JPS58137738A - 表面欠陥検出装置 - Google Patents
表面欠陥検出装置Info
- Publication number
- JPS58137738A JPS58137738A JP1884882A JP1884882A JPS58137738A JP S58137738 A JPS58137738 A JP S58137738A JP 1884882 A JP1884882 A JP 1884882A JP 1884882 A JP1884882 A JP 1884882A JP S58137738 A JPS58137738 A JP S58137738A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- angle
- optical beam
- mirror
- polygon mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は表面欠陥検出装置、４１Ｋａｌｌなフィルム、
ガラス乾板その他プラスチック材料などの欠陥を検出す
るフライングスポット方式の表面欠陥検出装置に関する
ものである。
ガラス乾板その他プラスチック材料などの欠陥を検出す
るフライングスポット方式の表面欠陥検出装置に関する
ものである。
従来のフライングスポット方式の表面欠陥検出装置は、
フィルム及びガラス乾板等の被検査体の表面のみ又は裏
面のみの傷や、被検査体に被覆層を設けた場合などの被
覆層の塗布むら等の欠陥の有無を検査するのに用いられ
ている。
フィルム及びガラス乾板等の被検査体の表面のみ又は裏
面のみの傷や、被検査体に被覆層を設けた場合などの被
覆層の塗布むら等の欠陥の有無を検査するのに用いられ
ている。
即ち、従来の此種表面欠陥検出装置においては第１図に
示すように単色光のレーず−ビー五などを発生する光源
部１からの光ビーム露は回転多面鏡１４によシ走査光１
７として反射され、半透明鏡１８によシ透過光１９ａと
ｌ・ｂＫ分けられ、さらに透過光１９ｍは反射鏡３０ａ
によ〉正反射され反射光２１ａとなシ、又別に透過光ｌ
・ｂは反射鏡１＠ｂＫよシ正反射され反射光ｓ１ｂとな
シ、これら３つの反射光ｓ１ａ及び！ｌｂａ被検査体で
あるガラス乾板３０表向４の同一点を同時Ｋ（又唸実質
的に同一点を制限時間内に）照射する如く光走査しガラ
ス乾板３を履折透過して透過光７ａ及び７ｂとなシ受光
素子・畠及び６ｂＫ受光される。このときガラス乾Ｉ［
ｓの表ｉ１４上に欠陥＄がある場合線受光素子６ａ及び
ｓｂａ同時に異常信号を発生し出力回路に欠陥信号を発
するが、裏面に欠陥がある場合は受光素子−ａと１ｌｂ
ｌｉ異常信号を発生すること碌く従って欠陥信号は発し
ない。
示すように単色光のレーず−ビー五などを発生する光源
部１からの光ビーム露は回転多面鏡１４によシ走査光１
７として反射され、半透明鏡１８によシ透過光１９ａと
ｌ・ｂＫ分けられ、さらに透過光１９ｍは反射鏡３０ａ
によ〉正反射され反射光２１ａとなシ、又別に透過光ｌ
・ｂは反射鏡１＠ｂＫよシ正反射され反射光ｓ１ｂとな
シ、これら３つの反射光ｓ１ａ及び！ｌｂａ被検査体で
あるガラス乾板３０表向４の同一点を同時Ｋ（又唸実質
的に同一点を制限時間内に）照射する如く光走査しガラ
ス乾板３を履折透過して透過光７ａ及び７ｂとなシ受光
素子・畠及び６ｂＫ受光される。このときガラス乾Ｉ［
ｓの表ｉ１４上に欠陥＄がある場合線受光素子６ａ及び
ｓｂａ同時に異常信号を発生し出力回路に欠陥信号を発
するが、裏面に欠陥がある場合は受光素子−ａと１ｌｂ
ｌｉ異常信号を発生すること碌く従って欠陥信号は発し
ない。
このようなフライングスポット方式の表面欠陥検出装置
においては回転多＠＠１＠の各面の倒れ角が製造上の誤
差により一定せずむらがあるため被検査体を走査する光
ビームのピッチに影響を与えている。また光ビームの形
状及び走査速度の変化が幅方向の感度むら中−位置精度
の低下等の要因となっている。
においては回転多＠＠１＠の各面の倒れ角が製造上の誤
差により一定せずむらがあるため被検査体を走査する光
ビームのピッチに影響を与えている。また光ビームの形
状及び走査速度の変化が幅方向の感度むら中−位置精度
の低下等の要因となっている。
