JP2005530144A5 - - Google Patents

Claims (31)

1. ウェハー上に形成された単一構造のプロファイルを決定する方法であって、
   前記単一構造に光線をフォーカスすること、
   フォーカスされた光線で前記単一構造を横断走査すること、
   前記単一構造から回折された光線を検出すること、
   前記回折光線から光学信号を取得すること、
   前記取得された光学信号とシミュレート光学信号のセットとの比較に基づいてシミュレート光学信号を選択すること、を含み、
   各シミュレート光学信号は前記単一構造の仮想プロファイルに対応し、
   且つ各シミュレート光学信号は前記仮想プロファイルに基づいてモデル化される、
   ことを特徴とするプロファイル決定方法。
2. 前記光線は、使用される前記光線の波長を前記単一構造と隣接する構造との距離の２倍で割ったものより大きい開口数を持つレンズを使用してフォーカスされる、
   請求項１に記載のプロファイル決定方法。
3. 前記単一構造は、周期格子の１格子であり、且つ前記隣接する構造は前記周期格子の隣接する格子である、
   請求項２に記載のプロファイル決定方法。
4. 前記回折光線はフォーカスレンズ及び単一の光検出器を用いて検出される、
   請求項１に記載のプロファイル決定方法。
5. 前記プロファイル決定方法であって、
   フィルタを使用して前記回折光線の重み付き総和を生成することをさらに含む、
   請求項４に記載のプロファイル決定方法。
6. ウェハー上に形成された単一構造のプロファイルを決定する方法であって、
   前記単一構造に光線をフォーカスすること、
   異なる角度で回折光線を受光するように構成された複数の検出セルを備えた検出器アレイと、フォーカスレンズとを用いて、前記単一構造から回折された光線を検出すること、
   前記回折光線から光学信号を取得すること、
   前記取得された光学信号とシミュレート光学信号のセットとの比較に基づいてシミュレート光学信号を選択すること、を含み、
   各シミュレート光学信号は前記単一構造の仮想プロファイルに対応し、
   且つ各シミュレート光学信号は前記仮想プロファイルに基づいてモデル化される、
   ことを特徴とするプロファイル決定方法。
7. 光学信号を得ることには、前記検出器アレイから取得された角度情報を解析することを含む、
   請求項６に記載のプロファイル決定方法。
8. 前記プロファイル決定方法であって、
   スペクトル情報を取得することをさらに含む、
   請求項７に記載のプロファイル決定方法。
9. ウェハー上に形成された単一構造のプロファイルを決定する方法であって、
   単一のフォーカスレンズ及びビームスプリッタを用いて、光線を前記単一構造にフォーカスし、且つ前記単一構造から回折された光線を検出し、
   前記光線は、斜入射を生成するように構成された瞳絞りを備える光源を用いて前記単一構造にフォーカスされ、且つ前記回折光線は、瞳絞りを備える検出器を用いて取得され、
   前記回折光線から光学信号を取得し、
   前記取得された光学信号とシミュレート光学信号のセットとの比較に基づいてシミュレート光学信号を選択すること、を含み、
   各シミュレート光学信号は前記単一構造の仮想プロファイルに対応し、
   且つ各シミュレート光学信号は前記仮想プロファイルに基づいてモデル化される、
   ことを特徴とするプロファイル決定方法。
10. 前記光源及び前記検出器の前記瞳絞りを、初期入射角から最終入射角まで同期してシフトする、
    請求項９に記載のプロファイル決定方法。
11. ウェハー上に形成された単一構造のプロファイルを決定する方法であって、
    前記単一構造にフォーカスされ、且つ前記単一構造を横断走査する光線を用いて、前記単一構造の光学信号を取得すること、
    前記取得された光学信号とシミュレート光学信号のセットとを比較すること、を含み、
    各シミュレート光学信号は、前記単一構造の仮想プロファイルに対応し、
    且つ各シミュレート光学信号は前記仮想プロファイルに基づいてモデル化される、
    ことを特徴とするプロファイル決定方法。
12. 前記光線は、使用される前記光線の波長を前記単一構造と隣接する構造との距離の２倍で割ったものより大きい開口数を持つレンズを使用してフォーカスされる、
    請求項１１に記載のプロファイル決定方法。
13. ウェハー上に形成された単一構造のプロファイルを決定する方法であって、
    前記単一構造にフォーカスされた光線を用いて、異なる角度で回折光線を受光するように構成された複数の検出セルを備える検出器アレイと、フォーカスレンズとを用いて検出される前記単一構造の光学信号を取得すること、
    前記取得された光学信号とシミュレート光学信号のセットとを比較すること、を含み、
