JPS5811639B2 - 音響波発生装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は音響波発生装置に関し、更に詳細には熱膨張の
原理を用いるエネルギー音響波変換器による音響波の伝
播効率を高めるための装置に関する。

先行技術を説明するに、米国特許第３５３２１８１号に
よれば、音響波を伝播する水晶バーの様な媒体に接着又
は付着された吸収性のある薄膜ヘレーザからの連続パル
スを指向することか教示されている。

上記薄膜は２つの水晶の間にはさまれていても良い。

１個の水晶体か好ましく、そして液体セルの利用か述べ
られている。

薄膜はＡｕ、 Ｓｎ。Ｃｕ又はＡｇが好ましい。

しかし、上記米国特許には装置の性能を高めるため薄膜
を音響的にクランプするのか好ましいことは述べられて
はいない。

Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉ
ｃｓ ３４巻、１２号、１９６３年１２月、３５５９頁
−３５６７頁に記載されたＲ−Ｍ−Ｗｈｉｔｅによる“
Ｇｅｎｅｒａｔ １ｏｎｏｆ Ｅｌａｓｔｉｃ Ｗａ
ｖｅｓ ｂｙ Ｔｒａｎｓｉｅｎｔ ５ｕｒｆａｃｅＨ
ｅａｔｉ■ｕ 、こはエネルギを吸収する材料の表面を
圧迫することの理論的な概念か数学的に述べられている
。

即ち、上記論文中の３５６３頁には“２つの同一の半無
限長のボディか一平面で触れ合いそこで２つのボディが
接合され、そしてエネルギ吸収か生じる様な拘束された
表面”に関する特別な場合か述べられている。

この数学的モデルは、共通の境界付近でわずかに吸収性
のある２つの透明媒体の間の接合部で無線周波数の吸収
をシミュレートするのに使用できる。

しかし上記刊行物には、エネルギを吸収する層の境界を
閉じ込めることにより振幅を高めるための実際的な方法
の提案はなされていない。

従って、上記刊行物はこの効果を用いる方法を教示して
いない。

Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ Ａｃｏｕｓｔｉ
ｃａｌ ５ｏｃｉｅｔｙ ｏｆＡｍｅｒｉｃａ
４９巻、３号、９７４頁−９７８頁に記載されたＣａｃ
ｈｉｅｒによる’ Ｌａ５ｅｒ Ｅｘｃｉｔａｔｉｏ
ｎｏｆ Ｍｉｃｒｏｗａｖｅ ５ｏｕｎｄ ｉｎ ５ｏ
ｌｉｄｓ”の９７７頁を参照するに、水晶遅延線の上に
１００ＯＡの厚さのチタン膜か付着され、更にこの上に
は１ミクロンの厚さの金膜が付着され、そしてこの上に
総ての光線を吸収する５００Åの厚さのチタン膜が付着
されている。

５００Åの厚さのチタン膜はレーザのエネルギを吸収す
る層であって、拘束を受けないで大気にさらされている
。

米国特許第３３２２２３１号では、地震波状パルスを発
生させるため、クランプ用板のガラス窓を通り液体（水
）に指向されるレーザ源を示している。

この場合、光エネルギを音響エネルギに変換するために
中間の吸収層は用いられていない。

更に水は使用されている光をわずかに吸収するのみであ
るので、吸収性の高い物質は使用されていない。

その代わりに、透明な水口体かエネルギを吸収すること
が必要である。

水面をクランプするために水面全体に広げられる様なガ
ラスとクランプ板が用いられる。

高出力を与えるため集中された電磁エネルギの利用か要
求される。

どんな高度に染められた液体であっても高度の吸収性を
与えない。

というのは、液体の光学的吸収長さは比較的長く光学的
エネルギ吸収は小さいからである。

ＩＢＭ Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ Ｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅ
Ｂｕｌｌｅｔｉｎ１８巻、７号、１９７５年１月、
２３６２頁−２３６３頁に記載のＭｅｌｃｈｅｒ等の“
Ｍｕ １ ｔ ｉ ｃｈａｎｎ−ｅｌｌＲａｎｄｏｍ
−Ａｃｃｅｓｓ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｅｃｈｏ Ｓｔ
−ｏｒａｇｅ Ｍｅｍｏｒｙ”によれば、熱緩和時間を
短縮するために、透明な層で被覆された固体物質のブロ
ックを設けることか教示されている。

