の動きで
あるので、勿論ウェッジ2のボッド溝2bからワイヤ3
が外れることはない。
り説明する。Iず同図(a)#こ示すようにウェッジ2
が第1ボンド点5aの上方に位置する。次に同図(b)
に示すようにウェッジ2が下降し、第1ボンド点51に
接地する。この状態で第1ボンド3aが行われ、またこ
の時クランパ4が開く。次に同図(C)に示すようにウ
ェッジ2とクランパ4が上昇し、続いてワイヤ挿通方向
(Y方向)の距離のみウェッジ2及びクランパ4が移動
する。この時、ワイヤ長及びY軸6と対するワイヤ3を
張る角度が設定した畏さ及び角度より大きい場合には、
2点制御で示す位置までウェッジ2を移動させ、ワイヤ
3の繰出し量を大きくする。このオーバーランする量は
図示しないマイクロコンピュータにより第1ボンド点5
aから第2ボンド点5bの長さ及び角度を計算し適切な
量とする。この同図中)から同図(C1のウェッジ2の
動作は、前記の如くワイヤ挿通方向(Y方向)の動きで
あるので、勿論ウェッジ2のボッド溝2bからワイヤ3
が外れることはない。
続いてクランパ4が閉じてワイヤ3の戻りを防止した後
、同図(dlに示すようlこウェッジ2及びクランパ4
をウェッジ2の下端が第2ボンド点5bの水平面より少
し上まで下降させる。次に同図(e)−こ示すようlこ
ウェッジ2を水平動させ、第2ボンド点5bの上方に移
動させる。この時、ワイヤ3はよじられ、ウェッジ2の
ボンド溝2bより離れようとするが、ワイヤループの谷
のワイヤ部分がボッド溝2b#こ保合しているので、ワ
イヤ3はボッド溝2bから離れることなくウェッジ2の
水平動によって第2ボンド点5bの方ζこ移動させられ
る。ここで、実験の結果、第1ボンド点5aから第2ボ
ンド点5bの方向、即ちボンド配線方向がワイヤ挿通方
向(Y方向)に対して±50°以内であれば、ワイヤ3
はボンド溝2bから離れないことが確認された。次iこ
同図げ)#こ示すようtこウェッジ2を下降させて第2
ボンド点5b−こ接地させ、W、2ボンド3bを行う。
、同図(dlに示すようlこウェッジ2及びクランパ4
をウェッジ2の下端が第2ボンド点5bの水平面より少
し上まで下降させる。次に同図(e)−こ示すようlこ
ウェッジ2を水平動させ、第2ボンド点5bの上方に移
動させる。この時、ワイヤ3はよじられ、ウェッジ2の
ボンド溝2bより離れようとするが、ワイヤループの谷
のワイヤ部分がボッド溝2b#こ保合しているので、ワ
イヤ3はボッド溝2bから離れることなくウェッジ2の
水平動によって第2ボンド点5bの方ζこ移動させられ
る。ここで、実験の結果、第1ボンド点5aから第2ボ
ンド点5bの方向、即ちボンド配線方向がワイヤ挿通方
向(Y方向)に対して±50°以内であれば、ワイヤ3
はボンド溝2bから離れないことが確認された。次iこ
同図げ)#こ示すようtこウェッジ2を下降させて第2
ボンド点5b−こ接地させ、W、2ボンド3bを行う。
第2ボンド終了後、ワイヤプルカットの場合は同図(g
lに示すようにクランパ4を矢印方向に移動させてワイ
ヤ3を引張り、ワイヤカットを行う。
lに示すようにクランパ4を矢印方向に移動させてワイ
ヤ3を引張り、ワイヤカットを行う。
続いて同図(h)−こ示すようlこウェッジ2を上昇さ
せると同時にクランパ4をウェッジ下端方向に移動させ
てワイヤの繰出しを行い、次のワイヤボンディングの第
1ボンドに備える。
せると同時にクランパ4をウェッジ下端方向に移動させ
てワイヤの繰出しを行い、次のワイヤボンディングの第
1ボンドに備える。
ワイヤカッター併用プルカットの場合は、第2ボンド時
tこクランパ4を開く。次に同図(i)に示すようにワ
イヤカットする位置までウェッジ2を上昇及び後退させ
、その後カッター7を作動させて第2ボンド3bの後方
部分のワイヤ31こ傷を付ける。次Iこ同図(j)に示
すようにカッター7を上昇させた後、クラッパ4を閉じ
てワイヤ3をはさみ、その後ウェッジ2とクランパ4を
斜め後方lこ移動させてワイヤカットを行う。ワイヤカ
ット後、ウェッジ2を更Iこ上昇させ、次のワイヤボン
ディングの第1ボツド(こ備える。
tこクランパ4を開く。次に同図(i)に示すようにワ
イヤカットする位置までウェッジ2を上昇及び後退させ
、その後カッター7を作動させて第2ボンド3bの後方
部分のワイヤ31こ傷を付ける。次Iこ同図(j)に示
すようにカッター7を上昇させた後、クラッパ4を閉じ
てワイヤ3をはさみ、その後ウェッジ2とクランパ4を
斜め後方lこ移動させてワイヤカットを行う。ワイヤカ
ット後、ウェッジ2を更Iこ上昇させ、次のワイヤボン
ディングの第1ボツド(こ備える。
第6図は前記のようにしてボンディングした試料を示す
。同図より明らかな如く、パッド5aが小さくてもパッ
ド5gからワイヤ3がはみ出すことなセワイヤボノデイ
ングをすることができる。
。同図より明らかな如く、パッド5aが小さくてもパッ
ド5gからワイヤ3がはみ出すことなセワイヤボノデイ
ングをすることができる。
また第7図に示すような試料の場合は、試料を90゜単
位で回転させることiこより、パッド5aの長手方向に
第1ボンド3aを行い、パッド5aからはみ出すことな
くワイヤボンディングを行うことができる。
位で回転させることiこより、パッド5aの長手方向に
第1ボンド3aを行い、パッド5aからはみ出すことな
くワイヤボンディングを行うことができる。
なお、ウェッジ2として、例えば第8図に示すように下