即ち、光ビームのスポット形状及び走査速度は、通常光
学素子に一般レンズを用いているため、被検査体の幅方
向の中心部と周辺部とでは異っている。光ビームで欠陥
検査を行う場合、幅方向の位置精度、感度等を向上する
には、光ビームの焦点位置、走査速度は一定であること
が望ましい。
学素子に一般レンズを用いているため、被検査体の幅方
向の中心部と周辺部とでは異っている。光ビームで欠陥
検査を行う場合、幅方向の位置精度、感度等を向上する
には、光ビームの焦点位置、走査速度は一定であること
が望ましい。
本発明の目的は、前記諸欠点を改善し、精度の高い表面
欠陥検出装置を提供することにある。
欠陥検出装置を提供することにある。
本発明の表面欠陥検出装置は、光源部、回転多面鏡、受
光素子を備え九フライングスポット方式の表面欠陥検出
装置において、前記光源部と回転多面鏡間の光路Ｋｆｉ
転多面鏡へ入射する光ビームの入射角を任意に変更でき
る補正手段を配置すると共に、回転多面鏡と被検査体の
中間に被検査面上の光走査を等速とし光ビームの形状を
一定にする光学素子を配置したことを特徴とする。
光素子を備え九フライングスポット方式の表面欠陥検出
装置において、前記光源部と回転多面鏡間の光路Ｋｆｉ
転多面鏡へ入射する光ビームの入射角を任意に変更でき
る補正手段を配置すると共に、回転多面鏡と被検査体の
中間に被検査面上の光走査を等速とし光ビームの形状を
一定にする光学素子を配置したことを特徴とする。
尚、前記補正手段は例えば音響光学的偏向器を示し、前
記光学素子は例えば！−レンズを示す。
記光学素子は例えば！−レンズを示す。
以下図面によって本発明の詳細な説明する。
本発明においては第３図に示すように光源部１からの光
ビーム２を光ビームの入射角を回転多面鏡１６の倒れ角
に応じて補正する補正手段２ｓを介して回転多面鏡ｌ−
に照射すると共に、この回転多面鏡ｌ＠からＯ反射光ｔ
？ビームの形状を一定にするための光学素子８６で介し
て半透明鏡１８に照射し、ここで二分割して、反射鏡２
Ｏｍ、！０６を経て被検査体の同一点に照射する。
ビーム２を光ビームの入射角を回転多面鏡１６の倒れ角
に応じて補正する補正手段２ｓを介して回転多面鏡ｌ−
に照射すると共に、この回転多面鏡ｌ＠からＯ反射光ｔ
？ビームの形状を一定にするための光学素子８６で介し
て半透明鏡１８に照射し、ここで二分割して、反射鏡２
Ｏｍ、！０６を経て被検査体の同一点に照射する。
本発明においては前記補正手段２Ｂとして音響光学的偏
向器を用いる。
向器を用いる。
本発明は音響光学的偏向器を用いて回転多面鏡１６に照
射しているので、回転多面鏡の軸の倒れによる製品毎の
誤差および鏡面の傾斜角（研磨時に生ずる誤差）の差異
による被検査体で特に優れ比較的簡単で、しかも正確に
光ビー４を補正することができて好ましい。
射しているので、回転多面鏡の軸の倒れによる製品毎の
誤差および鏡面の傾斜角（研磨時に生ずる誤差）の差異
による被検査体で特に優れ比較的簡単で、しかも正確に
光ビー４を補正することができて好ましい。
本発明に用いる音響光学的偏向器は第３図に示すように
板状の圧電素子部９とこれに対接した音響光学媒体１０
とによ多構成し、圧電水子部９に加える電圧を変えるこ
とにより音響光学媒体１Ｇの結晶構造が変化し、光ビー
ムの入射光１’ｌの回折光１２０角度が変化するように
する。尚、図中１３は二次回折光である。
板状の圧電素子部９とこれに対接した音響光学媒体１０
とによ多構成し、圧電水子部９に加える電圧を変えるこ
とにより音響光学媒体１Ｇの結晶構造が変化し、光ビー
ムの入射光１’ｌの回折光１２０角度が変化するように
する。尚、図中１３は二次回折光である。
この音響光学的偏向器を′用い、回転多面鏡１６の倒れ
角に対する入射角の補正を行うと第４図（ａ）、Φ）の
ような使用効果があられれる。Ｒ１ち、音響光学的偏向
器を使用した場合は被検査体が等速で搬送されている場
合におｉて、走査ビームの中心位置の軌跡は第４１１に
）のようになり、使用しない場合は第４図伽）のように
なる。
角に対する入射角の補正を行うと第４図（ａ）、Φ）の
ような使用効果があられれる。Ｒ１ち、音響光学的偏向
器を使用した場合は被検査体が等速で搬送されている場
合におｉて、走査ビームの中心位置の軌跡は第４１１に
