JPS58123735A - ガ−ドライン付きプロ−ブ・ガ−ド - Google Patents

ガ−ドライン付きプロ−ブ・ガ−ド

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Publication number
JPS58123735A
JPS58123735A JP560582A JP560582A JPS58123735A JP S58123735 A JPS58123735 A JP S58123735A JP 560582 A JP560582 A JP 560582A JP 560582 A JP560582 A JP 560582A JP S58123735 A JPS58123735 A JP S58123735A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
guard
probe
line
signal
signal line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP560582A
Other languages
English (en)
Inventor
Hirotaka Tanaka
弘隆 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp, Suwa Seikosha KK filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP560582A priority Critical patent/JPS58123735A/ja
Publication of JPS58123735A publication Critical patent/JPS58123735A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07342—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being at an angle other than perpendicular to test object, e.g. probe card

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、プローブ・カードにおける信号ラインパター
ン配線に関する。
従来のプローブ・カードに於いては、第１図の如く、コ
ネクタさし込み部からプローブ針まで信号ラインパター
ンが配線されている。このような、パターン配線では、
隣接するライン間で妨害となる信号移入が原信号に対し
行なわれる。つまり、原信号の伝達方向と同じ方向に行
なわれる時と、反対方向に行なわれる場合とがあり、こ
のような時、安定した測定は不可能である。
とくに、信号周波数が大きければ大きいほどこの現象は
一生する。
本発明は、かかる欠゛点を除去したもので、その目的は
、高速な信号を扱うメモリなどのウェーハ・プｐ−ビイ
ングにおいて、安定した測定系を提供するものである。
第２図に示す如く、信号ラインは全てグランドラインで
ガードリングを施こし最外部ラインは測定系グランドへ
一点接地する０例えば信号ライン１に目的とする信号が
伝達される時、信号ライン２との間には、贅電位をはさ
んで隔たっている。
つまり、擬似的なツイスト・ペア線となるため、ストレ
イ・キャパシティの低減、信号の減衰１位相遅れの防止
を提供できるものである。
【図面の簡単な説明】
第１ｗＪは従来のプローブ・カード、第２図は本発明の
プローブ・カードである。 １はプローブ針、２はコネクタさし込み部、３は信号ラ
インとプ田−ブ針後端との接続用スルーホール、４はガ
ードリング用グランドパターンである。 以上 出願人　　株式★社諏訪精工舎 代理人　　弁理士　最上　　務

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 隣接する信号ラインをコネクタさし込み部から、プロー
    ブ針後端までを、グランド（＼Ｖ電位）でガードリング
    することな特徴とするプローブカード。
JP560582A 1982-01-18 1982-01-18 ガ−ドライン付きプロ−ブ・ガ−ド Pending JPS58123735A (ja)

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Publications (1)

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JPS58123735A true JPS58123735A (ja) 1983-07-23

Family

ID=11615837

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JP560582A Pending JPS58123735A (ja) 1982-01-18 1982-01-18 ガ−ドライン付きプロ−ブ・ガ−ド

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JP (1) JPS58123735A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0225156U (ja) * 1988-08-05 1990-02-19

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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