上述の先行技術によれば、本発明の多くの要素は従来か
ら入手できたものであるか、これらの要素は本発明を使
用することによって達成される改善された結果を与える
ために結合されていなかったことがわかる。

従って、本発明の目的は、エネルギを音響波形式に変換
し且つ効率の高い変換器を提供するにある。

本発明の他の目的は、エネルギを音響波形式に変換しそ
してこの効果的に変換されたエネルギを媒体内に保持し
そしてこのエネルギが上記媒体の出力に伝播されるエネ
ルギ変換器を提供するにある。

本発明の更に他の目的は、欠陥部の非破壊的検出の用途
に使用できる局所的な且つ走査可能な良くコリメートさ
れた音響波エネルギを発生することにある。

本発明によれば、エネルギ源の印加に応じて音響波を発
生するための装置が提供される。

音響振動を行なえる様になっている材料でできた本体は
、予め定められた種類のエネルギを吸収する様になって
いを材料でできたエネルギ吸収層と直接に又は音響的接
着剤を介して音響的に密接して置かれる。

固体クランプ材料が上記エネルギ吸収層と直接的に又は
音響的接着剤を介して音響的に密接して置かれる。

固体のクランプ材料か上記エネルギ吸収層Ｘ音響的に密
着される。

第１Ａ図は、パルス状レーザ・ビーム１０を発生するレ
ーザ９を示しており、レーザ・ビーム１０に対し透過性
の例えば研摩処理したガラス、石英又はサファイア（Ａ
１２０３）の様な絶縁性の薄板１２の底面にタングステ
ン又はモリブデンを約２０００λの厚さで蒸着して形成
される吸収性の薄膜１３が設けられている。

薄膜１３上にビームを集束するため上記レーザ・ビーム
はレンズ１１を通って指向されている。

薄膜１３はプロピレン・グリコール、シリコーン油、ス
トップコック・グリース、エポキシ樹脂、ワックス、カ
ナダ・パルサンの様な好ましくは固体又は粘性液体の接
着剤１４によって石英、ＡＣ２０３（サファイア）セラ
ミック、金属、半導体、絶縁体又は液体の容器のなかか
ら選ばれた材料から成る固体サンプル１５に音響的に接
着される。

例えばパナメトリックス（Ｐａｎａｍｅｔｒｉｃｓ）社
のＭ１１６型（２０ＭＨｚ±５ＭＨｚ）のような粗密波
に対して敏感なセラミック圧電変換器−受信装置１６が
使用される。

この出力は増巾されて積分器の出力と共に使用されるオ
シロスコープ又はＸ−Ｙレコーダに表示される。

上述の装置と５Ｘ１０−９秒のレーザ・パルスを使用す
る特定の実験の場合、入射入力レベルは３５０Ｗ（わず
か２Ｘ１０−６Ｊに相当する）のオーダである。

本発明の上記実施例の動作を説明するに、エネルギを吸
収する物質で作られた薄膜１３の底面と接着剤１４を介
して音響的に密接している固体本体１５（例えば水晶）
にレーザ・ビーム１０のパルス又は他の光学的エネルギ
が印加される。

上記薄膜１３にエネルギか供給されると機械的（音響的
）波が固体本体１５に発生する。

吸収用薄膜１３か例えば石英、５ｉ０２等の様な透明の
固体や又は透明の流体で形成されたクランプ用の薄板１
２に音響的に密接しており、この薄膜１３はその機械的
振動がクランプ用薄板１２によりクランプ又は制限され
る。

理想的には、クランプ用の薄板１２は、流体か圧力を加
えるかの様に又は十分に接着された固体を加えるかの様
にギャップのない総ての点で上記吸収性の薄膜１３に圧
力を加えることにより薄膜１３で発生した機械的振動の
総てを該薄膜１３内に押しもどす。

従って、このクランプ動作により薄膜１３がその表面に
制約されそして薄膜１３が膨張しようとするとその膨張
は圧迫されて、固体本体１５の更に犬きな振動を発生し
、非常に高められた弾性波８を発生し、この弾性波が固
体本体１５内を伝播する。