）のようになり、使用しない場合は第４図伽）のように
なる。
又、本発９ＩＩＫ用いらｈる光 １子Ｓ＠は回転多面鏡
１６からの光ビームを一足の形状とするもので、４１に
表面欠陥検出装置では微小Ｏ傷を見い出す必要があり、
光ビームの形状の差異線検査ｗｋＩｉｌの原因となる。
１６からの光ビームを一足の形状とするもので、４１に
表面欠陥検出装置では微小Ｏ傷を見い出す必要があり、
光ビームの形状の差異線検査ｗｋＩｉｌの原因となる。
しかも−受光素子意６としては／Ｊｅレンズを用いる。
！−レンズとは、機械式回転電ツー、あるいは電気光学
的素子や音響光学的素子などの電子式偏向器によって偏
向されたビームを焦点面上に結儂するレンズで、光ビー
ムの形状を一定とし１．ビームの偏向角速度を一定にし
た場合焦点面上の走査速度が一定になる性質を持ってい
も即ち、このレンズのｍ想像高Ｙ′は入射ビームの偏向
角＃に対してＹ’−／−で表わされる。（ｆは焦点距離
）それに対し一般の写真レンズでは３ｍ想像高Ｙ′はＹ
’ｓ＊／−４ａｎ＠で定義されるｏｍｓ図偽）は一般写
真レンズと！−レンズ、ツーリエ変換レンズの入射ビー
ム０１内角０に対する理［偉高Ｙ’Ｃ）変化を夫々点線
、実線及び一点鎖線で表わし、第Ｓ図伽）は一般写真レ
ンズと！−レンズの入射ビームの偏向角＃に対する焦点
面上の走査速度を夫々点線及び実線で表わす＠本発明装
置は上記のような構成であるから第２図において光源部
ｌからの光ビームは偏向器より成る補正手段２ｓによ〉
回転多面鏡１６の面の倒れ角に対応する偏向を受け、回
転多面鏡１６で反射され光学素子２・を介して半透明鏡
１８によプ透過光１９＆とｌｌｂに分けられ、透過光１
９ｍは反射鏡２０ａＫより正反射され反射光２１ｍとな
）、別に透過光１１ｂは反射鏡ｓｏｂにより正反射され
反射光重１ｂとなり、これら２つの反射光２１＆、ｌｌ
ｂは被検査体であるガラス乾板３０表１ｉ４の同一点を
同時に（又は実質的に同一点を制限時間内Ｋ）照射する
如く光走査し、ガラス乾板３を屈折透過して透過光７ａ
及び７ｂとなり受光素子６１及び６ｂに受光される。
的素子や音響光学的素子などの電子式偏向器によって偏
向されたビームを焦点面上に結儂するレンズで、光ビー
ムの形状を一定とし１．ビームの偏向角速度を一定にし
た場合焦点面上の走査速度が一定になる性質を持ってい
も即ち、このレンズのｍ想像高Ｙ′は入射ビームの偏向
角＃に対してＹ’−／−で表わされる。（ｆは焦点距離
）それに対し一般の写真レンズでは３ｍ想像高Ｙ′はＹ
’ｓ＊／−４ａｎ＠で定義されるｏｍｓ図偽）は一般写
真レンズと！−レンズ、ツーリエ変換レンズの入射ビー
ム０１内角０に対する理［偉高Ｙ’Ｃ）変化を夫々点線
、実線及び一点鎖線で表わし、第Ｓ図伽）は一般写真レ
ンズと！−レンズの入射ビームの偏向角＃に対する焦点
面上の走査速度を夫々点線及び実線で表わす＠本発明装
置は上記のような構成であるから第２図において光源部
ｌからの光ビームは偏向器より成る補正手段２ｓによ〉
回転多面鏡１６の面の倒れ角に対応する偏向を受け、回
転多面鏡１６で反射され光学素子２・を介して半透明鏡
１８によプ透過光１９＆とｌｌｂに分けられ、透過光１
９ｍは反射鏡２０ａＫより正反射され反射光２１ｍとな
）、別に透過光１１ｂは反射鏡ｓｏｂにより正反射され
反射光重１ｂとなり、これら２つの反射光２１＆、ｌｌ
ｂは被検査体であるガラス乾板３０表１ｉ４の同一点を
同時に（又は実質的に同一点を制限時間内Ｋ）照射する
如く光走査し、ガラス乾板３を屈折透過して透過光７ａ
及び７ｂとなり受光素子６１及び６ｂに受光される。
以上のように本発１ｊｉにおいては偏向器よ）成る補正
手段３ｓと光学索子鵞６を用いたので光ビームのピッチ
むらＯ補正が極めて害鳥であり、コンパクトな光学系で
光ビーム形状の炭化を少なくで書、微小欠陥の検出精度
及びその位置精度等を着しく向上できる大きな利益があ
る。
手段３ｓと光学索子鵞６を用いたので光ビームのピッチ
むらＯ補正が極めて害鳥であり、コンパクトな光学系で
光ビーム形状の炭化を少なくで書、微小欠陥の検出精度
及びその位置精度等を着しく向上できる大きな利益があ
る。
尚、本発明においては照射ビームは検出性能を向上する
ため普通の光ビームを使用してもよいが、好ましくは、