    各シミュレート光学信号は、前記単一構造の仮想プロファイルに対応し、
    且つ各シミュレート光学信号は前記仮想プロファイルに基づいてモデル化される、
    ことを特徴とするプロファイル決定方法。
14. ウェハー上に形成された単一構造のプロファイルを決定する方法であって、
    単一のフォーカスレンズ及びビームスプリッタを用いて、光線を前記単一構造にフォーカスし、且つ前記単一構造から回折された光線を検出し、
    前記光線は、斜入射を生成するように構成された瞳絞りを備える光源を用いて、前記単一構造にフォーカスされ、且つ前記回折光線は、瞳絞りを備える検出器を用いて検出され、
    前記単一構造にフォーカスされた光線を用いて、前記単一構造の光学信号を取得し、
    前記取得された光学信号とシミュレート光学信号のセットとを比較すること、を含み、
    各シミュレート光学信号は、前記単一構造の仮想プロファイルに対応し、
    且つ各シミュレート光学信号は前記仮想プロファイルに基づいてモデル化される、
    ことを特徴とするプロファイル決定方法。
15. 前記光源及び前記検出器の前記瞳絞りを、初期入射角から最終入射角まで同期してシフトする、
    請求項１４に記載のプロファイル決定方法。
16. ウェハー上に形成された単一構造のプロファイルを決定する方法であって、
    前記単一構造上に光線をフォーカスすることであって、当該光線は、使用される当該光線の波長を前記単一構造と隣接する構造との距離の２倍で割ったものより大きい開口数を持つレンズを使用してフォーカスされること、
    前記フォーカスされた光線で前記単一構造を横断走査すること、
    前記単一構造から回折された光線を検出すること、
    前記回折光線から光学信号を取得すること、
    前記取得された光学信号とシミュレート光学信号のセットとの比較に基づいてシミュレート光学信号を選択すること、
    を含むことを特徴とするプロファイル決定方法。
17. ウェハー上に形成された単一構造のプロファイルを決定する方法であって、
    シミュレート光学信号のセットを生成することであって、前記シミュレート光学信号のセットは、前記単一構造にフォーカスされた前記光線で前記単一構造を横断走査することを仮定して生成され、各シミュレート光学信号は前記単一構造のプロファイルに対応し、且つ各シミュレート光学信号は前記単一構造にフォーカスされた光線の回折を特徴付けること、
    コンピュータ読取可能な記録媒体にシミュレート光学信号の前記セットを備えるものであって、シミュレート光学信号の前記セットは、実際の単一構造から取得された光学信号と比較することに用いられること、
    を含むことを特徴とするプロファイル決定方法。
18. シミュレート光学信号の前記セットは、使用される前記光線の波長を前記単一構造と隣接する構造との距離の２倍で割ったものより大きい開口数を仮定して生成される、
    請求項１７に記載のプロファイル決定方法。
19. ウェハー上に形成された単一構造のプロファイルを決定するシステムであって、
    前記単一構造に光線をフォーカスし、前記フォーカスされた光線で前記単一構造を横断走査するように構成された光源と、
    前記単一構造から回折された光線を検出するように構成された検出器と、
    プロセッサであって、
    前記回折光線から光学信号を取得し、
    前記取得された光学信号とシミュレート光学信号のセットを比較するように構成されたプロセッサ、を有し、
    各シミュレート光学信号は前記単一構造の仮想プロファイルに対応し、
    且つ各シミュレート光学信号は前記仮想プロファイルに基づいてモデル化される、
    ことを特徴とするプロファイル決定システム。
20. 前記光源は、使用される前記光線の波長を前記単一構造と隣接する構造との距離の２倍で割ったものより大きい開口数を持つフォーカスレンズを有する、
    請求項１９に記載のプロファイル決定システム。
21. 前記検出器は、フォーカスレンズと単一の光検出器を有する、
    請求項１９に記載のプロファイル決定システム。
22. 前記検出器は、前記回折光線の重み付き総和を生成するように構成されたフィルタを有する、
    請求項２１に記載のプロファイル決定システム。
23. ウェハー上に形成された単一構造のプロファイルを決定するシステムであって、
    前記単一構造に光線をフォーカスするように構成された光源と、
    異なる角度で回折光線を受光するように構成された複数の検出セルを備える検出アレイとフォーカスレンズとを有し、前記単一構造から回折された光線を検出するように構成された検出器と、
    プロセッサであって、
    前記回折光線から光学信号を取得し、
