JPS58127970A - 画像表示素子 - Google Patents
画像表示素子Info
- Publication number
- JPS58127970A JPS58127970A JP57010365A JP1036582A JPS58127970A JP S58127970 A JPS58127970 A JP S58127970A JP 57010365 A JP57010365 A JP 57010365A JP 1036582 A JP1036582 A JP 1036582A JP S58127970 A JPS58127970 A JP S58127970A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- pixel electrode
- insulating film
- metal film
- electrode metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は画像表示素子に関するものである。
液晶を用いた画像表示素子、たとえば、アクティブ、マ
トリクスとゲストホスト型液晶を組み合わせたテレビ表
示用液晶ディスプレイパネルにおいて、液晶ディスプレ
イは受光素子であり、パネルに明るい白色散乱反射板を
使うことにより液晶表示のコントラストを稼いでいるわ
けであるが、８１基板上にスイッチング用トランジスタ
回路をマトリクス状に形成し、この該８１基板と透明ガ
ラス板との間に注入した液晶により表示を行なう場合、
白色散乱反射板の機能を他の基板に依存することは不可
能なため、該８１基板がスイッチング用トランジスタ回
路を持つと同時に明るい白色散乱反射板俣ならなければ
ならない。このとき、常に問題になるのが、この白色散
乱度とこの白色散乱の角度依存性の広さく表示の明視角
の広さ）である。これらが十分に機能しないとコントラ
ストの低い暗い見にくい画像表示素子となってしまう。
トリクスとゲストホスト型液晶を組み合わせたテレビ表
示用液晶ディスプレイパネルにおいて、液晶ディスプレ
イは受光素子であり、パネルに明るい白色散乱反射板を
使うことにより液晶表示のコントラストを稼いでいるわ
けであるが、８１基板上にスイッチング用トランジスタ
回路をマトリクス状に形成し、この該８１基板と透明ガ
ラス板との間に注入した液晶により表示を行なう場合、
白色散乱反射板の機能を他の基板に依存することは不可
能なため、該８１基板がスイッチング用トランジスタ回
路を持つと同時に明るい白色散乱反射板俣ならなければ
ならない。このとき、常に問題になるのが、この白色散
乱度とこの白色散乱の角度依存性の広さく表示の明視角
の広さ）である。これらが十分に機能しないとコントラ
ストの低い暗い見にくい画像表示素子となってしまう。
従来の方法は第１図ａの平面図とｂの断面図に示したよ
うに第一画素電極金属膜および第二画素電極金属膜表面
を白色散乱化表面処理として表面な粗らして入射して来
た光をあらゆる角度に散乱させて来た。しかし、これだ
けでは、逆に散乱光がすべての角度に広がりすぎてコン
トラストを上げるには不十分であり、画像表示を見る視
野内でも視角によるコントラストの変化も生じていた。
うに第一画素電極金属膜および第二画素電極金属膜表面
を白色散乱化表面処理として表面な粗らして入射して来
た光をあらゆる角度に散乱させて来た。しかし、これだ
けでは、逆に散乱光がすべての角度に広がりすぎてコン
トラストを上げるには不十分であり、画像表示を見る視
野内でも視角によるコントラストの変化も生じていた。
本発明はかかる従来の欠点を除去し、次のような機能を
引き出すものである。（１）あらゆる角度に分散してい
る散乱光を視野内の中に集光する。
引き出すものである。（１）あらゆる角度に分散してい
