JPS58115313A - 欠陥検出装置 - Google Patents
欠陥検出装置Info
- Publication number
- JPS58115313A JPS58115313A JP21445781A JP21445781A JPS58115313A JP S58115313 A JPS58115313 A JP S58115313A JP 21445781 A JP21445781 A JP 21445781A JP 21445781 A JP21445781 A JP 21445781A JP S58115313 A JPS58115313 A JP S58115313A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- screen
- detected
- input
- value circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、スリットを通して得られる２本の半行なうイ
ン光を被検査物に照射し、被検査物からの反射光ｔスク
リーンに投影し、ホジションｔン”Ｊｋ２夕１１に各ｎ
個並設したホジション℃シサアレイの６夕１１にスクリ
ーン上の平行ビームを結像し、互いに対向すゐホジショ
シセンサの出力を減算回路に入力し、前記減算回路の出
力を絶対値回路を介して加算回路に入力するとともに最
大値回路に入力する如くして成ること’ｉｎ徴とする欠
陥検出装ｆｌｌ１Ｋｇｋるものである。
ン光を被検査物に照射し、被検査物からの反射光ｔスク
リーンに投影し、ホジションｔン”Ｊｋ２夕１１に各ｎ
個並設したホジション℃シサアレイの６夕１１にスクリ
ーン上の平行ビームを結像し、互いに対向すゐホジショ
シセンサの出力を減算回路に入力し、前記減算回路の出
力を絶対値回路を介して加算回路に入力するとともに最
大値回路に入力する如くして成ること’ｉｎ徴とする欠
陥検出装ｆｌｌ１Ｋｇｋるものである。
本発明の目的とするところは、被検食物の表面の凹凸を
高速で検出し処理することにある。
高速で検出し処理することにある。
従来、光切新法による斂検食物表曲の凹凸検査に打、Ｔ
Ｖカメラ、イメージセシサカメラ等を受光素子として用
いるのか−Ｖ的であるが、いずれも検査に時開がかかる
という欠点？有してい良木発明はかかる点に鑑みてなさ
れたもので、以下実施例によシ詳細に説明する。
Ｖカメラ、イメージセシサカメラ等を受光素子として用
いるのか−Ｖ的であるが、いずれも検査に時開がかかる
という欠点？有してい良木発明はかかる点に鑑みてなさ
れたもので、以下実施例によシ詳細に説明する。
１Ｆ５１ｅ４において、１１；は投光ランプで、スリッ
ト（２）およびレンズ（３）を介して被検査物（４）に
２本の平行なうイン光ａ、ｂを照射する。被検査物（４
１からの反射光をレンズ（６）によってスクリーン（６
）上に投影する。（７）°はポジションｔ ’ｙ ’ｊ
アレイで′、％２図のようにホジショシセシサＬＳＩ
ｔ ２夕１ｊＫ各ｎ１回韮設して杉収したもので、レン
ズ（９）を介してスクリーン（６）上の平行ビームを各
列の中心位置になるように調令して結像させる。ホジシ
３ンセンサ（８）は入射改光点の位置に応じた信号を出
力する機能を有し、この債号から光点の位置の情報がリ
アルタイムで得られる。ポジションセンサアレイ（７）
の互いに対［凸」するポジションセンサ（８）の出力會
第３図のように減算回路（１０１に入力し、減算回路−
の出力紫部４図のように絶対値回路（１１１ｉ介して加
算回路（１２１に入力して被検食物（４）の凹凸面槓會
検出し、更に、第５図のような最大値回路ＩＪ３１にも
入力して凹凸の大きさを検出する。ＶＲａ＋〜ｎ５ＶＲ
ｂｌ〜ｎは倣ａ督用ホテシシ３メータである。
ト（２）およびレンズ（３）を介して被検査物（４）に
２本の平行なうイン光ａ、ｂを照射する。被検査物（４
１からの反射光をレンズ（６）によってスクリーン（６
）上に投影する。（７）°はポジションｔ ’ｙ ’ｊ
アレイで′、％２図のようにホジショシセシサＬＳＩ
ｔ ２夕１ｊＫ各ｎ１回韮設して杉収したもので、レン
ズ（９）を介してスクリーン（６）上の平行ビームを各
列の中心位置になるように調令して結像させる。ホジシ
３ンセンサ（８）は入射改光点の位置に応じた信号を出
力する機能を有し、この債号から光点の位置の情報がリ
アルタイムで得られる。ポジションセンサアレイ（７）
の互いに対［凸」するポジションセンサ（８）の出力會
