JPS58142238A - 差圧測定装置 - Google Patents
差圧測定装置Info
- Publication number
- JPS58142238A JPS58142238A JP2493282A JP2493282A JPS58142238A JP S58142238 A JPS58142238 A JP S58142238A JP 2493282 A JP2493282 A JP 2493282A JP 2493282 A JP2493282 A JP 2493282A JP S58142238 A JPS58142238 A JP S58142238A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- force
- measuring
- pressure
- diaphragm
- pressure receiving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は差圧測定装置に関するものである一更に詳述す
れば、測定ダイアフラムの両ｙＨｃ／−ルダイアフツ五
の配置され九三ダイアフラム方式の差圧測定装置に関す
るものでめる〇絽１図は、従来より一般に使用されてい
る従来例の構成ｌ！明図である。
れば、測定ダイアフラムの両ｙＨｃ／−ルダイアフツ五
の配置され九三ダイアフラム方式の差圧測定装置に関す
るものでめる〇絽１図は、従来より一般に使用されてい
る従来例の構成ｌ！明図である。
図において、１Ｆ１円板状の測定ダイアフラム、２は測
定ダイアフラム１の周辺部を挟持する円柱状のボデーで
、メゾ−２ｓＬ、 ２ｂよシなる。２１．２２は測定ダ
イアフラム１の両側Ｏボデー２に設ｎられ九凹部である
。２３．２４は凹部２１．２２と外部と′に遅結する連
結孔である。３１．３２は凹＠ ２１．２２の６ＪＪ１
足ダイアフラム１と対向すｈ山に設けられ７Ｅ ＩＭ１
足合量電極である。４は一定容量電極３１．３２ ′？
ｃボア’ −２よ如絶縁する絶縁体で、この場合は、カ
ラス材が用いられている。５，６はボデー２の外半ｔｈ
Ｉｒ機い、それぞれ富５１．６１を形成するシールター
イアフラムである。５２．６２は、それぞれシールダイ
アフラム５，６０１縁ｔボデー２に固定する押えす／グ
である０５３．６３は、それぞれ凹部２１．２２と連通
孔２３．２４ Ａ ヒ′１Ｉｉ５１．６１を満すシリコ
ンオイル等の刺入液でめるｏ ７＋ ａｄ 、それぞれ
、シールダイアフラム５，６と押えりング５２．６２を
後い、導圧室７１゜８１を形成するカバーである。
定ダイアフラム１の周辺部を挟持する円柱状のボデーで
、メゾ−２ｓＬ、 ２ｂよシなる。２１．２２は測定ダ
イアフラム１の両側Ｏボデー２に設ｎられ九凹部である
。２３．２４は凹部２１．２２と外部と′に遅結する連
結孔である。３１．３２は凹＠ ２１．２２の６ＪＪ１
足ダイアフラム１と対向すｈ山に設けられ７Ｅ ＩＭ１
足合量電極である。４は一定容量電極３１．３２ ′？
ｃボア’ −２よ如絶縁する絶縁体で、この場合は、カ
ラス材が用いられている。５，６はボデー２の外半ｔｈ
Ｉｒ機い、それぞれ富５１．６１を形成するシールター
イアフラムである。５２．６２は、それぞれシールダイ
アフラム５，６０１縁ｔボデー２に固定する押えす／グ
である０５３．６３は、それぞれ凹部２１．２２と連通
孔２３．２４ Ａ ヒ′１Ｉｉ５１．６１を満すシリコ
ンオイル等の刺入液でめるｏ ７＋ ａｄ 、それぞれ
、シールダイアフラム５，６と押えりング５２．６２を
後い、導圧室７１゜８１を形成するカバーである。
このよりｔものにおいて、たとえば、導圧室７１に低い
測定圧が導入され、導圧室８１に高い測定圧力が尋人嘔
れると、それぞれの圧力は、シールダイアフラム５，６
、刺入液５３．６３を介して＃１足タ゛イア７ツム１０
両μｓに加えられ、測定ダイアフラム１は差圧に応じて
１位する。この変位に、、＃ｊ定ダイアフラム１を移動
Ｖｔｈｔｔ極とし、固定客童電億３１、３２との靜′１
