JPS58115310A - 記録媒体の表面状態観察方法 - Google Patents
記録媒体の表面状態観察方法Info
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- JPS58115310A JPS58115310A JP21139781A JP21139781A JPS58115310A JP S58115310 A JPS58115310 A JP S58115310A JP 21139781 A JP21139781 A JP 21139781A JP 21139781 A JP21139781 A JP 21139781A JP S58115310 A JPS58115310 A JP S58115310A
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の技術分野
本発明は記録媒体、特に周期的に回転して使用する磁気
ディスク等の記録媒体の表面状態をその回転中に観察す
る方法に関する。
ディスク等の記録媒体の表面状態をその回転中に観察す
る方法に関する。
（２）技術の背景
コンビ、−夕の周辺機器である磁気ディスク記憶装置勢
の記録媒体の高密度化と共にその記録並びに再生作用が
支障なく行えるよう高い信頼性が要求されている。従っ
て配録媒体表面上に微小な欠陥部分、例えば傷、突起、
くほみ埠がない記録特性の曳好な記録媒体を製造するた
め、記録媒体の表面状態を観察する方法が種々考えられ
ている。
の記録媒体の高密度化と共にその記録並びに再生作用が
支障なく行えるよう高い信頼性が要求されている。従っ
て配録媒体表面上に微小な欠陥部分、例えば傷、突起、
くほみ埠がない記録特性の曳好な記録媒体を製造するた
め、記録媒体の表面状態を観察する方法が種々考えられ
ている。
（３） 従来技術と問題点
従来記−謀体勢の表面欠陥あるいは、状１ＩＩｌ！察は
、信号検出器と位置検出器によ）前記欠陥部の状態を検
知し、欠陥部の状Ｉ！Ｉｔ−静止状態で顕微碗部で観察
し、原因および改善のための対策にフィードバックして
いた。
、信号検出器と位置検出器によ）前記欠陥部の状態を検
知し、欠陥部の状Ｉ！Ｉｔ−静止状態で顕微碗部で観察
し、原因および改善のための対策にフィードバックして
いた。
すなわち、磁気ディスク管側にとれば、信号検出器は、
磁気記録に於いて祉磁気ヘッドで信号を書自込み後再生
信号の大きさ、波形を観測することで欠陥部を検知する
と共に記録媒体表面の微小央起、キズ勢橡械的４Ｉ性１
Ａｘ（アコースティックエミッション）素子として知ら
れる圧電素子等により衝撃液を検出することで検知し、
更にその位置は位置検出器により媒体上に設けた基準ｆ
ｆ −りｔ検出し、こＯ検出時点と欠陥検出時点との関
係からディスク上Ｏ基準！−りとディスク中心と欠陥部
分とで形成する中心角を求め欠陥部分の位置を検出器−
し、その後ディスクを停止せしめ上記位置に顕微鏡【移
動して欠陥部分ｔｌｌｌ［していた・ しかし停止中の表面状態１ｍ察しても欠陥部分の形成厚
内は把握できない０例えばディスクが回転している関に
は磁気へ、ドとディスク面との接触によって表面に傷が
形成されることもあり、その原因は停止した記録媒体の
表面を観察しても正確に把握できない。
磁気記録に於いて祉磁気ヘッドで信号を書自込み後再生
信号の大きさ、波形を観測することで欠陥部を検知する
と共に記録媒体表面の微小央起、キズ勢橡械的４Ｉ性１
Ａｘ（アコースティックエミッション）素子として知ら
れる圧電素子等により衝撃液を検出することで検知し、
更にその位置は位置検出器により媒体上に設けた基準ｆ
ｆ −りｔ検出し、こＯ検出時点と欠陥検出時点との関
係からディスク上Ｏ基準！−りとディスク中心と欠陥部
分とで形成する中心角を求め欠陥部分の位置を検出器−
し、その後ディスクを停止せしめ上記位置に顕微鏡【移
動して欠陥部分ｔｌｌｌ［していた・ しかし停止中の表面状態１ｍ察しても欠陥部分の形成厚
内は把握できない０例えばディスクが回転している関に
は磁気へ、ドとディスク面との接触によって表面に傷が
形成されることもあり、その原因は停止した記録媒体の
表面を観察しても正確に把握できない。
従って従来技術の観察方法では、記録媒体の改善資料と
ならずその特性向上に資することが困難であ）更に停止
するまで待機せねばならず観察時間が長くなるという問
