JPS58112679A - Ｘｙテ−ブル引出し機構 - Google Patents
Ｘｙテ−ブル引出し機構Info
- Publication number
- JPS58112679A JPS58112679A JP20933481A JP20933481A JPS58112679A JP S58112679 A JPS58112679 A JP S58112679A JP 20933481 A JP20933481 A JP 20933481A JP 20933481 A JP20933481 A JP 20933481A JP S58112679 A JPS58112679 A JP S58112679A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- door
- vacuum chamber
- motor
- rail
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K15/00—Electron-beam welding or cutting
- B23K15/06—Electron-beam welding or cutting within a vacuum chamber
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は真空チャンバ内に設けられたＸＹテーブルを
上記真空チャンバ外に引出す機構に関するものである。
上記真空チャンバ外に引出す機構に関するものである。
真空チャンバ内にＸＹテーブルが設けられた装置、たと
えば電子ビーム加工機、電子ビーム溶接機等においては
、真空チャンバ内を真空にするための時間を短くするた
めに、真空チャンバの容積を可能な限り小さくしている
。このため、メンテナンス作業を行なうためには、ＸＹ
テーブルを真空チャンバ外に引出す必要がある。
えば電子ビーム加工機、電子ビーム溶接機等においては
、真空チャンバ内を真空にするための時間を短くするた
めに、真空チャンバの容積を可能な限り小さくしている
。このため、メンテナンス作業を行なうためには、ＸＹ
テーブルを真空チャンバ外に引出す必要がある。
第１図は従来のＸＹテーブル引出し機構を有する電子ビ
ーム加工機を示す一部断面図である。図において１は基
台、２は基台１上に取付けられた真空チャンバ、３は真
空チャンバ２のドア、４はドア５のレールで、ドア３は
レール４に沿って紙面と直角の方向に移動する。５は真
空チャンバ２の上部に取付けられた電子銃、６は基台１
に取付けられたＸＹテーブル駆動用モータ、７は真空チ
ャンバ２内に回転可能に支持されたスクリー軸、８はモ
ータ６の出力軸とスクリー軸７とを連結するカップリン
グ、９は真空チャンバ２の底部に堰付けられた走行用ガ
イドレール、１０は真空チャンバ２内に設けられたＸＹ
テーブル、１１はＸＹテーブル１０の底部に取付けられ
た走行用部材て走行用部材１１はガイドレール９と係合
している１２はＸＹテーブル１０の底部に取付けられた
ボ−ルスクリュ用ナンドで、ナツト１２はスクリュ軸７
と螺合している。１３は真空チャンバ２のドア３側外部
に設けられた出向え用レールである。
ーム加工機を示す一部断面図である。図において１は基
台、２は基台１上に取付けられた真空チャンバ、３は真
空チャンバ２のドア、４はドア５のレールで、ドア３は
レール４に沿って紙面と直角の方向に移動する。５は真
空チャンバ２の上部に取付けられた電子銃、６は基台１
に取付けられたＸＹテーブル駆動用モータ、７は真空チ
ャンバ２内に回転可能に支持されたスクリー軸、８はモ
ータ６の出力軸とスクリー軸７とを連結するカップリン
グ、９は真空チャンバ２の底部に堰付けられた走行用ガ
イドレール、１０は真空チャンバ２内に設けられたＸＹ
テーブル、１１はＸＹテーブル１０の底部に取付けられ
た走行用部材て走行用部材１１はガイドレール９と係合
している１２はＸＹテーブル１０の底部に取付けられた
ボ−ルスクリュ用ナンドで、ナツト１２はスクリュ軸７
と螺合している。１３は真空チャンバ２のドア３側外部
に設けられた出向え用レールである。
この電子ビーム加工機においては、モータ６を作動すれ
ば、スクリー軸７が回転し、ＸＹテーブル１０が矢印の
方向に移動する。そして、ＸＹテーブル１０を真空チャ
ンバ２外に引出すには、まずドア３をレール４に沿って
移動したのち、ＸＹテーブル１０からナツト１２を取外
し、ＸＹテーブル１０をガイドレール９．出向え用レー
、ル１３に沿って紙面右方に移動すればよい。また、Ｘ
Ｙテーブル１０を真空チャンバ２内に収納するには、上
述と反対の作業を行なえばよい。しかしながら、この場
合にはＸＹテーブル１０からナツト１２を着脱する必要