る散乱光を視野内の中に集光する。
（２）視角内におけるコントラストの変化をなくシ明る
い見やすい画像表示素子を提供するものである以下実施
例に基づいて詳しく説明する。
い見やすい画像表示素子を提供するものである以下実施
例に基づいて詳しく説明する。
第２図が本発明による実施例１であり、αは断面図、ｂ
は平面図である。２５が本発明による所の傾斜のゆるや
かな凹状断面形状を有する第二絶縁膜である。２５ｂは
凹状断面形状のパターンを表わしている。２６は第−画
素電極金属膜４膜である。
は平面図である。２５が本発明による所の傾斜のゆるや
かな凹状断面形状を有する第二絶縁膜である。２５ｂは
凹状断面形状のパターンを表わしている。２６は第−画
素電極金属膜４膜である。
画素電極金属膜の素材としては、該第一画素電極金属膜
はＡｌ−８ｉ合金金属膜で膜厚はα３μ愼から１．５μ
愼程度がよく、該第二画素電極金属膜はＡ１金属膜１μ
餌程度がよく、スパッタおよび蒸着で形成する。本発明
による所の第二絶縁膜の傾斜のゆるやかな凹状断面形状
の形成は、（１）２４まで形成された該８１基板上に、
シリコン酸化膜（膜厚Ｑ、６μ惧）を形成し、エツチン
グ比が膜厚α１μ愼に対して（Ｌ２μ鴨からｒＪ、５μ
惰横方向にサイドエツチングするテーパーエツチング液
を用いてフォトエツチングを行ない２５ｈの示す位置に
パターン形成を行ない、この上にシリコン酸化膜［Ｌ３
μｍ形成すると第２図αの２５のような傾斜のゆるやか
な凹状断面形状を有する第２絶縁膜を形成する。このよ
うな構造にした事により、第一および第二画素電極金属
膜によるの入射光に対する反射光の散乱は明視角度＋４
０から一４０度のどの角度においても傾斜のゆるやかな
凹状断面形状がない物に比較して増加しており白色散乱
反射板としての機能は向上しコントラスト比は増加する
も′のである。また、この効果が最も大きくなる第二絶
縁膜の凹状断面形状の傾斜角は１０から３０度近辺が良
いものである。また、本発明は実施例１に記したフォト
エツチングにより形成する方法の他に、す７ｐ−技術を
用いても容易に同等の効果を得るものである。
はＡｌ−８ｉ合金金属膜で膜厚はα３μ愼から１．５μ
愼程度がよく、該第二画素電極金属膜はＡ１金属膜１μ
餌程度がよく、スパッタおよび蒸着で形成する。本発明
による所の第二絶縁膜の傾斜のゆるやかな凹状断面形状
の形成は、（１）２４まで形成された該８１基板上に、
シリコン酸化膜（膜厚Ｑ、６μ惧）を形成し、エツチン
グ比が膜厚α１μ愼に対して（Ｌ２μ鴨からｒＪ、５μ
惰横方向にサイドエツチングするテーパーエツチング液
を用いてフォトエツチングを行ない２５ｈの示す位置に
パターン形成を行ない、この上にシリコン酸化膜［Ｌ３
μｍ形成すると第２図αの２５のような傾斜のゆるやか
な凹状断面形状を有する第２絶縁膜を形成する。このよ
うな構造にした事により、第一および第二画素電極金属
膜によるの入射光に対する反射光の散乱は明視角度＋４
０から一４０度のどの角度においても傾斜のゆるやかな
凹状断面形状がない物に比較して増加しており白色散乱
反射板としての機能は向上しコントラスト比は増加する
も′のである。また、この効果が最も大きくなる第二絶
縁膜の凹状断面形状の傾斜角は１０から３０度近辺が良
いものである。また、本発明は実施例１に記したフォト
エツチングにより形成する方法の他に、す７ｐ−技術を
用いても容易に同等の効果を得るものである。
本発明の特徴は、白色散乱反射板としての機能を有さな
くてはならない両像表示素子の白色散乱反射板としての
機能を向上させる所にありその製造方法により本発明の
特徴、効果は影響を受けるものでなく、第一画素電極金
属膜の下に傾斜のゆるやかな凹状断面形状を有するパタ
ーンを１コないし２コ以上有することを特徴としている
。また、パターンの形状および大きさおよび数による影