振動に敏感な変換器１６がオシロスコープ２０で出力を
発生する。

代替的には、第１Ｂ図に示される様に薄膜１３が固体本
体１５の上Ｇコ付着され、薄板１２か音響的接着剤１４
を介して薄膜１３と音響的に密接して置かれても良い。

この実施例では、薄膜１３に吸収されたエネルギが薄膜
１３の振動をひき起すと、この振動エネルギは空気中に
消散するのではなく、振動が固体１５内へ反射されて戻
される。

即ち、第１Ｂ図で、薄膜１３はグリースの如き音響的接
着剤１４によりクランプ薄板１２と音響的に密接して置
かれているので、薄板１２に向うエネルギにより生じる
すべての機械的運動は接着剤１４を介して薄板１２へ伝
達され、そこから固体１５内へ反射される。

これと同時に、薄膜１３により生じたエネルギの多くは
薄膜１３から直接に固体１５内へ向う。

薄膜１３を定位置に保持するために薄板１２を用いるこ
とにより、エネルギは固体１５内へ反射される。

グリースの如き音響的接着剤は圧縮性であるため、薄板
１２と薄膜１３の間のギャップに運動を許容するスペー
スが殆んどなく、従ってクランプ効果が高まる。

第１Ｃ図に示される様な更に他の実施例の場合、薄膜１
３かエネルギを吸収する材料でできた薄板１３′に、変
えられて、そして該薄板１３′は薄板１２の底面及び固
体本体１５の上表面と夫々接着剤１４を介して音響的に
密接して置かれている。

第２図の曲線１は、第１Ａ図のクランプされた装置に於
て、薄板１２か厚さ０．０２５ｃｍのＡｌ２Ｏ３で、薄
膜１３か２０００人の厚さのモリブデンで接着剤１４が
プロピレン・グリコールで、固体本体１５か直径５ｃｍ
、厚さ０．９５ｃｍの石英ガラスでできている装置に関
して、５Ｘ１０−９秒のレーザ・ビーム１０か上記薄膜
１３に印加された場合に検出された音響波の波形を示す
。

曲線２は固体本体１５と薄板１２の表面１７をプロピレ
ン・グリコールの接着剤１４を介して音響的に密接して
置かれる様に薄板１２を裏返しにしたクランプされてい
ない場合に検出された音響波の波形を示す。

第２図の曲線１はモリブデンの薄膜１３に印加された５
Ｘ１０−９秒のレーザ・ビーム（ローダミン６Ｇ）によ
り発生した２０ＭＨｚ音響波の記録結果を示す。

時刻ｔ＝Ｏに於けるピークは光学的ζこ検出されるレー
ザ・パルスであって基準時刻を与える。

時刻ｔ＝１．８Ｘ１０−６秒付近の波形は変換器１６で
検出された音響波である。

第２図の曲線２は薄板１２の表面１７と固体本体１５と
が接着剤１４を介して音響的に密接して置かれ、薄膜１
３か固定されず拘束されないでビームか直接印加されて
いる様な場合に発生する音響波を示す。

第２図の曲線１と曲線２の音響波の振巾のピーク・ピー
ク値を比較して、比Ｒが得られる。

実施例の場合Ｒは約９５であり、即ち４０計の増加が得
られた。

薄膜１３４こクロムを使用して同様な実験を行なった場
合の４６ｄｂの増加か得られた。

薄板１２の厚さか音響波の波長より大きい場合薄板１２
の厚さが結果に及ぼす影響はクリチカルではないので、
薄板１２の厚さが０．１６Ｃｒｎの様に厚い場合でも、
その結果は第２図に関連して先に設問した結果と同じで
ある。

従って、この様な場合、拘束用媒体（即ち薄板１２）の
機械的共振は最終結果に影響を及ぼさない様であった。

本実施例で得られた音響波の振巾の増大は吸収層の熱膨
張か駆動環として含まれる場合の一次元の応力−ひすみ
関係式を解くことにより求められる。

この式は前記Ｒ−Ｍ、 ＷｈｉｔｅＩこよる論文中に示
される如く、次の如くである。

σｘｘ−ρＶ 歎ニーＢαθ （１）ここ
で、σＸｘは応力テンソルのＸ成分で、−エはひずみに
相当し、ρは密度、Ｂは体積弾性率で、αは熱膨張率で
、θは周囲温度を超える温度上昇、Ｕは粒子の変位、■
は圧縮波速度を表わす。