例えばレープ−ビームの如く指向性があり、できるだけ
麟いピー五幅の光を用いることがよ１０又、欠陥検出法
として透過方法を例とし九が反射方法でも可能であるこ
と社勿論であゐ。
ため普通の光ビームを使用してもよいが、好ましくは、
例えばレープ−ビームの如く指向性があり、できるだけ
麟いピー五幅の光を用いることがよ１０又、欠陥検出法
として透過方法を例とし九が反射方法でも可能であるこ
と社勿論であゐ。
第１図−）は従来の７ライングスポット方式の表面欠陥
検出装置において光源部より受光部迄の光路を示す説明
図、ｓ１図図伽は同じく半透明鏡よ如受光・都連の光路
を示す説明図、第３ＷＡは本発明装置の説明図、第３図
は本発明に用いる音響光学的偏向器の概略図、第４図−
）は本発明の音響光学的偏向器より成る補正手段を用い
九場合の光ビームの走査軌−跡の説明図、第４図伽）は
補正手段を用いない伏線の説明図、第５図−）は本発明
の光学系への入射角の変化による焦点面での儂の高さの
変化を示す線図、第ｓ図会）は走査速度の変化を表わす
線図である。 ｌ・・・光源部、２・・・光ビーム、３・・・ガラス乾
板、４・・・表面、ａ＆、ｓｂ””受光素子、ｙａ、ｙ
ｂ・・・透過光、８・・・欠陥、９・・・圧電素子部、
１０・・・音響光学媒体、１１・・・入射光、１ト・・
闘析光、１３・・・二次回折光、ｉｌｌ・・・回転多面
鏡、１１・・・走査光、１８・・・半透＠鏡、１９＆、
１ｌｌｂ・・・透過光１，２０ｍ、２０ｂ−反射鏡、ｓ
ｓａ、ｚｔｂ・・・反射光、２ト・・補正手段、２・・
・・光学素子。 ＋ ｌ ＩＩ （Ｑ） ＋１０（ｂ） ４−２１！１ ４−３日 ４−４圓（０） ４−４ ＩＩ （ｂ） ４−５０（０） ４−５固（ｂ）
検出装置において光源部より受光部迄の光路を示す説明
図、ｓ１図図伽は同じく半透明鏡よ如受光・都連の光路
を示す説明図、第３ＷＡは本発明装置の説明図、第３図
は本発明に用いる音響光学的偏向器の概略図、第４図−
）は本発明の音響光学的偏向器より成る補正手段を用い
九場合の光ビームの走査軌−跡の説明図、第４図伽）は
補正手段を用いない伏線の説明図、第５図−）は本発明
の光学系への入射角の変化による焦点面での儂の高さの
変化を示す線図、第ｓ図会）は走査速度の変化を表わす
線図である。 ｌ・・・光源部、２・・・光ビーム、３・・・ガラス乾
板、４・・・表面、ａ＆、ｓｂ””受光素子、ｙａ、ｙ
ｂ・・・透過光、８・・・欠陥、９・・・圧電素子部、
１０・・・音響光学媒体、１１・・・入射光、１ト・・
闘析光、１３・・・二次回折光、ｉｌｌ・・・回転多面
鏡、１１・・・走査光、１８・・・半透＠鏡、１９＆、
１ｌｌｂ・・・透過光１，２０ｍ、２０ｂ−反射鏡、ｓ
ｓａ、ｚｔｂ・・・反射光、２ト・・補正手段、２・・
・・光学素子。 ＋ ｌ ＩＩ （Ｑ） ＋１０（ｂ） ４−２１！１ ４−３日 ４−４圓（０） ４−４ ＩＩ （ｂ） ４−５０（０） ４−５固（ｂ）
Claims (1)
- 光源部、回転多面鏡、受光素子を備えたフライングスポ
ット方式の表面欠陥検出装置において、前記光源部と回
転多面鏡開の光路Ｋ１１ｍ多面鏡へ入射する光ビームの
入射角を任意に変更できる補正手段を配置すると共に、
Ｉｉ＠多面鏡と被検査体の中間ＫＩｌｋ検査面上の光走
査を等速とし光ビームの形状を一定にすゐ光学素子を配
置し九ことを特徴とする表面欠陥検出装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1884882A JPS58137738A (ja) | 1982-02-10 | 1982-02-10 | 表面欠陥検出装置 |
| EP83300587A EP0087860A1 (en) | 1982-02-10 | 1983-02-04 | Surface fault detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1884882A JPS58137738A (ja) | 1982-02-10 | 1982-02-10 | 表面欠陥検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58137738A true JPS58137738A (ja) | 1983-08-16 |