題点かありた。
ならずその特性向上に資することが困難であ）更に停止
するまで待機せねばならず観察時間が長くなるという問
題点かありた。
（４）発明の目的
本発明の目的は記録媒体の回転中にその表面状ｍｔｓｉ
察することにより、欠陥部分の原因を正確に把握して記
録特性向上に資するととくある。
察することにより、欠陥部分の原因を正確に把握して記
録特性向上に資するととくある。
（５）発明の構成
本発明によれば、使用時に周期的に回転する磁気ディス
ク等の記録媒体の表面状態観察方法において、該記録媒
体に基準！−りを設けると共に１該基準マークを検出す
る基準マーク検出手段、咳記録媒体の欠陥を検出する欠
陥検出手段、ストロ〆スコーｆｆ１ｌｌの発光源を設け
、骸基準マークの検出時点と鋏欠陥の検出時点から該記
録媒体上の欠陥位置ｔ−認識し、その位置Ｋｍ顕微鏡の
観察手段を移動すると共に＃発光源【該基準マークの検
出時点に同期して発光させて骸記録媒体が回転している
状態で表面状態の観察を行なうことｔ−％黴とする記録
媒体の表面状態観察方法が提供される。
ク等の記録媒体の表面状態観察方法において、該記録媒
体に基準！−りを設けると共に１該基準マークを検出す
る基準マーク検出手段、咳記録媒体の欠陥を検出する欠
陥検出手段、ストロ〆スコーｆｆ１ｌｌの発光源を設け
、骸基準マークの検出時点と鋏欠陥の検出時点から該記
録媒体上の欠陥位置ｔ−認識し、その位置Ｋｍ顕微鏡の
観察手段を移動すると共に＃発光源【該基準マークの検
出時点に同期して発光させて骸記録媒体が回転している
状態で表面状態の観察を行なうことｔ−％黴とする記録
媒体の表面状態観察方法が提供される。
（６）発明の実施例
以下図を用いて本発明の実施例につき詳述する。
第１図は本発明にかかる記録媒体の表面状ＩＩ皺察方法
を実施するための装置構成図である。
を実施するための装置構成図である。
本爽施例は、矢印α方向に回転する磁気ｆ”イスク１０
０表面状態【観察するものであり、磁気ディスク１０上
に設けた基準ｉ−りｌｌ’を基準マーク検出器１４によ
り検出して出力信号ｔストロ？発光タイミング回路１８
へ入力させて磁気ディスク１００回転周期とストロ−発
光源１６の点滅周期とを一致させ、更にＡＥ素子等によ
り構成される欠陥検出器１２により欠陥部分を検出して
出力信号をタイミング回路１８に入力させると共に１）
ニアエンコーダ１３の出力によや欠陥の半径方向の位置
を検出しその出力がリニアエンコーダ１７の出力と一致
する様に顕微鏡１５ｔ−移動し回転中の磁気ディスク１
０の表面状ａｔ観察しようとするものである。
０表面状態【観察するものであり、磁気ディスク１０上
に設けた基準ｉ−りｌｌ’を基準マーク検出器１４によ
り検出して出力信号ｔストロ？発光タイミング回路１８
へ入力させて磁気ディスク１００回転周期とストロ−発
光源１６の点滅周期とを一致させ、更にＡＥ素子等によ
り構成される欠陥検出器１２により欠陥部分を検出して
出力信号をタイミング回路１８に入力させると共に１）
ニアエンコーダ１３の出力によや欠陥の半径方向の位置
を検出しその出力がリニアエンコーダ１７の出力と一致
する様に顕微鏡１５ｔ−移動し回転中の磁気ディスク１
０の表面状ａｔ観察しようとするものである。
欠陥検出器１２Ｆｉ磁気デイスク１０の記録再生特性の
欠陥管検出する場合は磁気ヘッドが、突起物のような機
械的欠陥上検出する場合はＡＥ素子がそれぞれ使用され
る。欠陥検出器１２は半径方向に移動可能に取り付けら
れている。この欠陥検出器１２０半径方向βの直線運動
と記録媒体１００周周方向αの回転運動により表面状態
の観察力；行われる。
欠陥管検出する場合は磁気ヘッドが、突起物のような機
械的欠陥上検出する場合はＡＥ素子がそれぞれ使用され
る。欠陥検出器１２は半径方向に移動可能に取り付けら
れている。この欠陥検出器１２０半径方向βの直線運動
と記録媒体１００周周方向αの回転運動により表面状態
の観察力；行われる。
また基準マークは第２図に示すように、半径方向の基準
マークＩＩＲとして一点鎖線で表わしたディスク表面に
磁気的に形成され九データトラックが使用され、また円
周方向基準マーク１１ａとして周側面を切欠くことによ
り形成した切矢部力；使用されている。
マークＩＩＲとして一点鎖線で表わしたディスク表面に
磁気的に形成され九データトラックが使用され、また円