第３図のように減算回路（１０１に入力し、減算回路−
の出力紫部４図のように絶対値回路（１１１ｉ介して加
算回路（１２１に入力して被検食物（４）の凹凸面槓會
検出し、更に、第５図のような最大値回路ＩＪ３１にも
入力して凹凸の大きさを検出する。ＶＲａ＋〜ｎ５ＶＲ
ｂｌ〜ｎは倣ａ督用ホテシシ３メータである。
今、投光ランプｎｌからの光ｔスリット（２）およびレ
ンズｔａ）２介して被検査物（４）に２木の平行なうイ
ン元として照射し、反射光をスクリーン（４Ｉ）上に投
影じ、ポジションセンサアレイ（７）に結像させる０ボ
じシ３ンセシサアレイ（））に結像したうイン尤〃・も
の出力信号全互いに対向するホジショシセン’Ｊ Ｉ６
＋で減算する。このとき、例えばＡり１ｊの１番目の出
力電圧Ｖａ、とＢ 夕１１の１番目の出力４１ｔＶｂ＋
τ減算した出力は、標準の凹凸のない被検査物ではＯｖ
になるように＃略しており、被検査物（４）の凹凸によ
って得られた各ポジションセン”ｊ ｔ８＋の出力音そ
れぞれ減算回路ｔ１０１に入力し、その出力Ｖ Ｉｌｌ
＋ ｖ１１！・・・ＶＩ、ｎｔ”絶対値回路ｔｉｌｌ
’ｋ １ｉＩＩして加算回路収ｉに人力することによ
り第６図のような凹凸の面積ＶＡＩ（がわかる。又、減
算回路−の出力ｖｏ＋ ＋ Ｖｏｎ ｆ最大１直回路α
鴫に入力することにより凹凸の大きさｖＰτ知ることが
できる。
ンズｔａ）２介して被検査物（４）に２木の平行なうイ
ン元として照射し、反射光をスクリーン（４Ｉ）上に投
影じ、ポジションセンサアレイ（７）に結像させる０ボ
じシ３ンセシサアレイ（））に結像したうイン尤〃・も
の出力信号全互いに対向するホジショシセン’Ｊ Ｉ６
＋で減算する。このとき、例えばＡり１ｊの１番目の出
力電圧Ｖａ、とＢ 夕１１の１番目の出力４１ｔＶｂ＋
τ減算した出力は、標準の凹凸のない被検査物ではＯｖ
になるように＃略しており、被検査物（４）の凹凸によ
って得られた各ポジションセン”ｊ ｔ８＋の出力音そ
れぞれ減算回路ｔ１０１に入力し、その出力Ｖ Ｉｌｌ
＋ ｖ１１！・・・ＶＩ、ｎｔ”絶対値回路ｔｉｌｌ
’ｋ １ｉＩＩして加算回路収ｉに人力することによ
り第６図のような凹凸の面積ＶＡＩ（がわかる。又、減
算回路−の出力ｖｏ＋ ＋ Ｖｏｎ ｆ最大１直回路α
鴫に入力することにより凹凸の大きさｖＰτ知ることが
できる。
畝上のように本発明は、スリ１９１２曲してイ→られる
２木の平行なうイン光ヲ仮検査物に照射し、被検査物か
らの反射光ｔスクリーンに投影し、ホジショシセンサｔ
２列に谷ｎ個並設したホ５ショーｉｔ、７サアレイの６
夕１ｊにスクリーン上の平行ビーム會結像し、互いに対
向するホジシ３シセンサの出力を減算回路に入カレ、ｆ
ＪｔＪ記減算回蹟の出力を絶対値回路會介して加算回路
に入力するとともに最大値回路に入力する（４）くした
から、ポジションセ−，Ｉすの応答性で処坤スじ一トか
次まΦたわ、彼憎食物の表面の凹凸ｔｉ運で検出し処理
でき、しか５１凹凸の面積および大きさを正確に検出で
きるという効果を央するものである。
２木の平行なうイン光ヲ仮検査物に照射し、被検査物か
らの反射光ｔスクリーンに投影し、ホジショシセンサｔ
２列に谷ｎ個並設したホ５ショーｉｔ、７サアレイの６
夕１ｊにスクリーン上の平行ビーム會結像し、互いに対
向するホジシ３シセンサの出力を減算回路に入カレ、ｆ
ＪｔＪ記減算回蹟の出力を絶対値回路會介して加算回路
に入力するとともに最大値回路に入力する（４）くした
から、ポジションセ−，Ｉすの応答性で処坤スじ一トか
次まΦたわ、彼憎食物の表面の凹凸ｔｉ運で検出し処理
でき、しか５１凹凸の面積および大きさを正確に検出で
きるという効果を央するものである。
４、 図面の（資）率な説明
第１図は本発明の一実施例の要部斜視図、第２図は同上
のポジションセンサアレイの拡大正面図、第３図は同上
の減算回路の回路図、第４図は１川１の凹凸面積検出回
路の回路図、第５図は同上の凹凸大きさ検出回路の回路
図、第６図は同上の１作説明図である。
のポジションセンサアレイの拡大正面図、第３図は同上
の減算回路の回路図、第４図は１川１の凹凸面積検出回
路の回路図、第５図は同上の凹凸大きさ検出回路の回路
図、第６図は同上の１作説明図である。
（２）・・・スリ１ソト、（４）・・・被検査物、（６
）・・・スクリーン、（７）・・・ポジションセンサア
レイ、（８）・・・ポジションセンサ、（１０）・・・
減算回路、（Ｉｌｌ・・・絶対値回路、Ｕ々・・・Ｊｆ
ｉｌｉ、＋ １川路、峙・・・最大値回路。