があり、またガイドレール９から走行用部材１１を着脱
しなければならないので、精度維持が困難である。
ば、スクリー軸７が回転し、ＸＹテーブル１０が矢印の
方向に移動する。そして、ＸＹテーブル１０を真空チャ
ンバ２外に引出すには、まずドア３をレール４に沿って
移動したのち、ＸＹテーブル１０からナツト１２を取外
し、ＸＹテーブル１０をガイドレール９．出向え用レー
、ル１３に沿って紙面右方に移動すればよい。また、Ｘ
Ｙテーブル１０を真空チャンバ２内に収納するには、上
述と反対の作業を行なえばよい。しかしながら、この場
合にはＸＹテーブル１０からナツト１２を着脱する必要
があり、またガイドレール９から走行用部材１１を着脱
しなければならないので、精度維持が困難である。
との発明は上述の問題点を解決するためになされたもの
で、精度劣下が生ずるととなくＸＹテーブルを真空チャ
ンバ外に引出すことができるＸＹこの目的を達成するた
め、この発明においてはＸＹテーブルが取付けられたベ
ースプレートを真空チャンバのドアに固定し、ＸＹテー
ブル駆動用モータを上記ドアに固定し、上記ドア、上記
ベースプレートおよび上記ＸＹテーブル駆動用モータを
移動する手段を設ける。
で、精度劣下が生ずるととなくＸＹテーブルを真空チャ
ンバ外に引出すことができるＸＹこの目的を達成するた
め、この発明においてはＸＹテーブルが取付けられたベ
ースプレートを真空チャンバのドアに固定し、ＸＹテー
ブル駆動用モータを上記ドアに固定し、上記ドア、上記
ベースプレートおよび上記ＸＹテーブル駆動用モータを
移動する手段を設ける。
第２図はこの発明に係るＸＹテーブル引出し機構を有す
る電子ビーム加工機の一部を示す斜視図、第３図は同じ
く一部断面図である。図において１４は真空チャンバ２
の底部に取付けられた底板、１５はドア６に固定された
ベースプレートで、ベースプレート１５はボルト（図示
せず）により底板１４に取付けられており、またベース
プレート１５にはＸＹテーブル１０が移動可能に取付け
られ、さらにスクリー軸７が回転可能に取付けられてい
る。
る電子ビーム加工機の一部を示す斜視図、第３図は同じ
く一部断面図である。図において１４は真空チャンバ２
の底部に取付けられた底板、１５はドア６に固定された
ベースプレートで、ベースプレート１５はボルト（図示
せず）により底板１４に取付けられており、またベース
プレート１５にはＸＹテーブル１０が移動可能に取付け
られ、さらにスクリー軸７が回転可能に取付けられてい
る。
１６はドア６に固定されたモータ支持プレートで、モー
タ支持プレート１６にはＸＹテーブル駆動用モータ６が
取付けられている。１７．１８はそれぞれベースプレー
ト１５．モータ支持プレート１６に取付けられたローラ
、１９．２０は第３図に示す状態でローラ１７．１８が
載置された昇降レール、２１．２２は昇降レール１９．
２０を昇降するためのジヤツキ、２３は基台１に固定さ
れた引出しレールで、引出しレール２３上をローラ１８
が走行する。２４は基台１に固定されたシリンダ。
タ支持プレート１６にはＸＹテーブル駆動用モータ６が
取付けられている。１７．１８はそれぞれベースプレー
ト１５．モータ支持プレート１６に取付けられたローラ
、１９．２０は第３図に示す状態でローラ１７．１８が
載置された昇降レール、２１．２２は昇降レール１９．
２０を昇降するためのジヤツキ、２３は基台１に固定さ
れた引出しレールで、引出しレール２３上をローラ１８
が走行する。２４は基台１に固定されたシリンダ。
２５は／リンダ２４のピストンロンドに取付けられた昇
降レール、２６はモータ支持プレート１６に取付けられ
た爪、２７は基台１に固定されたガイドレール、２８は
ガイドレール２７に沿って移動可能なトロッコで、トロ
ッコ２８には爪２６が係合している。２９は引出し用モ
ータ、３０はモータ２９によって回転されるチェーンス
プロケット、３１はチェーンスプロケット３０に掛けら
れたチェーンで、チェーン６１にはトロッコ２８が取付
けられている。３２〜６４はリミットスイッチで、リミ
ットスイッチ６２〜３４はモータ支持プレート１６に設
けられた突出部によって切換えられる位置に設けられて
いる。
降レール、２６はモータ支持プレート１６に取付けられ
た爪、２７は基台１に固定されたガイドレール、２８は
ガイドレール２７に沿って移動可能なトロッコで、トロ
ッコ２８には爪２６が係合している。２９は引出し用モ
ータ、３０はモータ２９によって回転されるチェーンス
プロケット、３１はチェーンスプロケット３０に掛けら
れたチェーンで、チェーン６１にはトロッコ２８が取付
けられている。３２〜６４はリミットスイッチで、リミ
ットスイッチ６２〜３４はモータ支持プレート１６に設
けられた突出部によって切換えられる位置に設けられて
いる。
この電子ビーム加工機においてＸＹテーヲル１０２゜を