Ｒ９Ｍ −’Ｗｈ ｉ ｔｅは一様な半無限長の媒体の
表面で発生する周期的な駆動環の場合について上記（２
）式を解いた。

本発明に対する解は、装置か複数の媒体で形成されてい
る結果、複数の境界及び駆動環のパルス波形により複雑
にされる。

更に正確な処理による予備的概算によれば、比ＲはＷｈ
ｉ ｔｅの完全にクランプされていない場合及び完全に
クランプされた場合なこ得られた値の範囲近くにある。

これらの限定ちした場合、比ＲはＷｈｉｔｅの式から次
の様に求まる。

ここでＫは吸収性の薄膜の熱拡散率でｆは励起の周波数
である。

本発明の実施例の場合、ｆは２０±５ＭＨｚに同調され
た受信器−変換器１６により判定される。

検出された弾性波の絶対振巾は吸収性薄膜の熱的パラメ
ータ及び周波数ｆ（こ於けるパルス波形のフーリエ成分
にも依存する。

吸収媒体（即ち薄膜１３）かモリブデンの場合、（３）
式からＲ＝７５となるか実験により得られたＲの値は９
５であり（第２図参照）、これはＫの指定値を用いて近
似計算で得られた理論値とかなりよく一致している。

欠陥部検出 積層体をシミュレートする様に設計された構造体中の欠
陥部を検出するため、熱弾性的に発生した弾性波か使用
される。

第３図に示された装置は両端か研摩された長さ１ｃｍ、
直径１．６ｃｍのアルミニウム製の円筒１８を含む。

積層状態をシミュレートするために０．１ ｍｍ顕微鏡
カバー・スライド１９か円筒１８の上表面に接着されて
いる。

該円筒１８の上表面には、積層界に於ける欠陥部分をシ
ミュレートするために０．０４ｃｍの直径で等しい深さ
の開孔か複数１１１０．０８ｃｍの間隔で設けられてい
る。

０．２５ ｍｍの厚さのＡｌ２Ｏ３の薄板１２とモリブ
デンの薄膜１３とか第１Ａ図の様に形成されそしてモリ
ブデンの薄膜１３か上記カバー・スライド１９と接着剤
１４を介して音響的に密接して置かれている様な装置を
使用して弾性波か発生される。

実験はパルス動作するローダミン・レーザかレンズ１１
により約０．０３ｃｍの大きさのスポットに集束されて
いる光学的顕微鏡により行なわれた。

光学的走査は、本分野で知られている様に円筒１８を横
力向に移動させるよう、第３図の一点鎖線で示された顕
微鏡台部６０を手で移動することによりなされる。

この方法により、弾性波かアルミニウム円筒１８の上側
表面の任意の場所で発生できそして、この発生された弾
性波は変換器１６（有効直径０．３３ｃｍ）により上記
円筒１８の下側表面で検出される。

欠陥部分の直上と欠陥部分相互間に於ける光学的吸収に
相当する領域に関して検出された波形が曲線ａ −ｄ
により第４図に示されている。

曲線ａ及び曲線Ｃは隣接する開孔上を光学的走査をした
場合の結果を示す。

曲線す及び曲線ｄは開孔相互の間の部分を走査した場合
の結果を示す。

例えば、曲線ａ及び曲線Ｃでは基準線からの最大振巾は
正であり、曲線す及び曲線ｄの場合の最大振巾は負であ
るのがわかる。

積層界面の欠陥個所は更に付加的な信号処理をなさずと
も伝播された音響波ではっきりと発見できる。

光学的に発生した弾性波を用いての欠陥個所検出はこの
簡単な例により達成される。

走査可能であることにより、本発明は試料評価のために
特に都合良ぐ利用でき、円筒１８の上側表面の任意の場
所で発生した音響波を検出するため下側表面に単一の受
信装置を接着することを可能にする。