周方向基準マーク１１ａとして周側面を切欠くことによ
り形成した切矢部力；使用されている。
第２図（１）の動作は次の如くである。先ず顕微鏡１５
（第１図）の位置を次のようにして設定する。
（第１図）の位置を次のようにして設定する。
即ち、半径方向Ｘ１円周方向θの位置に欠陥部分りが存
在する場合、 Ｘ−基準マークＩＩＲの位置＋（トラ、り数Ｘトラ、ク
ビ、チ） ただし：１丁−基準マーク１１＃と欠陥部分Ｄｉでの時
間差 Ｔ−記録媒体ｌＯの回転周期 によって表わされる。このＴとＪＴの関係は第３図のよ
うになシ、基準マーク検出器１４の出力波形（１）とス
）ａ−の発光タイミング（３）は同期し欠陥検出器１２
はＪＴの時間差のある出力を有する（第３図（２） ）
４１ このＸと−の関数で与えられる欠陥部分りの存在場所に
顕微鏡を設置する。
在する場合、 Ｘ−基準マークＩＩＲの位置＋（トラ、り数Ｘトラ、ク
ビ、チ） ただし：１丁−基準マーク１１＃と欠陥部分Ｄｉでの時
間差 Ｔ−記録媒体ｌＯの回転周期 によって表わされる。このＴとＪＴの関係は第３図のよ
うになシ、基準マーク検出器１４の出力波形（１）とス
）ａ−の発光タイミング（３）は同期し欠陥検出器１２
はＪＴの時間差のある出力を有する（第３図（２） ）
４１ このＸと−の関数で与えられる欠陥部分りの存在場所に
顕微鏡を設置する。
このようＫＰ１周方向基準實−り１１θの運動周期とス
トロ−発光源の点滅周期を一致させることによシ運動中
の媒体表面状１１を観察できる。
トロ−発光源の点滅周期を一致させることによシ運動中
の媒体表面状１１を観察できる。
第４図は本発明の第２実施例である。本実施例において
、基準マーク１１＃ｔｉ円形の磁気ディスクｌＯと同心
の円上に設けられ、欠陥検出器１２と顕微鏡１５は直径
上で互いに向かい合っている。
、基準マーク１１＃ｔｉ円形の磁気ディスクｌＯと同心
の円上に設けられ、欠陥検出器１２と顕微鏡１５は直径
上で互いに向かい合っている。
第５図（１）Ｆｉ欠陥検出器１２の出力信号であり纂５
図（２）は基準マーク検出信号である。磁気ディスク１
０゛の回転周期をＴとした場合基準マーク１１０に同期
させてストロゲスコープを連続発光させても基準マーク
からＴ／のところ１に＊微鐘１５により観察することと
なり欠陥部分はｍｓできない。
図（２）は基準マーク検出信号である。磁気ディスク１
０゛の回転周期をＴとした場合基準マーク１１０に同期
させてストロゲスコープを連続発光させても基準マーク
からＴ／のところ１に＊微鐘１５により観察することと
なり欠陥部分はｍｓできない。
そこで本実施例においては第６図に示す＆に発光タイミ
ングを遅延することで、顕微＠１５をトラック方向に移
動することなく観察を可能とする。
ングを遅延することで、顕微＠１５をトラック方向に移
動することなく観察を可能とする。
なお第６図において（１）は欠陥検出信号、（２）ｔｉ
ｔ基準マーク検出信号、（３）は発光タイミングを示す
、すなわち、欠陥が基準マークから時間ムに和尚する距
離だけはなれているときは！６図（３）Ｋ示す様Ｋ”／
、＋Ａだけ遅らせてストロ−スロー７”１ＳｆｒＲ光さ
せれば顕微鏡１５の直下で欠陥が来九時に発光すること
Ｋなるので顕微鏡１５Ｙｒ）う、夕方向に動かすことな
く欠陥１−＊察可能である。尚、ム〈Ｔ／２の場合には
第６図に示す様に発光タイミングが設定され、ム〉Ｔ４
の場合には第７図（３）の如く発光タイミングが設定さ
れる。なお第７図（１）。
ｔ基準マーク検出信号、（３）は発光タイミングを示す
、すなわち、欠陥が基準マークから時間ムに和尚する距
離だけはなれているときは！６図（３）Ｋ示す様Ｋ”／
、＋Ａだけ遅らせてストロ−スロー７”１ＳｆｒＲ光さ
せれば顕微鏡１５の直下で欠陥が来九時に発光すること
Ｋなるので顕微鏡１５Ｙｒ）う、夕方向に動かすことな
く欠陥１−＊察可能である。尚、ム〈Ｔ／２の場合には
第６図に示す様に発光タイミングが設定され、ム〉Ｔ４
の場合には第７図（３）の如く発光タイミングが設定さ
れる。なお第７図（１）。
（２）はｍｓ図（１） 、 （２）と同一信号である。
謳８図は本発明の第３実施例であシ、第４図の第２実施
例と異なるのは半径方向基準マーク１１θの他にセクタ
基準マーク１１′Ｏが複数個設けられていることである
。＄９図に示すように基準マーク検出時点からムの時間
差で欠陥部分が存在する場合、欠陥部分が基準マークか