Ｉｉｃ容量の着倉検出することにょシ電＋Ａ傷号として
構出することができる。
測定圧が導入され、導圧室８１に高い測定圧力が尋人嘔
れると、それぞれの圧力は、シールダイアフラム５，６
、刺入液５３．６３を介して＃１足タ゛イア７ツム１０
両μｓに加えられ、測定ダイアフラム１は差圧に応じて
１位する。この変位に、、＃ｊ定ダイアフラム１を移動
Ｖｔｈｔｔ極とし、固定客童電億３１、３２との靜′１
Ｉｉｃ容量の着倉検出することにょシ電＋Ａ傷号として
構出することができる。
しかしながら、このようなものにおいては、下記に下す
如迦、姿勢ｔ４＊を禍する。
如迦、姿勢ｔ４＊を禍する。
傾斜角會θ、醐にダイアフラム１の１１１ＬをＷとする
と、姿勢ｉ化によって生じるｌ＆１４差成分線、亀２図
に示す如く図の上下方向に対してＪ度傾くとすれば（Ｈ
７Ａｅ ＋ Ｗ） ｓｉｎ θとなる。
と、姿勢ｉ化によって生じるｌ＆１４差成分線、亀２図
に示す如く図の上下方向に対してＪ度傾くとすれば（Ｈ
７Ａｅ ＋ Ｗ） ｓｉｎ θとなる。
小さい差圧、たとえば、１００ｍｍＨ２Ｏ以下の差ロー
を測定するときには傾き角ノが小さくても、上記の値が
大音く影響し、姿勢誤差の大なる差圧測定装置となる。
を測定するときには傾き角ノが小さくても、上記の値が
大音く影響し、姿勢誤差の大なる差圧測定装置となる。
本発明は〜この問題点を解決するものでるる。
本発明の目的は、姿勢誤差の少く、耐振性の良好表差圧
鋼定装置を提供するＫある。
鋼定装置を提供するＫある。
＃Ｉ３図は、本発明の一笑施例の構成説明図である。
図において、第１図と同一記号は同一機能を示す。以下
、第１図と相違部分のみ説明する。
、第１図と相違部分のみ説明する。
２３ａは凹１１２２と＊５１とを結ぶ連結パイプである
。
。
２４ｍは凹部２１と室６１とを結ぶ連結パイプでゎる０
９はダイアフラムｌＫ１１ｌ定され九所要重量（吹述す
ゐ）をなす中央板である。
９はダイアフラムｌＫ１１ｌ定され九所要重量（吹述す
ゐ）をなす中央板である。
以上の構成において、菖ｓｗＡ矢印Ｙに示すカ同に重力
加速度が働いている場合に＃′ｉ測定ダイアフラム１に
は差圧以外のカ社働がない。
加速度が働いている場合に＃′ｉ測定ダイアフラム１に
は差圧以外のカ社働がない。
しかし、姿勢が変って、加速度の方向が矢印Ｘに示す方
向（以下、このように測定値に影会を及ばず加速度を「
一定方向加速度」と称する。）になり九場合において線
、ボデー２ｂの厚さを■０、刺入液６３の密度を１とす
ると、封入液６３は 用、の圧力を生じ、連結パイプ２
４＆によって、測定ダイアフラム１に左向きの力を与え
る。この力は、一定ダイアフラム１の有効面積をＡｅと
すれば、γＨ１Ａｅである。
向（以下、このように測定値に影会を及ばず加速度を「
一定方向加速度」と称する。）になり九場合において線
、ボデー２ｂの厚さを■０、刺入液６３の密度を１とす
ると、封入液６３は 用、の圧力を生じ、連結パイプ２
４＆によって、測定ダイアフラム１に左向きの力を与え
る。この力は、一定ダイアフラム１の有効面積をＡｅと
すれば、γＨ１Ａｅである。
同様に、ボデー２１ＬＯＩＩＬさをＨ２、刺入液５３の
密度【γとすると、１Ｈ２Ａ・の力が左向きに働く。
密度【γとすると、１Ｈ２Ａ・の力が左向きに働く。
ｔた、測定ダイア７クム１に一定され丸中央板９勢の可
動部の重量をＷとすれば、この重量により右崗自の力が
働く。今、右向きを正の力とすれば、全体として社、Ｗ
−γＡｅ（Ｈ工＋Ｈ２）の力となる。
動部の重量をＷとすれば、この重量により右崗自の力が
働く。今、右向きを正の力とすれば、全体として社、Ｗ
−γＡｅ（Ｈ工＋Ｈ２）の力となる。
（Ｈ１＋Ｈ２）は一般的ＫＵ、樽迄上の制約から、あま
如小さくすることはでもないａｌｌ差圧と盲われる、た
とえば、１０ｍｍ ＨｐＯ差圧′ｔフルスパンとして―
ｊ定するような賜のにおいては、（Ｈよ＋Ｈ２）を２０
ｍｍに作つ九としても、９０＊０＊勢変化に対して、＃
１は、２００ Ｘの圧力が外乱として働く。また、わず
