JPS58137739A - 表面欠陥検出装置 - Google Patents
表面欠陥検出装置Info
- Publication number
- JPS58137739A JPS58137739A JP1884982A JP1884982A JPS58137739A JP S58137739 A JPS58137739 A JP S58137739A JP 1884982 A JP1884982 A JP 1884982A JP 1884982 A JP1884982 A JP 1884982A JP S58137739 A JPS58137739 A JP S58137739A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- signal
- polyhedral mirror
- fall
- rotary polyhedral
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
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- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は表面欠陥検出装置、特に透明なフィルム１．ガ
ラス乾板その他グラスチック材料などの欠陥を検出する
フライングスポット方式の表面欠陥検出装置に関するも
のである。
ラス乾板その他グラスチック材料などの欠陥を検出する
フライングスポット方式の表面欠陥検出装置に関するも
のである。
従来のフライングスポット方式〇＊Ｗ欠陥検出装置は、
フィルム及びガラス乾板岬の被検査体の表面のみ又は裏
面のみＯ傷や、被検査体に被覆層を設は九場合などの被
覆層の塗布むら等の欠陥の有無を検査するのに用いられ
ている。
フィルム及びガラス乾板岬の被検査体の表面のみ又は裏
面のみＯ傷や、被検査体に被覆層を設は九場合などの被
覆層の塗布むら等の欠陥の有無を検査するのに用いられ
ている。
従来のフライングスポット方式による表面欠陥検出装置
においては第１図に示すように単色光のレープ−ビーム
などを発生する光源部１からの光ビームを回転多面鏡開
によ〕走査光−として反射し、これＫよ〕ガラス乾板等
の被検査体４の表面を照射する如く光走査し、被検査体
からの反射光を受光素子Ｓによって受光し、被検査体４
の表面に欠陥がある場合受光素子Ｓが異常信号を発生し
、この信号が信号旭理回路に送られ、真否判定などのＩ
＆環が行われる。一方被検査体４を照射しない走査光の
通過位置におかれ九ホトダイオードアレイ等の光検知体
１ｓの出力信号が同期信号ＩＳｍとして使われ信号錫層
回路に送られ、欠陥の位置などの欠陥情報の鵡理に用い
られる。
においては第１図に示すように単色光のレープ−ビーム
などを発生する光源部１からの光ビームを回転多面鏡開
によ〕走査光−として反射し、これＫよ〕ガラス乾板等
の被検査体４の表面を照射する如く光走査し、被検査体
からの反射光を受光素子Ｓによって受光し、被検査体４
の表面に欠陥がある場合受光素子Ｓが異常信号を発生し
、この信号が信号旭理回路に送られ、真否判定などのＩ
＆環が行われる。一方被検査体４を照射しない走査光の
通過位置におかれ九ホトダイオードアレイ等の光検知体
１ｓの出力信号が同期信号ＩＳｍとして使われ信号錫層
回路に送られ、欠陥の位置などの欠陥情報の鵡理に用い
られる。
ζこで若し第３図に示す様に１回転多面鏡２の各反射１
１ｓａｔ＊ｂｅ−−−−−・・・・の回転軸に対する角
度にパッツ中中あるいは回転軸の変動（以後これらを回
転多面値の倒れと略称する。）があると、走査光３によ
る被検査体４上の走査光位置７ｍ。
１ｓａｔ＊ｂｅ−−−−−・・・・の回転軸に対する角
度にパッツ中中あるいは回転軸の変動（以後これらを回
転多面値の倒れと略称する。）があると、走査光３によ
る被検査体４上の走査光位置７ｍ。
７ｂ、・・・・・・・・・Ｋバラツキが生じる。従って
第３図に示す様に光ビームによって照射されないピッチ
むら８が生じ、ピッチむら８内に欠陥９があると疋しい
検査ができなくなる愈険が生じる。
第３図に示す様に光ビームによって照射されないピッチ
むら８が生じ、ピッチむら８内に欠陥９があると疋しい
検査ができなくなる愈険が生じる。
これをさける丸め従来は回転多面鏡の倒れにバラツキの
少ないものを用いるか、あるいは光スポットを大きくし
て、照射部分１２の幅をひろげ、欠陥９を検査可能とす
るなどの対策をとってい九が、バラツキの少ない回転多
