JPS58137739A - 表面欠陥検出装置 - Google Patents

表面欠陥検出装置

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Publication number
JPS58137739A
JPS58137739A JP1884982A JP1884982A JPS58137739A JP S58137739 A JPS58137739 A JP S58137739A JP 1884982 A JP1884982 A JP 1884982A JP 1884982 A JP1884982 A JP 1884982A JP S58137739 A JPS58137739 A JP S58137739A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
signal
polyhedral mirror
fall
rotary polyhedral
Prior art date
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Pending
Application number
JP1884982A
Other languages
English (en)
Inventor
Motoharu Maeda
前田 元治
Atsushi Oishi
篤 大石
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Konica Minolta Inc
Original Assignee
Konica Minolta Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Konica Minolta Inc filed Critical Konica Minolta Inc
Priority to JP1884982A priority Critical patent/JPS58137739A/ja
Priority to EP83300588A priority patent/EP0087235A1/en
Publication of JPS58137739A publication Critical patent/JPS58137739A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/8901Optical details; Scanning details

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は表面欠陥検出装置、特に透明なフィルム1.ガ
ラス乾板その他グラスチック材料などの欠陥を検出する
フライングスポット方式の表面欠陥検出装置に関するも
のである。
従来のフライングスポット方式〇*W欠陥検出装置は、
フィルム及びガラス乾板岬の被検査体の表面のみ又は裏
面のみO傷や、被検査体に被覆層を設は九場合などの被
覆層の塗布むら等の欠陥の有無を検査するのに用いられ
ている。
従来のフライングスポット方式による表面欠陥検出装置
においては第1図に示すように単色光のレープ−ビーム
などを発生する光源部1からの光ビームを回転多面鏡開
によ〕走査光−として反射し、これKよ〕ガラス乾板等
の被検査体4の表面を照射する如く光走査し、被検査体
からの反射光を受光素子Sによって受光し、被検査体4
の表面に欠陥がある場合受光素子Sが異常信号を発生し
、この信号が信号旭理回路に送られ、真否判定などのI
&環が行われる。一方被検査体4を照射しない走査光の
通過位置におかれ九ホトダイオードアレイ等の光検知体
1sの出力信号が同期信号ISmとして使われ信号錫層
回路に送られ、欠陥の位置などの欠陥情報の鵡理に用い
られる。
ζこで若し第3図に示す様に1回転多面鏡2の各反射1
1sat*be−−−−−・・・・の回転軸に対する角
度にパッツ中中あるいは回転軸の変動(以後これらを回
転多面値の倒れと略称する。)があると、走査光3によ
る被検査体4上の走査光位置7m。
7b、・・・・・・・・・Kバラツキが生じる。従って
第3図に示す様に光ビームによって照射されないピッチ
むら8が生じ、ピッチむら8内に欠陥9があると疋しい
検査ができなくなる愈険が生じる。
これをさける丸め従来は回転多面鏡の倒れにバラツキの
少ないものを用いるか、あるいは光スポットを大きくし
て、照射部分12の幅をひろげ、欠陥9を検査可能とす
るなどの対策をとってい九が、バラツキの少ない回転多
面鏡は高価であり、また高精度を要求されると製作でき
ない。光スポットを大きくすると検出能力が劣化するな
どの問題点が生じ友。
本発明の目的紘前記の欠点を改讐し、精度の高い表面欠
陥検出装置を提供することKある。
本発明の表面欠陥検出装置は、光源部、回転多面鏡、受
光素子を備えたフライングスポット方式の表面欠陥検出
装置において、前記光源部と回転多面鏡間の光路に回転
多面鏡へ入射する光ビームの入射角を任意に変更できる
補正手段を配置したことを特徴とする。
尚、前記補正手段は例えば音響光学的偏向器を示す。
以下図mによって本発明の詳細な説明する。
本発明においては第4図(a)に示すように光源s1か
らの光ビームを偏向角補正手段、例えば音響光学的偏向
器lO及びレンズ系11に通し被検査体4上での結儂ビ
ーム径が所望の値、例えば100pIIIKなる様にし
た後回転多面鏡2に被検査体4上を走査せしめる。
又、回転多面鏡!の基準反射面検出のセンサー17を設
け、その出力17mを同期信号13mと共に倒れ補正回
路tSへ加え、こO倒れ補正で回路1sから偏向器ドラ
イバー16に倒れ補正信号10mを送シ、この偏向器ド
ライバー16から前記音響光学的偏向器10へ信号1・
aが送出されるようにする。
音響光学的偏向器10は、印加される信号l−aの周波
数によって制御され入射光に対する出射光の角度、即ち
偏向角を可変にで會るものとし、これKよって、走査光
位置ya*7bKバラツキがあってピッチむら$を生じ
九とき回転多面鏡3への入射光O角、度をピッチむら−
がなくなる様に回転多面鏡2の反射面の各面とと゛に制