ら離れる＃１ど磁気ディスクの回転変動等によ）ジッタ
Ｊが大きくなって時間差ムを正確に検出することがむず
かしくなりてくる。そこで、本実施例に゛おいては複数
の基準ｉ−り１１’＃を設け、第９図（２）に示す様な
基準！−り検出信号を得る。そして基準マーク検出信号
として第９図（２）においてＳで示す欠陥部に最も近い
セクタ基準ｉ−り検出信号を用いて、この信号を基準と
して第１０図に示す様に欠陥部の位置【検出する。尚１
８１０図において（１）は欠陥検出信号、（２）は欠陥
部に最も近い位置にある基準マークによる基準マーク検
出信号、（３）は発光タイミングを示す。
例と異なるのは半径方向基準マーク１１θの他にセクタ
基準マーク１１′Ｏが複数個設けられていることである
。＄９図に示すように基準マーク検出時点からムの時間
差で欠陥部分が存在する場合、欠陥部分が基準マークか
ら離れる＃１ど磁気ディスクの回転変動等によ）ジッタ
Ｊが大きくなって時間差ムを正確に検出することがむず
かしくなりてくる。そこで、本実施例に゛おいては複数
の基準ｉ−り１１’＃を設け、第９図（２）に示す様な
基準！−り検出信号を得る。そして基準マーク検出信号
として第９図（２）においてＳで示す欠陥部に最も近い
セクタ基準ｉ−り検出信号を用いて、この信号を基準と
して第１０図に示す様に欠陥部の位置【検出する。尚１
８１０図において（１）は欠陥検出信号、（２）は欠陥
部に最も近い位置にある基準マークによる基準マーク検
出信号、（３）は発光タイミングを示す。
この様にすることで時間差Ｂは正確に検出され、基準マ
ークの検出からＴ／２ ＋−の遅ａｔもたせて発光タイ
ミングを決めることで顕微鏡１５の直下に欠陥が来た時
に正確に発光させることができる。
ークの検出からＴ／２ ＋−の遅ａｔもたせて発光タイ
ミングを決めることで顕微鏡１５の直下に欠陥が来た時
に正確に発光させることができる。
（７）発明の効果
本発明によれは、記録媒体の運動中にその表面状態全観
察することにより、欠陥部分の原因を正確に把握して記
録特性向上に資することができる。
察することにより、欠陥部分の原因を正確に把握して記
録特性向上に資することができる。
第１図は本発明による記録媒体の表面状態観察方法を実
施する装置の全体構成図、第２図は本発明の第１実施例
の構成図、第３図は第２図の動作第８図の動作説明図で
ある。 １０・・・磁気ディスク、１１・・・基準マーク、１２
・・・欠陥検出器、１３・・・リニアエンコーダ、１４
・・・基準マーク検出器、１５・・・―微鏡、１６・・
・発光源、１７−・リニアエンコーダ、１８・・・スト
ロが発光タイ電ング回路。 特許出願人 富士通株式会社 特許出願人代理人 弁理士 青 木 朗 弁ｉ± 西 舘 和 之 弁理士 内 １） 幸 男 “ 弁理士 山 口 昭 之第３図 第６図 第７図
施する装置の全体構成図、第２図は本発明の第１実施例
の構成図、第３図は第２図の動作第８図の動作説明図で
ある。 １０・・・磁気ディスク、１１・・・基準マーク、１２
・・・欠陥検出器、１３・・・リニアエンコーダ、１４
・・・基準マーク検出器、１５・・・―微鏡、１６・・
・発光源、１７−・リニアエンコーダ、１８・・・スト
ロが発光タイ電ング回路。 特許出願人 富士通株式会社 特許出願人代理人 弁理士 青 木 朗 弁ｉ± 西 舘 和 之 弁理士 内 １） 幸 男 “ 弁理士 山 口 昭 之第３図 第６図 第７図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １＊用時に周期的に回転する磁気ディスク勢Ｏ記銀媒体
の表面状態観察方法にお−いて、該記録媒体に基準マー
クを設けると共に、該基準マーりを検出する基Ｍ／Ａｉ
−り検出手段、該記録媒体の欠Ｓｔ検出する欠陥検出手
段、ストロ−スコープ等０Ｍ光源を設け、鋏基準マーク
の検出時点と該欠陥の検出時点から鋏記碌媒体上の欠陥
位置を認識し、その位置ＫＩ［黴鏡等の観察手段を移動
すると共に該発光源を鋏基準マークの検出時点に同期し
て発光させて咳記鎌媒体が回転している状態で表面状態
の観察を行なうこと管４Ｉ徴とする記録媒体ｏ＊ｍ状態
観察方法。 ２ 鋏観察手段は蚊記−媒体の半径方向のみに移動する
ものとし、該欠陥が＃観察手段の直下に来た時点で皺発
光源が発光する橡に発光タイミングを錬基準マークの検