面鏡は高価であり、また高精度を要求されると製作でき
ない。光スポットを大きくすると検出能力が劣化するな
どの問題点が生じ友。
少ないものを用いるか、あるいは光スポットを大きくし
て、照射部分１２の幅をひろげ、欠陥９を検査可能とす
るなどの対策をとってい九が、バラツキの少ない回転多
面鏡は高価であり、また高精度を要求されると製作でき
ない。光スポットを大きくすると検出能力が劣化するな
どの問題点が生じ友。
本発明の目的紘前記の欠点を改讐し、精度の高い表面欠
陥検出装置を提供することＫある。
陥検出装置を提供することＫある。
本発明の表面欠陥検出装置は、光源部、回転多面鏡、受
光素子を備えたフライングスポット方式の表面欠陥検出
装置において、前記光源部と回転多面鏡間の光路に回転
多面鏡へ入射する光ビームの入射角を任意に変更できる
補正手段を配置したことを特徴とする。
光素子を備えたフライングスポット方式の表面欠陥検出
装置において、前記光源部と回転多面鏡間の光路に回転
多面鏡へ入射する光ビームの入射角を任意に変更できる
補正手段を配置したことを特徴とする。
尚、前記補正手段は例えば音響光学的偏向器を示す。
以下図ｍによって本発明の詳細な説明する。
本発明においては第４図（ａ）に示すように光源ｓ１か
らの光ビームを偏向角補正手段、例えば音響光学的偏向
器ｌＯ及びレンズ系１１に通し被検査体４上での結儂ビ
ーム径が所望の値、例えば１００ｐＩＩＩＫなる様にし
た後回転多面鏡２に被検査体４上を走査せしめる。
らの光ビームを偏向角補正手段、例えば音響光学的偏向
器ｌＯ及びレンズ系１１に通し被検査体４上での結儂ビ
ーム径が所望の値、例えば１００ｐＩＩＩＫなる様にし
た後回転多面鏡２に被検査体４上を走査せしめる。
又、回転多面鏡！の基準反射面検出のセンサー１７を設
け、その出力１７ｍを同期信号１３ｍと共に倒れ補正回
路ｔＳへ加え、こＯ倒れ補正で回路１ｓから偏向器ドラ
イバー１６に倒れ補正信号１０ｍを送シ、この偏向器ド
ライバー１６から前記音響光学的偏向器１０へ信号１・
ａが送出されるようにする。
け、その出力１７ｍを同期信号１３ｍと共に倒れ補正回
路ｔＳへ加え、こＯ倒れ補正で回路１ｓから偏向器ドラ
イバー１６に倒れ補正信号１０ｍを送シ、この偏向器ド
ライバー１６から前記音響光学的偏向器１０へ信号１・
ａが送出されるようにする。
音響光学的偏向器１０は、印加される信号ｌ−ａの周波
数によって制御され入射光に対する出射光の角度、即ち
偏向角を可変にで會るものとし、これＫよって、走査光
位置ｙａ＊７ｂＫバラツキがあってピッチむら＄を生じ
九とき回転多面鏡３への入射光Ｏ角、度をピッチむら−
がなくなる様に回転多面鏡２の反射面の各面とと゛に制
御せしめる。
数によって制御され入射光に対する出射光の角度、即ち
偏向角を可変にで會るものとし、これＫよって、走査光
位置ｙａ＊７ｂＫバラツキがあってピッチむら＄を生じ
九とき回転多面鏡３への入射光Ｏ角、度をピッチむら−
がなくなる様に回転多面鏡２の反射面の各面とと゛に制
御せしめる。
この音響光学的偏向器１０は、第４図会）に示すように
板状の圧電素子部鵞１とこれに対接し九音響光学媒体２
２とによシ構成し、圧電素子部２１に加える゛電圧を変
えることＫよ゛シ音響光学媒体２２の結晶構造が変化し
、光ビームの入射光２３０回折光２４の角度が変化する
ようにする。尚、図中２５社二次回折光である。
板状の圧電素子部鵞１とこれに対接し九音響光学媒体２
２とによシ構成し、圧電素子部２１に加える゛電圧を変
えることＫよ゛シ音響光学媒体２２の結晶構造が変化し
、光ビームの入射光２３０回折光２４の角度が変化する
ようにする。尚、図中２５社二次回折光である。
ｇｓ図は、倒れ補正回路１５と偏向器ドライバー１６の
接続回路図、第６図はその各部の動作をタイムチャート
で示し丸ものであゐ。
接続回路図、第６図はその各部の動作をタイムチャート
で示し丸ものであゐ。
本発明装置においては、回転参画−意が基準回転数に達
すると、これが図示されていない判定回路によシ判断さ
れる。基準反射面検出センサー１７の出力１７ｍはクリ
ップフ四ツブ回路１８へ印加され、その出力ｔｓ’ａは
同期信号ｉｓａをゲートするゲート回路ＩＩＫ送出され
る。前記出力１８＆が＠ｒであると走査光が光検知１１
１１３を通過する毎に発生する同期信号１３’ａはゲー
讐１９を通過して、出力信号列１９＆を生ずる。
すると、これが図示されていない判定回路によシ判断さ
れる。基準反射面検出センサー１７の出力１７ｍはクリ
ップフ四ツブ回路１８へ印加され、その出力ｔｓ’ａは