か傾斜しても零シフトが発生することになる。
如小さくすることはでもないａｌｌ差圧と盲われる、た
とえば、１０ｍｍ ＨｐＯ差圧′ｔフルスパンとして―
ｊ定するような賜のにおいては、（Ｈよ＋Ｈ２）を２０
ｍｍに作つ九としても、９０＊０＊勢変化に対して、＃
１は、２００ Ｘの圧力が外乱として働く。また、わず
か傾斜しても零シフトが発生することになる。
そこで、本発明において社、連結パイプ２３ａ。
２４ａと中央板９を設けて中央板の重量ｗｆｔγＡａ
（Ｈ１＋Ｈ２）と等しくなるようにし九。
（Ｈ１＋Ｈ２）と等しくなるようにし九。
この結果、姿勢誤差のない４のが得られる。
縞４図は、本実＃４の他の実施例の粂部榊成歇明図でめ
るＣ 本実施例においては、受圧素子としてベローズ１ｓＬを
用いると共に、受圧素子の羨位検出十段として、ベロー
ズ１１０自由端に坂付けられた可動片３４と、可動片３
４が挿入される差動トランス３３とで構成したものであ
る。
るＣ 本実施例においては、受圧素子としてベローズ１ｓＬを
用いると共に、受圧素子の羨位検出十段として、ベロー
ズ１１０自由端に坂付けられた可動片３４と、可動片３
４が挿入される差動トランス３３とで構成したものであ
る。
なお、前述の実施例に＆いては、受圧素子として、測定
ダイアフラム１、あるいは、ベローズ１ａを用い友もの
について説明したが、これにか色゛ることはなく、要す
るに、差圧を受圧して変位する受圧素子でめればよい。
ダイアフラム１、あるいは、ベローズ１ａを用い友もの
について説明したが、これにか色゛ることはなく、要す
るに、差圧を受圧して変位する受圧素子でめればよい。
オた、変位を検出する変位検出器として、電気容量検出
方式あるいは、コイルを用いたインタクタンス方式Ｏ１
装置について説明したが、これに限ることはなく、たと
えに光ファイバを用いた光式変位羨換素子でもよく、要
するに、変位を検出で自る−のであればよい。
方式あるいは、コイルを用いたインタクタンス方式Ｏ１
装置について説明したが、これに限ることはなく、たと
えに光ファイバを用いた光式変位羨換素子でもよく、要
するに、変位を検出で自る−のであればよい。
まえ、前述の実施例においては、連結パイプ２３ａ あ
るいは２４ａ Ｋよって、凹部２２と室５１、あるいは
、凹部２１とｉ！６１とを連結すると説明し九が、これ
に限ることはなく、たとえば、ボデー１内に直接、連結
孔を設けてもよく、豊するに、凹＄２２と１ｉＩ５１、
あるいは、凹部２１と室６１とを連結する連結手段であ
ればよい。
るいは２４ａ Ｋよって、凹部２２と室５１、あるいは
、凹部２１とｉ！６１とを連結すると説明し九が、これ
に限ることはなく、たとえば、ボデー１内に直接、連結
孔を設けてもよく、豊するに、凹＄２２と１ｉＩ５１、
あるいは、凹部２１と室６１とを連結する連結手段であ
ればよい。
まえ、差圧−１定部分と変位検出部とが別体に作られ、
これを、連結パイプ２３ｍ、 ２４ａで連結するもので
あってもよいことを勿論である。
これを、連結パイプ２３ｍ、 ２４ａで連結するもので
あってもよいことを勿論である。
以上説明したように、本発明によれば、姿勢誤差の少く
、耐振性の良好な差圧測定装置を実現することができる
。
、耐振性の良好な差圧測定装置を実現することができる
。
第１ｗＡは従来より一般に使用されている従来例の構成
説明図、銀２図は第１図の動作説明図、第５図は本発明
の一実施例の構成説明図、１ｇ４図は本発明の他の実施
例の要部構成説明図である。 １・・・ｉｌｌ定ダイア７う、ム、１ト・・ベローズ、
２．２ａ。 ２ｂ・・・ボデー、２１曾２２・・・凹部、２３ｍ、
２４ｍ・・・連結）（イブ、３１．３２・・・固定容量
電極、３３・・・コイル、３４・・・６Ｊ動片、４・・
・絶縁体、５，６・・・シールダイアフラム、５１、６
１・・・富、５２．５３・・・押えりング、５３．６３
・・・封入液、７，８・・・カバー、７１．８１・・・
導圧富、９・・・中央似、。 代理人 弁理士 小 沢 侶 紬 。
説明図、銀２図は第１図の動作説明図、第５図は本発明