真空チャンバ２外に引出すには、まず真空チャンバ２に
ト１ア３を取付けるためのボルト（図示せず）および底
板１４にベースプレート１５を取付けるためのボルトを
取外したのち、ジヤツキ２１゜２２により昇降レール１
９．２０をそれぞれ底板１４、引出しレール２６と同一
高さまで上昇して、第４図に示す状態とする。この状態
で、モータ２９を作動すると、チェーンスプロケット６
０が回転し、チェーン３１によりトロッコ２８が紙面左
方に移動するので１．爪２６を介してモータ支持プレー
）１６（モータ６）、ドア３およびベースプレート１５
（ＸＹテーブル１０）が一体となって紙面左方に移動す
る。そして、第５図に示すように、ドア３が昇降レール
２５の上方を通過したのちに、リミットスイッチ５２が
切換えられると、モータ２９が停止するとともに、シリ
ンダ２４によって昇降レール２５が上昇され、昇降レー
ル２５が底板１４と同一高さになると、シリンダ２４が
停止するとともに、モータ２９が作動を開始し、ドア３
等が再び紙面左方に移動する。そして、ドア乙等が第６
図に示す位置まで移動したとき、リミットスイッチ３３
が切換えられ、モータ２９が停止し、ドア６等が停止し
て、メンテナンス作業が可能な状態となる。また、メン
テナンス作業終了後に、ＸＹテーブル１０を真空チャン
バ２内に収納するときには、上述と反対の動作が行なわ
れるが、この場合にはドア６等の移動によりリミットス
イッチ３４が切換えられたとき、モータ２９が停止する
とともに、シリンダ２４により昇降レール２５が下降さ
れ、昇降レール２５がもどの位置に戻ると、再びモータ
２９が作動し、ドア３等が移動する。
真空チャンバ２外に引出すには、まず真空チャンバ２に
ト１ア３を取付けるためのボルト（図示せず）および底
板１４にベースプレート１５を取付けるためのボルトを
取外したのち、ジヤツキ２１゜２２により昇降レール１
９．２０をそれぞれ底板１４、引出しレール２６と同一
高さまで上昇して、第４図に示す状態とする。この状態
で、モータ２９を作動すると、チェーンスプロケット６
０が回転し、チェーン３１によりトロッコ２８が紙面左
方に移動するので１．爪２６を介してモータ支持プレー
）１６（モータ６）、ドア３およびベースプレート１５
（ＸＹテーブル１０）が一体となって紙面左方に移動す
る。そして、第５図に示すように、ドア３が昇降レール
２５の上方を通過したのちに、リミットスイッチ５２が
切換えられると、モータ２９が停止するとともに、シリ
ンダ２４によって昇降レール２５が上昇され、昇降レー
ル２５が底板１４と同一高さになると、シリンダ２４が
停止するとともに、モータ２９が作動を開始し、ドア３
等が再び紙面左方に移動する。そして、ドア乙等が第６
図に示す位置まで移動したとき、リミットスイッチ３３
が切換えられ、モータ２９が停止し、ドア６等が停止し
て、メンテナンス作業が可能な状態となる。また、メン
テナンス作業終了後に、ＸＹテーブル１０を真空チャン
バ２内に収納するときには、上述と反対の動作が行なわ
れるが、この場合にはドア６等の移動によりリミットス
イッチ３４が切換えられたとき、モータ２９が停止する
とともに、シリンダ２４により昇降レール２５が下降さ
れ、昇降レール２５がもどの位置に戻ると、再びモータ
２９が作動し、ドア３等が移動する。
なお、上述実施例においては、電子ビーム加工。
機のＸＹチー・プル引出し機構について説明したが°、
電子ビーム溶接機等の他の装置のＸＹテーブル引引出し
機構にこの発明を適用することも可能である。
電子ビーム溶接機等の他の装置のＸＹテーブル引引出し
機構にこの発明を適用することも可能である。
また、上述実施例においては、ドア３．ベースプレート
１５およびモータ６を移動する手段として、チェーン６
１等を用いたが、シリンダ等を用いてもよい。さらに、
上述実施例においては、ベース１７．１８を取付けたの
で、ＸＹテーブル１ｏの重量が大きくても、容易にＸＹ
テーブル１ｏを引出すことができるが、ＸＹテーブル１
ｏの重量が小さいときには、ローラ１７，１８を設けな
くともよい。
１５およびモータ６を移動する手段として、チェーン６
１等を用いたが、シリンダ等を用いてもよい。さらに、
上述実施例においては、ベース１７．１８を取付けたの
で、ＸＹテーブル１ｏの重量が大きくても、容易にＸＹ
テーブル１ｏを引出すことができるが、ＸＹテーブル１
ｏの重量が小さいときには、ローラ１７，１８を設けな
くともよい。
以上説明したように、この発明に係るＸＹテーブル引出
し機構においては、ＸＹテーブルからスクリュ用ナツト
を着脱する必要がなく、また走行用ガイドレールから走
行用部材を着脱しなくてもよいので、ＸＹテーブルを引
出しても精度劣下が生ずることはない。このように、こ
の発明の効果は顕著である。