同期信号ｉｓａをゲートするゲート回路ＩＩＫ送出され
る。前記出力１８＆が＠ｒであると走査光が光検知１１
１１３を通過する毎に発生する同期信号１３’ａはゲー
讐１９を通過して、出力信号列１９＆を生ずる。
この出力信号列１９ｍは、回転多面鏡３の反射面数を周
期とすゐ１ノ反射面の面番号を含んだ信号列となる。
期とすゐ１ノ反射面の面番号を含んだ信号列となる。
出力信号列１１ｍは倒れ補正信号２０ａを発生する倒れ
補正信号発生回路２０へ印加する。
補正信号発生回路２０へ印加する。
倒れ補正信号発−回路２０は、回転多面鏡２の各面に対
する補正量をディジタル的に記憶しておくメ毫す一と、
そのディジタル量をアナログ量に変換し、倒れ補正信号
ｓｅｔを作るための肱コンバーターとくよって構成し、
出力信号列１１１＆を受信するごとく対応する補正量を
倒れ補正信号２０ａとして出力すゐ。偏向器ドライバー
１ｍは入力電圧の大きさに比例して発振周波数が変化す
る電圧制御発振１１１によって構成し、倒れ補正信号Ｓ
Ｏａを入力として受け、倒れ補正量しえように、回転多
面鏡３の倒れを補正しない場合には第３図に示すごとく
、ピッチむら８が生じるが本発明のように補正を行うこ
とＫより第７図に示す如く、走査光位置７ａ、７１）を
オーバーラツプさせることが出来、従って、ピッチむら
８は生じないようＫなる。
する補正量をディジタル的に記憶しておくメ毫す一と、
そのディジタル量をアナログ量に変換し、倒れ補正信号
ｓｅｔを作るための肱コンバーターとくよって構成し、
出力信号列１１１＆を受信するごとく対応する補正量を
倒れ補正信号２０ａとして出力すゐ。偏向器ドライバー
１ｍは入力電圧の大きさに比例して発振周波数が変化す
る電圧制御発振１１１によって構成し、倒れ補正信号Ｓ
Ｏａを入力として受け、倒れ補正量しえように、回転多
面鏡３の倒れを補正しない場合には第３図に示すごとく
、ピッチむら８が生じるが本発明のように補正を行うこ
とＫより第７図に示す如く、走査光位置７ａ、７１）を
オーバーラツプさせることが出来、従って、ピッチむら
８は生じないようＫなる。
上記のように本発明装置によればｌｌｌ１多面鏡の反射
面の倒れの不揃いによる走査光のピッチむらを補正し検
出性能の向上を図ることができる大きな利益がある。
面の倒れの不揃いによる走査光のピッチむらを補正し検
出性能の向上を図ることができる大きな利益がある。
第１図は従来の表面欠陥検出装置の説明図、第２図は回
転多面鏡の説明図、ｗＥ３図は光ビームと被検査体との
関係説明図、第４１！１１（転）は本発明装置の説明図
、第４図会）は音響光学的偏向器の１１！明図、第５図
は倒れ補正回路と偏向器ドライバーの接続回路図、第ｓ
ｇはその各部の動作を示したタイムチャート、第７図は
本発明における光ビームと被検査体との関係説明図であ
る。 ｌ・・・光源部、２・・・回転多面鏡、３・・・走査光
、４・・・被検査体、５・・・受光素子、７ｍ、７ｂ・
・・走査光位置、８・・・ピッチむら、會・・・欠陥、
ｔ’ｏ−・・音響光学的偏向器、１１・・・レンズ系、
１２・・・照射部分、！８・・・光検知器、ｔａｇ・・
・同期信号、１５・・・倒れ補正回路、１６・・・偏向
器ドライバー、１７・・・基準反射面検出センサー、１
ｓ・・・フリップフロップ回路、１９−・・ゲート回路
、３０・・・倒れ補正信号発生回路、１０＆・・・倒れ
補正信号。 ｌｔ−１０ Ｉ＃−２圓 ４−３圓 ４−４０（０） ４−４圓（ｂ）
転多面鏡の説明図、ｗＥ３図は光ビームと被検査体との
関係説明図、第４１！１１（転）は本発明装置の説明図
、第４図会）は音響光学的偏向器の１１！明図、第５図
は倒れ補正回路と偏向器ドライバーの接続回路図、第ｓ
ｇはその各部の動作を示したタイムチャート、第７図は
本発明における光ビームと被検査体との関係説明図であ
る。 ｌ・・・光源部、２・・・回転多面鏡、３・・・走査光
、４・・・被検査体、５・・・受光素子、７ｍ、７ｂ・
・・走査光位置、８・・・ピッチむら、會・・・欠陥、
ｔ’ｏ−・・音響光学的偏向器、１１・・・レンズ系、
１２・・・照射部分、！８・・・光検知器、ｔａｇ・・
・同期信号、１５・・・倒れ補正回路、１６・・・偏向
器ドライバー、１７・・・基準反射面検出センサー、１
ｓ・・・フリップフロップ回路、１９−・・ゲート回路
、３０・・・倒れ補正信号発生回路、１０＆・・・倒れ
補正信号。 ｌｔ−１０ Ｉ＃−２圓 ４−３圓 ４−４０（０） ４−４圓（ｂ）
Claims (1)
- （１）光源部、回転多面鏡、受光素子を備えたフライン
グスポット方式の表面欠陥検出装置において、前記光源