    前記取得された光学信号とシミュレート光学信号のセットを比較するように構成されたプロセッサ、を有し、
    各シミュレート光学信号は前記単一構造の仮想プロファイルに対応し、
    且つ各シミュレート光学信号は前記仮想プロファイルに基づいてモデル化される、
    ことを特徴とするプロファイル決定システム。
24. ウェハー上に形成された単一構造のプロファイルを決定するシステムであって、
    斜入射を生成するように構成された瞳絞りを有し、前記単一構造に光線をフォーカスするように構成された光源と、
    瞳絞りを有し、前記単一構造から回折された光線を検出するように構成された検出器と、
    前記光線が前記単一構造にフォーカスする際に通り、且つ前記単一構造から回折された光線が検出される際に通るビームスプリッタ及びフォーカスレンズと、
    プロセッサであって、
    前記回折光線から光学信号を取得し、
    前記取得された光学信号とシミュレート光学信号のセットを比較するように構成されたプロセッサ、を有し、
    各シミュレート光学信号は前記単一構造の仮想プロファイルに対応し、
    且つ各シミュレート光学信号は前記仮想プロファイルに基づいてモデル化される、
    ことを特徴とするプロファイル決定システム。
25. ウェハー上に形成された単一構造のプロファイルをコンピュータに決定させるためのコンピュータプログラムであって、
    前記単一構造にフォーカスされ、前記単一構造を横断走査する光線を用いて前記単一構造の光学信号を取得する指示と、
    前記取得された光学信号とシミュレート光学信号のセットを比較する指示を含み、
    各シミュレート光学信号は前記単一構造の仮想プロファイルに対応し、
    且つ各シミュレート光学信号は前記仮想プロファイルに基づいてモデル化される、
    ことを特徴とするコンピュータプログラム。
26. 前記光線は、使用される前記光線の波長を前記単一構造と隣接する構造との距離の２倍で割ったものより大きい開口数を持つレンズを使用してフォーカスされる、
    請求項２５に記載のコンピュータプログラム。
27. ウェハー上に形成された単一構造のプロファイルをコンピュータに決定させるためのコンピュータプログラムであって、
    異なる角度で回折光線を受光するように構成された複数の検出セルを備える検出アレイとフォーカスレンズとを用い、且つ前記単一構造にフォーカスされた光線を用いて前記単一構造の光学信号を取得する指示と、
    前記取得された光学信号とシミュレート光学信号のセットを比較する指示を含み、
    各シミュレート光学信号は前記単一構造の仮想プロファイルに対応し、
    且つ各シミュレート光学信号は前記仮想プロファイルに基づいてモデル化される、
    ことを特徴とするコンピュータプログラム。
28. ウェハー上に形成された単一構造のプロファイルをコンピュータに決定させるためのコンピュータプログラムであって、
    単一のフォーカスレンズ及びビームスプリッタを用いて、斜入射を生成するように構成された瞳絞りを備える光源を用いて前記単一構造にフォーカスされ、且つ前記単一構造から回折され、瞳絞りを備える検出器を用いて検出された回折光線を用いて、前記単一構造の光学信号を取得する指示と、
    前記取得された光学信号とシミュレート光学信号のセットを比較する指示を含み、
    各シミュレート光学信号は前記単一構造の仮想プロファイルに対応し、
    且つ各シミュレート光学信号は前記仮想プロファイルに基づいてモデル化される、
    ことを特徴とするコンピュータプログラム。
29. 前記光源の前記瞳絞りと前記検出器の前記瞳絞りは、初期入射角から最終入射角まで同期してシフトする指示をさらに含む、
    請求項２８に記載のコンピュータプログラム。
30. ウェハー上に形成された単一構造のプロファイル決定での使用のためのコンピュータ読取可能な記録媒体であって、
    シミュレート光学信号のセットを有し、
    前記シミュレート光学信号のセットは、前記単一構造にフォーカスされた前記光線で前記単一構造を横断走査することを仮定して生成され、
    各シミュレート光学信号は前記単一構造の仮想プロファイルに対応し、
    各シミュレート光学信号は前記単一構造にフォーカスされた光線の回折を特徴付け、
    シミュレート光学信号の前記セットは、実際の単一構造から取得された光学信号との比較に用いられる、
    ことを特徴とするコンピュータ読取可能な記録媒体。
31. シミュレート光学信号の前記セットは、使用される前記光線の波長を、前記単一構造と隣接する構造との距離の２倍で割ったものより大きい開口数を仮定して生成される、
    請求項３０に記載のコンピュータ読取可能な記録媒体。