し機構においては、ＸＹテーブルからスクリュ用ナツト
を着脱する必要がなく、また走行用ガイドレールから走
行用部材を着脱しなくてもよいので、ＸＹテーブルを引
出しても精度劣下が生ずることはない。このように、こ
の発明の効果は顕著である。
第１図は従来のＸＹテーブル引出し機構を有する電子ビ
ーム加工機を示す一部断面図、第２図はこの発明に係る
ＸＹテーブル引出し機構を有する電子ビーム加工機の一
部を示す斜視図、第３図は同じく一部断面図、第４図な
いし第６図は第２図。 第３図に示したＸＹテーブル引出し機構の動作説明図で
ある。 ２・・・真空チャンバ ３・・・ドア６・・・ＸＹ
テーブル駆動用モータ ７・・・スクリュ軸 ９・・・走行用ガイドレール １０・・・ＸＹテーブル １１・・・走行用部材１２
・・・ポールスクリュ用ナツト １５・・・ベースプレート １６・・・モータ支持プレート ２６・・・爪 ２７・・・ガイドレール
２８・・・トロノコ ２９・・・引出し用モータ
３０・・・チェーンスプロケット ３１・・・チェーン 代理人弁理士 中村純之助 第２図 ２
ーム加工機を示す一部断面図、第２図はこの発明に係る
ＸＹテーブル引出し機構を有する電子ビーム加工機の一
部を示す斜視図、第３図は同じく一部断面図、第４図な
いし第６図は第２図。 第３図に示したＸＹテーブル引出し機構の動作説明図で
ある。 ２・・・真空チャンバ ３・・・ドア６・・・ＸＹ
テーブル駆動用モータ ７・・・スクリュ軸 ９・・・走行用ガイドレール １０・・・ＸＹテーブル １１・・・走行用部材１２
・・・ポールスクリュ用ナツト １５・・・ベースプレート １６・・・モータ支持プレート ２６・・・爪 ２７・・・ガイドレール
２８・・・トロノコ ２９・・・引出し用モータ
３０・・・チェーンスプロケット ３１・・・チェーン 代理人弁理士 中村純之助 第２図 ２
Claims (1)
- 真空チャンバ内に設けられたＸＹテーブルを上記真空チ
ャンバ外に引出す機構において、上記真空チャンバのド
アに固定され、上記ＸＹテーブルが取付けられたベース
プレートと、上記ドアに固定されたＸＹテーブル駆動用
モータと、上記ドア上記ベースプレートおよび上記ＸＹ
テーブル駆動用モータな移動する手段とを具備すること
を特徴とするＸＹテーブル引出し機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20933481A JPS58112679A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | Ｘｙテ−ブル引出し機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20933481A JPS58112679A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | Ｘｙテ−ブル引出し機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58112679A true JPS58112679A (ja) | 1983-07-05 |
Family
ID=16571221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20933481A Pending JPS58112679A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | Ｘｙテ−ブル引出し機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58112679A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2892651A1 (fr) * | 2005-10-28 | 2007-05-04 | Techmeta Soc Par Actions Simpl | Procede de soudage de corps de pompes haute tension. |
-
1981
- 1981-12-25 JP JP20933481A patent/JPS58112679A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2892651A1 (fr) * | 2005-10-28 | 2007-05-04 | Techmeta Soc Par Actions Simpl | Procede de soudage de corps de pompes haute tension. |
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