部と回転多面鏡開の光路に回転多面鏡へ入射する光ビー
ムの入射角を任意に麦更できる補正手段を配置したこと
を特徴とする表面欠陥検出装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1884982A JPS58137739A (ja) | 1982-02-10 | 1982-02-10 | 表面欠陥検出装置 |
| EP83300588A EP0087235A1 (en) | 1982-02-10 | 1983-02-04 | Surface fault detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1884982A JPS58137739A (ja) | 1982-02-10 | 1982-02-10 | 表面欠陥検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58137739A true JPS58137739A (ja) | 1983-08-16 |
Family
ID=11982996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1884982A Pending JPS58137739A (ja) | 1982-02-10 | 1982-02-10 | 表面欠陥検出装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0087235A1 (ja) |
| JP (1) | JPS58137739A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3806384A1 (de) * | 1988-02-29 | 1989-09-07 | Feldmuehle Ag | Verfahren und vorrichtung zum pruefen von laufenden transparenten bahnen |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3529886A (en) * | 1968-07-31 | 1970-09-22 | Bell Telephone Labor Inc | Iodic acid acousto-optic devices |
| US4203672A (en) * | 1976-11-18 | 1980-05-20 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Scanning beam displacement compensation control system |
| US4170028A (en) * | 1977-04-06 | 1979-10-02 | Xerox Corporation | Facet tracking in laser scanning |
| US4195316A (en) * | 1978-12-22 | 1980-03-25 | Pitney Bowes Inc. | Apparatus and method for correcting imperfection in a polygon used for laser scanning |
| JPS55157716A (en) * | 1979-05-28 | 1980-12-08 | Olympus Optical Co Ltd | Light beam scanner |
| US4290672A (en) * | 1979-06-29 | 1981-09-22 | International Business Machines Corporation | Plural line acousto-optically modulated laser scanning system |
-
1982
- 1982-02-10 JP JP1884982A patent/JPS58137739A/ja active Pending
-
1983
- 1983-02-04 EP EP83300588A patent/EP0087235A1/en not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0087235A1 (en) | 1983-08-31 |
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