響もうけるものでない、本発明の新規性は３１基板上に
形成されたスイッチング用トランジスタ回路の中に視覚
的効果向上させる構造を、入れる所にあり、それを第二
絶縁膜という中間層の絶縁膜にその構造を求めた所にあ
る。
くてはならない両像表示素子の白色散乱反射板としての
機能を向上させる所にありその製造方法により本発明の
特徴、効果は影響を受けるものでなく、第一画素電極金
属膜の下に傾斜のゆるやかな凹状断面形状を有するパタ
ーンを１コないし２コ以上有することを特徴としている
。また、パターンの形状および大きさおよび数による影
響もうけるものでない、本発明の新規性は３１基板上に
形成されたスイッチング用トランジスタ回路の中に視覚
的効果向上させる構造を、入れる所にあり、それを第二
絶縁膜という中間層の絶縁膜にその構造を求めた所にあ
る。
第１図α・・・・・・従来法による画像表示素子断面図
第１図ｂ・・・・・・従来法による画像表示素子平面略
図 ０・・・・・・８１基板 １・・・・・・不純物ドープ領域１ ２・・・・・・不純物ドープ領域２ ３・・・・・・第一絶縁膜 ４・・・・・・ゲート電極配線膜（多結昌シリコン膜）
５・・・・・・第二絶縁膜 ６・・・・・・第一画素電極金属膜およびソース電極金
属膜 ７・・・・・・第３絶縁膜 ８・・・・・・第二画素電極金属膜 ９・・・・・・第四絶縁膜 １０・・・コンタクトホール １１・・・コンタクトホール ３ｂ・・・第一絶縁膜パターン ４ｂ・・・ゲート電極配ｌｌ５ｊ［パターン１４Ｃ・・
・ゲート電極配ｔａパターン２６ｂ・・・ソース電極配
線金属膜パターン６Ｃ・・・第一画素電極金属膜パター
ン（平面略図は第一画素電極金属膜までの図であり、そ
の上の膜のパターン図は含まない。 第２図α・・・・・・本発明による実施例の画素表示素
子の断面図 Ｉｇ２Ｆｇ：ｉｂ・・・・・・本発明による実施例の画
素表示素子の平面略図 ２０−・・・・・８１基板 ２１・・・・・・不純物ドープ領域１ ２２・・・・・・不純物ドープ領域２ ２３・・・・・・第一絶縁膜 ２４・・・・・・ゲート電極配線膜（多結晶シリコン膜
） ２５・・・・・・本発明による第二絶縁膜２６・・・・
・・第一画素電極金属膜およびソース電極配線金属ｊ［
ＯＡ Ｌ −Ｂ １合金膜２７・・・・・・第三絶縁膜 ２８・・・・・・第二画素電極金属膜ＣＡＩＩ金ｊｌ＆
）２９・・・・・・第四絶縁膜 ２１０・・・コンタクトホール ２１１−？・コンタクトホール ２３Ａ・・・第一絶縁膜パターン ２４ｂ・・・ゲート電極配線膜パターン１２４Ｃ・・・
ゲート電極配ｍ膜パターン２２５ｂ・・・本発明による
傾斜のゆるやかな凹状断面形状を有する第二絶縁膜パタ
ーン ２６ｂ・・・ソース電極配線金属膜パターン２６ｃ・・
・第一画素電極金属膜パターン以 上 出願人 株式会社諏訪精工舎 代理人 弁理士 最上 務 第１図 第２図 偵）
第１図ｂ・・・・・・従来法による画像表示素子平面略
図 ０・・・・・・８１基板 １・・・・・・不純物ドープ領域１ ２・・・・・・不純物ドープ領域２ ３・・・・・・第一絶縁膜 ４・・・・・・ゲート電極配線膜（多結昌シリコン膜）
５・・・・・・第二絶縁膜 ６・・・・・・第一画素電極金属膜およびソース電極金
属膜 ７・・・・・・第３絶縁膜 ８・・・・・・第二画素電極金属膜 ９・・・・・・第四絶縁膜 １０・・・コンタクトホール １１・・・コンタクトホール ３ｂ・・・第一絶縁膜パターン ４ｂ・・・ゲート電極配ｌｌ５ｊ［パターン１４Ｃ・・
・ゲート電極配ｔａパターン２６ｂ・・・ソース電極配
線金属膜パターン６Ｃ・・・第一画素電極金属膜パター
ン（平面略図は第一画素電極金属膜までの図であり、そ
の上の膜のパターン図は含まない。 第２図α・・・・・・本発明による実施例の画素表示素
子の断面図 Ｉｇ２Ｆｇ：ｉｂ・・・・・・本発明による実施例の画
