JPS58135746U - 現像用ウエハチヤツク - Google Patents

現像用ウエハチヤツク

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JPS58135746U
JPS58135746U JP3096382U JP3096382U JPS58135746U JP S58135746 U JPS58135746 U JP S58135746U JP 3096382 U JP3096382 U JP 3096382U JP 3096382 U JP3096382 U JP 3096382U JP S58135746 U JPS58135746 U JP S58135746U
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JP
Japan
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wafer chuck
development
wafer
chuck
recorded
Prior art date
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Pending
Application number
JP3096382U
Other languages
English (en)
Inventor
西形　英治
Original Assignee
富士通株式会社
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Publication date
Application filed by 富士通株式会社 filed Critical 富士通株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のウェハチャックの構造を示す間第２図は
従来のウェハチャックを用いた場合に得；　　られるパ
ターン形状を説明するための図、第３図ｉ　　は本考案
の一実施例であるウェハチャック構造を示す図である。 図において１，７はウェハチャック、２はウェハ、３は
絶縁被膜、４はレジスト、５は現像液、１．６．６’は
レジストパターンを示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウェハ上に露光されたレジストの現像装置において、該
    ウェハを載置するウェハチャックの表面が中心部から周
    辺部へ向かって傾斜を有することを特徴とする現像用つ
    ぞハチャック。
JP3096382U 1982-03-05 1982-03-05 現像用ウエハチヤツク Pending JPS58135746U (ja)

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JP3096382U JPS58135746U (ja) 1982-03-05 1982-03-05 現像用ウエハチヤツク

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3096382U JPS58135746U (ja) 1982-03-05 1982-03-05 現像用ウエハチヤツク

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JPS58135746U true JPS58135746U (ja) 1983-09-12

Family

ID=30042655

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3096382U Pending JPS58135746U (ja) 1982-03-05 1982-03-05 現像用ウエハチヤツク

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