吸収媒体上のレーザ・スポットの焦点の大きさの単なる
変更により、音響波源の直径か変化できる。

例えば、第３図のレンズ１１は本分野で良く知られてい
る様に一点鎖線で示された機械的運動１１２により垂直
力向に調節できる。

この場合、音響波ビームは用途に応して平面波（λ／ｄ
＜１ ）から球面波（λ／ｄ〉１）（こ容易に変更でき
る。

ここで、上記λは音響波波長であり、ｄは音響波源の直
径である。

従って、λ／Ｃが１のオーダの場合、極めて狭いコリメ
ート、ビームか発生できる。

ビームは、上述の様にビームの下の基板を移動すること
により又は多くの光学的走査装置で知られている様に基
板を横切ってビームを走査することにより走査できる。

タングステン吸収層 本発明の実施例と比較するために試験された装置の例は
、固体本体１５に接着剤１４を介して音響的に密接して
置かれている薄板１２の上にタングステンで作られたク
ランプされていない吸収性薄膜１３を用いている。

この場合も、第５図に示されている様に、石英基板でで
きた固体本体１５に入射するローダミン６Ｇレーザ光の
５×１０−９秒パルスを使用して音響波か発生する。

結果として発生した音響波の振巾は周波数の中心か２０
ＭＨｚに定められている受信装置により測定される。

第１Ａ図の本発明に関連するクランプされた装置を使用
した実施例の場合、石英の固体本体１５は音響的接着剤
であるプロピレン・ゲルコール１４でタングステンの薄
膜１３と音響的に密接され且つ機械的（こ接触される。

測定された電圧の比は１：２４０であり、これはクラン
プされた装置に対する電力改善比である４８ｄｂに相当
している。

マイラ・ポリエステル上のアルミニウム薄膜アルミニウ
ム薄膜１３かマイラ・ポリエステル板１２に付着され、
第１Ａ図に示されている様にマイラ・ポリエステル板１
２が自由表面として働く。

（クランプされている）アルミニウム薄膜１３か石英の
固体本体１５に接着剤１４を介して音響的に密接して置
かれる。

この結果アルミニウム薄膜１３か第５図の様に自由表面
として働く（クランプされていない）場合に比べて２０
０倍の大きな信号か観察された。

クランプ材料 光学的励起のためのクランプ材料は、エネルギを吸収す
る表面で被覆層として使用されるＳ ｉ０２、ペリレン
、ＳｉＯを含む透明又は半透明固体本体薄膜又は板から
成る。

電気的励起のためのクランプ材料は上記の材料及び高抵
抗の不透明材料及びゲルマニウム、セラミック等の半導
体プレート又は被覆層を含む。

エネルギを吸収する性質の本体 第６図の場合、固体本体２８か高度のエネルギ吸収材料
でできている装置を示す。

エネルギ源２９か可視レーザの場合、固体本体２８は代
表的にはアルミニウム、モリブデン、タングステン、シ
リコン又はゲルマニウムから成る。

固体本体２８は、接着剤１４を介して薄板１２により直
接クランプされている。

エネルギか本体２８の吸収性の高い表面で吸収される。

弾性波 本発明に関連する装置で得られた弾性波の周波数は光パ
ルスのフーリエ変換並びに装置を構成している総ての媒
体の細かな光学的及び熱的パラメータによりその大部分
か決定される。