）・・・スクリーン、（７）・・・ポジションセンサア
レイ、（８）・・・ポジションセンサ、（１０）・・・
減算回路、（Ｉｌｌ・・・絶対値回路、Ｕ々・・・Ｊｆ
ｉｌｉ、＋ １川路、峙・・・最大値回路。
代理人 弁理士 石 １）艮 七
Claims (1)
- ＋ｌ スリ・シト全通して得られる２木の平行なうイ
ン光を被検査物に照射し、被検査物からの反射光ｔスク
リーンに投影し、ポジションセンサに２列に各ｎ個並設
したホジシ３シセンサアレイの各列にスクリーン上の平
行ビームを結像し、互いに対向するホジショシセンサの
出力を減算回路に入力し、前記減算回路の出力を絶対値
回路を介して加算回路に入力するとともに最大値回路に
入力する（４）くして収ることを特徴とする欠陥検出装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21445781A JPS58115313A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21445781A JPS58115313A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 欠陥検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58115313A true JPS58115313A (ja) | 1983-07-09 |
Family
ID=16656061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21445781A Pending JPS58115313A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58115313A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4555635A (en) * | 1982-06-15 | 1985-11-26 | Hajime Industries, Ltd. | Surface flaw inspection apparatus for a convex body |
| US5075562A (en) * | 1990-09-20 | 1991-12-24 | Eastman Kodak Company | Method and apparatus for absolute Moire distance measurements using a grating printed on or attached to a surface |
| US5075560A (en) * | 1990-09-20 | 1991-12-24 | Eastman Kodak Company | Moire distance measurements using a grating printed on or attached to a surface |
-
1981
- 1981-12-29 JP JP21445781A patent/JPS58115313A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4555635A (en) * | 1982-06-15 | 1985-11-26 | Hajime Industries, Ltd. | Surface flaw inspection apparatus for a convex body |
| US5075562A (en) * | 1990-09-20 | 1991-12-24 | Eastman Kodak Company | Method and apparatus for absolute Moire distance measurements using a grating printed on or attached to a surface |
| US5075560A (en) * | 1990-09-20 | 1991-12-24 | Eastman Kodak Company | Moire distance measurements using a grating printed on or attached to a surface |
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