御せしめる。
この音響光学的偏向器10は、第4図会)に示すように
板状の圧電素子部鵞1とこれに対接し九音響光学媒体2
2とによシ構成し、圧電素子部21に加える゛電圧を変
えることKよ゛シ音響光学媒体22の結晶構造が変化し
、光ビームの入射光230回折光24の角度が変化する
ようにする。尚、図中25社二次回折光である。
gs図は、倒れ補正回路15と偏向器ドライバー16の
接続回路図、第6図はその各部の動作をタイムチャート
で示し丸ものであゐ。
本発明装置においては、回転参画−意が基準回転数に達
すると、これが図示されていない判定回路によシ判断さ
れる。基準反射面検出センサー17の出力17mはクリ
ップフ四ツブ回路18へ印加され、その出力ts’aは
同期信号isaをゲートするゲート回路IIK送出され
る。前記出力18&が@rであると走査光が光検知11
113を通過する毎に発生する同期信号13’aはゲー
讐19を通過して、出力信号列19&を生ずる。
この出力信号列19mは、回転多面鏡3の反射面数を周
期とすゐ1ノ反射面の面番号を含んだ信号列となる。
出力信号列11mは倒れ補正信号20aを発生する倒れ
補正信号発生回路20へ印加する。
倒れ補正信号発−回路20は、回転多面鏡2の各面に対
する補正量をディジタル的に記憶しておくメ毫す一と、
そのディジタル量をアナログ量に変換し、倒れ補正信号
setを作るための肱コンバーターとくよって構成し、
出力信号列111&を受信するごとく対応する補正量を
倒れ補正信号20aとして出力すゐ。偏向器ドライバー
1mは入力電圧の大きさに比例して発振周波数が変化す
る電圧制御発振111によって構成し、倒れ補正信号S
Oaを入力として受け、倒れ補正量しえように、回転多
面鏡3の倒れを補正しない場合には第3図に示すごとく
、ピッチむら8が生じるが本発明のように補正を行うこ
とKより第7図に示す如く、走査光位置7a、71)を
オーバーラツプさせることが出来、従って、ピッチむら
8は生じないようKなる。
上記のように本発明装置によればlll1多面鏡の反射
面の倒れの不揃いによる走査光のピッチむらを補正し検
出性能の向上を図ることができる大きな利益がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の表面欠陥検出装置の説明図、第2図は回
転多面鏡の説明図、wE3図は光ビームと被検査体との
関係説明図、第41!11(転)は本発明装置の説明図
、第4図会)は音響光学的偏向器の11!明図、第5図
は倒れ補正回路と偏向器ドライバーの接続回路図、第s
gはその各部の動作を示したタイムチャート、第7図は
本発明における光ビームと被検査体との関係説明図であ
る。 l・・・光源部、2・・・回転多面鏡、3・・・走査光
、4・・・被検査体、5・・・受光素子、7m、7b・
・・走査光位置、8・・・ピッチむら、會・・・欠陥、
t’o−・・音響光学的偏向器、11・・・レンズ系、
12・・・照射部分、!8・・・光検知器、tag・・
・同期信号、15・・・倒れ補正回路、16・・・偏向
器ドライバー、17・・・基準反射面検出センサー、1
s・・・フリップフロップ回路、19−・・ゲート回路
、30・・・倒れ補正信号発生回路、10&・・・倒れ
補正信号。 lt−10 I#−2圓 4−3圓 4−40(0) 4−4圓(b)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光源部、回転多面鏡、受光素子を備えたフライン
    グスポット方式の表面欠陥検出装置において、前記光源
    部と回転多面鏡開の光路に回転多面鏡へ入射する光ビー
    ムの入射角を任意に麦更できる補正手段を配置したこと
    を特徴とする表面欠陥検出装置。
JP1884982A 1982-02-10 1982-02-10 表面欠陥検出装置 Pending JPS58137739A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1884982A JPS58137739A (ja) 1982-02-10 1982-02-10 表面欠陥検出装置
EP83300588A EP0087235A1 (en) 1982-02-10 1983-02-04 Surface fault detector

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1884982A JPS58137739A (ja) 1982-02-10 1982-02-10 表面欠陥検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58137739A true JPS58137739A (ja) 1983-08-16

Family

ID=11982996

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1884982A Pending JPS58137739A (ja) 1982-02-10 1982-02-10 表面欠陥検出装置

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EP (1) EP0087235A1 (ja)
JP (1) JPS58137739A (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3806384A1 (de) * 1988-02-29 1989-09-07 Feldmuehle Ag Verfahren und vorrichtung zum pruefen von laufenden transparenten bahnen

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Also Published As

Publication number Publication date
EP0087235A1 (en) 1983-08-31

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