光学系ではクランプ材料及び吸収材料の光学的特性が考
慮され、又総での媒体の熱特性及び弾性特性も考慮され
る。

電気系では光学的特性は考慮されない。第７図は、光学
的エネルギではなく電気的エネルギにより励起される変
換器を示す。

固体本体１５には通常の圧電性変換器１６がある。

石英ガラス樹脂の様な材料で作られたブロック３０と固
体本体１５とか接着剤１４の薄い層を介して音響的に密
接して置かれている。

電気抵抗材料の薄膜３１かブロック３０の上に設けられ
る。

電気的リード線３４と薄膜３１が接点３２及び３３で接
続されている。

クランプ用のブロック１１２が接着剤１１４により薄膜
３１を介して音響的に密接して置かれている。

大きな電流パルスか薄膜３１を通過する場合、発生した
熱エネルギは上述の装置に関連して先に述べた様に熱弾
性的膨張により音響波を発生する。

２０００人の厚さのモリブデン薄膜か薄膜３１として使
用され、又５０オーム装置の場合、約２００ワツトの電
力を生じるために約１００Ｖの電圧か使用される。

この場合も、第１Ｂ図について説明したと同様の理由に
より、効果的なりランプ作用か得られる。

第８図は、熱的エネルギー音響波変換器を示す。

パルス発振器が約２０００人の厚さのモリブデンの導電
体の薄膜条線５０に電流を供給する。

プレート２１２は厚さか０．０５１のＡｌ２Ｏ３の単結
晶か好ましい。

プレート２１２の底面には２００ＯＡの厚さのモリブデ
ンの薄膜条線１３１か形成され、この条線１３１をプレ
ート２１２かクランプする。

薄膜条線１３１はプレート２１２を通り、条線５０から
条線１３１まで伝播された熱波により加熱される様なこ
されている。

条線１３１は接着剤１４により接着された固体本体１５
に対しプレート２１２により音響的にクランプされてい
る。

かくて、条線１３１は固体本体１５内に音響波を発生す
るこの装置は熱弾性波により加熱効果か得られる様に液
体ヘリウム温度程度の低温で動作される。

第９図は真空室９０内におかれたパルス化されたヘリウ
ム・イオン・ビーム源１０９を示す。

ヘリウム・イオン・ビーム１１０は金製の吸収層２３１
により吸収される様に、カーボン製のクランプ板３１２
を通って指向されている。

吸収層２３１はクランプ板３１２の底面に付着されてい
るのか好ましい。

固体本体１５は、上述の他の固体本体と同様であって、
圧電性の変換器１６を有している。

接着剤１４も通常の通り使用される。第１０図は好まし
くは約２００Δの厚さのＦｅから成る薄膜３３１上Ｏこ
１０−１００μの厚さで付Ｎされたペリレンのクランプ
層４１２によりＸ線ビーム２１０を指向しているパルス
化されたＸ線源２０９を示す。

薄膜３３１は、接着剤１４により固体本体１５ｃこ接着
されたガラス板３３０上に付着されている。

Ｘ線源２０９は吸収層３３１よりも高いＺ（原子番号）
をもっている材料からのパルス化されたＸ線を使用する
。

従って、吸収層３３１か銅よりも低いＺをもっている鉄
で形成されている場合、銅ターゲツトか使用されにαの
Ｘ線か放射される。

第１Ａ図の固体本体１５かエネルギに対して透過性であ
る場合、クランプ媒体１２にかわり固体本体１５を通っ
てエネルギか指向されて良い。

【図面の簡単な説明】

第１Ａ図はクランプ境界面から弾性的音響波を発生させ
るための代表的な変換器の構造を示す図、第１Ｂ図及び
第１Ｃ図は第１Ａ図の変換器の代替的形式を示す図、第
２図は変換器がクランプされている場合及びクランプさ
れていない場合に得られた電圧一時間特性図、第３図は
本発明の応用である欠陥部分検出を示す図、第４図は本
発明に関連して設計された欠陥部分検出装置からの出力
信号を示す図、第５図は吸収層がクランプされていない
場合の装置を示す図、第６図は固体本体として固有の吸
収的性質をもつ材料を使用し上記固体本体が中間層（吸
収層）を使用することなく直接クランプされている装置
を示す図、第７図は電気−音響クランプ型変換器を示し
電気的エネルギか如何にして音響波を発生するかを示す
図、第８図は本発明の電気的−熱一音響エネルギ変換の
実物例を示し、クランプ型変換器によって熱エネルギか
如何にして音響波を発生するかを示し、第９図はイオン
ビーム−音響−エネルギ変換器を示し、第１０図はＸ線
−音響−エネルギ変換器を示す図である。 ９……レーザ、１２……クランプ用薄板、１３……薄膜
、１５……固体本体、１６……変換器。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 音響振動する材料から成る本体と、エネルギを吸収
   する材料から成り上記本体と音響的に密接しているエネ
   ルギ吸収層と、固体のクランプ媒体とを含み、上記エネ
   ルギ吸収層は上記本体と上記クランプ媒体との間に配置
   されており、上記クランプ媒体は上記吸収層と上記本体
   とを音響的にクランプするため上記吸収層と音響的に密
   接していることを特徴とする、エネルギ源からのエネル
   ギ印加に応じて音響波を発生する装置。