の一実施例の構成説明図、１ｇ４図は本発明の他の実施
例の要部構成説明図である。 １・・・ｉｌｌ定ダイア７う、ム、１ト・・ベローズ、
２．２ａ。 ２ｂ・・・ボデー、２１曾２２・・・凹部、２３ｍ、
２４ｍ・・・連結）（イブ、３１．３２・・・固定容量
電極、３３・・・コイル、３４・・・６Ｊ動片、４・・
・絶縁体、５，６・・・シールダイアフラム、５１、６
１・・・富、５２．５３・・・押えりング、５３．６３
・・・封入液、７，８・・・カバー、７１．８１・・・
導圧富、９・・・中央似、。 代理人 弁理士 小 沢 侶 紬 。
Claims (1)
- 調定流体圧を受圧して変位する受圧素子と、咳受圧素子
がその内部に設けられたボデーと、骸ボデーに前記受圧
素子の両１１に接してそれぞれ設けられ九調定室と、前
記ボデーの外側表面を覆ってそれぞれ設けられ一面側が
咳ボデーと受圧室を構成し他面側が測定流体に接するシ
ールダイアフラムと、前記測定室と受圧室とをそれぞれ
満す封入液と、前記受圧素子に固定され所要重量をなす
中央板と、ＩＩＩＩ配ボデーに設けられ前記受圧素子の
変位を検出する検出手段と、前記爾入液が測定方向加速
度に基づＩｉ前記受圧素子に作用する力と該創建方向加
速度に蕪づき前記受圧素子と前記中央板との質量により
生ずる力とが千両するように、前記測定室の一方と前記
受圧室の一方とをそれぞれ遜紬した二１ｖＡの遍結手段
とを具備してなる差圧測定偵り
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2493282A JPS58142238A (ja) | 1982-02-18 | 1982-02-18 | 差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2493282A JPS58142238A (ja) | 1982-02-18 | 1982-02-18 | 差圧測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58142238A true JPS58142238A (ja) | 1983-08-24 |
Family
ID=12151856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2493282A Pending JPS58142238A (ja) | 1982-02-18 | 1982-02-18 | 差圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58142238A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60185130A (ja) * | 1984-03-02 | 1985-09-20 | Hitachi Ltd | 半導体差圧発信器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4925231A (ja) * | 1972-06-27 | 1974-03-06 |
-
1982
- 1982-02-18 JP JP2493282A patent/JPS58142238A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4925231A (ja) * | 1972-06-27 | 1974-03-06 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60185130A (ja) * | 1984-03-02 | 1985-09-20 | Hitachi Ltd | 半導体差圧発信器 |
| JPH0544617B2 (ja) * | 1984-03-02 | 1993-07-06 | Hitachi Ltd |
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