Family
ID=11982969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1884882A Pending JPS58137738A (ja) | 1982-02-10 | 1982-02-10 | 表面欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58137738A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6654160B2 (en) | 2001-02-19 | 2003-11-25 | Nec Corporation | Laser scanning optics and laser scanning method using the same |
-
1982
- 1982-02-10 JP JP1884882A patent/JPS58137738A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6654160B2 (en) | 2001-02-19 | 2003-11-25 | Nec Corporation | Laser scanning optics and laser scanning method using the same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3734626A (en) | Light apparatus for testing surfaces | |
| RU2072510C1 (ru) | Способ определения оптического качества прозрачной пластины | |
| US4453828A (en) | Apparatus and methods for measuring the optical thickness and index of refraction of thin, optical membranes | |
| JPS6352032A (ja) | 透明材料要素を表面の不整及び吸蔵について試験するために照明する装置 | |
| US4390277A (en) | Flat sheet scatterometer | |
| JPS6347606A (ja) | 非球面形状測定装置 | |
| US4932780A (en) | Interferometer | |
| JPS58137738A (ja) | 表面欠陥検出装置 | |
| JPS5979104A (ja) | 光学装置 | |
| JP2000258144A (ja) | ウェーハの平坦度および厚み測定装置 | |
| JPS632324B2 (ja) | ||
| CN117367327B (zh) | 一种五角棱镜垂直度检测系统及方法 | |
| JPS5944578B2 (ja) | 透明な被検査物の欠陥検出方法 | |
| EP0087860A1 (en) | Surface fault detector | |
| JP2505331B2 (ja) | 平板状物体の寸法および欠陥計測装置 | |
| JPH07113547B2 (ja) | 試料面位置測定装置 | |
| JPS6217725B2 (ja) | ||
| SU1384942A1 (ru) | Способ контрол плоскостности зеркальной поверхности издели | |
| JPH0652165B2 (ja) | 干渉計 | |
| RU1789851C (ru) | Устройство дл контрол толщины плоских объектов | |
| JP2756715B2 (ja) | ダハ反射鏡成形金型の検査方法 | |
| JP3100717B2 (ja) | 面形状測定装置 | |
| JPS58137739A (ja) | 表面欠陥検出装置 | |
| JPS5949537B2 (ja) | 欠陥検出装置 | |
| SU1058875A1 (ru) | Лазерный профилограф |