出時点から遅延させる様にしたことを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の記録媒体の表面状ａｍ察方法。 ３ ＃基準ｉ−りを被数設け、該欠陥の位置に最も近い
基準マークの検出に同期して該発光源を発光させる＊に
したこと管４Ｉ徴とする特許請求の範囲第１項記載の記
録媒体の表面状ＩＩ！観察方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21139781A JPS58115310A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 記録媒体の表面状態観察方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21139781A JPS58115310A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 記録媒体の表面状態観察方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58115310A true JPS58115310A (ja) | 1983-07-09 |
Family
ID=16605285
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21139781A Pending JPS58115310A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | 記録媒体の表面状態観察方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58115310A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62251678A (ja) * | 1986-04-24 | 1987-11-02 | Nec Corp | 磁気デイスク板欠陥検出装置 |
| US4766512A (en) * | 1984-12-21 | 1988-08-23 | Nixdorf Computer Ag | Device for inspecting the surface of magnetic memory disks |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5272270A (en) * | 1975-12-12 | 1977-06-16 | Nippon Steel Corp | Apparatus for continuous observation of moving objects |
| JPS5291461A (en) * | 1976-01-28 | 1977-08-01 | Nec Home Electronics Ltd | Method to observe facial condition on revolution body under fixed revo lution |
| JPS5334586A (en) * | 1976-09-10 | 1978-03-31 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | Method of and apparatus for detecting surface flaw |
-
1981
- 1981-12-29 JP JP21139781A patent/JPS58115310A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5272270A (en) * | 1975-12-12 | 1977-06-16 | Nippon Steel Corp | Apparatus for continuous observation of moving objects |
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| JPS62251678A (ja) * | 1986-04-24 | 1987-11-02 | Nec Corp | 磁気デイスク板欠陥検出装置 |
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