ル前面にガイド溝2Cを形成したものを用いてもよい。
ル前面にガイド溝2Cを形成したものを用いてもよい。
以上の説明から明らかな如く、本発明になる超音波ワイ
ヤボンディング方法によればワイヤ挿通方向がある角度
以内のものであれば試料を回転させることなくウェッジ
による超音波ワイヤボンディングが行えるので、試料の
回転機構を必要としなく、装置をシンプル化できると共
馨こ、長いIJ−ドフレームでも超音波ワイヤボンディ
ングが行える。またダイ儒のパッドが小さくてもパッド
からワイヤがはみ出すことなくワイヤボンディングを行
うことができる。
ヤボンディング方法によればワイヤ挿通方向がある角度
以内のものであれば試料を回転させることなくウェッジ
による超音波ワイヤボンディングが行えるので、試料の
回転機構を必要としなく、装置をシンプル化できると共
馨こ、長いIJ−ドフレームでも超音波ワイヤボンディ
ングが行える。またダイ儒のパッドが小さくてもパッド
からワイヤがはみ出すことなくワイヤボンディングを行
うことができる。
第1図はウェッジ近傍を示し、(a)は正面図、(b)
は側面断面図、第2図は従来の方法を示し、(a)は側
面図、世)は平面説明図、第3図は従来の方法による斜
めボンドの平面説明図、第4図は従来の方法番こよるボ
ンディング状態を示す平面説明図、第5図(1)〜(j
)は本発明の方法の一実施例を示す動作説明図、311
6図、第7図はそれぞれ本発明の方法によるボンディン
グ状態を示す平面説明図、@8図はウェッジの他の例を
示し、(alは正面図、(b)は側面図である。 1・・・ホーン、 2・・・ウェッジ、3
・・・ワイヤ、 3a・・・第1ボンド、
3b・・・#I2ポンド、 5−試料、5m・・・第
1ボンド点(パッド)、 5b・・・第2ボンド点(
リード)。
は側面断面図、第2図は従来の方法を示し、(a)は側
面図、世)は平面説明図、第3図は従来の方法による斜
めボンドの平面説明図、第4図は従来の方法番こよるボ
ンディング状態を示す平面説明図、第5図(1)〜(j
)は本発明の方法の一実施例を示す動作説明図、311
6図、第7図はそれぞれ本発明の方法によるボンディン
グ状態を示す平面説明図、@8図はウェッジの他の例を
示し、(alは正面図、(b)は側面図である。 1・・・ホーン、 2・・・ウェッジ、3
・・・ワイヤ、 3a・・・第1ボンド、
3b・・・#I2ポンド、 5−試料、5m・・・第
1ボンド点(パッド)、 5b・・・第2ボンド点(
リード)。
Claims (1)
- 第1ボンド点と第2ボンド点との間をホーンの先端に設
けたウェッジによりワイヤを接続する超音波ワイヤボア
ディング方法において、第1ボンド点に第1ボンド後、
前記ウェッジを上昇及び録音i+ua動方向に移動させ
、その後ウェッジを1m2ボンド点の平面内よりわずか
上方に下降させ、続いてウェッジを水平動させて第2ボ
ンド点のわずか上方に移動させ、その後ウェッジを下降
させて第2ボンド点に第2ボンドを行うことを特徴とす
る超音波ワイヤボンディング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56098711A JPS58143A (ja) | 1981-06-25 | 1981-06-25 | 超音波ワイヤボンデイング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56098711A JPS58143A (ja) | 1981-06-25 | 1981-06-25 | 超音波ワイヤボンデイング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58143A true JPS58143A (ja) | 1983-01-05 |
JPS6233742B2 JPS6233742B2 (ja) | 1987-07-22 |
Family
ID=14227092
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56098711A Granted JPS58143A (ja) | 1981-06-25 | 1981-06-25 | 超音波ワイヤボンデイング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58143A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5489958A (en) * | 1977-12-27 | 1979-07-17 | Toshiba Corp | Wire bonding apparatus |
-
1981
- 1981-06-25 JP JP56098711A patent/JPS58143A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5489958A (en) * | 1977-12-27 | 1979-07-17 | Toshiba Corp | Wire bonding apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6233742B2 (ja) | 1987-07-22 |
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