素表示素子の平面略図 ２０−・・・・・８１基板 ２１・・・・・・不純物ドープ領域１ ２２・・・・・・不純物ドープ領域２ ２３・・・・・・第一絶縁膜 ２４・・・・・・ゲート電極配線膜（多結晶シリコン膜
） ２５・・・・・・本発明による第二絶縁膜２６・・・・
・・第一画素電極金属膜およびソース電極配線金属ｊ［
ＯＡ Ｌ −Ｂ １合金膜２７・・・・・・第三絶縁膜 ２８・・・・・・第二画素電極金属膜ＣＡＩＩ金ｊｌ＆
）２９・・・・・・第四絶縁膜 ２１０・・・コンタクトホール ２１１−？・コンタクトホール ２３Ａ・・・第一絶縁膜パターン ２４ｂ・・・ゲート電極配線膜パターン１２４Ｃ・・・
ゲート電極配ｍ膜パターン２２５ｂ・・・本発明による
傾斜のゆるやかな凹状断面形状を有する第二絶縁膜パタ
ーン ２６ｂ・・・ソース電極配線金属膜パターン２６ｃ・・
・第一画素電極金属膜パターン以 上 出願人 株式会社諏訪精工舎 代理人 弁理士 最上 務 第１図 第２図 偵）
Claims (1)
- ８１基板上にスイッチング用トランジスタ回路をマトリ
クス状に形成し、該８ｉ基板と透明ガラス板との間に注
入した液晶により画像表示を行なう画像表示素子におい
て、該Ｈ１基板に形成された導電型の不純物ドープ領域
間の上を第一絶縁膜を介してゲート電極配線膜が通り、
上記の上に第二絶縁膜を形成し、第二絶縁膜上にソース
電極金栖配線膜および第一画素電極金属膜を形成し、第
三絶縁膜を介して該第一画素電極金属膜と接続する第二
画素電極金属膜を形成し、該第二画素電極金属膜上に第
四絶縁膜を形成する構成において、該第一画素電極金属
膜の下にある該第二絶縁膜が傾斜のゆるやかな凹状断面
形状を有するパターンを１コないし２コ以上有すること
を特徴とする画像表示素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57010365A JPS58127970A (ja) | 1982-01-26 | 1982-01-26 | 画像表示素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57010365A JPS58127970A (ja) | 1982-01-26 | 1982-01-26 | 画像表示素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58127970A true JPS58127970A (ja) | 1983-07-30 |
Family
ID=11748131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57010365A Pending JPS58127970A (ja) | 1982-01-26 | 1982-01-26 | 画像表示素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58127970A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0627481A (ja) * | 1992-07-10 | 1994-02-04 | Sharp Corp | 反射型アクティブマトリクス基板及びその製造方法並びに液晶表示装置 |
-
1982
- 1982-01-26 JP JP57010365A patent/JPS58127970A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0627481A (ja) * | 1992-07-10 | 1994-02-04 | Sharp Corp | 反射型アクティブマトリクス基板及びその製造方法並びに液晶表示装置 |
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