JPS58121376U - シリコン単結晶引上げ装置用黒鉛ルツボ - Google Patents

シリコン単結晶引上げ装置用黒鉛ルツボ

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JPS58121376U
JPS58121376U JP1650582U JP1650582U JPS58121376U JP S58121376 U JPS58121376 U JP S58121376U JP 1650582 U JP1650582 U JP 1650582U JP 1650582 U JP1650582 U JP 1650582U JP S58121376 U JPS58121376 U JP S58121376U
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JP
Japan
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graphite
graphite crucible
single crystal
silicon single
crystal pulling
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Pending
Application number
JP1650582U
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English (en)
Inventor
青山　好次
Original Assignee
イビデン株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のシリコン単結晶引上げ装置の縦断面図、
第２図は本考案の改良゛された黒鉛ルツボの本体の縦断
面図、第３図及び第４図は本考案の黒鉛ルツボにおいて
使用される黒鉛部品の一例の斜視図、第５図は同黒鉛部
品（第４図に示した黒鉛部品）の縦断面図１、第６図及
び第７図は本考案５　のシリコン単結晶引上げ装置で使
用される黒鉛ルツボとその受台の縦断面図である。１は
石英ルツボ、２は石黒ルツボ、３は黒鉛受台、４はシリ
コン単結晶、４′は種単結晶、５はシリコン多結晶溶融
体、６は黒鉛ルツボ底面に設けた貫通穴、７は薄板状貫
通穴覆蓋板、８は円錐台状黒鉛素材加工品、８′は同加
工品の本体、９は略凹形状空間部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　シリコン単結晶引上げ装置で使用される黒鉛ルツボ
    において、該黒鉛ルツボの底部に貫通穴を有し且つ前記
    貫通穴部位に黒鉛部品を装着して該黒鉛ルツボの底面外
    部に空間部を形成してなるシリコン単結晶引上げ装置用
    黒鉛ルツボ。 ２　前記貫通穴部位に装着する黒鉛部品が薄板状の黒鉛
    製貫通穴覆蓋板であることを特徴とする実用新案登録請
    求の範囲第１項記載の黒鉛ルツボ。 ３、前記貫通穴部位に装着する黒鉛部品が底面外部に空
    間部を有する貫通穴嵌着自在の黒鉛素材加工品であるこ
    とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の黒
    鉛ルツボ。
JP1650582U 1982-02-09 1982-02-09 シリコン単結晶引上げ装置用黒鉛ルツボ Pending JPS58121376U (ja)

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JP1650582U JPS58121376U (ja) 1982-02-09 1982-02-09 シリコン単結晶引上げ装置用黒鉛ルツボ

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JPS58121376U true JPS58121376U (ja) 1983-08-18

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